JPH062199U - クリーンルームにおける天井の漏洩検知装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】作業員の削減を図り、操作が簡単で誰でも取り
扱え、走査洩れ無く効率的なクリーンルーム用フィルタ
ーのスキャニング装置を提供する。 【構成】床面上を移動自在の台車２上に、フィルター
Ｆ，Ｆ…群を有するクリーンルーム天井の実質的に１セ
クションに相当する開口面積をもってフィルターＦ側に
開口する流入側開口５ａ、ならびにこの流入側開口５ａ
から流入した空気を排出する吐出側開口５ｃとを有する
導風管５と；前記流入側開口５ａから流入した空気の一
部を取り込み塵埃測定を行う塵埃計数器７、７とを備え
る。前記導風管５は昇降部５ｂを有し、支柱シリンダー
４、４…によって上下方向に昇降自在とする。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、クリーンルームの天井に設けられている高性能・超高性能フィルタ ー自体の製品不良や、そのフィルターの取り付け、フレームの取り付けなどの施 工不良などに起因する洩れを探査するためのクリーンルームにおける天井の漏洩 検知装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

エレクトロニクスやバイオテクノロジーなどの最先端技術分野から医薬、食品 製造分野などに至る広い範囲の分野においては、超微粒子までの塵埃を除去し、 高い清浄度に保ったクリーンルームが利用に供されている。 前記クリーンルームにおいては、高い清浄度を維持するため、供用開始前に、 フィルター自体の製品不良、施工取付に伴う破損箇所、あるいは施工不良などの 発見を目的として、人力によりリーク試験を行っている。 従来、リーク試験は、クリーンルーム内に脚立等の足場を組み、塵埃計数器（ パーティクルカウンター）と連結した内径１０mm前後の円錐状の塵埃取込みチュ ーブを用いて、その流入孔側を前記高性能フィルターの表面側に向けた状態で、 人手により毎秒５cm程度の速さでジグザグ上に探査させて、フィルターの施工不 良部または破損箇所を探し出していた。この場合、狭い範囲の一個所でのリーク の試験が終了すると、隣接する場所に改めて脚立を立てて、その隣接する個所で のリーク試験を行う必要がある。

【０００３】 前記スキャニング走査は、上向きの姿勢で作業を行うため、作業員に過酷な労 働を強いており、しかもその都度脚立を立てるなど段取りの時間を多大に要する のが現状である。そこで、リーク試験のためのスキャニング作業を軽減すべく、 自走走査ロボットによるスキャニングも行われている。この場合における吸引チ ューブは人手による場合と実質的に同一のものを用いていた。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、前述した人手によるスキャニング走査の場合には、少なくとも 走査する人と、塵埃計を監視する人の最低二人の作業員を必要とするとともに、 過酷な労働であるため確実にフィルターの表面を１００％走査することは不可能 で、一部に走査残りが生じるなどの問題があった。 また、走査ロボットを用いてスキャニングしたとしても、作業員の労働は軽減 されるものの、人手がロボットに代わっただけで、走査に要する時間は必ずしも 短縮されない。逆に、ロボットを操作するために専門知識の習得を要するととも に、計画的な移動のためのインプット操作等に人手以上の時間と手間を要する場 合もある。また、その製作費が高価であるため、製作台数も自ずと制限され、故 障時の取扱いおよびメンテナンスに多大な手間を要する。さらに、スキャニング の誤動作を防ぐためにロボット監視員も常時必要としていた。

【０００５】 他方、従来例では、天井の一セクションを区画する支持フレームとフィルター との間、支持フレームに対する照明やスプリンクラーの取付不良などに伴う漏洩 を検知することに時間を要していた。

【０００６】 そこで、本考案の主たる課題は、作業員の削減を図るとともに、操作が簡単で 誰でも取り扱え、また走査残りが無く確実にかつ効率的にスキャニングが行え、 製作費が安価なスキャニング装置を提供するものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

前記課題は、床面上を移動自在の台車上に；フィルター群を有するクリーンル ーム天井の実質的に１セクションに相当する開口面積をもってフィルター側に開 口する流入側開口、ならびにこの流入側開口から流入した空気を排出する吐出側 開口とを有する導風管と；前記流入側開口から流入した空気の一部を取り込み塵 埃測定を行う塵埃計数器とを設けたことで解決できる。 この場合、前記導風管の胴体上部部分に昇降自在の昇降部を設けることが望ま しい。また、塵埃計数器と接続される測定管理用データロガーを台車上に装備さ せることができる。

【０００８】

【作用】

本考案においては、フィルター群を有するクリーンルーム天井の実質的に１セ クションに相当する開口面積をもってフィルター側に開口する流入側開口を有す る導風管によって、測定対象フィルターパネルを介して流入する清浄空気を導風 管内に取り込み、この取り込んだ清浄空気の一部を塵埃取込みチューブで取り込 み、塵埃計数器によって清浄空気中の塵埃個数を計数する。なお、流入した空気 は、導風管他端の吐出側開口から排出される。 本考案では、特に流入側開口がクリーンルーム天井の実質的に１セクションに 相当する開口面積をもってフィルター側に開口して形成されているために、１フ ィルター分の清浄空気を、導風管内に一挙に取り込み、漏洩検知を行うものであ るため、作業能率が高まる。また、装置的にみれば、基本的には台車に大きい開 口面積を有する導風管を設けたものであるために、簡素であるため製作費が安価 で、また台車をある走行路に従って走行させるのみで足り、複雑な操作を必要と せず誰でも取り扱え、さらに人員的にみれば、台車に塵埃計数器を搭載させるこ とで、その台車の走行と塵埃計数器の監視とを一人で行うことができる。

【０００９】 また、導風管の胴体上部部分に昇降自在の昇降部を設けることにより、ドアを 通して測定の対象部屋内に本考案装置を搬入するときに便利である。また、塵埃 計数器と接続される測定管理用データロガーを台車上に装備させることにより、 走行時において、漏洩の生じたセクションを後において特定できる。

【００１０】

【実施例】

以下、本考案を図面に示す実施例に基づき詳説する。 図１において、本考案に係る漏洩検知装置１は、車輪３、３…を備えた台車２ 上に搭載され、床面を移動自在となっている。前記車輪３、３…は、床面がグレ ーチングの場合には、走行振動を低減するため好ましくは樹脂製車輪とし、グレ ーチングの隙間に対処するため車輪の径を大きくしまた幅広のものが用いられる 。前記台車２に４本の支柱シリンダー４、４…が立設され、この支柱シリンダー ４、４…によって導風管５が支持されている。 他方、クリーンルーム天井は、図３に示すように、躯体３０からフレーム吊り 部材３１を介して支持フレーム３２が吊持され、この支持フレーム３２，３２… により周囲を支承された状態でフィルターＦ、Ｆ群が配設されている。この場合 、図４に示すように、フィルターＦは支持フィルター３２に対してシール部材３ ３によりシールされるが、そのシール個所の施工不良により漏洩が生じることが ある。また、支持フレーム３２には照明３４やスプリンクラー３５が取り付けら れる。この場合においても、施工不良により、その取付個所から漏洩が生じるこ ともある。

【００１１】 そこで、本考案における導風管５の流入側開口５ａは、フィルターＦ，Ｆ…群 を有するクリーンルーム天井の実質的に１セクションに相当する開口面積、実施 例では図３に示すように、支持フレーム３２、３２の中心線によって囲まれた面 積に相当する開口面積をもって開口している。なお、前記開口面積は、図３の例 よりも、大きめに構成することもできるし、また、図４に示されるように、開口 面積を狭めて、導風管５の流入側開口５ａ部の寸法を前記支持フレーム３２、３ ２の内法寸法Ｌ内に収め、直接フィルターＦと直接的に当接できるようにするこ ともできる。したがって、前記開口面積は、測定対象とする１セクションとの関 係では、厳密に同等である必要はなく、同等程度の面積であれば足りる。ここで 、前記フィルターＦの寸法は、一般的には６００mm×６００mm、または６００mm ×１２００mm程度であり、通常は、この１フィルター分の面積が、本考案にいう 「１セクション」を構成する。また、導風管５の胴部上部は、キャンバスまたは 合成ゴムなどによって覆われた蛇腹構造とされて昇降部５ｂを形成しいる。一方 、前記導風管５は、他端側に流入側開口５ａから流入した空気を排出する吐出側 開口５ｃとを有している。

【００１２】 前記支柱シリンダー４、４…は、それぞれ油圧または空気圧等を駆動源として おり、このシリンダーの先端４が、流入側開口５ａ部に対して連結され、かつ導 風管５の昇降部５ｂとの関係で、上部導風管５Ａが昇降するようになっている。

【００１３】 使用に際しては、前記導風管５の流入側開口５ａが支持フレーム３２の下面ま たは照明などに当接させる場合には、流入側開口５ａの縁部に支持フレーム３２ に当接する際の当りを和らげるため、また気密性を高めるため、樹脂またはゴム 等の緩衝部材を設けることができる。

【００１４】 一方、導風管５の昇降部５ｂより下側の下部導風管５Ｂは、円弧状に屈曲する とともに、吐出開口５ｃに向けて漸次開口面積が狭められ流入空気が集束されて いる。その吐出開口５ｃには、前記流入側開口５ａから流入した清浄空気の流れ に対向して吸引孔６ａを向けた塵埃取込みチューブ６、６が設けられ、この塵埃 取込みチューブ６、６は、台車２に搭載された塵埃計数器（パーティクルカウン ター）７、７に対しそれぞれ連結されている。前記塵埃取込みチューブ６、６に よって流入空気の一部が捕集され、前記塵埃計数器７によって流入空気中の塵埃 の個数が計数される。計数器７の設置台数は、一台でもよいが、精度を向上させ るために２台以上設置するのが望ましい。また、複数台設置した各計数器７、７ の塵埃の測定対象粒径をそれぞれ変えることもできる。また、前記計数器７、７ はデータロガー８に対し接続されており、前記計数器７、７からの信号を変換し て紙シートに印字記録するとともに、測定値が設定された上限値を超えた場合に は、警報を発し作業員に知らせ、この異常セクションを記録することができる。

【００１５】 なお、９は台車２の押し走行用のハンドルであり、１０は支柱シリンダー４、 ４…、塵埃計数器７、７およびデータロガー８などの制御盤であり、塵埃計数値 や制御状態を表示するモニターを有している。

【００１６】 塵埃測定に際しては、作業員がハンドル９を介して漏洩検知装置１を測定対象 位置に移動させた後、支柱シリンダー４、４…を動作させて導風管５の流入側開 口５ａを上昇させて、支持フレーム３２に近接または当接させた状態で１セクシ ョンの測定を行う。この測定が終了したならば、隣接する次の測定対象セクショ ンに移動させてそのセクションにおいて測定を行う。

【００１７】 また、測定に際しては、図３に示されるように、フィルターＦ面より室内側に 突出する照明３４、スプリンクラー３５の位置からある程度離した状態で、測定 を行うこともできる（以下、間接吸い込み方式という）。このように、フィルタ ーＦ面からある程度離した場合であっても、導風管５に流入する清浄空気は、導 風管５の吐出側開口５ｃで狭められ、導風管５の流入側開口５ａに比べて空気抵 抗が増しているため、前記流入側開口５ａより導風管５内に入る空気量よりも吐 出側開口５ｃより排出される空気量が少なくなる。したがって、流入空気量と排 出空気量との差分の空気量は、矢印のように流入側開口５ａより外側に洩れ出る ようになり、一種のエアカーテンを形成するため、隣接するフィルターＦ、Ｆと の干渉もなく、当該１セクションの塵埃測定を行うことができる。なお、前記フ ィルターＦと流入側開口５ａとの離間距離を概ね２００mm以内とされる。

【００１８】 次に、本発明に係る他の例について詳述する。 図５は、基本的に間接吸い込み方式とするとともに、天井高さの異なる各クリ ーンルームに対応するべく、上下方向に導風管を昇降自在とした例である。 図５において、台車１２は、下面に取付けられた車輪１３、１３によって移動 自在となっており、この台車１２上にフィルタースキャニング装置が搭載されて いる。台車１２に立設された支柱１４、１４…および横材１８、１８…によって 支持枠が組まれ、この内方に導風管１５が内設されている。前記導風管１５は、 クリーンルーム天井に張られたフィルター群Ｆ、Ｆ、…の１フィルター面積（１ セクション）に実質的に相当する開口面積を有し、かつ天井のフィルターＦに向 けて開口する流入側開口１５ａと、この流入側開口から流入した空気を排出する 吐出側開口１５ｃとを有するとともに、導風管１５の上部に自立性の昇降部１５ ｂを有している。前記昇降部１５ｂの構造としては、たとえばリンク式昇降金具 の回りをキャンバスまたは樹脂等で覆う構造等、通常採用される適宜の構造を採 用することができる。なお、前記吐出側開口１５ｃは、図示の例では側方に吐出 させているが、清浄空気の流入方向、つまり下方向に開口することでもよい。

【００１９】 前記導風管１５の下部には、上端の流入側開口１５ａから流入した清浄空気の 流れに対向して吸引孔１６ａを向けた塵埃取込みチューブ１６が設けられ、この 塵埃取込みチューブ１６は、台車１２に搭載された計数器（パーティクルカウン ター）１７に対し連結されている。

【００２０】 実際の測定に当たっては、クリーンルームの天井高さに合わせて、導風管１５ の昇降部１５ｂが昇降調整され、導風管１５の上端の流入側開口１５ａの高さ位 置がフィルターＦ面から離間を有するように位置決めされる。前記離間としては 、１０〜２００mm、好ましくは３０〜１００mm程度とするのがよい。導風管１５ の昇降調整がなされたならば、作業員による台車１２の移動走査により、導風管 １５の流入側開口１５ａが、順次天井の１フィルター分を覆う所定位置に移動さ れて測定が行われる。

【００２１】 〔実施例〕 従来法である、内径１０mm前後の塵埃取込みチューブを用いて、その吸引孔側 を前記高性能フィルターの表面側に向けた状態で、毎秒５cm程度の速さでジグザ グ上にスキャニング（走査）させて測定する方法と、本考案に係るスキャニング 装置とによる測定方法とで、測定に要する時間を比較した。 従来法の場合には、６００mm×６００mmの１枚のフィルターの測定に４〜５分 の測定時間を要していたが、本考案装置によれば、１〜２分に短縮することがで きる。

【００２２】

【考案の効果】

以上詳説のとおり、本考案によれば、取扱いが簡単で誰でも操作できるととも に、作業員の数も一人で足りるようになる。また、測定の洩れも無くなり、塵埃 測定効率が大幅に向上する。さらに、自走走査ロボットに比較して装置的にも安 価であるなどの利点がもたらされる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係るスキャニング装置の全体図であ
る。

【図２】導風管の吐出側開口部の要部拡大図である。

【図３】本考案に係る一測定態様の説明図である。

【図４】導風管の流入側開口部寸法を変えた例における
要部拡大図である。

【図５】本考案に係るスキャニング装置の他の例であ
る。

【符号の説明】

１…スキャニング装置、２…台車、３…車輪、４…支柱
シリンダー、５…導風管、５ａ…流入側開口、５ｂ…昇
降部、５ｃ…吐出側開口、６…塵埃取込みチューブ、７
…塵埃計数器、８…データロガー

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】床面上を移動自在の台車上に；フィルター
   群を有するクリーンルーム天井の実質的に１セクション
   に相当する開口面積をもってフィルター側に開口する流
   入側開口、ならびにこの流入側開口から流入した空気を
   排出する吐出側開口とを有する導風管と；前記流入側開
   口から流入した空気の一部を取り込み塵埃測定を行う塵
   埃計数器とを設けたことを特徴とするクリーンルームに
   おける天井の漏洩検知装置。
2. 【請求項２】前記導風管の胴体上部部分に昇降自在の昇
   降部を設けた請求項１記載のクリーンルームにおける天
   井の漏洩検知装置。
3. 【請求項３】塵埃計数器と接続される測定管理用データ
   ロガーを台車上に装備させた請求項１または２記載のク
   リーンルームにおける天井の漏洩検知装置。