JPH06219819A - セラミックスグリーンシート及びセラミックス基板 - Google Patents
セラミックスグリーンシート及びセラミックス基板Info
- Publication number
- JPH06219819A JPH06219819A JP5024808A JP2480893A JPH06219819A JP H06219819 A JPH06219819 A JP H06219819A JP 5024808 A JP5024808 A JP 5024808A JP 2480893 A JP2480893 A JP 2480893A JP H06219819 A JPH06219819 A JP H06219819A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- green sheet
- ceramic
- molecular weight
- average molecular
- weight
- Prior art date
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- Pending
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】充填率、強度の良好なグリーンシート及び緻密
なセラミックス基板を得る。 【構成】(メタ)アクリル酸エステル重合体のうち少な
くとも2種以上を混合してなり、その少なくとも1種は
酸価が1以上で重量平均分子量が10万未満であり、か
つ、少なくとも1種は重量平均分子量が10万以上であ
るセラミックスグリーンシート及びそれからなるセラミ
ックス基板。
なセラミックス基板を得る。 【構成】(メタ)アクリル酸エステル重合体のうち少な
くとも2種以上を混合してなり、その少なくとも1種は
酸価が1以上で重量平均分子量が10万未満であり、か
つ、少なくとも1種は重量平均分子量が10万以上であ
るセラミックスグリーンシート及びそれからなるセラミ
ックス基板。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミックスグリーン
シート及びそれを用いたセラミックス基板に関するもの
である。
シート及びそれを用いたセラミックス基板に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】セラミックスグリーンシートのバインダ
ーとしては、焼結性を向上させるために、アクリル酸エ
ステルもしくはメタクリル酸エステルの重合体が用いら
れてきた。しかし、アクリル酸エステルもしくはメタク
リル酸エステル重合体のみでは、セラミックス粉の分散
が悪く、焼結性が悪くなるという問題があった。そこ
で、セラミックス粉の分散を向上させるために、酸価を
持つアクリル酸エステルもしくはメタクリル酸エステル
重合体が用いることが提案されているが、重合体の分子
量によってグリーンシートの充填率もしくは強度におい
て良好な結果が得られず、グリーンシートの取扱い性や
焼結性が悪くなるという問題があった。
ーとしては、焼結性を向上させるために、アクリル酸エ
ステルもしくはメタクリル酸エステルの重合体が用いら
れてきた。しかし、アクリル酸エステルもしくはメタク
リル酸エステル重合体のみでは、セラミックス粉の分散
が悪く、焼結性が悪くなるという問題があった。そこ
で、セラミックス粉の分散を向上させるために、酸価を
持つアクリル酸エステルもしくはメタクリル酸エステル
重合体が用いることが提案されているが、重合体の分子
量によってグリーンシートの充填率もしくは強度におい
て良好な結果が得られず、グリーンシートの取扱い性や
焼結性が悪くなるという問題があった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来技術の
有する前述の欠点を解消することを目的とするものであ
り、従来知られていなかったセラミックスグリーンシー
ト及びセラミックス基板を新規に提供するものである。
有する前述の欠点を解消することを目的とするものであ
り、従来知られていなかったセラミックスグリーンシー
ト及びセラミックス基板を新規に提供するものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、前述の課題を
解決すべくなされたものであり、(メタ)アクリル酸エ
ステル重合体等の高分子化合物の2種以上を混合してな
る有機バインダーを用いたセラミックスグリーンシート
であって、該高分子化合物は、少なくとも1種は酸価が
1以上で重量平均分子量が10万未満であり、かつ、少
なくとも1種は重量平均分子量が10万以上であること
を特徴とするセラミックスグリーンシート、及び、上記
のセラミックスグリーンシートを焼成してなるセラミッ
クス基板を提供する。
解決すべくなされたものであり、(メタ)アクリル酸エ
ステル重合体等の高分子化合物の2種以上を混合してな
る有機バインダーを用いたセラミックスグリーンシート
であって、該高分子化合物は、少なくとも1種は酸価が
1以上で重量平均分子量が10万未満であり、かつ、少
なくとも1種は重量平均分子量が10万以上であること
を特徴とするセラミックスグリーンシート、及び、上記
のセラミックスグリーンシートを焼成してなるセラミッ
クス基板を提供する。
【0005】本発明のセラミックスグリーンシートの有
機バインダーとして用いることのできる重合体を構成す
る単量体は、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル等の
アクリル酸エステル、メタクリル酸メチル、メタクリル
酸エチル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸2−エチ
ルヘキシル、メタクリル酸ステアリル等のメタクリル酸
エステルの他、メタクリル酸2−ヒドロキシエチル、メ
タクリル酸ジメチルアミノ等の官能基を有する単量体が
使用できる。これらの単量体の1種または2種以上を重
合すればよい。酸価の導入は、アクリル酸、メタクリル
酸、フマル酸、マレイン酸等、炭素間に二重結合を有す
るカルボン酸を共重合させるなどの方法で行える。
機バインダーとして用いることのできる重合体を構成す
る単量体は、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル等の
アクリル酸エステル、メタクリル酸メチル、メタクリル
酸エチル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸2−エチ
ルヘキシル、メタクリル酸ステアリル等のメタクリル酸
エステルの他、メタクリル酸2−ヒドロキシエチル、メ
タクリル酸ジメチルアミノ等の官能基を有する単量体が
使用できる。これらの単量体の1種または2種以上を重
合すればよい。酸価の導入は、アクリル酸、メタクリル
酸、フマル酸、マレイン酸等、炭素間に二重結合を有す
るカルボン酸を共重合させるなどの方法で行える。
【0006】本発明において、高分子化合物に含まれる
重合体のうち少なくとも1種は、上記単量体の1種もし
くは2種以上の重合体で、酸価を導入したものである。
この酸価を導入した重合体の重量平均分子量は、10万
未満であり、特に6〜8万が望ましい。酸価は、1以上
であり、好ましくは1.5〜10、特に好ましくは1.
5〜5である。平均分子量を10万未満、酸価を1以上
とするのは、酸価が1未満では分散が良好とならず、酸
価が1以上でも分子量が10万以上であると、やはり分
散が良好とならないからである。また、酸価が10を超
えると、セラミックス粉の分散に関与しないカルボン酸
が残り、混合するバインダーとの相溶性が悪くなるとい
う問題が生じるおそれがある。
重合体のうち少なくとも1種は、上記単量体の1種もし
くは2種以上の重合体で、酸価を導入したものである。
この酸価を導入した重合体の重量平均分子量は、10万
未満であり、特に6〜8万が望ましい。酸価は、1以上
であり、好ましくは1.5〜10、特に好ましくは1.
5〜5である。平均分子量を10万未満、酸価を1以上
とするのは、酸価が1未満では分散が良好とならず、酸
価が1以上でも分子量が10万以上であると、やはり分
散が良好とならないからである。また、酸価が10を超
えると、セラミックス粉の分散に関与しないカルボン酸
が残り、混合するバインダーとの相溶性が悪くなるとい
う問題が生じるおそれがある。
【0007】また、高分子化合物に含まれる重合体のう
ち少なくとも1種は、前述単量体の1種もしくは2種以
上の重合体で、重量平均分子量が10万以上である。平
均分子量は、12〜40万であることがさらに望まし
い。平均分子量が10万未満であるとグリーンシート強
度が弱くなり、良好なグリーンシートが得られない。ま
た、酸価は導入されていないものであることが好まし
い。充填率及び強度がともに良好なグリーンシートが得
られにくくなるおそれがあるからである。
ち少なくとも1種は、前述単量体の1種もしくは2種以
上の重合体で、重量平均分子量が10万以上である。平
均分子量は、12〜40万であることがさらに望まし
い。平均分子量が10万未満であるとグリーンシート強
度が弱くなり、良好なグリーンシートが得られない。ま
た、酸価は導入されていないものであることが好まし
い。充填率及び強度がともに良好なグリーンシートが得
られにくくなるおそれがあるからである。
【0008】また、重合体を混合する割合は、酸価の導
入されている重合体を10〜90重量%、重量平均分子
量が10万以上で、酸価の導入されていない重合体を9
0〜10重量%とすることが好ましいが、この範囲のな
かで任意に変えることができる。配合比率を適宜変え
て、グリーンシート充填率、強度等の最適となる混合比
率を見いだせばよい。
入されている重合体を10〜90重量%、重量平均分子
量が10万以上で、酸価の導入されていない重合体を9
0〜10重量%とすることが好ましいが、この範囲のな
かで任意に変えることができる。配合比率を適宜変え
て、グリーンシート充填率、強度等の最適となる混合比
率を見いだせばよい。
【0009】このように少なくとも2種の有機重合体を
混合することにより、セラミックス粉の分散が良好で、
グリーンシート強度、グリーンシート充填率も向上し、
グリーンシート取扱い性及び焼結性が良好となることが
明らかとなった。
混合することにより、セラミックス粉の分散が良好で、
グリーンシート強度、グリーンシート充填率も向上し、
グリーンシート取扱い性及び焼結性が良好となることが
明らかとなった。
【0010】本発明の有機バインダーを用いたグリーン
シートにおいて、グリーンシート特性を好適にするため
に可塑剤を併用できる。可塑剤としては、フタル酸ジブ
チル、フタル酸ジオクチル、フタル酸ブチルベンジル、
その他の通常使用されている可塑剤が使用できる。
シートにおいて、グリーンシート特性を好適にするため
に可塑剤を併用できる。可塑剤としては、フタル酸ジブ
チル、フタル酸ジオクチル、フタル酸ブチルベンジル、
その他の通常使用されている可塑剤が使用できる。
【0011】本発明に使用する溶剤としては、アセト
ン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等の
ケトン系溶剤、メタノール、エタノール、プロパノー
ル、ブタノール等のアルコール系溶剤、ベンゼン、トル
エン、キシレン等の芳香族系溶剤、クロロホルム、1,
1,1−トリクロロエタン、1,1,2−トリクロロエ
チレン等のハロゲン系溶剤、R−113等のフロン系溶
剤の単独あるいは混合系で使用することができる。
ン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等の
ケトン系溶剤、メタノール、エタノール、プロパノー
ル、ブタノール等のアルコール系溶剤、ベンゼン、トル
エン、キシレン等の芳香族系溶剤、クロロホルム、1,
1,1−トリクロロエタン、1,1,2−トリクロロエ
チレン等のハロゲン系溶剤、R−113等のフロン系溶
剤の単独あるいは混合系で使用することができる。
【0012】本発明の有機バインダーを用いたグリーン
シートにおいてセラミックスとしては、アルミナ、ムラ
イト、コージェライト等の成分単独もしくは、これらの
1種以上をフィラーとしてガラス粉末との混合系を使用
することができる。
シートにおいてセラミックスとしては、アルミナ、ムラ
イト、コージェライト等の成分単独もしくは、これらの
1種以上をフィラーとしてガラス粉末との混合系を使用
することができる。
【0013】バインダーとセラミックス粉の割合(重量
比)は、セラミックス粉100に対してバインダーは3
〜20が好ましく、バインダーが3未満では分散が悪く
良好なグリーンシートとならず、20を超えると、焼成
時にバインダーを分解させるのが困難になるおそれがあ
る。
比)は、セラミックス粉100に対してバインダーは3
〜20が好ましく、バインダーが3未満では分散が悪く
良好なグリーンシートとならず、20を超えると、焼成
時にバインダーを分解させるのが困難になるおそれがあ
る。
【0014】
[グリーンシートの成形]アルミナとホウケイ酸系ガラ
スを50重量部ずつ混合した原料100重量部に対し、
トルエン60重量部、表1の試料番号No.1〜11の
組成の高分子化合物からなるバインダー10重量部、フ
タル酸ジオクチル2重量部を加え、ボールミルで20時
間混合し、スラリーとした。次いでこのスラリーをドク
ターブレードマシンにより、0.2mmの厚さに成形
し、60〜80℃で2時間乾燥し、グリーンシートを得
た。なお、試料番号No.1〜5は実施例であり、他は
比較例である。
スを50重量部ずつ混合した原料100重量部に対し、
トルエン60重量部、表1の試料番号No.1〜11の
組成の高分子化合物からなるバインダー10重量部、フ
タル酸ジオクチル2重量部を加え、ボールミルで20時
間混合し、スラリーとした。次いでこのスラリーをドク
ターブレードマシンにより、0.2mmの厚さに成形
し、60〜80℃で2時間乾燥し、グリーンシートを得
た。なお、試料番号No.1〜5は実施例であり、他は
比較例である。
【0015】[グリーンシートの評価]グリーンシート
を引っ張り試験機で引っ張り、その切断強度を比較し
た。また、グリーンシートを55mm角に切り出し、厚
みと重量を測定してグリーンシート密度を求め、セラミ
ックス粉の比重から充填率を求め比較した。評価結果を
表1に示す。
を引っ張り試験機で引っ張り、その切断強度を比較し
た。また、グリーンシートを55mm角に切り出し、厚
みと重量を測定してグリーンシート密度を求め、セラミ
ックス粉の比重から充填率を求め比較した。評価結果を
表1に示す。
【0016】No.1〜5では、グリーンシート(G
S)充填率、グリーンシート(GS)強度とも良好にな
っていることがわかる。バインダーとして1種類の高分
子化合物を用いたNo.8〜11では充填率もしくは強
度のいずれかが良好でない。
S)充填率、グリーンシート(GS)強度とも良好にな
っていることがわかる。バインダーとして1種類の高分
子化合物を用いたNo.8〜11では充填率もしくは強
度のいずれかが良好でない。
【0017】No.6〜7では、バインダーとして2種
の高分子化合物を混合して用いているが、分子量、酸価
が適切でないためにグリーンシート充填率もしくはグリ
ーンシート強度のいずれかにおいて良好な結果が得られ
ていないことがわかる。
の高分子化合物を混合して用いているが、分子量、酸価
が適切でないためにグリーンシート充填率もしくはグリ
ーンシート強度のいずれかにおいて良好な結果が得られ
ていないことがわかる。
【0018】[セラミックス基板の作製]グリーンシー
トを6枚重ねて熱圧着し、300℃/hrで昇温し、3
50℃で1時間保持した後、300℃/hrで降温して
有機バインダー類を脱脂後、1600℃/hrで昇温
し、850℃で10分間保持した後、1600℃/hr
で降温してセラミックス基板を得た。得られた基板につ
いてアルキメデス法でかさ密度を求め、粉体密度から相
対密度を求めた。結果を表1に併記する。実施例に相当
する試料については、緻密な基板が得られていることが
わかる。
トを6枚重ねて熱圧着し、300℃/hrで昇温し、3
50℃で1時間保持した後、300℃/hrで降温して
有機バインダー類を脱脂後、1600℃/hrで昇温
し、850℃で10分間保持した後、1600℃/hr
で降温してセラミックス基板を得た。得られた基板につ
いてアルキメデス法でかさ密度を求め、粉体密度から相
対密度を求めた。結果を表1に併記する。実施例に相当
する試料については、緻密な基板が得られていることが
わかる。
【0019】
【表1】
【0020】
【発明の効果】本発明の有機バインダーによりセラミッ
クス粉の分散が良くかつグリーンシート充填率、グリー
ンシート強度の良好なグリーンシート及び緻密なセラミ
ックス基板を得ることができる。
クス粉の分散が良くかつグリーンシート充填率、グリー
ンシート強度の良好なグリーンシート及び緻密なセラミ
ックス基板を得ることができる。
Claims (3)
- 【請求項1】2種以上の高分子化合物を混合してなる有
機バインダーを用いたセラミックスグリーンシートであ
って、該高分子化合物は、少なくとも1種は酸価が1以
上で重量平均分子量が10万未満であり、かつ、少なく
とも1種は重量平均分子量が10万以上であることを特
徴とするセラミックスグリーンシート。 - 【請求項2】(メタ)アクリル酸エステル重合体のうち
少なくとも2種以上を混合してなる有機バインダーを用
いたセラミックスグリーンシートであって、該(メタ)
アクリル酸エステル重合体は、少なくとも1種は酸価が
1以上で重量平均分子量が10万未満であり、かつ、少
なくとも1種は重量平均分子量が10万以上であること
を特徴とするセラミックスグリーンシート。 - 【請求項3】請求項1または請求項2記載のセラミック
スグリーンシートを焼成してなるセラミックス基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5024808A JPH06219819A (ja) | 1993-01-20 | 1993-01-20 | セラミックスグリーンシート及びセラミックス基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5024808A JPH06219819A (ja) | 1993-01-20 | 1993-01-20 | セラミックスグリーンシート及びセラミックス基板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06219819A true JPH06219819A (ja) | 1994-08-09 |
Family
ID=12148498
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5024808A Pending JPH06219819A (ja) | 1993-01-20 | 1993-01-20 | セラミックスグリーンシート及びセラミックス基板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06219819A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100462451B1 (ko) * | 2000-06-29 | 2004-12-17 | 인터내셔널 비지네스 머신즈 코포레이션 | 폴리머 및 세라믹 복합 전자 기판 |
-
1993
- 1993-01-20 JP JP5024808A patent/JPH06219819A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100462451B1 (ko) * | 2000-06-29 | 2004-12-17 | 인터내셔널 비지네스 머신즈 코포레이션 | 폴리머 및 세라믹 복합 전자 기판 |
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