JPH06215718A - 電子顕微鏡等の試料装置 - Google Patents
電子顕微鏡等の試料装置Info
- Publication number
- JPH06215718A JPH06215718A JP50A JP582793A JPH06215718A JP H06215718 A JPH06215718 A JP H06215718A JP 50 A JP50 A JP 50A JP 582793 A JP582793 A JP 582793A JP H06215718 A JPH06215718 A JP H06215718A
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- JP
- Japan
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- hollow pipe
- shaft
- axis
- bellows
- moving shaft
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ベローズにかかる大気圧を軽減化してＸ動駆
動力を大幅に少なくし、Ｘ動の微妙な動きを可能にす
る。 【構成】 筒状体フレーム内面に形成された球面軸受に
よって支持されたＹ、Ｚ動シャフトを構成する第１の中
空パイプと、第１の中空パイプ内に同軸に設けられ、Ｘ
動シャフトを構成する第２の中空パイプと、第２の中空
パイプ先端部と筒状体フレーム間に配置された試料室と
大気とをシールする金属ベローズと、金属ベローズに作
用する大気圧と反対方向の力を第２の中空パイプに付与
する駆動力付与手段を設けたことを特徴とする。
動力を大幅に少なくし、Ｘ動の微妙な動きを可能にす
る。 【構成】 筒状体フレーム内面に形成された球面軸受に
よって支持されたＹ、Ｚ動シャフトを構成する第１の中
空パイプと、第１の中空パイプ内に同軸に設けられ、Ｘ
動シャフトを構成する第２の中空パイプと、第２の中空
パイプ先端部と筒状体フレーム間に配置された試料室と
大気とをシールする金属ベローズと、金属ベローズに作
用する大気圧と反対方向の力を第２の中空パイプに付与
する駆動力付与手段を設けたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電子顕微鏡等の試料装置
に関するものである。
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】超高真空透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）に
使用する従来のサイドエンドリタイプのゴニオメータで
は、Ｙ，Ｚ動の支点である球面をＯリングで真空シール
することはできない。そこで、本出願人は球面の真空側
にベローズを取付け、Ｘ，Ｙ，Ｚ動をベローズのたわみ
で動かすことを既に提案しており（特願平４ー２５６５
０８）、これについて図４〜図９を参照して概略説明す
る。
使用する従来のサイドエンドリタイプのゴニオメータで
は、Ｙ，Ｚ動の支点である球面をＯリングで真空シール
することはできない。そこで、本出願人は球面の真空側
にベローズを取付け、Ｘ，Ｙ，Ｚ動をベローズのたわみ
で動かすことを既に提案しており（特願平４ー２５６５
０８）、これについて図４〜図９を参照して概略説明す
る。
【０００３】図４は試料装置の電子線光軸に垂直な断面
図、図５は試料装置の電子線光軸方向における断面図、
図６はＸ動を説明するための図、図７はＺ動を説明する
ための図、図８はＺ動を説明するための図、図９はＹ動
を説明するための図である。図４、図５において、試料
装置の先端部は試料ホルダ受台３２に試料ホルダ３１が
取り付けられ、試料室壁３３を通して試料室３６に挿入
されている。試料装置は先端部内面が球面軸受４１とな
っている円筒状支持体４０内に電子線光軸に垂直な軸芯
を持つＸ動シャフト５０が設けられ、この周囲に設けら
れたＹ・Ｚ動シャフト５１の球面状膨出部５２が球面軸
受４１に揺動可能に支持されている。Ｘ動シャフト５０
内には、Ｙ・Ｚ動シャフト５１に取付けられたマグネッ
ト５４と磁気結合するマグネット５６が取付けられたＸ
軸傾斜シャフト５５が設けられ、Ｙ・Ｚ動シャフト５１
の回転に追従して回転するようになっている。さらにシ
ャフト５５内にはＹ軸試料傾斜用シャフト９４が設けら
れている。Ｘ動シャフト５０はＸ，Ｙ，Ｚ動等の動きを
許容するメタルベローズ４２の一端に取り付けられてお
り、ベローズ４２の他端は円筒状支持体４０に固定され
て試料室内と試料装置の大気側との真空シールを行って
いる。
図、図５は試料装置の電子線光軸方向における断面図、
図６はＸ動を説明するための図、図７はＺ動を説明する
ための図、図８はＺ動を説明するための図、図９はＹ動
を説明するための図である。図４、図５において、試料
装置の先端部は試料ホルダ受台３２に試料ホルダ３１が
取り付けられ、試料室壁３３を通して試料室３６に挿入
されている。試料装置は先端部内面が球面軸受４１とな
っている円筒状支持体４０内に電子線光軸に垂直な軸芯
を持つＸ動シャフト５０が設けられ、この周囲に設けら
れたＹ・Ｚ動シャフト５１の球面状膨出部５２が球面軸
受４１に揺動可能に支持されている。Ｘ動シャフト５０
内には、Ｙ・Ｚ動シャフト５１に取付けられたマグネッ
ト５４と磁気結合するマグネット５６が取付けられたＸ
軸傾斜シャフト５５が設けられ、Ｙ・Ｚ動シャフト５１
の回転に追従して回転するようになっている。さらにシ
ャフト５５内にはＹ軸試料傾斜用シャフト９４が設けら
れている。Ｘ動シャフト５０はＸ，Ｙ，Ｚ動等の動きを
許容するメタルベローズ４２の一端に取り付けられてお
り、ベローズ４２の他端は円筒状支持体４０に固定され
て試料室内と試料装置の大気側との真空シールを行って
いる。
【０００４】また、円筒状支持体４０のＹ・Ｚ動シャフ
ト５１に対する軸受部はＹ，Ｚ動の中心となっており、
軸受面にはベローズ４２にかかる大気圧がかかり、Ｙ・
Ｚ動シャフト５１の球面が押しつけられている。Ｘ動シ
ャフト５０の外周部にはＹ・Ｚ動シャフト５１が設けら
れ、Ｙ・Ｚ動シャフト５１をＹ軸駆動用テコでＹ方向に
押すことによりＹ動が得られる。
ト５１に対する軸受部はＹ，Ｚ動の中心となっており、
軸受面にはベローズ４２にかかる大気圧がかかり、Ｙ・
Ｚ動シャフト５１の球面が押しつけられている。Ｘ動シ
ャフト５０の外周部にはＹ・Ｚ動シャフト５１が設けら
れ、Ｙ・Ｚ動シャフト５１をＹ軸駆動用テコでＹ方向に
押すことによりＹ動が得られる。
【０００５】すなわち、図５のＣ−Ｃ断面図である図９
を参照すると、Ｙ軸駆動用モータ６２によりギヤ６３，
６４が回転駆動され、ネジ６５が回動することによりス
ライダ６６がスライドし、その結果テコ６０が支点６０
ａを中心に回動して反対側に設けられたスプリング６１
に抗してＹ・Ｚ動シャフト５１をＹ軸方向に移動させ、
その反対側への移動はスプリング６１によって行い、こ
うして試料はＹ軸方向に動かされる。
を参照すると、Ｙ軸駆動用モータ６２によりギヤ６３，
６４が回転駆動され、ネジ６５が回動することによりス
ライダ６６がスライドし、その結果テコ６０が支点６０
ａを中心に回動して反対側に設けられたスプリング６１
に抗してＹ・Ｚ動シャフト５１をＹ軸方向に移動させ、
その反対側への移動はスプリング６１によって行い、こ
うして試料はＹ軸方向に動かされる。
【０００６】Ｚ動は、図４の矢印Ｄ方向から見た図７、
および図５のＡ−Ａ断面図である図８に示すように、Ｚ
軸駆動用モータ７０によりギヤ７１，７２が回転駆動さ
れて送りネジ７３が回動スライドしてＺ軸用テコ７５が
支点７６を中心に回転し、Ｙ・Ｚ動シャフト５１をＺ軸
方向に変位させるようになっている。この時反対側への
移動はスプリング７７によって行われ、こうして試料を
Ｚ軸方向に動かせるようになっている。
および図５のＡ−Ａ断面図である図８に示すように、Ｚ
軸駆動用モータ７０によりギヤ７１，７２が回転駆動さ
れて送りネジ７３が回動スライドしてＺ軸用テコ７５が
支点７６を中心に回転し、Ｙ・Ｚ動シャフト５１をＺ軸
方向に変位させるようになっている。この時反対側への
移動はスプリング７７によって行われ、こうして試料を
Ｚ軸方向に動かせるようになっている。
【０００７】また図４におけるブロック４５には、べア
リング４４が取り付けられ、Ｘ軸傾斜用の軸受になって
いると共に、図示しない手段でブロック４５を微小に動
かすことにより、ゴニオメータ全体の軸合わせ（ユーセ
ントリック合わせ）ができるようになっている。
リング４４が取り付けられ、Ｘ軸傾斜用の軸受になって
いると共に、図示しない手段でブロック４５を微小に動
かすことにより、ゴニオメータ全体の軸合わせ（ユーセ
ントリック合わせ）ができるようになっている。
【０００８】Ｘ軸傾斜はＸ軸傾斜用駆動ユニット５８に
よりウォームギヤ５９、傾斜用ギヤ５７が回転駆動さ
れ、その結果、Ｙ・Ｚ動シャフト５１が回転駆動されて
マグネット５４が回動し、このマグネットと磁気結合す
るマグネット５６の回転により、これが取り付けられた
Ｘ軸傾斜シャフト５５が回転して試料をＸ軸の周りに傾
斜させることができる。この時、ベアリング４６がシャ
フト５５の回転軸受となっている。
よりウォームギヤ５９、傾斜用ギヤ５７が回転駆動さ
れ、その結果、Ｙ・Ｚ動シャフト５１が回転駆動されて
マグネット５４が回動し、このマグネットと磁気結合す
るマグネット５６の回転により、これが取り付けられた
Ｘ軸傾斜シャフト５５が回転して試料をＸ軸の周りに傾
斜させることができる。この時、ベアリング４６がシャ
フト５５の回転軸受となっている。
【０００９】次にＸ動について説明すると、図４および
図６（ａ）に示すように、Ｘ軸駆動用モータ８０により
ギヤ８１，８２が回転駆動され、その結果ネジ８３が回
転すると、スライダ８４が軸方向に移動して、テコ８５
を支軸８６を中心に揺動させる。図４のＢ−Ｂ断面図で
ある図６（ｂ）に示すように、支軸８６を中心に揺動す
るテコ８５にはベアリングからなる支点８７が左右に設
けられ、Ｘ動シャフト５１に取り付けられたリング８９
を軸方向に押すようになっている。
図６（ａ）に示すように、Ｘ軸駆動用モータ８０により
ギヤ８１，８２が回転駆動され、その結果ネジ８３が回
転すると、スライダ８４が軸方向に移動して、テコ８５
を支軸８６を中心に揺動させる。図４のＢ−Ｂ断面図で
ある図６（ｂ）に示すように、支軸８６を中心に揺動す
るテコ８５にはベアリングからなる支点８７が左右に設
けられ、Ｘ動シャフト５１に取り付けられたリング８９
を軸方向に押すようになっている。
【００１０】これらＸ軸駆動用モータ８０、テコ８５等
からなるＸ軸駆動機構はＹ・Ｚ動シャフト５１に取付け
られ、リング８９はＸ動シャフト５０に取付けられてい
る。その結果Ｘ動シャフト５０が軸方向に移動し、軸方
向の移動が得られる。この時の移動はベローズ４２によ
って真空を保ちながら許容される。なお、支点８７はベ
アリングとなっており、図５に示すように、軸８８の周
りに回動し、リング８９と回転可能に係合するようにな
っている。
からなるＸ軸駆動機構はＹ・Ｚ動シャフト５１に取付け
られ、リング８９はＸ動シャフト５０に取付けられてい
る。その結果Ｘ動シャフト５０が軸方向に移動し、軸方
向の移動が得られる。この時の移動はベローズ４２によ
って真空を保ちながら許容される。なお、支点８７はベ
アリングとなっており、図５に示すように、軸８８の周
りに回動し、リング８９と回転可能に係合するようにな
っている。
【００１１】このように円筒状支持体４０に球面軸受さ
れてユーセントリックに駆動されるＹ・Ｚ動シャフト５
１にＸ動テコとＸ動送り機構を取り付けることにより、
Ｘ，Ｙ，Ｚ動、Ｘ軸傾斜の４軸ユーセントリックゴニオ
メータが可能になる。
れてユーセントリックに駆動されるＹ・Ｚ動シャフト５
１にＸ動テコとＸ動送り機構を取り付けることにより、
Ｘ，Ｙ，Ｚ動、Ｘ軸傾斜の４軸ユーセントリックゴニオ
メータが可能になる。
【００１２】また、シャフト５５内には、一端がメタル
ベローズ９５に接続されたシャフト９４が設けられてい
る。図５に示すように、Ｙ軸傾斜駆動用モータ９０によ
りギヤ９１を介してギヤ９２を回すと、ネジ９３が前後
動し、これによってシャフト９４が前後に移動する。シ
ャフト９４の前後動はメタルベローズ９５によって許容
されると共に、この部分の真空シールが行われる。この
結果図示しない機構により、試料ホルダ３１がＹ軸の周
りに回転されるようになっている。
ベローズ９５に接続されたシャフト９４が設けられてい
る。図５に示すように、Ｙ軸傾斜駆動用モータ９０によ
りギヤ９１を介してギヤ９２を回すと、ネジ９３が前後
動し、これによってシャフト９４が前後に移動する。シ
ャフト９４の前後動はメタルベローズ９５によって許容
されると共に、この部分の真空シールが行われる。この
結果図示しない機構により、試料ホルダ３１がＹ軸の周
りに回転されるようになっている。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記既提案
のものにおいては、球面の真空側に取りつけたベローズ
は、ベローズ径が大きくなり、そのベローズに大気圧が
かかってその力がゴニオメータのＸ動シャフトにすべて
かかるため、Ｘ動シャフトは非常に大きな力を受け、大
きなＸ駆動力を必要としてスムーズなＸ動ができない。
のものにおいては、球面の真空側に取りつけたベローズ
は、ベローズ径が大きくなり、そのベローズに大気圧が
かかってその力がゴニオメータのＸ動シャフトにすべて
かかるため、Ｘ動シャフトは非常に大きな力を受け、大
きなＸ駆動力を必要としてスムーズなＸ動ができない。
【００１４】本発明は上記課題を解決するためのもの
で、Ｘ動シャフトにかかる力を軽減化し、Ｘ動の微妙な
動きを行うことができる電子顕微鏡等の試料装置を提供
することを目的とする。
で、Ｘ動シャフトにかかる力を軽減化し、Ｘ動の微妙な
動きを行うことができる電子顕微鏡等の試料装置を提供
することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明は筒状体フレーム
内面に形成された球面軸受によって支持され、少なくと
もＹ軸駆動手段及びＺ軸駆動手段により前記軸受を中心
として揺動する第１の中空パイプと、第１の中空パイプ
内に同軸に設けられ、Ｘ軸駆動手段により軸方向に駆動
される第２の中空パイプと、第２の中空パイプ先端部と
筒状体フレーム間に配置され、試料室と大気とをシール
する金属ベローズとを備えたサイドエントリーゴニオメ
ータにおいて、前記金属ベローズに作用する大気圧と反
対方向の力を第２の中空パイプに付与する駆動力付与手
段を設けたことを特徴とする。
内面に形成された球面軸受によって支持され、少なくと
もＹ軸駆動手段及びＺ軸駆動手段により前記軸受を中心
として揺動する第１の中空パイプと、第１の中空パイプ
内に同軸に設けられ、Ｘ軸駆動手段により軸方向に駆動
される第２の中空パイプと、第２の中空パイプ先端部と
筒状体フレーム間に配置され、試料室と大気とをシール
する金属ベローズとを備えたサイドエントリーゴニオメ
ータにおいて、前記金属ベローズに作用する大気圧と反
対方向の力を第２の中空パイプに付与する駆動力付与手
段を設けたことを特徴とする。
【００１６】
【作用】本発明は、超高真空電子顕微鏡に使用するサイ
ドエントリータイプのゴニオメータにおいて、試料室と
大気とをシールする金属ベローズに作用する大気圧と反
対方向の力をＸ動シャフトを構成する第２の中空パイプ
に付与することにより、大気圧を軽減化することができ
るので、Ｘ動の微妙な動きを行うことが可能となる。
ドエントリータイプのゴニオメータにおいて、試料室と
大気とをシールする金属ベローズに作用する大気圧と反
対方向の力をＸ動シャフトを構成する第２の中空パイプ
に付与することにより、大気圧を軽減化することができ
るので、Ｘ動の微妙な動きを行うことが可能となる。
【００１７】
【実施例】以下、実施例を図面を参照して説明する。図
１は本発明の一実施例の試料装置の電子線光軸に平行な
断面図、図２は本発明で使用するコイルバネの取付け状
態を説明する図である。なお、装置の全体の構成、参照
符合は図４〜図９と同じであるので説明は省略する。
１は本発明の一実施例の試料装置の電子線光軸に平行な
断面図、図２は本発明で使用するコイルバネの取付け状
態を説明する図である。なお、装置の全体の構成、参照
符合は図４〜図９と同じであるので説明は省略する。
【００１８】本実施例は、図１に示すように、真空側に
設けられたベローズ４２の外周に、非磁性の引っ張りコ
イルバネ１０を設けたものであり、一端をＸ動シャフト
５０の先端部に、他端を装置フレームに接続する。この
コイルバネは、図１のＡーＡ断面図、ＢーＢ断面図であ
る図２（ａ）、（ｂ）に示すように、また図２（ｃ）に
示すように、コイル端を引っ掛ける形でシャフト外周に
複数取付ける。このとき、全体のバネ力はベローズ４２
にかかる大気圧より少なめに設定する。
設けられたベローズ４２の外周に、非磁性の引っ張りコ
イルバネ１０を設けたものであり、一端をＸ動シャフト
５０の先端部に、他端を装置フレームに接続する。この
コイルバネは、図１のＡーＡ断面図、ＢーＢ断面図であ
る図２（ａ）、（ｂ）に示すように、また図２（ｃ）に
示すように、コイル端を引っ掛ける形でシャフト外周に
複数取付ける。このとき、全体のバネ力はベローズ４２
にかかる大気圧より少なめに設定する。
【００１９】このように、ベローズ外周に引っ張りコイ
ルバネを取りつけることでＸ動に際してはコイルバネが
伸び縮みし、Ｙ，Ｚ動に際してはコイルバネ両端の支持
点を中心に回転して傾く。このような構成とすることに
より、Ｘ動シャフト５０にかかる大気圧はバネ力でキャ
ンセルされ、微妙なＸ動を行うことが可能となる。ま
た、コイルバネは、球面軸受け４１の近傍に配置するこ
とが、動きが最も少なくてすみ、かつ他の構成部品のじ
ゃまにならないので望ましい。
ルバネを取りつけることでＸ動に際してはコイルバネが
伸び縮みし、Ｙ，Ｚ動に際してはコイルバネ両端の支持
点を中心に回転して傾く。このような構成とすることに
より、Ｘ動シャフト５０にかかる大気圧はバネ力でキャ
ンセルされ、微妙なＸ動を行うことが可能となる。ま
た、コイルバネは、球面軸受け４１の近傍に配置するこ
とが、動きが最も少なくてすみ、かつ他の構成部品のじ
ゃまにならないので望ましい。
【００２０】図３は本発明の他の実施例を示す図であ
る。試料装置のＸ動シャフト５０の外側の球面状膨出部
５２と一体のＹ・Ｚ動シャフト５１の外側にはマグネッ
ト５４が、Ｘ動シャフト５０の内側に配置されたＸ軸傾
斜シャフト５５にはマグネット５６が取付けられている
が、本実施例では、図３に示すように両マグネットをシ
ャフト方向にずらして取りつける。このマグネットの位
置のずれにより、Ｘ軸傾斜シャフト５５とつながってい
るＸ動シャフト５０には大気圧で受ける力の方向と逆方
向にマグネット同士間に生ずる磁気力が作用するので、
Ｘ動シャフト５０が真空側に押しつけられる力を軽減化
することができる。なお、磁気力は反発力、吸引力どち
らでもよいが、吸引力の方が効果的である。
る。試料装置のＸ動シャフト５０の外側の球面状膨出部
５２と一体のＹ・Ｚ動シャフト５１の外側にはマグネッ
ト５４が、Ｘ動シャフト５０の内側に配置されたＸ軸傾
斜シャフト５５にはマグネット５６が取付けられている
が、本実施例では、図３に示すように両マグネットをシ
ャフト方向にずらして取りつける。このマグネットの位
置のずれにより、Ｘ軸傾斜シャフト５５とつながってい
るＸ動シャフト５０には大気圧で受ける力の方向と逆方
向にマグネット同士間に生ずる磁気力が作用するので、
Ｘ動シャフト５０が真空側に押しつけられる力を軽減化
することができる。なお、磁気力は反発力、吸引力どち
らでもよいが、吸引力の方が効果的である。
【００２１】また、上記実施例では内側のマグネット５
６をＸ軸傾斜シャフト５５に取りつけるようにしたが、
Ｘ動シャフト５０に取りつけるようにしてもよい。
６をＸ軸傾斜シャフト５５に取りつけるようにしたが、
Ｘ動シャフト５０に取りつけるようにしてもよい。
【００２２】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、Ｘ動シャ
フトにかかる大気圧を軽減化することができるので、Ｘ
動駆動力を大幅に少なくし、Ｘ動の微妙な動きを行うこ
とが可能となり、Ｘ動の送りネジの摩耗等を低減化する
ことも可能となる。
フトにかかる大気圧を軽減化することができるので、Ｘ
動駆動力を大幅に少なくし、Ｘ動の微妙な動きを行うこ
とが可能となり、Ｘ動の送りネジの摩耗等を低減化する
ことも可能となる。
【図１】 本発明の試料装置の電子線光軸に垂直な断面
図である。
図である。
【図２】 コイルバネの取付け状態を説明する図であ
る。
る。
【図３】 本発明の他の実施例の電子線光軸に垂直な断
面図である。
面図である。
【図４】 既提案の試料装置の電子線光軸に垂直な断面
図である。
図である。
【図５】 既提案の試料装置の電子線光軸方向における
断面図である。
断面図である。
【図６】 Ｘ動を説明するための図である。
【図７】 Ｚ動を説明するための図である。
【図８】 Ｚ動を説明するための図である。
【図９】 Ｙ動を説明するための図である。
１０…コイルバネ、４１…球面軸受、４２…メタルベロ
ーズ、５０…Ｘ動シャフト、５１…Ｙ・Ｚ動シャフト、
５２…球面状膨出部、５４…マグネット、５５…Ｘ軸傾
斜シャフト、５６…マグネット。
ーズ、５０…Ｘ動シャフト、５１…Ｙ・Ｚ動シャフト、
５２…球面状膨出部、５４…マグネット、５５…Ｘ軸傾
斜シャフト、５６…マグネット。
Claims (1)
- 【請求項１】 筒状体フレーム内面に形成された球面軸
受によって支持され、少なくともＹ軸駆動手段及びＺ軸
駆動手段により前記軸受を中心として揺動する第１の中
空パイプと、第１の中空パイプ内に同軸に設けられ、Ｘ
軸駆動手段により軸方向に駆動される第２の中空パイプ
と、第２の中空パイプ先端部と筒状体フレーム間に配置
され、試料室と大気とをシールする金属ベローズとを備
えたサイドエントリーゴニオメータにおいて、前記金属
ベローズに作用する大気圧と反対方向の力を第２の中空
パイプに付与する駆動力付与手段を設けたことを特徴と
する電子顕微鏡等の試料装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5005827A JP2965186B2 (ja) | 1993-01-18 | 1993-01-18 | 電子顕微鏡等の試料装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5005827A JP2965186B2 (ja) | 1993-01-18 | 1993-01-18 | 電子顕微鏡等の試料装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06215718A true JPH06215718A (ja) | 1994-08-05 |
| JP2965186B2 JP2965186B2 (ja) | 1999-10-18 |
Family
ID=11621892
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5005827A Expired - Fee Related JP2965186B2 (ja) | 1993-01-18 | 1993-01-18 | 電子顕微鏡等の試料装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2965186B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000258439A (ja) * | 1999-03-11 | 2000-09-22 | Jeol Ltd | 走査形プローブ顕微鏡 |
| EP4174903A1 (en) * | 2017-10-30 | 2023-05-03 | Gatan, Inc. | Cryotransfer holder and workstation |
-
1993
- 1993-01-18 JP JP5005827A patent/JP2965186B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000258439A (ja) * | 1999-03-11 | 2000-09-22 | Jeol Ltd | 走査形プローブ顕微鏡 |
| EP4174903A1 (en) * | 2017-10-30 | 2023-05-03 | Gatan, Inc. | Cryotransfer holder and workstation |
| US11908655B2 (en) | 2017-10-30 | 2024-02-20 | Gatan, Inc. | Cryotransfer holder and workstation |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2965186B2 (ja) | 1999-10-18 |
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