JPH0622262B2 - 半導体ウェハ支持用ボートの製造方法 - Google Patents
半導体ウェハ支持用ボートの製造方法Info
- Publication number
- JPH0622262B2 JPH0622262B2 JP60142497A JP14249785A JPH0622262B2 JP H0622262 B2 JPH0622262 B2 JP H0622262B2 JP 60142497 A JP60142497 A JP 60142497A JP 14249785 A JP14249785 A JP 14249785A JP H0622262 B2 JPH0622262 B2 JP H0622262B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- ridges
- semiconductor wafer
- supporting
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 15
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 9
- 241000217377 Amblema plicata Species 0.000 claims description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 24
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 5
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 3
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-YPZZEJLDSA-N carbon-10 atom Chemical compound [10C] OKTJSMMVPCPJKN-YPZZEJLDSA-N 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005470 impregnation Methods 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229920000609 methyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001923 methylcellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010981 methylcellulose Nutrition 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は半導体ウエハ支持用のボートの製造方法に関
するものである。
するものである。
従来の技術 従来、半導体ウエハ支持用のボートは数多くの形式が提
案されてきている。
案されてきている。
例えば、第５図に示すように、ボートはほぼウエハの直
径と同程度の内径で、肉厚の管状の成形体を２分割ある
いは３分割などに分解してボート本体１０を形成し、そ
の内面側に一連のウエハ支持用の溝１１を形成する形状
・製造方法が提案され、製造・使用されてきている。
径と同程度の内径で、肉厚の管状の成形体を２分割ある
いは３分割などに分解してボート本体１０を形成し、そ
の内面側に一連のウエハ支持用の溝１１を形成する形状
・製造方法が提案され、製造・使用されてきている。
また、第６図に示すように、断面がキャップ形状のボー
ト本体１２をあらかじめ形成し、ボート本体１２そのも
のにウエハ支持用の溝１３を切り込んでボートを製造す
る方法も知られている。
ト本体１２をあらかじめ形成し、ボート本体１２そのも
のにウエハ支持用の溝１３を切り込んでボートを製造す
る方法も知られている。
発明が解決しようとする課題 第５図に示す従来のウエハ支持用ボートにあっては、溝
１１が円弧状に長くなっているため、溝切り作業に時間
がかかり、溝切りにともなうボートの欠けなどの不良の
発生が多くなる。また、製造されたボートは溝１１が円
弧状になっているため、ウエハとの接触面積が大きい欠
点があった。さらに、ボート本体が重くなりすぎるとと
もに、熱容量が大きいという欠点があった。
１１が円弧状に長くなっているため、溝切り作業に時間
がかかり、溝切りにともなうボートの欠けなどの不良の
発生が多くなる。また、製造されたボートは溝１１が円
弧状になっているため、ウエハとの接触面積が大きい欠
点があった。さらに、ボート本体が重くなりすぎるとと
もに、熱容量が大きいという欠点があった。
第６図に示す従来例の場合には、ボート本体の形状が比
較的複雑となるとともに、ボート本体に溝１３を形成し
ているため、強度が問題となりがちであった。
較的複雑となるとともに、ボート本体に溝１３を形成し
ているため、強度が問題となりがちであった。
この発明は前述のような従来の半導体ウエハ支持用ボー
トの製造方法の欠点を解消して、ウエハとの接触面積を
小さくするとともに、強度を大きくし、しかも軽量でか
つ熱容量が小さい半導体ウエハ支持用ボートの製造方法
を提供することを目的としている。
トの製造方法の欠点を解消して、ウエハとの接触面積を
小さくするとともに、強度を大きくし、しかも軽量でか
つ熱容量が小さい半導体ウエハ支持用ボートの製造方法
を提供することを目的としている。
問題点を解決するための手段 前述の目的を達成するために、この発明は内面に４本以
上の突条が平行にかつ長手方向に形成されたＳｉＣ質の
管状体を一体に成形した後、少なくとも２カ所で該管状
体を突条を２分割する面に沿って切断して、得られた分
割体に両分割端の分割された突条を含んで少なくとも３
本以上の突条が含まれるように分割した後に、前記３本
以上の突条の各々にウエハ支持用の溝を形成することを
特徴とする半導体ウエハ支持用ボートの製造方法を要旨
としている。
上の突条が平行にかつ長手方向に形成されたＳｉＣ質の
管状体を一体に成形した後、少なくとも２カ所で該管状
体を突条を２分割する面に沿って切断して、得られた分
割体に両分割端の分割された突条を含んで少なくとも３
本以上の突条が含まれるように分割した後に、前記３本
以上の突条の各々にウエハ支持用の溝を形成することを
特徴とする半導体ウエハ支持用ボートの製造方法を要旨
としている。
実施例 第１図に示すように、まず内面に長手方向に沿った突条
２を４本以上有する管状体１を一体に成形する。このよ
うな管状体は形状が単純形状であるため製造が容易であ
り、成形にあたっては公知の方法、例えば、押し出し成
形あるいは鋳込み成形などを好適に用いることができ
る。
２を４本以上有する管状体１を一体に成形する。このよ
うな管状体は形状が単純形状であるため製造が容易であ
り、成形にあたっては公知の方法、例えば、押し出し成
形あるいは鋳込み成形などを好適に用いることができ
る。
これらの突条２は各々が平行に形成されており、かつ管
状体本体とＳｉＣを主成分として一体に形成されてい
る。Ｓｉ−ＳｉＣとして一体に形成しても良い。これら
の形成に当たっては公知のＳｉＣ材料の製造方法が用い
られる。
状体本体とＳｉＣを主成分として一体に形成されてい
る。Ｓｉ−ＳｉＣとして一体に形成しても良い。これら
の形成に当たっては公知のＳｉＣ材料の製造方法が用い
られる。
この管状体１を第１図に示すように、突条のほぼ中央部
を通り、かつ管状体の中心線を通る面で複数に分割す
る。第１図のように管状体を３分割する場合には管状体
の内面に少なくとも６本の突状を形成すれば、分割され
たボート本体は３本の突条を有することになる。第１図
の実施例の場合には、突条を９本形成し、３分割された
１つのボート本体は４本の突条を有することとなる。
を通り、かつ管状体の中心線を通る面で複数に分割す
る。第１図のように管状体を３分割する場合には管状体
の内面に少なくとも６本の突状を形成すれば、分割され
たボート本体は３本の突条を有することになる。第１図
の実施例の場合には、突条を９本形成し、３分割された
１つのボート本体は４本の突条を有することとなる。
突条は所望の間隔を持って形成する事ができるが、等間
隔に形成すると製造上容易である。
隔に形成すると製造上容易である。
第２図及び第３図に示すように、分割されたボート本体
１の４本の突条に所望数の溝３を形成し、それらの溝３
にウエハ４を入れて支持するようにするものである。
１の４本の突条に所望数の溝３を形成し、それらの溝３
にウエハ４を入れて支持するようにするものである。
軽量化をはかるために、ボート本体１を薄肉にするのみ
でなく、ボート本体１の一部を切り抜くとよい。たとえ
ば、第４図に示すように、突条２の周辺をわずかに残し
て、ボート本体１から矩形状に除去すると、全体的に軽
量になるばかりでなく、熱容量が小さくなり、熱分布も
良好となる。
でなく、ボート本体１の一部を切り抜くとよい。たとえ
ば、第４図に示すように、突条２の周辺をわずかに残し
て、ボート本体１から矩形状に除去すると、全体的に軽
量になるばかりでなく、熱容量が小さくなり、熱分布も
良好となる。
実施例１ まず、シリコンカーバイド粗粉末４０〜６０重量％と、
シリコンカーバイド微粉末６０〜４０重量％と、カーボ
ン１０〜２０重量％と、メチルセルローズ５重量％と、
水１３重量％と、滑剤２重量％を配合して混練し、押出
成型又は鋳込み成型をし、硬化させてから焼成し、純化
をはかって、Ｓｉを含浸させてから加工する。たとえ
ば、第１図に示すように、薄肉の円管の内側に９本の突
条２が等間隔に平行かつ長手方向に形成されるように、
押出成型又は鋳込み成型により前述の混練物を成形す
る。このような形状の成形物を硬化させて焼成する。純
化やＳｉの含浸を必要に応じて行なってから、突条を２
分割するように円管を３分割して、第２図に示すように
縦断面が円弧状をしたボート本体１をつくる。そのボー
ト本体１の内面に４本の突条２が一体に形成されるよう
にする。そして、これら４本の突条２に所定間隔ごとに
溝３を形成し、それらの溝３にウエハ４を支持できるよ
うにする。
シリコンカーバイド微粉末６０〜４０重量％と、カーボ
ン１０〜２０重量％と、メチルセルローズ５重量％と、
水１３重量％と、滑剤２重量％を配合して混練し、押出
成型又は鋳込み成型をし、硬化させてから焼成し、純化
をはかって、Ｓｉを含浸させてから加工する。たとえ
ば、第１図に示すように、薄肉の円管の内側に９本の突
条２が等間隔に平行かつ長手方向に形成されるように、
押出成型又は鋳込み成型により前述の混練物を成形す
る。このような形状の成形物を硬化させて焼成する。純
化やＳｉの含浸を必要に応じて行なってから、突条を２
分割するように円管を３分割して、第２図に示すように
縦断面が円弧状をしたボート本体１をつくる。そのボー
ト本体１の内面に４本の突条２が一体に形成されるよう
にする。そして、これら４本の突条２に所定間隔ごとに
溝３を形成し、それらの溝３にウエハ４を支持できるよ
うにする。
突条２の形状は所望のものでよいが、通常は半円形にす
る。
る。
また、円管Ｐを３分割するばかりでなく、必要に応じて
２分割や４分割にすることもできる。
２分割や４分割にすることもできる。
また、円管Ｐの代わりに、多角形の管状体を形成し、そ
れらを複数に分割してもよい。
れらを複数に分割してもよい。
ボート本体および／又は突条の表面にＳｉＣのＣＶＤコ
ートを形成することもできる。
ートを形成することもできる。
発明の効果 本発明による半導体ウエハ支持用ボートの製造方法にお
いては、高い強度を有するウエハ支持用ボートを簡単に
製造できるとともに、突条を２分割する位置で管状体を
分割するために形成される突条の数を減らすことができ
るとともに、１つの管状体から効率良く複数のボートを
製造することができる。
いては、高い強度を有するウエハ支持用ボートを簡単に
製造できるとともに、突条を２分割する位置で管状体を
分割するために形成される突条の数を減らすことができ
るとともに、１つの管状体から効率良く複数のボートを
製造することができる。
表１と表２に示すように、この発明によって製造された
半導体ウエハ支持用ボートは、突条２によりウエハを支
持するため、ウエハ４との接触面積が小さく、熱的ある
いは純度的なウエハのダメッジが減少し、ボート本体１
に溝３を形成せずに突条２にのみ溝３を形成しボート本
体に直接的な切欠きを設けないので、製品強度が大で、
しかもボート本体１が薄板状であるので、軽量であり、
熱容量も小さく、実用上顕著な効果が得られる。
半導体ウエハ支持用ボートは、突条２によりウエハを支
持するため、ウエハ４との接触面積が小さく、熱的ある
いは純度的なウエハのダメッジが減少し、ボート本体１
に溝３を形成せずに突条２にのみ溝３を形成しボート本
体に直接的な切欠きを設けないので、製品強度が大で、
しかもボート本体１が薄板状であるので、軽量であり、
熱容量も小さく、実用上顕著な効果が得られる。
第１図は本発明の方法により半導体ウエハ支持用ボート
を形成するための分割加工前の円管状成型体を示す断面
図、第２図は第１図の円管状成型体を３分割した本発明
方法により製造された半導体ウエハ支持用ボートを示す
概略斜視図、第３図と第４図は、それぞれ、この発明の
発明により製造された半導体ウエハ支持用ボートを示す
概略断面図と斜視図、第５図と第６図は従来の半導体ウ
エハ支持用ボートを示す図である。 １……ボート本体 ２……突条
を形成するための分割加工前の円管状成型体を示す断面
図、第２図は第１図の円管状成型体を３分割した本発明
方法により製造された半導体ウエハ支持用ボートを示す
概略斜視図、第３図と第４図は、それぞれ、この発明の
発明により製造された半導体ウエハ支持用ボートを示す
概略断面図と斜視図、第５図と第６図は従来の半導体ウ
エハ支持用ボートを示す図である。 １……ボート本体 ２……突条
Claims (3)
- 【請求項１】内面に４本以上の突条が平行にかつ長手方
向に形成されたＳｉＣ質の管状体を一体に成形した後、
少なくとも２カ所で該管状体を突条を２分割する面に沿
って切断して、得られた分割体に両分割端の分割された
突条を含んで少なくとも３本以上の突条が含まれるよう
に分割した後に、前記３本以上の突条の各々にウエハ支
持用の溝を形成することを特徴とする半導体ウエハ支持
用ボートの製造方法。 - 【請求項２】ＳｉＣ−Ｓｉを主成分としてなる特許請求
の範囲第１項に記載の半導体ウエハ支持用ボートの製造
方法。 - 【請求項３】溝を形成した後にＳｉＣのＣＶＤコートを
形成することを特徴とする特許請求の範囲第１項または
第２項に記載の半導体ウエハ支持用ボートの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60142497A JPH0622262B2 (ja) | 1985-07-01 | 1985-07-01 | 半導体ウェハ支持用ボートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60142497A JPH0622262B2 (ja) | 1985-07-01 | 1985-07-01 | 半導体ウェハ支持用ボートの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS624337A JPS624337A (ja) | 1987-01-10 |
| JPH0622262B2 true JPH0622262B2 (ja) | 1994-03-23 |
Family
ID=15316705
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60142497A Expired - Lifetime JPH0622262B2 (ja) | 1985-07-01 | 1985-07-01 | 半導体ウェハ支持用ボートの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0622262B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5169453A (en) * | 1989-03-20 | 1992-12-08 | Toyoko Kagaku Co., Ltd. | Wafer supporting jig and a decompressed gas phase growth method using such a jig |
| US5169684A (en) * | 1989-03-20 | 1992-12-08 | Toyoko Kagaku Co., Ltd. | Wafer supporting jig and a decompressed gas phase growth method using such a jig |
| US20040188319A1 (en) * | 2003-03-28 | 2004-09-30 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Wafer carrier having improved processing characteristics |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5995624U (ja) * | 1982-12-16 | 1984-06-28 | 松下電工株式会社 | 石英ボ−ト |
| JPS59191327A (ja) * | 1983-04-15 | 1984-10-30 | Hitachi Ltd | 熱処理用治具 |
-
1985
- 1985-07-01 JP JP60142497A patent/JPH0622262B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS624337A (ja) | 1987-01-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2604876B2 (ja) | セラミックハニカム構造体の製造方法 | |
| EP1847519B1 (en) | Honeycomb structure and method of producing the same | |
| JPS6220881B2 (ja) | ||
| GB2095158A (en) | Extrusion die for extruding honeycomb structures having a peripheral wall | |
| ES8705777A1 (es) | Un metodo de produccion de un soporte monolitico para catalizadores | |
| US5041315A (en) | Flexible ceramic member and method of production thereof | |
| US10722877B2 (en) | Honeycomb structure | |
| US10688483B2 (en) | Honeycomb structure | |
| JPH0622262B2 (ja) | 半導体ウェハ支持用ボートの製造方法 | |
| US10710062B2 (en) | Honeycomb structure | |
| US4586833A (en) | Prong-type cage for rolling bearings | |
| KR20130079330A (ko) | 세라믹스 허니컴 소성체의 제조 방법 | |
| US20180280963A1 (en) | Honeycomb structure | |
| AT310422B (de) | Maschine zur Herstellung mehrerer, zwei koaxiale Drehflächen aufweisender Hohlkörper aus einem vollen Werkstück | |
| JP2006142579A (ja) | ハニカム構造体成形用口金及びハニカム構造体の製造方法 | |
| US12415766B2 (en) | Method of manufacturing honeycomb structure and honeycomb structure | |
| JPS61157872A (ja) | 一体成形歯車 | |
| CN116768646B (zh) | Si-SiC类复合结构体的制造方法 | |
| JPH05131426A (ja) | ハニカム構造体の押出成形用ダイス及びその製造方法 | |
| JPH01233711A (ja) | 酸化物超電導コイルの製造方法 | |
| JPS62180502U (ja) | ||
| JPH0313111B2 (ja) | ||
| US20180264455A1 (en) | Honeycomb structure | |
| JP2580743B2 (ja) | セラミックス建材の製造方法 | |
| JP2517246B2 (ja) | 任意断面形状で有底に形成できる容器類の製造方法 |