JPH0620219A - 複合型磁気ヘッドチップ及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 複合型磁気ヘッドチップにおいて、コアのギ
ャップ対向面に飽和磁束密度の異なる２種類の金属磁性
薄膜を被着させることにより、オーバーライト特性を向
上し、ノイズの少ない磁気ディスク装置が得られるよう
にした。 【構成】 複合型磁気ヘッドチップにおいて、フェライ
トコア１のギャップ側対向面に、透磁率が大きく高飽和
磁束密度の第１金属磁性薄膜４を被着し、さらにその表
面に前記より飽和磁束密度の大きな第２金属磁性薄膜５
を被着した。複合型磁気ヘッドチップの製造方法では、
フェライトコア１に２層の金属磁性薄膜４、５を被着し
た後、磁気ヘッドチップを５００〜７００℃で熱処理し
た。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁気テープ装置用磁気
ヘッド及び磁気ディスク装置において、磁気ディスクに
対して情報を記録再生する複合型磁気ヘッドチップ及び
その製造方法に関し、特にオーバーライト特性を向上さ
せたものである。

【０００２】

【従来の技術】浮上型磁気ヘッドは、磁性材料（例えば
Ｍｎ−Ｚｎフェライト）を用いてスライダと磁気ヘッド
チップ部とを一体に形成したモノリシックヘッドと、非
磁性材料（例えばＣａＴｉＯ₃ 、Ａｌ₂ Ｏ₃ −ＴｉＣ）
のスライダに磁性材料でできた磁気ヘッドチップを埋め
込んだコンポジットヘッドとに大別される。これら磁気
ヘッドチップには、一対のフェライトコアを磁気ギャッ
プを介して対向させ、その対向面のうち少なくとも一方
にセンダストやアモルファス合金などの金属磁性薄膜を
被着させた複合型のものがあり、最近では磁気特性の関
係から複合型の磁気ヘッドチップの需要が高まってい
る。

【０００３】従来の複合型磁気ヘッドチップには、コア
に金属磁性薄膜を被着させているために、磨耗が一様と
ならず片減りして特性の変化が生じるとして、それを解
決したものが特開昭６３−８１６０９号公報に記載され
ている。この場合、一対のフェライトコアのうち少なく
とも一方の対向面に、高透磁率で高飽和磁束密度のＦｅ
−Ａｌ−Ｓｉ−Ｃｏ合金磁性層を形成し、その上に前記
と透磁率が同じで前記よりＣｏ含有量が少なくかつ低飽
和磁束密度のＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ−ＣｏまたはＦｅ−Ａｌ
−Ｓｉ合金磁性層を形成して、磁気ヘッドチップの片減
りを防止している。また複合型磁気ヘッドチップの磁性
合金薄膜の一部で磁気飽和度が極めて高くなると、セン
ダストの透磁率が急激に低下する傾向がある。この結
果、起磁力すなわち記録電流を大きくしても、記録に関
与する漏れ磁束が殆ど増加せず、起磁力に対する磁気テ
ープの記録強さの線形性が崩れる。そのために信号の記
録再生波形に歪が生じるという問題があり、それを解決
したものが特開平２−２１６６０４号公報に記載されて
いる。その解決された磁気ヘッドチップでは、一対のコ
アのギャップ対向面に、飽和磁束密度の異なる２つの金
属磁性薄膜を被着し、２つの金属磁性薄膜はコア側より
ギャップ側の方を高飽和磁束密度にして、起磁力に対す
る磁気テープの記録強さの線形性を良好にし、記録再生
波形の歪を無くしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】前述したように従来の
複合型磁気ヘッドチップには、コアのギャップ対向面に
２種類の金属磁性薄膜を被着し、磁気ヘッドチップの片
減りを防止したり、起磁力に対する磁気テープの記録強
さの線形性を良好にして記録再生波形の歪をなくしてい
るが、オーバーライト特性については何ら検討されてい
ない。このため磁気記録媒体に記録された部分に重ねて
新たな磁気記録をした場合、前の磁気記録を充分に消去
できず、それがノイズ発生の原因になってしまう。そこ
で本発明は、複合型磁気ヘッドチップにおいて、コアの
ギャップ対向面に飽和磁束密度の異なる２種類の金属磁
性薄膜を被着させることにより、オーバーライト特性を
向上し、ノイズの少ない磁気ディスク装置が得られるよ
うにすることを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、磁気ギャップ
を介して一対のフェライトコアを対向させて配置し、そ
の少なくとも一方のコアの対向面に金属磁性薄膜を被着
させた複合型磁気ヘッドチップにおいて、上記目的を達
成したものである。そのためフェライトコアのギャップ
側対向面に、透磁率が大きく高飽和磁束密度の第１の金
属磁性薄膜が被着されるとともに、その表面に前記より
大きな飽和磁束密度の第２の金属磁性薄膜が被着されて
いる。第１の金属磁性薄膜をセンダストで形成し、第２
の金属磁性薄膜をスーパーセンダストで形成することが
できる。前記第１金属磁性薄膜と第２金属磁性薄膜と
は、それぞれ相互拡散相を有している。また第２金属磁
性薄膜中のＮｉが第１金属磁性薄膜に拡散し、Ｎｉ含有
量が磁気ギャップ側からフェライトコア側に向かって漸
次減少している。さらに磁気ヘッドチップのギャップ側
のトラック部を絞り加工した。本発明の浮上式複合型磁
気ヘッドの製造方法は、フェライトコアのギャップ側の
面に、センダストからなる第１金属磁性薄膜を被着し、
次ぎに第１金属磁性薄膜の表面にそれより飽和磁束密度
の大きなスーパーセンダストからなる第２金属磁性薄膜
を被着し、その後５００〜７００℃の温度条件で熱処理
することを特徴とする。熱処理条件を５００〜７００℃
としたのは、第１金属磁性薄膜と第２金属磁性薄膜の
Ｂ．Ｃ．Ｃ構造の規則度を改善するためである。

【０００６】ここで本発明の目的の対象となるオーバー
ライト特性について説明する。磁気ヘッドで磁気記録媒
体に磁気記録し、その後、磁気記録媒体に磁気記録を重
ねて行った場合に、前の磁気記録が消去されて新たな磁
気記録がされる。この場合に、消去されずに残った磁気
記録の新たな磁気記録に対する比の自然対数がオーバー
ライト特性であり、その絶対値が大きいほど前の磁気記
録が残っていないことになり、オーバーライト特性が良
いことになる。

【０００７】最近は高記録密度化に伴い磁気記録媒体の
保磁力が増加し、磁気ヘッドチップのギャップ長さが小
さくなって来ている。これは前述のオーバーライト特性
の低下を生じせしめる。本発明者はこの問題を解決する
ために鋭意研究をした。すなわち、高記録密度に対応さ
せるためには記録波長を小さくしなければならず、その
結果磁気ギャップ長さも小さくしている。しかし磁気ギ
ャップ長さが小さくなると、記録磁界が小さくなり、そ
の結果、前に記録したデータの上に新たにデータの記録
を行った場合に、前に記録した磁気データの消去が不十
分となり、オーバーライト特性が低下してノイズの発生
原因になってしまう。この問題を解決するためには磁気
ヘッドチップの金属磁性薄膜の磁束密度を上げて、記録
磁界を大きくすれば良いが、金属磁性薄膜の磁束密度を
上げて磁気ヘッドを作成したところ、透磁率が低下して
磁気記録装置の再生特性が低下してしまうことを知っ
た。以上の研究結果に基づき、磁気ヘッドチップのギャ
ップ部に飽和磁束密度の異なる２層の金属磁性薄膜を設
けることにより以上の問題を解決し、上記の磁束密度を
上げ、かつ透磁率も上げた磁気ヘッドを提供する。

【０００８】

【作用】上記磁気ヘッドチップでは、コアのギャップ面
に透磁率及び飽和磁束密度の大きい第１の金属磁性薄膜
を被着するとともに、その表面に前記より飽和磁束密度
の大きな第２の金属磁性薄膜を被着しているので、磁束
密度を上げても透磁率を大きくすることができる。よっ
て、オーバーライト特性が向上し、しかも記録再生特性
が低下することはない。透磁率を向上できるのは、磁気
ヘッドの熱処理によりＢ．Ｃ．Ｃ構造において原子が規
則正しく配列されるためである。また２つの金属磁性薄
膜はそれぞれ相互拡散層を有するので、結合性がよく、
膜剥れが生じにくい。

【０００９】

【実施例】本発明の複合型磁気ヘッドチップの実施例を
図１、２により説明する。磁気ヘッドチップは、Ｉコア
１とＣコア２との間に磁気ギャップ３が設けられ、Ｉコ
ア１とＣコア２のうち少なくとも一方のギャップ対向面
に２層の金属磁性薄膜４、５が被着され、ギャップ３の
外側に対向して配置された磁気ディスクとの間に磁気的
記録再生をできるようになっている。なおギャップ３付
近のＩコア１とＣコア２とはガラス材６により接合さ
れ、また本実施例ではギャップ側のトラック部１１が切
欠きにより絞り加工されている。そしてこのように構成
された磁気ヘッドチップ７が図３に示すように、非磁性
のスライダ８のスリット９に挿入されてモールドガラス
１０により固着されて、浮上式複合型磁気ヘッドが構成
される。

【００１０】前記のＩコア１とＣコア２とはＭｎ−Ｚｎ
フェライトで形成され、Ｉコア１のギャップ対向面にセ
ンダストからなる第１金属磁性薄膜４が被着されるとと
もに、その表面にセンダストより高飽和磁束密度のスー
パーセンダストからなる第２金属磁性薄膜５が被着され
ている。第１金属磁性薄膜４の組成はＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ
であり、第２金属磁性薄膜５の組成はＦｅ−Ｎｉ−Ａｌ
−Ｓｉであって、両金属磁性薄膜４、５はそれぞれ相互
拡散相を有し、Ｎｉの含有量はギャップ３側からＩコア
４側に向かって漸次減少している。この場合、図２
（ａ）に示すように一対のコア１、２のうち一方のみに
２層の金属磁性薄膜４、５を被着しているが、図２
（ｂ）に示すように両コアにそれぞれ２層の金属磁性薄
膜４、５を被着してもよい。

【００１１】上記複合型磁気ヘッドチップを製造する場
合、Ｉコア１のギャップ対向面にＦｅ、Ａｌ及びＳｉを
含有する合金ターゲットを用いてスパッタによりセンダ
ストを厚さ０．８〜１．２μｍに被着し、さらにその上
にＦｅ、Ｎｉ、Ａｌ及びＳｉを含有する合金ターゲット
を用いてスーパーセンダストをスパッタにより厚さ０．
８〜１．２μｍに被着する。次ぎに金属磁性薄膜が被着
されたＩコア１を６７０℃に１時間保持して、センダス
トとスーパーセンダストとにそれぞれ相互拡散層を有す
るようにした。なおこの相互拡散でＮｉ含有量は、ギャ
ップ３側からＩコア１側に向かって漸次減少するように
拡散される。この後、Ｉコア１とＣコア２とをギャップ
３を有するようにガラス材６で接合する。なお前記のス
パッタは、ＲＦパワー３５０Ｗ、ターゲットとコア間距
離７０ｍｍ、コア温度３００℃、到達真空度５×１０^-4
Ｐａ、ガス圧力７×１０^-1Ｐａの条件で行った。

【００１２】上記のようにして作成した磁気ヘッドチッ
プについて、透磁率μと磁束密度Ｂと保磁力Ｈｃとを測
定して結果を表１に示した。また表１には、比較のた
め、フェライトコアにセンダストのみを１層被着して作
成した比較例１と、フェライトコアにスーパーセンダス
トのみを１層被着した比較例２を作成して、それらにつ
いても同様に測定して結果を示した。なお各磁気ヘッド
チップは、いづれも６７０℃で熱処理した。以下の表１
によれば、本発明の磁気ヘッドは比較例に比較して透磁
率及び磁束密度が共に大きいことがわかる。

【００１３】

【表１】

【００１４】次ぎに上記表１の各磁気ヘッドチップにつ
いて、オーバーライト特性、再生出力特性、疑似ギャッ
プの発生、金属磁性薄膜の膜剥れについてテストし、そ
の結果を表２に示した。

【表２】 上記の表２より、本発明のものは比較例よりもオーバー
ライト特性と再生出力ともに良いことがわかる。これは
上記表１に示した本発明のものが透磁率と磁束密度が大
きいことに対応していることがわかる。また膜剥れに関
しても、本発明の方が剥れにくくなっている。これは第
１と第２金属磁性薄膜の２層が相互拡散層を有している
ためと考えられる。

【００１５】

【発明の効果】本発明の複合型磁気ヘッドチップでは、
フェライトコアのギャップ側対向面にセンダストとスー
パーセンダストからなる２層の金属磁性薄膜を被着させ
ているので、磁束密度と透磁率を共に大きくすることが
でき、オーバーライト特性が向上してノイズの発生を防
止でき、しかも再生出力が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の複合型磁気ヘッドチップの斜視図であ
る。

【図２】複合型磁気ヘッドチップのギャップ付近の異な
る２種類（ａ）、（ｂ）の部分斜視図である。

【図３】浮上式複合型磁気ヘッドの斜視図である。

【符号の説明】

１ Ｉコア ２ Ｃコア ３ ギャップ ４ 第１金属磁性薄膜 ５ 第２金属磁性薄膜

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 諏訪部 繁和 埼玉県熊谷市三ケ尻5200番地日立金属株式 会社磁性材料研究所内

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁気ギャップを介して一対のフェライト
   コアを対向させて配置し、その少なくとも一方のコアの
   対向面に金属磁性薄膜を被着させた磁気ヘッドチップに
   おいて、フェライトコアのギャップ側対向面に透磁率が
   大きく高飽和磁束密度の第１の金属磁性薄膜が被着され
   るとともに、その表面に前記より大きな飽和磁束密度の
   第２の金属磁性薄膜が被着されていることを特徴とする
   複合型磁気ヘッドチップ。
2. 【請求項２】 第１の金属磁性薄膜はセンダストからな
   り、第２の金属磁性薄膜はスーパーセンダストからなっ
   ていることを特徴とする請求項１に記載の複合型磁気ヘ
   ッドチップ。
3. 【請求項３】 第１金属磁性薄膜と第２金属磁性薄膜と
   は、それぞれ相互拡散相を有し、Ｎｉ含有量が磁気ギャ
   ップ側からフェライトコア側に向かって漸次減少してい
   ることを特徴とする請求項１に記載の複合型磁気ヘッド
   チップ。
4. 【請求項４】 請求項１乃至３のいずれかに記載の複合
   型磁気ヘッドチップは、そのギャップ側のトラック部が
   絞り加工がされていることを特徴とする複合型磁気ヘッ
   ドチップ。
5. 【請求項５】 請求項４に記載の複合型磁気ヘッドチッ
   プが、非磁性のスライダのスリットに装着されているこ
   とを特徴とする浮上式複合型磁気ヘッド。
6. 【請求項６】 磁気ギャップを介して一対のフェライト
   コアを対向させて配置し、その少なくとも一方のコアの
   対向面に金属磁性薄膜を被着させた複合型磁気ヘッドチ
   ップの製造方法であって、フェライトコアのギャップ側
   の面に、透磁率が大きく高飽和磁束密度のセンダストか
   らなる第１金属磁性薄膜を被着し、次ぎに第１金属磁性
   薄膜の表面にそれより飽和磁束密度の大きなスーパーセ
   ンダストからなる第２金属磁性薄膜を被着し、その後５
   ００〜７００℃の温度条件で熱処理したことを特徴とす
   る複合型磁気ヘッドチップの製造方法。