JPH0620314A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

光磁気記録媒体

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JPH0620314A
JPH0620314A JP19449992A JP19449992A JPH0620314A JP H0620314 A JPH0620314 A JP H0620314A JP 19449992 A JP19449992 A JP 19449992A JP 19449992 A JP19449992 A JP 19449992A JP H0620314 A JPH0620314 A JP H0620314A
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JP
Japan
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magnetic
magneto
film
magnetic field
recording medium
Prior art date
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Application number
JP19449992A
Other languages
English (en)
Inventor
Mutsumi Asano
睦己 浅野
Akio Kondo
昭夫 近藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tosoh Corp
Original Assignee
Tosoh Corp
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Publication date
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Publication of JPH0620314A publication Critical patent/JPH0620314A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【構成】一方の磁性膜の組成が、Tbx(Fe
100−y−zCoTi100−x(x:10−
25原子%、y:25−75原子%、z:15−50原
子%)で表されるものであり、これと磁気特性の異なる
磁性膜が直接相対して構成された光磁気記録媒体。 【効果】この光磁気記録媒体は低磁界から高磁界まで十
分なC/Nを確保でき、記録再生特性の記録時の外部磁
界に対するマ−ジンを大きく確保できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光磁気記録媒体に関す
る。さらに、詳しくは記録再生特性の向上した光磁気記
録媒体に関するものである。
【0002】
【従来の技術】光記録媒体の中でも書き込み消去のでき
る書き換え可能型として、従来から知られるものとして
相変化型、フォトクロミック型、光磁気型等がある。こ
れらの書き換え可能型の中でも光磁気型が書き込み速度
や繰返し耐性に優れている特徴がある。光磁気記録媒体
には作成が比較的容易で保磁力が大きい希土類−遷移金
属合金膜が用いられることが多い。
【0003】光磁気記録の方式は光照射により記録膜を
加熱し外部磁界を印加して磁化方向を決定する方式であ
る。外部磁界は通常記録媒体ではなく装置に設置される
が、この外部磁界はなるべく小さいことが装置の小形
化、低電力化、低価格化にとって望まれるところであ
る。しかし、外部磁界の強度は媒体の記録再生特性に大
きな影響を与える。一般的に、外部磁界についてはその
強度が低い場合にはキャリアレベルが低下し、ノイズレ
ルが上昇してC/N(キャリア対ノイズ比)が劣化す
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】このような外部磁界が
弱い領域での、キャリアレベルの低下、ノイズレベルの
上昇という問題点の改善のため、従来次のような検討が
行われてきた。そのひとつは記録膜の組成の検討であ
る。
【0005】希土類−遷移金属アモルファス合金は、一
般に定性的に室温において希土類金属と遷移金属の磁化
のバランスがとれる補償組成と、この補償組成を境界に
希土類金属の磁化の優勢な組成(RErich)と遷移
金属優勢な組成(TMrich)の三種に分けられる。
従来は、磁性膜のこのような組成を調整することにより
弱い磁界での特性向上がはかられてきた(IEEE T
RANSACTIONS ON MAGNETICS,
Vol.MAG−22,No.5,p931,198
6)。又、交換結合多層膜を用いて低磁界で高いC/N
を得ようとする提案もなされている(特開平1−130
345)。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、磁気特性の異
なる磁性膜、例えば、TiとCoをTbFeに添加する
ことにより、保磁力、垂直磁気異方性、磁壁エネルギ−
が夫々小さくかつキュリー点の高い磁性膜と、保磁力が
大きくキュリー点の低い膜を直接相対して積層すること
により、記録再生特性、とくに外部磁界強度の低い領域
から高い領域まで高いC/Nが得られる媒体としたもの
である。この記録媒体は、磁界強度の低い領域から高い
領域まで高いC/Nが得られるため光を照射しながら磁
界を信号に応じて変調してオ−バ−ライトを行う磁界変
調オ−バ−ライトにも適した媒体を供給できる。
【0007】本発明の光磁気記録媒体の特徴は、特性の
異なる複数の垂直磁化膜を近接して設けることを特徴と
する。さらに詳しくは、例えば、CoとTiを比較的多
量に添加した、キュリー点が高く保磁力が小さく垂直磁
気異方性の低いTbFeCoTiと、この膜に比べキュ
リー点が低く保磁力の大きい膜を連続して即ち直接相対
して積層することを特徴とする。
【0008】キュリー点が低く保磁力の大きい膜は、こ
れ単独で十分に記録情報が保持できる膜であればよく、
低い磁界から高い磁界まで高いC/Nが得られるもので
ある必要はない。キュリー点が高く保磁力の小さい膜は
保磁力が小さいためこれ単独では記録特性に劣り記録保
持も十分ではない。つまり保磁力が小さいため記録した
い情報が冷却過程で保持されず、また例え記録ができて
も情報の保持の面で劣る。
【0009】本発明者らは、磁気特性の異なる、例えば
前記したような二種類の膜を直接相対して積層すること
により低い磁界から高い磁界まで高いC/Nが得られる
ことを見出した。即ち本発明は、基板上に少なくとも2
種の磁性膜を持つ光磁気記録媒体であって、これら磁性
膜の少なくとも一つの磁性膜の組成が下記の式 Tbx(Fe100−y−zCoTi100−x x:10−25原子% y:25−75原子% z:15−50原子% で表されるもの(1)であり、これと磁気特性の異なる
磁性膜(2)が前記磁性膜(1)と直接相対して構成さ
れたものである光磁気記録媒体に関するものである。
【0010】磁気特性の異なる一方の磁性膜(1)は、
Tbが10〜25原子%で、CoとTiがTbを除いた
割合で夫々25〜75原子%、15〜50原子%である
ことが本発明の効果を得る上で必須であり、例えば、キ
ュリー点が高く保磁力の低い膜であって、好ましくはキ
ュリー点が180℃以上で、室温での保磁力が500O
e以下、又、室温での垂直磁気異方性が5×10J/
以下であることである。磁気特性の異なる他方の磁
性膜(2)は、例えば、キュリー点が低く保磁力の大き
い膜で、キュリー点が150から250℃の範囲で室温
での保磁力が3kOe以上であることが好ましい。キュ
リー点が低く保磁力の大きい膜については、保磁力が4
kOe以上で、垂直磁気異方性が7×10J/m
上であることが更に好ましい。又、前記したこれらの二
種の膜を積層する場合にはキュリー点の差異を30℃以
上とすることが好ましい。上記した範囲をはずれると本
発明のより以上の効果を得る上で好ましくない。
【0011】キュリー点が低く保磁力の大きい膜は、T
bFeCo、DyFeCo、TbGdFeCo、TbD
yFeCo、TbDyGdFeCo、DyGdFeCo
などの材料を用いることができ、上記特性を満たす範囲
で添加物、不純物を含んでいても問題はない。キュリー
点が高く保磁力の低い膜は上記の組成範囲で構成される
が、上記特性を満たす範囲で添加物、不純物を含んでも
問題ない。
【0012】本発明は、磁気特性の異なる一方の磁性膜
(1)としてTbFeCoTiを用いたが、希土類金属
としてDy、TbDy、TbGd、DyGd、TbDy
Gdを用いることができる。又、膜(1)を複数用いる
場合Tiの代わりに非磁性金属として、Cr、Ta、
W、Mo、Nb、Al、Ptを単独で、あるいはTiを
含めこれらの金属を複数種の組み合わせた膜を用いるこ
ともできる。
【0013】本発明の磁性膜(1)の膜厚は、積層の効
果を得るために2nm以上で、20nm以下であること
が好ましい。20nmを越えると本来この膜は記録保持
作用に劣るため積層しても記録特性が劣化し、情報の保
存性も悪くなる。又、キュリー点が低く保磁力の大きい
磁性層の膜厚は、記録感度の点から120nm以下が好
ましい。
【0014】本発明の磁性膜の作成法は、特性の制御
性、生産性の高さからスパッタリング法によることが好
ましいが、成膜条件は上記に限定されるものでは無く、
他の条件でも可能で在り、蒸着法でも可能である。
【0015】本発明の媒体は上記二種の磁性膜を積層す
ることにより、キュリー点の低い層のキュ−リ点以上で
垂直磁気異方性の低い膜に記録されその状態がキュリー
点の低い膜に転写されることにより情報が保持される。
垂直磁気異方性の低い膜は高温域で十分に保磁力が小さ
く、磁壁エネルギ−も小さいが、磁化は有しているため
記録時の外部磁界に反応して、低い磁界でも反転磁区が
ない十分な大きさの磁区が形成され冷却過程でキュリー
点の低い層に転写されて情報が固定される。このような
機構により低い磁界から高い磁界まで高いC/Nが得ら
れるものと考えられる。
【0016】低磁界から高磁界まで十分なC/Nを確保
できる特徴は、外部磁界を変調して記録する磁界変調記
録方式においてはより特徴が顕著となる。磁界変調方式
では、通常は光をDC照射し磁界の極性を反転変調する
ため必ず弱い磁界で記録される状態が発生する。この反
転変調の状態では、反転が不十分で磁区が小さく、又、
反転磁区の形成によりノイズが上昇する。しかし、本発
明によればノイズ上昇が抑制される。また、小さい反転
磁界強度においてもノイズが小さく信号強度のおおきな
媒体が得られる。
【0017】光磁気記録膜にTiを添加するという提案
は多くなされている(特開昭61−40012、特開昭
61−6807号明細書参照)。しかし、これらの開示
技術は単層の磁性層にCrを添加して腐食にたいする耐
久性を向上させることを主眼としたものである。したが
って、Crを添加した磁性膜は光磁気記録媒体としての
基礎特性を満足する必要がある点で本発明とは内容を異
にするものである。
【0018】Tiを添加した光磁気記録膜を、読み出し
層と記録層の二層磁性膜で構成される媒体として用いる
ことが提案されている(特開平2−141950号明細
書参照)。しかし、この開示技術はTiを添加して腐食
にたいする耐久性を向上させることを主眼としたもの
で、Tiを添加した磁性層は光磁気記録媒体の記録層と
しての基礎特性を満足する必要のあるものであり、この
点で、本発明とは内容を異にするものである。
【0019】
【実施例】ガラス基板上にスパッタリング装置で保護膜
としてSiNを100nm形成し、次いでTbタ−ゲッ
トとCoとTiのチップ、またはCoチップのみをのせ
たFeCoタ−ゲットを用いた二元スパッタリングで磁
性膜を30nm形成し、引き続き保護膜としてSiNを
30nm形成した。
【0020】表1に、このものを蛍光X線により分析し
た組成、キュリー点、室温での垂直磁気異方性、保磁力
を示す。
【0021】 表1 試料 組成 キュリー点 垂直磁気異方性 保磁力 1 x:12 230 1.4 0.2 y:35 z:16 2 x:18 240 1.1 0.1 y:41 z:20 3 x:20 310 0.7 0.1 y:52 z:35 4 x:23 290 0.6 0.1 y:61 z:43 5 x:14 180 0.4 0.1 y:32 z:50 6 x:18 180 7.6 5.4 y:8 z:0 7 x:22 220 8.2 10.8 y:10 z:0 8 x:26 150 6.9 13.0 y:4 z:0 9 x:22 240 5.8 6.9 y:15 z:0 単位 組成 Tb(Fe100−y−zCoTi100−x x、y、z 原子% キュリー点 ℃ 垂直磁気異方性 10J/m 保磁力 kOe 1.6μmピッチの案内溝を有する直径3.5インチの
ポリカ−ボネイト基板と同時に設置したガラス基板上
に、SiNを100nmの厚さで形成し、引き続き第1
磁性膜を10nm,引き続き第2磁性膜を20nm形成
し、さらにSiNを30nm、Alを50nm形成し
た。磁性膜は表2に示すような組み合わせで作製した。
【0022】 表2 試料 第1磁性膜 第2磁性膜 10 試料1と同一組成 試料6と同一組成 11 試料2と同一組成 試料6と同一組成 12 試料3と同一組成 試料7と同一組成 13 試料4と同一組成 試料9と同一組成 14 試料5と同一組成 試料8と同一組成 これらの試料の記録媒体としての記録再生特性を検討し
た。測定装置は波長780nmでNAが0.53の光学
ヘッド、浮上型の磁気ヘッドを備えた磁界変調オ−バ−
ライト型の光磁気ディスク測定装置を用いた。測定条件
は測定半径30mm、ディスク回転数2400rpm、
記録再生周波数5.0MHz(磁界反転デゥ−ティ10
0ns)で記録時の印加磁界を±50、100、300
Oeとして記録パワ−を9mW(連続光)でC/N比を
求めた。
【0023】各試料の測定結果を表3に示す。 表3 試料 磁界強度 ±50 ±100 ±300 10 41.6 45.2 46.8 11 42.2 46.4 46.7 12 44.9 45.8 47.1 13 44.8 46.1 47.2 14 44.6 45.9 46.9 単位 C/N比 dB
【0024】
【比較例】実施例と同様にして表4に示すような磁性膜
が単層の試料を作製した。
【0025】 表4 試料 組成 キュリー点 垂直磁気異方性 保磁力 15 x:20 220 4.6 2.9 y:10 z:9 16 x:20 240 7.7 9.2 y:19 z:7 単位 組成 Tbx(Fe100−y−zCoyTiz)100−x x、y、z 原子% キュ−リ点 ℃ 垂直磁気異方性 10J/m 保磁力 kOe 実施例と同様にしてポリカ−ボネイト基板とガラス基板
上に2層からなる表5に示すような試料を作製した。
【0026】 表5 試料 第1磁性膜 第2磁性膜 17 試料15と同一組成 試料6と同一組成 18 試料16と同一組成 試料8と同一組成 19 試料2と同一組成 試料9と同一組成 20 試料6と同一組成 試料6と同一組成 実施例と同様に表5の試料を評価した。結果を表6に示
す。
【0027】 表6 試料 磁界強度 ±50 ±100 ±300 17 34.2 38.5 43.1 18 21.3 34.5 35.9 19 33.4 35.7 43.1 20 37.9 41.9 46.1 これらの試料は特に磁界の低い時にC/Nが低い。試料
20はTbFeCo単層の試料であるが、300Oeで
は高いC/Nが得られているが磁界の低い時にC/Nが
低い。
【0028】実施例(試料10〜14)と比較例(17
〜20)のガラス基板の試料のカ−ル−プをカ−効果測
定装置(波長780nm)を用いて室温からキュリー点
まで測定した。その結果、実施例の試料は全て図1に示
すような結果となった。図中(1)は保磁力を、(2)
は飽和カ−回転角を、(3)は残留カ−回転角を示す。
図中の(2、3)は、飽和カ−回転角と残留カ−回転角
が一致していることを示す。即ち、キュリー点の低い点
(Tc1)までは残留カ−回転角と飽和カ−回転角は一
致しており良好な角型比を示し、保磁力も比較的大きな
値をもっている。低いキュリー点(Tc1)を越えると
残留カ−回転角と飽和カ−回転角の差が大きくなり角型
比と保磁力は急激に低下する。
【0029】比較例試料17、18のの結果を図2に示
す。図中(4)は保磁力を、(5)は飽和カ−回転角と
残留カ−回転角を示し両者が一致していることを示す。
これらの試料は低いキュリー点(Tc1)を越えても比
較的大きい保磁力を示し、残留カ−回転角と飽和カ−回
転角は一致しており良好な角型比を有す。これらの試料
は、高温まで保磁力が大きため特に磁界強度の低い場合
には十分な記録ができないと考えられる。比較例試料1
9は2種の磁性膜のキュリー点の差異がなく実施例の試
料のように保磁力と角型比の急激な減少が認められなか
った。また、比較例試料20のは、比較例試料19と同
様の結果が得られた。
【0030】これらの結果から、低いキュリー点以上で
保磁力が低く、磁化を十分に保持しているため外部磁界
に対し反転しやすく低い磁界でも大きいC/Nが得られ
る。この保磁力が小さく磁化が比較的大きい点は、垂直
磁気異方性が低いことによるものと考えられ角型比が小
さい事につながる。低いキュリー点以下では交換結合力
により良好な角型比が保たれると考えられる。このよう
な特性を満たすためにはキュリー点の差が30℃以上必
要であることが判る。
【0031】
【発明の効果】本発明の光磁気記録媒体の構成とするこ
とにより低磁界から高磁界まで十分なC/Nを確保でき
る。
【0032】又、複数の連続した磁性膜の組成、キュリ
ー点、保磁力、垂直磁気異方性を規定することにより、
記録再生特性の記録時の外部磁界に対するマ−ジンを大
きく確保できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光磁気記録媒体のカ−ル−プの温度特
性の一例を示す図。
【図2】比較例の光磁気記録媒体のカ−ル−プの温度特
性の一例を示す図。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】基板上に少なくとも2種の磁性膜を持つ光
    磁気記録媒体であって、これら磁性膜の少なくとも一つ
    の磁性膜の組成が下記の式で表されるもの(1)であ
    り、これと磁気特性の異なる磁性膜(2)が磁性膜
    (1)と直接相対して構成されたものである光磁気記録
    媒体。 Tbx(Fe100−y−zCoTi100−x x:10−25原子% y:25−75原子% z:15−50原子%
  2. 【請求項2】Tiを含む少なくとも一つの磁性膜の保磁
    力が室温で500Oe以下であることを特徴とする請求
    項1記載の光磁気記録媒体。
  3. 【請求項3】Tiを含む少なくとも一つの磁性膜のキュ
    リー点が180℃以上である請求項1又は2記載の光磁
    気記録媒体。
  4. 【請求項4】磁気特性の異なる磁性膜がそれらのキュリ
    ー点において30℃以上の差を持つ磁性膜同士である請
    求項1〜3項いずれか記載の光磁気記録媒体。
JP19449992A 1992-06-30 1992-06-30 光磁気記録媒体 Pending JPH0620314A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5760592A (en) * 1995-08-02 1998-06-02 Yazaki Corporation Method and device for inspecting connectors
US5926026A (en) * 1995-11-14 1999-07-20 Furukawa Electric Co., Ltd. Male terminal inspecting tool of connector

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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