JPH06203478A

JPH06203478A - パターンデータ生成装置

Info

Publication number: JPH06203478A
Application number: JP4360007A
Authority: JP
Inventors: Takehisa Ishida; 武久石田; Ritsu Takeda; 立武田
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1992-12-29
Filing date: 1992-12-29
Publication date: 1994-07-22
Also published as: GB2274537A; GB9326088D0; US5455815A; GB2274537B

Abstract

(57)【要約】【目的】ディスクの原盤にフォーマットパターンを形
成する場合において、自由度の高いパターンを形成でき
るようにする。【構成】光磁気ディスク又は磁気ディスクの基となる
スタンパーの原盤である円形基板上に形成されたフォト
レジスト膜にオン／オフ変調されたレーザビームを照射
してプリフォーマットパターンをレーザ描画するための
レーザカッティング装置に使用されるパターンデータ生
成装置において、円形基板のレーザカッティング装置に
おけるカッティングヘッドとの相対位置（回転角θ）を
検出する相対位置検出回路２１と、この相対位置検出回
路２１からの検出データに基づいて座標データを出力す
る座標データ生成回路２２と、この座標データ生成回路
２２からの座標データに基づいたデータ列をシリーズに
出力するデータ列発生回路２３とを設けて構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光磁気ディスク、又は
記録領域と非記録領域に段差を有する磁気ディスク等に
サーボ情報やクロック情報並びに読出し専用情報等のプ
リフォーマットデータパターンを形成する円盤状記録媒
体の製造装置に用いられ、特に、これらディスクの基と
なる原盤に上記プリフォーマットデータパターンをリソ
グラフィ技術にて蝕刻形成する光学記録装置（レーザカ
ッティング装置）にパターンデータ（プリフォーマット
情報に応じたパターンデータ）を供給するためのパター
ンデータ生成装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、サンプルサーボ方式の光磁気デ
ィスク及び磁気ディスクは、図１４及び図１５に示すよ
うに、両者とも情報信号が記録されるデータエリア１０
１と、サーボ情報等が予め記録されるサーボエリア１０
２が設けられており、このサーボエリア１０２にはサー
ボマーク１０３、クロックマーク１０４、アクセスコー
ド及び読出し専用情報（ＲＯＭ情報）１０５等がいわゆ
るプリフォーマットデータパターンとして形成されてい
る。

【０００３】各ディスクに対するプリフォーマットデー
タパターンの形成は、光磁気ディスクの場合、図１６に
示すように、ディスク基板１１０の成形時にプリフォー
マットデータパターンに対応した凹部を設けておき、こ
の上に反射膜あるいは垂直磁化膜（記録膜）１１１を成
膜することで、ディスク基板１１０側から見たときに略
円形の凸部（サーボマークやクロックマーク等）として
形成されるものである。

【０００４】一方、磁気ディスクの場合は、２つの方法
があり、１つは、上記と同様にディスク基板１１０の成
形時にプリフォーマットデータパターンに対応した凹部
を設けておき、この上に磁性膜１１２を成膜した後、サ
ーボエリアにおける凸部と凹部をそれぞれ方向を違えて
磁化することで、凸部における磁化情報がそれぞれサー
ボマークやクロックマークとして形成されるものであ
る。

【０００５】他の方法は、表面が平坦なディスク基板１
１０上全面に磁性膜１１２を形成し、その後、既知のリ
ソグラフィ技術を用いて、プリフォーマットデータに対
応した部分の磁性膜１１２を残すあるいは除去した後、
サーボエリアにおける磁性膜１１２を磁化することで、
磁性膜１１２の残存部分あるいは除去部分がそれぞれサ
ーボマークやクロックマークとして形成されるものであ
る。

【０００６】そして、上記プリフォーマットデータパタ
ーンの形成には、通常、レーザカッティング装置が用い
られる。

【０００７】即ち、ディスクの基となる円形基板上にフ
ォトレジスト膜を形成した後、レーザカッティング装置
にてプリフォーマットデータパターンに応じたレジスト
潜像を形成する。その後、フォトレジスト膜を現像す
る。これによって、円形基板上の例えばプリフォーマッ
トデータパターンに応じた部分のフォトレジスト膜が除
去されることとなる。そして、残存するフォトレジスト
膜を含む全面に金属膜を蒸着して金属原盤を作製する。
その後、この金属原盤からマザー及びスタンパーを複製
して、このスタンパーから合成樹脂製のディスク基板１
１０を成形する。このとき、プリフォーマットデータパ
ターンに対応する部分が例えば凹部として形成される。

【０００８】そして、ディスク基板１１０の凹部が形成
されている面に反射膜又は記録膜１１１を形成すること
で光磁気ディスクが完成し、また、ディスク基板１１０
の凹部が形成されている面に磁性膜１１２を形成した
後、凸部と凹部の磁化方向を違えて磁化することで磁気
ディスクが完成する。

【０００９】ところで、円形基板に上記プリフォーマッ
トデータパターンを形成する場合の基となるパターンデ
ータは、レーザカッティング装置の前段に接続されたパ
ターンデータ生成装置にて生成される。

【００１０】従来のパターンデータ生成装置は、図１８
に示すように、カウンタとデコーダを組み合わせたもの
が用いられている。即ち、図示する回路は、レーザカッ
ティング装置の回転テーブル（このテーブル上に原盤が
固定される）を一方向に回転させるモータに取り付けら
れたロータリーエンコーダ（回転テーブル１回転につき
Ｂ個のパルスが発生する）と、このロータリーエンコー
ダからのエンコーダパルスＳｔをＡ逓倍するＰＬＬ１２
１と、ＰＬＬ１２１からのパルスＳｃを計数して計数し
た値を順次Ｎ進データとして出力するＮ進カウンタ１２
２と、Ｎ進カウンタ１２２から出力される値のうち、特
定の値になったときに検出信号を出力するデコーダ１２
３ａ，１２３ｂ，１２３ｃ・・・が複数個並べられて構
成されたデコーダ列１２３と、デコーダ列１２３を構成
する各デコーダからの出力が供給され、それらの出力の
論理和をとるＯＲ回路１２４を具備して構成されてい
る。

【００１１】そして、このパターンデータ生成装置から
レーザカッティング装置にフォーマットデータを供給す
る場合は、まず、円形基板が固定された回転テーブルを
一定の回転数で回転させる。この回転にともなって、ロ
ータリーエンコーダから順次エンコーダパルスが出力さ
れる。このエンコーダパルスＳｔは次段のＰＬＬ１２１
にてＡ逓倍されてＮ進カウンタ１２２に供給される。Ｎ
進カウンタ１２２は、順次供給されるＰＬＬ１２１から
のパルスＳｃを計数して計数した値をＮ進データとして
順次出力する。

【００１２】デコーダ列１２３における各デコーダ１２
３ａ，１２３ｂ，１２３ｃ・・・は、Ｎ進カウンタ１２
２からのＮ進データのうち、それぞれ対応する特定の値
になったことを検出して後段のＯＲ回路１２４に検出信
号を出力する。例えば、Ｎ進カウンタ１２２から「００
０００００１」が出力された場合、第１のデコーダ１２
３ａから検出信号「１」が出力され、Ｎ進カウンタ１２
２から「００００１０１０」が出力された場合、第２の
デコーダ１２３ｂから検出信号「１」が出力され、Ｎ進
カウンタ１２２から「０００１００００」が出力された
場合、第３のデコーダ１２３ｃから検出信号「１」が出
力される。各デコーダ１２３ａ，１２３ｂ，１２３ｃ・
・・からの検出信号は、後段のＯＲ回路１２４に供給さ
れてシリーズなデータ、即ちフォーマットデータとして
レーザカッティング装置に供給されることになる。

【００１３】そして、レーザカッティング装置のカッテ
ィングヘッド（対物レンズ等で構成される）を円形基板
１回転につき等速度で円形基板の半径方向に送りなが
ら、上記パターンデータ生成装置にて生成されたフォー
マットデータを円形基板上にパターンとしてレーザ描画
していく。すると、円形基板上（正確には、フォトレジ
スト膜上）には、Ｎクロック（Ｎ＝Ａ・Ｂ／ｎ：ｎは
正の整数）ごとに繰り返される円周方向及び半径方向に
整列した周期的なパターンがレーザ描画される。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
パターンデータ生成装置においては、Ｎクロックごとに
繰り返す周期的なパターンデータ以外の生成が困難であ
り、出現頻度の高いパターンデータ（サーボマークやク
ロックマーク等の各セグメントにおいて同じデータとな
るものなど）と出現頻度の低いパターンデータ（セグメ
ントアドレスやそのセグメントに応じたＲＯＭ情報な
ど）を混合して出力することができない。

【００１５】即ち、例えば光磁気ディスク用のパターン
データを磁気ディスク用のパターンデータに変更するな
どの仕様変更によってパターンデータを変更する場合、
デコーダの接続順番を単純に切り換えるだけでは実現す
ることはできず、デコーダ自体をその仕様変更に合わせ
てつくりかえる、あるいは別のデコーダに組み直す必要
がある。しかも、Ｎ進カウンタから出力されるＮ進デー
タ、及び全てのデコーダの解読特性（どの値で検出信号
を出力するかという特性）を考慮して組み直す必要があ
り、非常に手間がかかる。

【００１６】また、最近では、ディスクに対して記録再
生を行うヘッドの位置決め駆動系として、ディスクの半
径方向に移動するリニア型位置決め駆動系から一つの支
点を中心に回動する回動型位置決め駆動系に切り換えた
いという要請がある。これは、回動型位置決め駆動系が
上記リニア型位置決め駆動系よりも外乱に強く、位置決
め精度が高いことからである。

【００１７】しかし、この回動型位置決め駆動系におい
ては、ヘッドの移動軌跡が円弧を描くこととなる。従来
のパターンデータ生成装置においては、上記のように、
Ｎクロックごとに繰り返す周期的なパターンデータのみ
しか生成できないため、例えば生成されたパターンデー
タをフォーマットデータパターンとして円形基板に形成
した場合、図１９に示すように、その基点（例えばクロ
ックマーク）は必ず放射直線状に並ぶこととなる。上記
回動型位置決め駆動系に対しては、そのヘッドの移動軌
跡からわかるように、フォーマットデータパターンの基
点（クロックマーク）の形成位置がディスク（円形基
板）の半径方向に対して、上記移動軌跡に沿って円弧を
描くようにすることが必要である。

【００１８】本発明は、上記の課題に鑑みてなされたも
ので、その目的とするところは、例えばレーザカッティ
ング装置を用いて、ディスクの原盤（円形基板）にフォ
ーマットデータパターンを形成する場合において、例え
ば出現頻度の高いパターンと出現頻度の低いパターンを
混合してフォーマットデータパターンを作成したり、フ
ォーマットデータパターンを回転対称なパターンとする
など、フォーマットデータパターンの形成に際して自由
度の高いパターンを生成することができるパターンデー
タ生成装置を提供することにある。

【００１９】また、本発明は、上記効果に加えて、外乱
に強い回動型位置決め駆動系の使用を有効に図ることが
できるフォーマットデータパターンの形成を行うことが
できるパターンデータ生成装置提供することにある。

【００２０】

【課題を解決するための手段】本発明のパターンデータ
生成装置は、円盤状記録媒体上に形成するデータパター
ンの少なくとも一部をデータ列として記憶する第１の記
憶手段と、データ列を出力する順序又は上記データ列を
出力する座標を記憶する第２の記憶手段を具備し、デー
タ列を円盤状記録媒体の回転角に応じて並べ換えて出力
するように構成する。

【００２１】また、本発明のパターンデータ生成装置
は、円盤状記録媒体上に形成するデータパターンの少な
くとも一部を２次元のデータ列として記憶する第１の記
憶手段と、データ列を出力する順序又は上記データ列を
出力する座標を記憶する第２の記憶手段を具備し、デー
タ列を円盤状記録媒体の回転角と円盤状記録媒体の半径
に応じて並べ換えて出力するように構成する。

【００２２】この場合、１トラックピッチ分のデータパ
ターンを複数回転分に分割して出力するようにしてもよ
い。

【００２３】また、本発明のパターンデータ生成装置
は、上記第１の記憶手段及び第２の記憶手段に加えて、
円盤状記録媒体の半径に応じて、データ列に所定の遅延
量を付加して出力する遅延手段を具備して構成する。

【００２４】

【作用】請求項１記載の本発明に係るパターンデータ生
成装置においては、まず、円盤状記録媒体の回転角に応
じて第２の記憶手段からデータ列の出力順序又は座標に
ついてのデータが出力され、第１の記憶手段に供給され
る。第１の記憶手段は、供給された出力順序又は座標の
データに基づいたデータ列をを読み出し、出力する。

【００２５】このとき、所定の回転ピッチにて出力すべ
き出現頻度の高いデータ列（サーボマークやクロックマ
ーク等の固定データ）と、円盤状記録媒体の回転角に応
じて内容を変化させる必要がある出現頻度の低いデータ
列（例えばセグメントアドレスやセグメントに応じたＲ
ＯＭ情報など）を第１の記憶手段に記憶させておき、第
２の記憶手段に円盤状記録媒体の回転角に応じたデータ
列の出力順序又はデータ列の座標を記憶させておけば、
円盤状記録媒体の回転角に応じて、出現頻度の高いデー
タ列と出現頻度の低いデータ列とを並べ換えて出力する
ことが可能となり、円盤状記録媒体に対して回転対称な
パターンやその他種々のパターンも書き込むことも可能
となる。

【００２６】また、請求項２記載の本発明に係るパター
ンデータ生成装置においては、まず、円盤状記録媒体の
回転角及び円盤状記録媒体の半径に応じて第２の記憶手
段からデータ列の出力順序又はデータ列の座標について
のデータが出力され、第１の記憶手段に供給される。第
１の記憶手段は、供給された順序又は座標のデータに基
づいて、データ列を読み出し、出力する。

【００２７】このとき、所定の回転ピッチにて出力すべ
き出現頻度の高いデータ列（サーボマークやクロックマ
ーク等の固定データ）と、円盤状記録媒体の回転角に応
じて内容を変化させる必要がある出現頻度の低いデータ
列（例えばセグメントアドレスやセグメントに応じたＲ
ＯＭ情報など）を第１の記憶手段に記憶させておき、第
２の記憶手段に円盤状記録媒体の回転角に応じたデータ
列の出力順序又はデータ列の座標を記憶させておけば、
円盤状記録媒体の回転角及び半径に応じて、出現頻度の
高いデータ列と出現頻度の低いデータ列とを並べ換えて
出力することが可能となり、円盤状記録媒体に対して回
転対称なパターンやその他種々のパターンも書き込むこ
とも可能となる。

【００２８】また、請求項４記載の本発明に係るパター
ンデータ生成装置においては、円盤状記録媒体の半径に
応じてデータ列が遅延されて出力されるため、プリフォ
ーマットデータの基点（例えばクロックマーク）の径方
向の配列がディスク（原盤）の半径方向に対して円弧を
描くこととなる。しかも、遅延手段におけるデータ列に
対する遅延量を回動型位置決め駆動系の移動軌跡に沿う
ように設定することが可能であるため、上記基点の配列
を回動型位置決め駆動系の移動軌跡に沿わせることがで
き、記録再生ヘッドの位置決め駆動系として、外乱に強
い回動型位置決め駆動系を用いることができ、ディスク
に対する情報信号の記録再生を良好に行うことが可能と
なる。

【００２９】

【実施例】以下、本発明に係るパターンデータ生成装置
を、例えば光磁気ディスクや磁気ディスク（以下、単に
ディスクと記す）を作製する際に用いられるレーザカッ
ティング装置に使用されるパターンデータ生成装置に適
用した実施例（以下、単に実施例に係る生成装置と記
す）を図１〜図１３を参照しながら説明する。

【００３０】この実施例に係る生成装置は、図１に示す
レーザカッティング装置に使用される。

【００３１】即ち、このレーザカッティング装置は、図
示するように、基本的には、上面にガラスなどの平滑な
円形基板１が載置されるターンテーブル２と、気体を増
幅媒質とするガスレーザ光源３と、このガスレーザ光源
３から出射されたレーザビームＬを、記録パターン信号
Ｓｗにて変調された超音波Ｗに基づいて強度変調する音
響光学変調器（Acousto Optic Modulator ；以下、単に
ＡＯＭと記す）４と、このＡＯＭ４にて強度変調された
レーザビームＬを、対物レンズ５に導くミラー６とから
構成されている。

【００３２】そして、上記円形基板１は、ターンテーブ
ル２上に例えば真空吸着によって、固定されており、こ
のターンテーブル２がスピンドルモータ（図示せず）に
よって回転駆動されることによって、例えばＣＡＶ（角
速度一定）方式で回転するようになっている。また、こ
の円形基板１上には、フォトレジスト膜７が一面に塗布
されている。対物レンズ５は、上記フォトレジスト膜７
上に所定間隔をもって対向して配されており、例えばス
テッピングモータを主体とする既知のスライド機構によ
って、ミラー６と共に円形基板１の径方向に移動するよ
うになっている。

【００３３】ここで、上記フォトレジスト膜７の感光材
料がポジ型の場合、上記レーザビームＬとしては、Ａｒ
レーザでは４５８ｎｍ、Ｈｅ−Ｃｄレーザでは４４２ｎ
ｍの発振波長のものが選定される。また、最近では、４
００ｎｍ付近の発振波長を有するＫｒレーザも使用され
る場合がある。また、これらのガスレーザ３は、ブリュ
ースター窓により直線偏光のレーザビームＬとして出射
される。

【００３４】一方、上記ＡＯＭ４には、超音波発生器８
が接続されており、この超音波発生器８は、発生した超
音波を、入力端子に供給される記録パターン信号（フォ
トレジスト膜７に描画する記録パターンが電気的に変換
された信号）Ｓｗに基づいて変調するものである。この
超音波発生器８にて変調された超音波Ｗは、ＡＯＭ４に
供給される。

【００３５】このＡＯＭ４は、例えばＴｅＯ₂ 結晶から
構成されており、超音波発生器８からの超音波供給によ
りその結晶中に生じた屈折率変化による位相回折格子を
用いて、そのブラッグ回折の１次回折光を信号記録に使
用するものである。回折光の強度は、超音波パワーで決
まり、回折方向はキャリア周波数で決まる。

【００３６】そして、上記記録パターン信号Ｓｗは、本
実施例に係る生成装置９にて作成される。この生成装置
９は、ＰＬＬ１０にて生成されたクロックパルスＳｃに
基づいて記録パターン信号Ｓｗを作成する。ＰＬＬ１０
は、スピンドルモータに取り付けられたロータリーエン
コーダ１１からの回転タイミングパルスＳｔをＡ逓倍し
たクロックパルスＳｃを発生する。

【００３７】次に、上記レーザカッティング装置にて本
実施例に係るディスクの原盤を作製する方法を説明す
る。

【００３８】まず、ガラスなどの平滑な円形基板１を研
磨し、この円形基板１上にフォトレジスト膜７を塗布す
る。その後、円形基板１をターンテーブル２上に固定
し、スピンドルモータにて例えばＣＡＶ方式で円形基板
１を回転させる。このとき、対物レンズ５及びミラー６
を円形基板１の径方向に移動させて、対物レンズ５でフ
ォトレジスト膜７上に集光したレーザスポットＬｓを円
形基板１の径に沿って一方向に移動させていく。

【００３９】そして、レーザビームＬをＡＯＭ４にてタ
ーンテーブル２の回転と同期してオン／オフすることに
より、フォトレジスト膜７上に、プリフォーマットデー
タパターンに応じたレジスト潜像が形成される。その
後、フォトレジスト膜７を現像することによって、円形
基板１上の例えばプリフォーマットデータに応じた部分
のフォトレジスト膜７が除去されることとなる。そし
て、残存するフォトレジスト膜７を含む全面に金属膜を
蒸着して金属原盤を作製する。その後、この金属原盤か
らマザー及びスタンパーを複製して、このスタンパーか
ら合成樹脂製のディスク基板を成形する。このとき、プ
リフォーマットデータパターンに対応する部分が例えば
凹部として形成される。

【００４０】そして、ディスク基板の凹部が形成されて
いる面に反射膜又は記録膜を形成することで光磁気ディ
スクが完成し、また、ディスク基板の凹部が形成されて
いる面に磁性膜を形成した後、凸部と凹部の磁化方向を
違えて磁化することで磁気ディスクが完成する。

【００４１】次に、上記レーザカッティング装置に接続
される本実施例に係る生成装置９のいくつかの実施例を
図２〜図１３に基づいて説明する。

【００４２】まず、第１実施例に係る生成装置は、図２
に示すように、ＰＬＬ１０からのクロックパルスＳｃに
基づいて円形基板１のレーザカッティング装置における
カッティングヘッドとの相対位置（回転角θ）を検出す
る相対位置検出回路２１と、この相対位置検出回路２１
からの検出データに基づいて座標データを出力する座標
データ生成回路２２と、この座標データ生成回路２２か
らの座標データに基づいたデータ列をシリーズに出力す
るデータ列発生回路２３とから構成されている。この例
でのＰＬＬ１０は、ロータリーエンコーダ１１からの回
転タイミングパルスＳｔをＡ逓倍してデータ記録再生に
おけるビット間隔と同じパルス周期のクロックパルスＳ
ｃを発生する。

【００４３】上記第１実施例に係る生成装置の具体的な
構成の一例を図３に基づいて説明する。まず、各回路の
具体的構成の説明に入る前に、この第１実施例における
セグメントの概念を説明すると、図４において、円形基
板１上を円周方向に等角度ピッチでＮｓ個の部分に分割
したとき、それらの１つ１つをセグメントと呼ぶことに
する。

【００４４】まず、上記相対位置検出回路２１は、バイ
トカウンタ３１とセグメントカウンタ３２にて構成され
ている。バイトカウンタ３１は、ＰＬＬ１０から出力さ
れるクロックパルスＳｃを計数して８クロックで１と数
える出力５ビットのカウンタであり、クロックパルスＳ
ｃが何バイト出力されたかを計数し、カウント値がディ
スクにおける記録フォーマットの１セグメント当りのバ
イト数に等しくなったとき、桁上がり用の出力端子ＲＣ
Ｏから桁上がりパルスが出力されて、カウント値が０
（零）にリセットされる。

【００４５】セグメントカウンタ３２は、上記バイトカ
ウンタ３１からの桁上がりパルスを計数する出力１０ビ
ットのカウンタであり、セグメント数を数える働きをす
る。カウント値がディスク一周当りのセグメント数に等
しくなったとき、桁上がり用の出力端子ＲＣＯから桁上
がりパルスが出力されて、カウント値が０（零）にリセ
ットされる。

【００４６】座標データ生成回路２２は、ＲＡＭにて構
成され、その配列変数領域に、例えば以下の表１に示す
ように、アドレス順次に例えば８ビット構成の座標デー
タがそれぞれ格納されている。そして、１０ビット配列
の入力端子に供給されるセグメントカウンタ３２からの
カウント値を読み出しアドレスＳとして上記配列変数領
域から座標データを読み出し、８ビット配列の出力端子
から上記読み出した座標データを出力する。

【００４７】

【表１】

【００４８】データ列発生回路２３は、ＲＡＭにて構成
され、その配列変数領域に、例えば以下の表２に示すよ
うに、セグメント単位に割り付けられたデータ列ファイ
ルが登録されている。各データ列ファイルには、それぞ
れ３２個分の８ビット構成のデータ（データ列）が格納
されている。なお、表２においては、ファイルの概念は
示さず、アドレスのみの概念でデータ列の配列を示す。
また、表２のデータ列において、レーザビームＬを照射
する場所を「１」、その他の部分を「０」とする。

【００４９】

【表２】

【００５０】そして、８ビット配列の入力端子に供給さ
れる座標データ生成回路２２からの座標データに基づい
て対応するデータ列ファイルを選択し、更に５ビット配
列の入力端子に供給されるバイトカウンタ３１からのカ
ウント値を読出しアドレス（読出し順序を示すデータ）
として、上記選択されたデータ列ファイルからデータを
読み出し、８ビット配列の出力端子から上記読み出した
データを出力する。

【００５１】そして、バイトカウンタ３１のカウント値
が順次更新されるごとに上記選択されたデータ列ファイ
ルに対する読出しアドレスが更新され、出力端子から
は、上記選択されたデータ列ファイルの先頭アドレスに
関するデータから最終アドレスに関するデータまでの３
２個分のデータがアドレス順次に出力されることにな
る。この出力されたデータは、次段のパラレル／シリア
ル変換器（以下、単にＰ／Ｓ変換器と記す）３３に供給
される。

【００５２】このＰ／Ｓ変換器３３は、８ビット配列の
入力端子に供給されたデータをＰＬＬ１０から出力され
るクロックパルスＳｃの出力タイミングに合わせてシリ
ーズな二値化データに変換する回路である。そして、こ
のＰ／Ｓ変換器３３から出力されたシリーズな二値化デ
ータは、ディスクのプリフォーマットデータとして上記
レーザカッティング装置における超音波発生器８に供給
されることになる。

【００５３】なお、上記データ列発生回路２３を構成す
るＲＡＭに登録されるデータ列ファイルの数は、座標デ
ータが８ビット構成であることから最大で２５６とな
る。即ち、３２個分の８ビットデータを有するデータ列
が最大で２５６種類格納可能となっている。

【００５４】次に、図４で示す円形基板１へのレーザ描
画パターン（ディスクパターン）、並びに上記表１及び
表２を参照しながら上記第１実施例に係る生成装置の動
作を説明する。なお、各セグメントのバイト長は、上記
バイトカウンタ３１の出力ビット数で決まり、この例で
は３２バイトである。

【００５５】まず、セグメントカウンタ３２から出力さ
れるカウント値が例えば“００００００００００”（セ
グメントアドレスＳ＝０）である場合、表１に示すよう
に、座標データ生成回路２２において座標データ“００
００００００”が選択され、この座標データが後段のデ
ータ列発生回路２３に供給される。データ列発生回路２
３においては、供給された座標データ生成回路２２から
の座標データに基づいてその座標データの内容（この場
合“００００００００”）に対応するデータ列ファイル
を選択する。

【００５６】即ち、上記表２において、セグメント番号
１に対応するデータ列が選択される。そして、５ビット
入力端子に供給されるバイトカウンタ３１からのカウン
ト値が順次更新されるごとに上記選択されたデータ列フ
ァイル（データ列０）からアドレス順次にデータを読み
出して後段のＰ／Ｓ変換器３３に出力する。そして、こ
のＰ／Ｓ変換器３３から上記データ列のデータが順次シ
リーズに出力され、円形基板１の上記セグメント番号Ｓ
に対応する部分（フォトレジスト膜７）に上記データ列
で示すデータパターンがレーザ描画される。

【００５７】そして、ロータリーエンコーダ１１からの
回転タイミングパルスＳｔの個数が円形基板１回転につ
きＢ個である場合、円形基板が（８×３２）／（Ａ・
Ｂ）回転ごとにセグメントカウンタ３２から出力される
カウント値（即ち、表１におけるセグメントアドレス番
号Ｓ）が順次更新されるため、上記データ列発生回路２
３からは、セグメント番号０，２，２，１，１・・・に
対応するデータ列が順次出力され、円形基板１のフォト
レジスト膜７には、円形基板１の回転角θに応じた一意
のデータパターンがレーザ描画される。

【００５８】従って、円形基板１上のＳ番目のセグメン
トに上記表２のセグメント番号０（カウント値＝“００
００００００”）で示したデータパターン（データ列０
で示すパターン）が形成され、Ｓ＋１番目のセグメント
に同じくセグメント番号０で示したデータパターンが形
成され、Ｓ＋２番目のセグメントにセグメント番号２
（カウント値＝“００００００１０”）で示したデータ
パターン（データ列２で示すパターン）が形成される。

【００５９】また、Ｓ＋３番目のセグメントに同じくセ
グメント番号２で示したデータパターンが形成され、Ｓ
＋４番目のセグメントにセグメント番号１（カウント値
＝“０００００００１”）で示したデータパターン（デ
ータ列１で示すパターン）が形成される。ここで、図４
においては、Ｓ番目及びＳ＋４番目のセグメントに形成
されるディスクパターンのみを示し、斜線で示したとこ
ろが、例えばレーザカッティング装置によってレーザビ
ームを照射する場所に相当する。

【００６０】このように、上記第１実施例に係るパター
ンデータ生成装置によれば、円形基板１の回転角θに応
じて座標データ生成回路２２からデータ列を選択するた
めの座標データを出力し、後段のデータ列発生回路２３
にて上記座標データに応じたデータ列を読み出し、バイ
トカウンタ３１からのカウント値（順序データ）の更新
に基づいてデータ列を構成するデータを順次出力するよ
うにしたので、所定の回転ピッチにて出力すべき出現頻
度の高いデータ列（サーボマークやクロックマーク等の
固定データ）と、ディスクの回転角θに応じて内容を変
化させる必要がある出現頻度の低いデータ列（例えばセ
グメントアドレスやセグメントに応じたＲＯＭ情報な
ど）をデータ列発生回路２３に記憶させておき、座標デ
ータ生成回路２２にディスクの回転角θに応じたデータ
列を示す座標データを記憶させておけば、ディスクの回
転角θに応じて、出現頻度の高いデータ列と出現頻度の
低いデータ列とを並べ換えて出力することが可能とな
り、ディスクに対して回転対称なパターンやその他種々
のパターンも書き込むことも可能となる。

【００６１】次に、第２実施例に係る生成装置を図５〜
図７に基づいて説明する。なお、第１実施例（図２〜図
４）と対応するものについては同符号を記す。

【００６２】この第２実施例に係る生成装置は、図５に
示すように、上記第１実施例に係る生成装置とほぼ同じ
構成を有するが、座標データ生成回路２２の前段に接続
される回路が、円形基板１のレーザカッティング装置に
おけるカッティングヘッドとの相対位置（回転角θ及び
半径方向の移動量ｒ）を検出する相対位置検出回路４１
である点と、図７に示すように、１つのセグメントのデ
ータ配列がセグメント長S.L.（バイト長）とセグメント
幅S.W.で決まる二次元配列になっている点で異なる。即
ち、この第２実施例においては、円形基板１上を円周方
向に等角度ピッチでＮｓ個、半径方向に等間隔にＮｒ個
の計Ｎｓ×Ｎｒ個の部分に分割したとの１つ１つの扇状
の部分がセグメントとなる。

【００６３】この第２実施例に係る生成装置の具体的な
構成の一例を図６に基づいて説明する。

【００６４】まず、上記相対位置検出回路４１は、バイ
トカウンタ３１、セグメントカウンタ３２及びセグメン
ト幅カウンタ４２にて構成されている。バイトカウンタ
３１及びセグメントカウンタ３２は、上記第１実施例に
おけるバイトカウンタ３１及びセグメントカウンタ３２
と同じであるため、ここではその説明を省略する。

【００６５】ここで、セグメント幅S.W.は、例えば図７
に示すように、１つのセグメントを構成するデータパタ
ーン領域が、第１実施例で示すような同心円上の１次元
的なデータパターン領域ではなく、円形基板１の径方向
の幅をも含めた二次元的なデータパターン領域（形状的
には扇状）であり、従って、この１つのセグメントを決
定するパラメータとしては、第１実施例で示したバイト
長のほかに径方向の幅が必要となり、この幅は円形基板
１の回転数で決定される。そして、この幅は、ディスク
の仕様によって決定される。

【００６６】そして、上記セグメント幅カウンタ４２
は、例えば上記セグメントカウンタ３２からの桁上がり
パルスを計数する出力６ビットのカウンタであり、円形
基板１の回転数を数える働きをする。カウント値が仕様
で決められた回転数に等しくなったとき、桁上がり用の
出力端子ＲＣＯから桁上がりパルスが出力されて、カウ
ント値が０（零）にリセットされる。

【００６７】上記座標データ生成回路２２は、上記第１
実施例と同じ構成を有し、その配列変数領域に、例えば
上記表１に示すように、アドレス順次に例えば８ビット
構成の座標データがそれぞれ格納されている。そして、
１０ビット配列の入力端子に供給されるセグメントカウ
ンタ３２からのカウント値を読出しアドレスＳとして上
記配列変数領域から座標データを読み出し、８ビット配
列の出力端子から上記読み出した座標データを出力す
る。

【００６８】データ列発生回路２３は、アドレス入力端
子として、バイトカウンタ３１からのカウント値が入力
される５ビット配列の入力端子と、座標データ生成回路
２２からの座標データが入力される８ビット配列の入力
端子と、セグメント幅カウンタ４１からのカウント値が
入力される６ビット配列の入力端子を有する。データ出
力端子は、第１実施例の場合と同様に８ビット配列であ
る。

【００６９】そして、このデータ列発生回路２３を構成
するＲＡＭの配列変数領域には、セグメント単位に割り
付けられた上位ファイルが登録され、各上位ファイルに
は、回転数単位に割り付けられた下位ファイルが登録さ
れている。各下位ファイルには、それぞれ３２個分の８
ビット構成のデータ（データ列）が格納されている。こ
れらファイルの概念をアドレスの概念として以下の表３
及び表４に示す。なお、表３及び表４においては、セグ
メント番号１及びセグメント番号２に関するデータ列の
みを示す。また、表３及び表４のデータ列において、レ
ーザビームＬを照射する場所を「１」、その他の部分を
「０」とする。

【００７０】

【表３】

【００７１】

【表４】

【００７２】そして、８ビット配列の入力端子に供給さ
れる座標データ生成回路２２からの座標データに基づい
て対応する上位ファイルを選択し、この選択した上位フ
ァイルに登録されている多数の下位ファイル中、６ビッ
ト配列の入力端子に供給されるセグメント幅カウンタ４
２からのカウント値に基づいた１つの下位ファイルを選
択する。更に５ビット配列の入力端子に供給されるバイ
トカウンタ３１からのカウント値を読出しアドレス（読
み出し順序を示すデータ：順序データ）として、上記選
択された下位ファイルからデータを読み出し、８ビット
配列の出力端子から上記読み出したデータを出力する。

【００７３】そして、バイトカウンタ３１のカウント値
が順次更新されるごとに上記選択された下位ファイルに
対する読出しアドレスが更新され、出力端子からは、上
記選択された下位ファイルの先頭アドレスに関するデー
タから最終アドレスに関するデータまでの３２個分のデ
ータがアドレス順次に出力されることになる。この出力
されたデータは、次段のＰ／Ｓ変換器３３に供給され
て、ＰＬＬ１０から出力されるクロックパルスＳｃの出
力タイミングに合わせてシリーズな二値化データに変換
される。

【００７４】このＰ／Ｓ変換器３３から出力されたシリ
ーズな二値化データは、ディスクのプリフォーマットデ
ータとして上記レーザカッティング装置における超音波
発生器８に供給される。

【００７５】なお、上記データ列発生回路２３を構成す
るＲＡＭに登録される上位ファイルの数は、座標データ
が８ビット構成であることから最大で２５６となる。ま
た、１つの上位ファイル内に登録される下位ファイルの
数は、セグメント幅カウンタからのカウント値が６ビッ
ト構成であることから最大で６４となる。このことか
ら、３２個分の８ビットデータを有するデータ列が最大
で２５６×６４＝１６３８４種類格納可能となってい
る。

【００７６】次に、図７で示す円形基板へのレーザ描画
パターン（ディスクパターン）、特にセグメントアドレ
スＳとＳ＋４におけるパターン、並びに表１、表３及び
表４を参照しながら上記第２実施例に係る生成装置の動
作を説明する。なお、各セグメントのバイト長は、上記
バイトカウンタ３１の出力ビット数で決まり、この例で
は３２バイトである。

【００７７】まず、円形基板１上のＳ番目のセグメント
においては、例えばＳを“００００００００００”とし
たとき、表３に示すように、座標データ生成回路２２に
おいて座標データ“００００００００”が選択され、こ
の座標データが後段のデータ列発生回路２３に供給され
る。データ列発生回路２３においては、供給された座標
データ生成回路２２からの座標データに基づいてその座
標データの内容（この場合、“００００００００”）に
対応する上位ファイルを選択する。即ち、セグメント番
号０に関する上記表３で示すファイルが選択される。

【００７８】そして、このセグメント番号０に関してだ
けみると、６ビット入力端子に供給されるセグメント幅
カウンタ４２からのカウント値が円形基板１の回転に伴
って、順次更新されるごとに、上記選択された上位ファ
イルから下位ファイルが順次選択され、同時に５ビット
入力端子に供給されるバイトカウンタ３１からのカウン
ト値が順次更新されるごとに上記選択された下位ファイ
ル（データ列）からアドレス順次にデータが読み出され
て後段のＰ／Ｓ変換器３３に出力される。そして、この
Ｐ／Ｓ変換器３３から上記データ列のデータが順次シリ
ーズに出力され、円形基板１の上記セグメントアドレス
Ｓに対応する扇型の部分（フォトレジスト膜７）に上記
選択された上位ファイル（セグメント番号０）内のデー
タ列群で示す一意のデータパターンがレーザ描画され
る。

【００７９】円形基板１のＳ＋４番目のセグメントにお
いても同様に、今度は、表４で示す上位ファイルが選択
され、円形基板１の上記セグメントアドレスＳ＋４に対
応する扇型の部分（フォトレジスト膜７）に上記選択さ
れた上位ファイル（セグメント番号１）内のデータ列群
で示す一意のデータパターンがレーザ描画される。

【００８０】実際には、円形基板１が１回転する間に、
即ち、円形基板１が（８×３２）／（Ａ・Ｂ）回転ごと
にセグメントカウンタ３２から出力されるカウント値
（即ち、表３におけるセグメントアドレス番号Ｓ）が順
次更新されることから、表３からわかるように、円形基
板１が１回転する間にセグメント番号が０，０，２，
２，１，１・・・と順次更新されることになる。

【００８１】従って、円形基板１が１回転する間に、セ
グメント番号０，０，２，２，１，１・・・に対応する
上位ファイルが順次選択され、このときの円形基板１の
回転数にて上記選択された上位ファイルにおける下位フ
ァイル（データ列）が選択されることになる。

【００８２】このことから、上位ファイルの選択パラメ
ータをセグメント幅カウンタ４２からの回転数を示すカ
ウント値とし、下位ファイルの選択パラメータをセグメ
ントカウンタ３２からのカウント値としてもよい。この
場合、上位及び下位ファイルの配列を連続変化するレー
ザカッティング装置のカッティングヘッドの相対位置に
対応した配列関係とすることができるため、アクセスタ
イムの短縮化を図ることが可能となる。

【００８３】このように、上記第２実施例に係る生成装
置によれば、円形基板１の回転角θ及び半径方向の変化
量ｒに応じて座標データ生成回路２２からデータ列を選
択するための座標データを出力し、後段のデータ列発生
回路２３から、上記座標データに応じたデータ列を読み
出し、バイトカウンタ３１からのカウント値（順序デー
タ）の更新に基づいてデータ列を構成するデータを順次
出力するようにしたので、第１実施例と同様に、所定の
回転ピッチにて出力すべき出現頻度の高いデータ列（サ
ーボマークやクロックマーク等の固定データ）と、ディ
スクの回転角θ及び半径方向の変化量ｒに応じて内容を
変化させる必要がある出現頻度の低いデータ列（例えば
セグメントアドレスやセグメントに応じたＲＯＭ情報な
ど）を、ディスクの回転角及び半径に応じて、並べ換え
て出力することが可能となり、ディスクに対して回転対
称なパターンやその他種々のパターンも書き込むことも
可能となる。

【００８４】特に、この第２実施例においては、図７に
示すように、例えば複数のセグメント幅にわたって１ト
ラック幅のトラックパターンを構成することが可能とな
る、即ち１トラック分のパターンデータを複数回転分の
フォーマットデータに分割して出力することができるた
め、トラックを横切る方向で構造が変化するような２次
元的に入り組んだデータパターンを形成することができ
る。

【００８５】次に、第３実施例に係る生成装置を図８〜
図１３に基づいて説明する。なお、第１実施例（図２〜
図４）と対応するものについては同符号を記す。

【００８６】この第３実施例に係る生成装置は、上記第
１実施例及び第２実施例に係る生成装置とは異なり、デ
ィスクの径方向に対して円弧状にデータパターンを形成
することができるようにしたものである。即ち、上記第
１及び第２実施例は、図８に示すように、円形基板（又
はディスク）の回転中心を原点とする極座標上の格子点
でのフォーマットデータを生成していることに相当する
ため、図示するように、放射直線状に限られることとな
る。

【００８７】そこで、この第３実施例においては、図１
０に示すように、第１実施例又は第２実施例に係る生成
装置の後段に遅延付加手段４５を接続して構成する。こ
の遅延付加手段４５は、カッティングヘッドの半径方向
の相対位置を検出するヘッド位置検出回路４６からの検
出信号に基づく遅延量を生成装置からのフォーマットデ
ータに付加するものである。

【００８８】この第３実施例に係る生成装置の具体的な
構成の一例を図１１に基づいて説明する。

【００８９】この第３実施例に係る生成装置は、上記第
１実施例及び第２実施例に係る生成装置の後段に多段の
遅延線Ｃ1，Ｃ2，Ｃ3，Ｃ4・・・Ｃnがそれぞれ直列に
接続された遅延回路４５を接続して構成されている。そ
して、生成装置からの出力並びに各遅延線Ｃ1，Ｃ2，Ｃ
3，Ｃ4・・・Ｃnからの出力が多入力１出力のセレクタ
４７に供給されるように配線されている。セレクタ４７
は、その多数の入力端子のうち、後述する遅延量設定メ
モリを有する制御回路４８からの出力に応じて選択され
た１つの入力端子と出力端子とが接続されて、その選択
された入力端子に供給された出力が出力端子を介してフ
ォーマットデータとして出力されるようになっている。

【００９０】上記制御回路４８は、その前段にヘッド位
置検出回路４６が接続されている。このヘッド位置検出
回路４６は、カッティングヘッドを円形基板１の径方向
に移動させるためのスライド機構に取り付けられたスラ
イド式のエンコーダもしくはこのスライド機構の駆動源
となる例えばステッピングモータに取り付けられたロー
タリーエンコーダ等で構成される。

【００９１】また、上記制御回路４８内に組み込まれた
遅延量設定メモリは、例えばＲＡＭにて構成され、その
配列変数領域に遅延量テーブルが登録されている。この
遅延量テーブルは、上記ヘッド位置検出回路４６からの
位置検出データ（半径データ）に対応した遅延量データ
（この場合、選択する入力端子に関するデータ）が登録
されている。即ち、この遅延量設定メモリにおいては、
例えばヘッド位置検出回路４６からの位置検出データ
（半径データ）を読出しアドレスとして、遅延量テーブ
ルから対応する遅延量データが取り出せるようになって
いる。

【００９２】そして、制御回路４８は、取り出した遅延
量データをセレクタ４７に出力する。セレクタ４７は、
供給された遅延量データに応じた入力端子を選択して、
その入力端子に供給されているパターンデータを出力端
子を介してフォーマットデータとして出力する。

【００９３】即ち、上記遅延回路４５は、カッティング
ヘッドの半径方向の相対位置に応じて遅延線の段数が変
化することと等価となる。このことから、例えばカッテ
ィングヘッドによるレーザ描画を円形基板１の内周側か
らはじめたとすると、図１２に示すように、その最内周
におけるレーザ描画の開始点を通る径方向の線を基準線
としたとき、外周側に向かって徐々に遅延線の段数を増
加するように遅延量データを設定すれば、その基準線を
通るタイミングで発生する基準パルス（例えばロータリ
ーエンコーダ１１からの回転タイミングパルス）の出力
タイミングを始点として、外周側に向かうほどそのフォ
ーマットデータの出力タイミングが徐々に遅延されるこ
ととなる。図示の例では、最内周のフォーマットデータ
は、その遅延量が０で上記基準パルスと同時に出力され
るが、１周目、２周目、３周目・・・ｎ周目となるに従
って、遅延量がＤ(r1)、Ｄ(r2)、Ｄ(r3)、Ｄ(rn)（Ｄ(r
1)＜Ｄ(r2)＜Ｄ(r3)＜Ｄ(rn)）というように順次付加さ
れた例を示す。

【００９４】このように、フォーマットデータに付加す
る遅延量を外周側に向かって徐々に増大するように設定
することにより、図９に示すように、各周のフォーマッ
トデータの基点（例えばクロックマーク）を結ぶ線がデ
ィスクの半径方向に対して円弧を描くかたちとなり、自
由度の高いフォーマットパターンが実現される。特に、
１つの遅延線での遅延量をＰＬＬ１０のクロック周期よ
りも十分小さくなるように設定すると、上記基点（クロ
ックマーク）を結ぶ線が滑らかな円弧を描くかたちにフ
ォーマットパターンを形成することができる。

【００９５】次に、第３実施例に係る生成装置の他の例
を図１３を参照しながら説明する。この生成装置は、図
示するように、図３で示す第１実施例に係る生成装置に
おいて、バイトカウンタ３１のリセットタイミングを可
変にする第１の遅延回路４５ＡとＰ／Ｓ変換器３３から
のパターンデータに遅延をかける第２の遅延回路４５Ｂ
を接続して構成されるものである。

【００９６】第１の遅延回路４５Ａは、バイトカウンタ
３１のリセット端子に接続されるリセットタイミング生
成回路にて構成され、第２の遅延回路４５Ｂは、Ｐ／Ｓ
変換器３３の後段に接続されたｎクロック遅延回路５１
と、上記ＰＬＬ１０とこのｎクロック遅延回路５１間に
接続されたＰＬＬ５２とから構成されている。そして、
上記リセットタイミング生成回路４５Ａとｎクロック遅
延回路５１には、後述するディレイコントローラ５３か
らの遅延データ（整数データ）がそれぞれ入力されるよ
うになっている。

【００９７】ディレイコントローラ５３は、１０ビット
配列の入力端子と９ビット配列の出力端子を有し、上記
入力端子には、ヘッド位置検出回路４６からの１０ビッ
トデータが供給されるようになっている。そして、ディ
レイコントローラ５３の出力端子から出力されるデータ
中、上位の４ビットデータがｎクロック遅延回路５１に
入力され、下位の５ビットデータがリセットタイミング
生成回路４５Ａに入力されるようになっている。このデ
ィレイコントローラ５３には、上記図１１で示した制御
回路４８内の遅延量設定メモリに登録されている遅延量
テーブルとほぼ同じようなデータテーブルが登録されて
おり、ヘッド位置検出回路４６からの位置検出データに
応じた４ビット整数データ及び５ビット整数データがア
ドレス順次に登録されている。各整数データを読み出す
場合は、例えばヘッド位置検出回路４６からの位置検出
データを読出しアドレスとしてデータテーブルから各整
数データを読み出すようになっている。

【００９８】ここで、ＰＬＬ１０から出力されるクロッ
クパルスＳｃの周期（即ち、ビット周期）をＭ、ＰＬＬ
５２から出力されるクロックパルスの周期をｍとする
と、その周期の大小関係はＭ＞ｍとなる。従って、この
実施例では、リセットタイミング生成回路４５Ａによっ
て、バイトカウンタ３１のリセットタイミングが正規の
タイミングよりＭ×Ｎ遅れて出され、更にＰ／Ｓ変換器
３３の出力がｍ×ｎだけ遅れて出される。その結果、ト
ータルの遅延量Ｄ(r) は、以下の数１で表される。

【００９９】

【数１】Ｄ(r) ＝Ｍ×Ｎ＋ｍ×ｎ

【０１００】このようにして、カッティングヘッドの位
置に応じて呼び出された遅延量がフォーマットデータに
付加されて出力されることになり、図９に示すように、
各周のフォーマットデータの基点（例えばクロックマー
ク）を結ぶ線がディスクの半径方向に対して円弧を描く
かたちとなり、自由度の高いフォーマットパターンが実
現される。

【０１０１】このように、上記第３実施例に係る生成装
置においては、円形基板１（又はディスク）の半径デー
タに応じてデータ列が遅延されて出力されるため、フォ
ーマットデータの基点（例えばクロックマーク）の径方
向の配列が円形基板１（又はディスク）の半径方向に対
して円弧を描くこととなる。このことから、遅延付加手
段４５におけるデータ列に対する遅延量を回動型位置決
め駆動系の移動軌跡に沿うように設定することが可能と
なり、上記基点の配列を回動型位置決め駆動系の移動軌
跡に沿わせることができる。従って、記録再生ヘッドの
位置決め駆動系として、外乱に強い回動型位置決め駆動
系を用いることができ、ディスクに対する情報信号の記
録再生を良好に行うことが可能となる。

【０１０２】なお、上記第１〜第３実施例においては、
座標データ生成回路、データ列発生回路をＲＡＭにて構
成したが、その他、ＲＯＭ（例えばＥＥＰＲＯＭ等）で
構成することも可能である。また、第３実施例におい
て、図１１で示した制御回路４８内の遅延量設定メモリ
をＲＡＭにて構成する例を示したが、この場合もＲＯＭ
（例えばＥＥＰＲＯＭ等）で構成することも可能であ
る。

【０１０３】

【発明の効果】上述のように、本発明に係るパターンデ
ータ生成装置によれば、円盤状記録媒体上に形成するデ
ータパターンの少なくとも一部をデータ列として記憶す
る第１の記憶手段と、データ列を出力する順序又は上記
データ列を出力する座標を記憶する第２の記憶手段を具
備し、データ列を円盤状記録媒体の回転角に応じて並べ
換えて出力する、あるいは円盤状記録媒体上に形成する
データパターンの少なくとも一部を２次元のデータ列と
して記憶する第１の記憶手段と、データ列を出力する順
序又は上記データ列を出力する座標を記憶する第２の記
憶手段を具備し、データ列を円盤状記録媒体の回転角と
円盤状記録媒体の半径に応じて並べ換えて出力するよう
にしたので、例えばレーザカッティング装置を用いて、
ディスクの原盤にフォーマットデータパターンを形成す
る場合において、例えば出現頻度の高いパターンと出現
頻度の低いパターンを混合してフォーマットデータパタ
ーンを作成したり、フォーマットデータパターンを回転
対称なパターンとするなど、フォーマットデータパター
ンの形成に際して自由度の高いパターンを生成すること
ができる。

【０１０４】また、本発明に係るパターンデータ生成装
置によれば、上記第１の記憶手段及び第２の記憶手段に
加えて、円盤状記録媒体の半径に応じて、データ列に所
定の遅延量を付加して出力する遅延手段を具備するよう
にしたので、上記効果に加えて、外乱に強い回動型位置
決め駆動系の使用を有効に図ることができるフォーマッ
トデータパターンの形成を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るパターンデータ生成装置が適用さ
れるレーザカッティング装置を示す構成図である。

【図２】第１実施例に係るパターンデータ生成装置の概
略構成を示すブロック図である。

【図３】第１実施例に係るパターンデータ生成装置の具
体的な構成の一例を示すブロック図である。

【図４】第１実施例に係るパターンデータ生成装置にお
いて、円形基板（又はディスク）に形成されるフォーマ
ットデータのパターンデータの一例を示す説明図であ
る。

【図５】第２実施例に係るパターンデータ生成装置の概
略構成を示すブロック図である。

【図６】第２実施例に係るパターンデータ生成装置の具
体的な構成の一例を示すブロック図である。

【図７】第２実施例に係るパターンデータ生成装置にお
いて、円形基板（又はディスク）に形成されるフォーマ
ットデータのパターンデータの一例を示す説明図であ
る。

【図８】第１実施例及び第２実施例に係るパターンデー
タ生成装置にて形成されるフォーマットデータの形成パ
ターンを示す概念図である。

【図９】第３実施例に係るパターンデータ生成装置にて
形成されるフォーマットデータの形成パターンを示す概
念図である。

【図１０】第３実施例に係るパターンデータ生成装置の
概略構成を示すブロック図である。

【図１１】第３実施例に係るパターンデータ生成装置の
具体的な構成の一例を示すブロック図である。

【図１２】第３実施例に係るパターンデータ生成装置に
おいて、フォーマットデータに付加する遅延量の概念を
示す説明図である。

【図１３】第３実施例に係るパターンデータ生成装置の
具体的な構成の他の例を示すブロック図である。

【図１４】サンプルサーボ方式の光磁気ディスクにおけ
る記録フォーマットの一例を示す説明図である。

【図１５】サンプルサーボ方式の磁気ディスクにおける
記録フォーマットの一例を示す説明図である。

【図１６】図１４ＡにおけるＡ−Ａ線上の断面図であ
る。

【図１７】図１５ＡにおけるＢ−Ｂ線上の断面図であ
り、同図Ａはディスク基板に凹部を形成したものを示
し、同図Ｂはディスク基板に凹部は設けず、磁性膜をパ
ターニングした例を示す。

【図１８】従来例に係るパターンデータ生成装置の構成
を示すブロック線図である。

【図１９】従来例における１つの不都合点を示す説明図
である。

【符号の説明】１円形基板２ターンテーブル３ガスレーザ光源４ＡＯＭ５対物レンズ７フォトレジスト膜８超音波発生器９パターンデータ生成装置１０ＰＬＬ１１ロータリーエンコーダ２１相対位置検出回路（回転角θ）２２座標データ生成回路２３データ列発生回路３１バイトカウンタ３２セグメントカウンタ３３Ｐ／Ｓ変換器４１相対位置検出回路（回転角θ及び半径方向の変化
量ｒ）４２セグメント幅カウンタ４５遅延付加手段（遅延回路）４５Ａ第１の遅延回路４５Ｂ第２の遅延回路４６ヘッド位置検出回路４７セレクタ４８制御回路５１ｎクロック遅延回路５２ＰＬＬ５３ディレイコントローラ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】円盤状記録媒体に予めクロック情報、サ
ーボ情報、又は読出し専用情報等のプリフォーマットデ
ータパターンを形成するための円盤状記録媒体の製造装
置に用いられ、上記プリフォーマットデータパターンに
応じたパターンデータを生成して上記製造装置に供給す
るデータパターン生成装置において、円盤状記録媒体上に形成するデータパターンの少なくと
も一部をデータ列として記憶する第１の記憶手段と、上記データ列を出力する順序又は上記データ列を出力す
る座標を記憶する第２の記憶手段を備え、上記データ列を上記円盤状記録媒体の回転角に応じて並
べ換えて出力することを特徴とするパターンデータ生成
装置。
【請求項２】円盤状記録媒体に予めクロック情報、サ
ーボ情報、又は読出し専用情報等のプリフォーマットデ
ータパターンを形成するための円盤状記録媒体の製造装
置に用いられ、上記プリフォーマットデータパターンに
応じたパターンデータを生成して上記製造装置に供給す
るデータパターン生成装置において、上記円盤状記録媒体上に形成するデータパターンの少な
くとも一部を２次元のデータ列として記憶する第１の記
憶手段と、上記データ列を出力する順序又は上記データ列を出力す
る座標を記憶する第２の記憶手段を備え、上記データ列を上記円盤状記録媒体の回転角と上記円盤
状記録媒体の半径に応じて並べ換えて出力することを特
徴とするパターンデータ生成装置。
【請求項３】１トラックピッチ分のデータパターンを
複数回転分に分割して出力することを特徴とする請求項
２記載のパターンデータ生成装置。
【請求項４】上記円盤状記録媒体の半径に応じて、上
記データ列に所定の遅延量を付加して出力する遅延手段
を備えたことを特徴とする請求項１、２又は３記載のパ
ターンデータ生成装置。