JPH06213734A - 荷重検出装置 - Google Patents

荷重検出装置

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JPH06213734A
JPH06213734A JP646193A JP646193A JPH06213734A JP H06213734 A JPH06213734 A JP H06213734A JP 646193 A JP646193 A JP 646193A JP 646193 A JP646193 A JP 646193A JP H06213734 A JPH06213734 A JP H06213734A
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JP
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load
strain
resistor
fired
thick film
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JP646193A
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English (en)
Inventor
Yukito Onishi
幸人 大西
Yujiro Nagai
祐二郎 永井
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Unisia Jecs Corp
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Publication date
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  • Measurement Of Force In General (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 温度による特性の変化や経時劣化を減少させ
て精度および信頼性を向上させ、製造を容易として生産
性を向上させ、出力感度を高めて検出精度を向上できる
荷重検出装置の提供。 【構成】 ホイートストンブリッジ回路において、対向
する一方の組の抵抗体厚膜6c1 ,6c3 を荷重入力に
より歪みが生じる起歪体6aに対して焼成し、対向する
もう一方の組の抵抗体厚膜6c2 ,6c4 を起歪体6a
と並列に設けられていて荷重入力が伝達されない基盤体
6jに対して焼成し、各抵抗体厚膜6cをホイートスト
ンブリッジ回路を構成するように接続するための結線
を、起歪体6aおよび基盤体6jに対してそれぞれ焼成
した導体厚膜6dで形成し、起歪体6aに焼成される一
方の組の抵抗体厚膜6c1 ,6c3 の歪検出方向を荷重
検出方向とし、基盤体6jに焼成されるもう一方の組の
抵抗体厚膜6c2 ,6c4 の歪検出方向を荷重検出方向
と交差する方向とした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、荷重を検出する荷重検
出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、荷重検出装置として、例えば、図
8に示しているようなものが知られている。この荷重検
出装置61は、円筒状の起歪体61aと、この起歪体6
1aの外周面に等間隔に貼着されている抵抗素子61b
と、この抵抗素子61bをホイートストンブリッジ回路
を構成するように接続する結線61cとで構成されてい
る。
【0003】そして、この荷重検出装置61は、荷重が
起歪体61aに加わると、起歪体61aが荷重に応じて
圧縮変形する。そして、これに伴って起歪体61aに貼
着されている抵抗素子61bにも歪みが生じ、電気抵抗
値が変化する。すると、抵抗値の変化に応じてホイート
ストンブリッジ回路の出力電圧が変化するので、出力電
圧の変化分を検出することにより荷重が検出される。な
お、このような荷重検出装置として、特開昭62−50
601号公報に記載されているものが公知である。
【0004】ところで、上述のような抵抗素子61bが
温度の影響を受けて、ホイートストンブリッジ回路の零
点が変化することのないように(零点ドリフト=0とな
るように)、無負荷時にホイートストンブリッジ回路の
出力電圧e0 が0となるべく各抵抗素子61bの抵抗値
を設定することが好ましい。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
荷重検出装置にあっては、抵抗素子を起歪体に貼着した
構造であったため、抵抗素子を貼着する接着材の温度に
よる特性の変化や経時劣化等で荷重を検出する精度や信
頼性が低下するという問題があるし、また、生産性が悪
いという問題がある。
【0006】さらに、零点ドリフトが生じないように無
負荷時の出力電圧を0に設定しようとすると、各抵抗素
子の抵抗値をあらかじめ正確に測定する必要があり、こ
れによっても手間がかかって生産性が悪いという問題が
生じる。
【0007】また、抵抗素子のゲージ率がせいぜい2程
度で出力電圧が小さいことから荷重入力に対する出力感
度が低く、このため、高い増幅率が必要となって検出精
度が悪くなるという問題がある。
【0008】本発明は、上記の問題に着目してなされた
もので、温度による特性の変化や経時劣化を減少させて
精度および信頼性を向上させると共に、製造を容易とし
て生産性を向上することができ、かつ、出力感度を高め
て検出精度を向上させることができる荷重検出装置を提
供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の荷重検出装置は、ホイートストンブリッジ回
路を構成するように接続されていてその歪み量に応じて
抵抗値が変化する4つの抵抗素子を抵抗体厚膜で形成
し、前記ホイートストンブリッジ回路において、対向す
る一方の組の抵抗体厚膜を荷重入力により歪みが生じる
起歪体に対して焼成し、対向するもう一方の組の抵抗体
厚膜を前記起歪体と並列に設けられていて荷重入力が伝
達されない基盤体に対して焼成し、前記各抵抗体厚膜を
ホイートストンブリッジ回路を構成するように接続する
ための結線を、前記起歪体および基盤体に対してそれぞ
れ焼成した導体厚膜で形成し、前記起歪体に焼成される
一方の組の抵抗体厚膜の歪検出方向を荷重検出方向と
し、基盤体に焼成されるもう一方の組の抵抗体厚膜の歪
検出方向を荷重検出方向と交差する方向とした手段とし
た。
【0010】
【作用】本発明の荷重検出装置を製造する際には、起歪
体および基盤体の所定位置に抵抗体厚膜を焼成すると共
に、ホイートストンブリッジ回路を形成するようにこの
抵抗体厚膜を接続するようにして導体厚膜を焼成する。
【0011】このようにして形成した抵抗体厚膜の無負
荷時の抵抗値は、例えば、トリミングによって任意に設
定することができる。また、各厚膜は焼成しているの
で、温度的に安定していると共に、経時変化も生じにく
い。
【0012】また、抵抗体厚膜はその材質を適切に選択
することにより、一般の金属歪ゲージより高いゲージ率
をを得ることができ、それにより、荷重検出精度を向上
させることが可能となる。
【0013】また、起歪体に対する荷重入力があると、
該起歪体に歪が発生し、該起歪体に焼成された歪検出方
向を荷重検出方向とする一方の組の抵抗体厚膜ではその
抵抗値が減少することでホイートストンブリッジ回路の
出力電圧を増加させる方向に作用するのに対し、歪検出
方向を荷重検出方向と交差する方向とするもう一方の組
の抵抗体厚膜では、そのゲージ率が高い(約2.6 以上)
場合には、荷重入力に対してその抵抗値が減少すること
でホイートストンブリッジ回路の出力電圧を減少させる
方向に作用してしまうことになる。
【0014】ところが、この発明では、歪発生方向を荷
重検出方向とする一方の組の抵抗体厚膜は荷重入力が伝
達されない基盤体に焼成されていることから、抵抗値の
変化(減少)による出力電圧の減少を防止することがで
きる。
【0015】したがって、歪検出方向を荷重検出方向と
する一方の組の抵抗体厚膜における大きな抵抗値変化
(減少)に基づいて大きな出力電圧を得ることができ、
これにより、荷重入力に対する高い出力感度が得られて
検出精度が向上する。
【0016】
【実施例】本発明実施例の荷重検出装置を図面に基づい
て説明する。まず、構成を説明する。
【0017】図2は本発明実施例の荷重検出装置が適用
されているサスペンションのアッパマウント部を示す断
面図で、図中、1はアッパマウントで、その外側シェル
1aは車体2に支持されている。また、アッパマウント
1の内側シェル1bの底部には、ストラットSTのスト
ラットロッド3の上端に設けたねじ部3aが、下方から
挿通され、このねじ部3aの挿通端側にスペーサ4を介
しナット5を螺合して締め付けることにより、ストラッ
トロッド3をアッパマウント1にマウントしている。ま
た、前記内側シェル1bの底部と、これに対向するスト
ラットロッド3の端部3bとの間には、サスペンション
にかかる荷重を検出する荷重検出装置6が介在され、こ
の荷重検出装置6は、前記ナット5により締め付けられ
ている。なお、図中7は、バンパラバーであり、また、
8はサスペンションスプリングであり、9はバンパラバ
ー7およびサスペンションスプリング8の上端が係合す
る受部材である。
【0018】次に、前記荷重検出装置6は、図1の断面
図に示すように、起歪体6aと、基盤体6jと、回路部
6kと、ケーシング6mとを有している。そして、前記
ケーシング6mは、環状底板部6pと円筒状周壁部6r
とで断面L字型の環状に形成されている。
【0019】前記起歪体6aは図3の斜視図および図4
の展開図に示すように円筒状に形成されると共に、その
外周面には絶縁厚膜6bが形成され、さらに該絶縁厚膜
6bの上面には、その歪検出方向を荷重検出方向とする
2つの軸方向(縦方向)抵抗体厚膜6c1 ,6c3 が直
径方向に対向する状態で形成されている。そして、この
起歪体6aは、図1に示すように、その下端面をケーシ
ング6mにおける環状底板部6pの内側上面に当接させ
た状態で設けられている。
【0020】前記基盤体6jは図5の斜視図および図6
の展開図に示すように、前記起歪体6aの外径より大径
の内径を有すると共に、起歪体6aよりは軸方向に短い
円筒状に形成されると共に、その外周面には絶縁厚膜6
bが形成され、さらに該絶縁厚膜6bの上面には、その
歪検出方向を荷重検出方向と直交する方向とする2つの
周方向(横方向)抵抗体厚膜6c2 ,6c4 が直径方向
に対向する状態で形成されている。そして、この基盤体
6jは、起歪体6aの外周側に並列状態で装着され、そ
の下端面をケーシング6mにおける環状底板部6pの上
面に当接させた状態で設けられている。
【0021】図1に戻り、前記回路部6kは、ホイート
ストンブリッジ回路および増幅回路を構成する電子部品
を組み込んだプリント基盤6nを有している。そして、
このプリント基盤6nは、その内周側を前記基盤体6j
の上面側に当接固定する状態で設けられると共に、この
プリント基盤6nと基盤体6jとは、起歪体6aとケー
シング6mとの間に形成される中空部内に充填された絶
縁材料6s内に埋設された状態で設けられている。
【0022】また、前記起歪体6aおよび基盤体6jに
は、前記各抵抗体厚膜6c(6c1,6c2 ,6c3
6c4 )を、図7に示すようなホイートストンブリッジ
回路を形成するように接続するための導体厚膜6dがそ
れぞれ形成されている。すなわち、2つの軸方向(縦方
向)抵抗体厚膜6c1 ,6c3 同士、および、2つの周
方向(横方向)抵抗体厚膜6c2 ,6c4 同士がそれぞ
れ対向するような結線状態となっている。また、前記各
導体厚膜6dの先端部には、図4および図5に示すよう
に端子6e,6f,6g,6hが形成されていて、両端
子6e,6g間に電源Eが接続され、かつ、両端子6
f,6hが出力電圧e0 を取り出す出力端子として、増
幅回路に接続されている。
【0023】そして、この起歪体6aの外周面におい
て、各抵抗体厚膜6c,導体厚膜6dおよび各端子6
e,6f,6g,6h以外の部分には、絶縁厚膜6bが
形成されている。なお、各厚膜6b,6c,6dおよび
各端子各端子6e,6f,6g,6hは、無機質材料を
素材として焼成により形成されている。また、各抵抗体
厚膜6c1 ,6c2 ,6c3 ,6c4 の抵抗値は、それ
ぞれR1 ,R2 ,R3 ,R4 とする。
【0024】そして、軸方向(縦方向)抵抗体厚膜6c
1 ,6c3 は特にゲージ率Kfv の大きな( 7〜10)材質
で形成される一方、周方向(横方向)抵抗体6c2 ,6
4についてもゲージ率Kfh0が2.6 以上の材質で形成さ
れている。
【0025】前記荷重検出装置6は、内側シェル1bの
底部と、これに対向するストラットロッド3の端部3b
との間に、起歪体6a部分のみが挟持されていて、該起
歪体6a部分に荷重が入力される一方で、その他の部
分、特に、周方向(横方向)抵抗体6c2 ,6c4 が設
けられる基盤体6jに対しては荷重入力が伝達されない
ような構造となっている。
【0026】すなわち、各周方向(横方向)抵抗体厚膜
6c2 ,6c4 対する荷重入力の伝達を回避することに
より、その抵抗値R2 ,R4 が変化(減少)するのを防
止するような構造となっている。
【0027】次に、作用を説明する。
【0028】本実施例の荷重検出装置6を製造する手順
について説明すると、まず、円筒形状の起歪体6aおよ
び基盤体6jの外周面に絶縁厚膜6bを焼成する。次
に、各導体厚膜6dを焼成する。最後に、各抵抗体厚膜
6cを所定の位置に焼成する。なお、焼成に際し、起歪
体6aに印刷するが、起歪体6aおよび基盤体6jは円
筒形状であるので、例えば、特開平2−151701号
公報に記載されているような吹き付けによる印刷を行
う。ちなみに、起歪体または基盤体が平面形状である場
合や、印刷の後に円筒形に加工するような場合には、こ
の印刷に際して、例えば、特公昭55−52924号公
報に記載されているようなスクリーン印刷を用いること
ができる。
【0029】ところで、荷重検出装置6にあっては、温
度変化等により無負荷時の出力電圧e0 が変化すること
のないように(零点ドリフトが生じないように)、無負
荷時の出力電圧が0となるように設定するのが好まし
い。この場合、各抵抗体厚膜6cの抵抗値がR1 =R
4 ,R2 =R3 となるように設定するもので、各抵抗体
厚膜6cの抵抗値が焼成時に、R1 =R4 ,R2 =R3
でない場合には、所定の抵抗体厚膜6cに対し、レーザ
加工等によりスリットや溝を設けることで抵抗値を補正
して、上記抵抗値となるようにする。このように、後加
工により簡単に抵抗値を補正できるから、製造の手間が
かからない。
【0030】また、図4に示しているホイートストンブ
リッジ回路の出力電圧eO は次式で求めることができ
る。
【0031】
【式1】 すなわち、起歪体6aの軸方向に圧縮荷重がかかると、
起歪体6aに荷重に比例した歪が発生し、また、その歪
により、両抵抗体厚膜6c1 ,6c3 の抵抗値R1 ,R
3 が変化するので、荷重に比例した出力電圧eO が得ら
れる。
【0032】そして、この時、軸方向(縦方向)抵抗体
厚膜6c1 ,6c3 では圧縮荷重が作用した時にその抵
抗値R1 ,R3 が小さくなるように変化し、周方向(横
方向)抵抗体厚膜6c2 ,6c4 では圧縮荷重が作用し
た時にその抵抗値R2 ,R4が大きくなるように変化す
れば、出力電圧eO としては大きな値が得られることに
なる。 なお、圧縮荷重が作用した時の起歪体6aの歪
による、軸方向(縦方向)抵抗体厚膜6c1 ,6c3
ゲージ率Kfv は、次式(2)で求められ、また、周方向
(横方向)抵抗体厚膜6c2 ,6c4 の荷重検出方向
(軸方向)におけるゲージ率Kfh0は、次式(3)で求め
ることができる。
【0033】
【式2】
【0034】
【式3】 なお、上記式において、νはポアソン比,εv は軸方向
(縦方向)歪,ρは比抵抗を示す。
【0035】また、前記式(3)は、次式(4)に変形
することができる。
【0036】 Kfh =Kfh0−2(1+ν) ・・・・・・・・(4) なお、上記式において、Kfh0は、周方向(横方向)抵抗
体厚膜6c2 ,6c4 における本来の歪検出方向のゲー
ジ率を示す。
【0037】従って、縦方向抵抗厚膜6c1 ,6c3
抵抗値変化量dRv は、次式(5)で求められ、また、周
方向(横方向)抵抗体厚膜6c2 ,6c4 の抵抗値変化
量dRh は、次式(6)で求めることができる。
【0038】 dRv =Kfv ・Rv ・εv ・・・・・・・・(5) dRh =Kfh ・Rh ・εv ={Kfh0−2(1+ν)}Rh ・εv ・・・・・・・・(6) なお、上記式において、Rv は、縦方向抵抗厚膜の初期
抵抗値、Rh は、周方向(横方向)抵抗体の初期抵抗値
を示す。
【0039】上記式(6)によると、圧縮荷重が作用し
た場合、軸方向(縦方向)抵抗体厚膜6c1 ,6c3
はその抵抗値が初期の値より減少し、また、周方向(横
方向)抵抗体厚膜6c2 ,6c4 の抵抗値については、
その抵抗値の増減がゲージ率Kfh0に依存することがわか
る。すなわち、ポアソン比νはおおむね0.3 であるか
ら、この値を前記式(6)に当てはめると、次式(7)
のようになる。
【0040】 dRh ={Kfh0−2(1+0.3 )}Rh ・εv ={Kfh0−2.6 }Rh ・εv ・・・・・・・・(7) 上記式(7)により、周方向(横方向)抵抗体厚膜6c
2 ,6c4 の抵抗値R2 ,R4 は、ゲージ率Kfh0が2.6
以下の時は、圧縮荷重を受けることによって、初期値よ
り増加し、ゲージ率Kfh0が2.6 以上の時は、圧縮荷重を
受けることによって、初期値より減少することになる。
【0041】したがって、この実施例では、前述したよ
うに、軸方向(縦方向)抵抗体厚膜6c1 ,6c3 のゲ
ージ率Kfv を 7〜10に設定すると共に、周方向(横方
向)抵抗体厚膜6c2 ,6c4 のゲージ率Kfh0も2.6 以
上の値に設定しているため、起歪体6aに対する荷重入
力があると、軸方向(縦方向)抵抗体厚膜6c1 ,6c
3 ではその抵抗値R1 ,R3 が減少する方向に変化する
ことでホイートストンブリッジ回路の出力電圧e0 を増
加させる方向に作用するのに対し、周方向(横方向)抵
抗体厚膜6c2 ,6c4 ではその抵抗値R2 ,R4 が減
少する方向に変化することで出力電圧e0 を減少させる
方向に作用してしまうことになる。
【0042】ところが、この実施例では、上述のよう
に、周方向(横方向)抵抗体厚膜6c2 ,6c4 が設け
られる基盤体6j部分には荷重入力が伝達されない構造
であるため、その抵抗値R2 ,R4 の変動はない。
【0043】したがって、軸方向(縦方向)抵抗体厚膜
6c1 ,6c3 における抵抗値R1,R3 の大きな変化
(減少)に基づいてホイートストンブリッジ回路の出力
として大きな電圧e0 を得ることができ、これにより、
荷重入力に対する高い出力感度が得られて検出精度を向
上させることができるようになる。
【0044】以上説明してきたように、実施例の荷重検
出装置6にあっては、無機質材料を素材として素材印刷
および焼成により絶縁体厚膜6b,抵抗体厚膜6c,導
体厚膜6dおよび各端子6e〜6hを形成しているた
め、これらの起歪体6aに対する付着は温度的に非常に
安定しており、温度による特性変化が生じにくいし、経
時劣化においても高い信頼性を有する。また、従来のよ
うに抵抗体を貼着してホイートストンブリッジ回路を形
成するのに比べ、印刷および焼成は、生産性が格段に高
い。
【0045】また、ホイートストンブリッジ回路を形成
するにあたり、各抵抗体厚膜6cの抵抗値を所定の抵抗
値に設定するにあたり、従来は、その抵抗値の抵抗体を
1つ1つ選択していたのに対し、本実施例のものは、焼
成時点では設定した抵抗値でなくても簡単な加工で補正
することができるもので、これによっても生産性が向上
する。
【0046】さらに、抵抗体厚膜6cによれば、その材
質を適切に選定することによって一般の金属歪ゲージ率
より高いゲージ率を得ることができるもので、これによ
り、荷重入力に対する出力感度を高めることができると
共に、荷重入力により出力電圧e0 を減少させる方向に
作用する周方向(横方向)抵抗体厚膜6c2 ,6c
4を、荷重入力のない基盤体6jに形成した構成とする
ことで、その抵抗値変化(減少)を防止し、これによ
り、軸方向(縦方向)抵抗体厚膜6c1 ,6c3 におけ
る大きな抵抗値変化(減少)に基づいて、大きな出力電
圧e0 を得ることができてさらに出力感度が高くなり、
すなわち、検出精度を高めることができるようになると
いう特徴を有している。
【0047】以上、実施例を図面に基づいて説明してき
たが、具体的な構成はこの実施例に限られるものではな
く、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等があっ
ても本発明に含まれる。
【0048】例えば、実施例では、周方向(横方向)抵
抗体厚膜のゲージ率を2.6 以上の材質で形成した場合を
示したが、ゲージ率が2.6 以下の材質で形成することも
できる。
【0049】また、実施例では、起歪体および基盤体を
円筒状に形成したが、その形状は任意である。
【0050】また、実施例では、回路部を一体に組み込
んだ構成としたが、別体に設けるようにしてもよい。
【0051】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明の荷重
検出装置にあっては、抵抗素子および結線を起歪体に焼
成した抵抗体厚膜および導体厚膜で形成した手段とした
ため、抵抗素子を起歪体1つ1つ貼り付けるのに比べ
て、生産性が格段に向上するという効果,各厚膜と起歪
体との付着が温度的に安定していて、温度で特性が変化
しにくいし経時変化も生じにくく、高い信頼性が得られ
るという効果,抵抗体厚膜は、トリミングにより抵抗値
を任意に設定することができるから、零点の設定も容易
となるという効果が同時に得られる。
【0052】また、抵抗体厚膜の材質を適切に選定する
ことにより一般の金属歪ゲージより高いゲージ率を得る
ことができ、それにより検出精度を向上させることも可
能となる。
【0053】加えて、ホイートストンブリッジ回路にお
いて、対向する一方の組の抵抗体厚膜を荷重入力により
歪みが生じる起歪体に対して焼成し、対向するもう一方
の組の抵抗体厚膜を前記起歪体と並列に設けられていて
荷重入力が伝達されない基盤体に対して焼成した構成と
したことで、抵抗値の変化(減少)による出力電圧の減
少を防止することができ、したがって、歪検出方向を荷
重検出方向とする一方の組の抵抗体厚膜における大きな
抵抗値変化(減少)に基づいて大きな出力電圧を得るこ
とができ、これにより、荷重入力に対する高い出力感度
が得られて検出精度を向上させることができるようにな
るという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明実施例の荷重検出装置を示す要部拡大断
面図である。
【図2】実施例装置が適用されているサスペンションの
アッパマウント部を示す断面図である。
【図3】荷重検出装置を構成する起歪体を示す斜視図で
ある。
【図4】起歪体を示す外周面の展開図である。
【図5】荷重検出装置を構成する基盤体を示す斜視図で
ある。
【図6】基盤体を示す外周面の展開図である。
【図7】ホイートストンブリッジ回路を示す回路図であ
る。
【図8】従来の荷重検出装置を示す斜視図である。
【符号の説明】
6 荷重検出装置 6a 起歪体 6c 抵抗体厚膜 6d 導体厚膜 6j 基盤体

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ホイートストンブリッジ回路を構成する
    ように接続されていてその歪み量に応じて抵抗値が変化
    する4つの抵抗素子を抵抗体厚膜で形成し、 前記ホイートストンブリッジ回路において、対向する一
    方の組の抵抗体厚膜を荷重入力により歪みが生じる起歪
    体に対して焼成し、対向するもう一方の組の抵抗体厚膜
    を前記起歪体と並列に設けられていて荷重入力が伝達さ
    れない基盤体に対して焼成し、 前記各抵抗体厚膜をホイートストンブリッジ回路を構成
    するように接続するための結線を、前記起歪体および基
    盤体に対してそれぞれ焼成した導体厚膜で形成し、 前記起歪体に焼成される一方の組の抵抗体厚膜の歪検出
    方向を荷重検出方向とし、基盤体に焼成されるもう一方
    の組の抵抗体厚膜の歪検出方向を荷重検出方向と交差す
    る方向としたことを特徴とする荷重検出装置。
JP646193A 1993-01-19 1993-01-19 荷重検出装置 Pending JPH06213734A (ja)

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JP646193A JPH06213734A (ja) 1993-01-19 1993-01-19 荷重検出装置

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JP646193A Pending JPH06213734A (ja) 1993-01-19 1993-01-19 荷重検出装置

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8086375B2 (en) 2006-10-31 2011-12-27 Aisin Seiki Kabushiki Kaisha Method for adjusting sensitivity of load detecting device of seat for a vehicle
CN104931164A (zh) * 2014-03-20 2015-09-23 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 柔性拉力传感器

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