JPH062268Y2 - カセット搬送装置のカセット検知装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は液晶用ガラス基板や半導体基板等の薄板状基
板（以下単に基板と称する）を基板収容カセット内に収
容して、そのカセットを所要の位置へ搬送するのに用い
られるアーム挟持式カセット搬送装置に関し、特に、カ
セットの有無や挟持状態を検出するのに適するカセット
検知装置に関するものである。

〔従来の技術〕

この種の技術に関して、従来、例えば本出願人の提案に
より発明協会公開技報第８６−１５９９１号にて公開さ
れたものが知られている。第５図はその概略図である。

このアーム挟持式カセット搬送装置１は、並設された複
数の浸漬型処理槽Ｔ_１・Ｔ_２…に沿って矢印Ａ方向へ水
平移動可能に設けられた水平移動ブロック２と、水平移
動ブロック２の処理槽側にあって矢印Ｂ方向へ昇降可能
に設けられた昇降移動ブロック３と、昇降移動ブロック
３より処理槽側へ突設され、挟持用アーム５・５をカセ
ット挟持位置とカセット開放位置との間で駆動する一対
のアーム駆動支軸４・４とを具備して成り、基板収容カ
セット６を一対の挟持用アーム５・５で挟持して吊り上
げ、各処理槽Ｔ_１・Ｔ_２…内に順次カセット６を浸漬し
て基盤７を処理するのに用いられる。

そして、カセット検知装置５０は水平移動ブロック１の
両側部より一対のブラケットフレーム５１・５１をアー
ム駆動支軸４・４と平行に突設し、そのブラケットフレ
ーム５１・５１の両先端部に一組の光電センサ５６を付
設して成り、カセット６を順次各処理槽Ｔ_１・Ｔ_２…へ
移動する際に、挟持用アーム５・５で確実にカセット６
を挟持していることを検知するように構成されている。

〔考案が解決しようとする課題〕

一般に、この種のカセット搬送装置で基盤収容カセット
を受け渡しする際には、比較的高い位置に設けられたカ
セット収容棚との間で行なわれる受け渡しも多く、常時
一定の高さで基盤の受け渡しが行なわれることが少なく
なってきている。

従って、カセットの受け渡し動作を確実に検知するため
には、カセットの受け渡し位置でカセットの有無ないし
挟持状態を検知することが望ましい。

しかるに、上記従来例のものは、処理槽からの腐蝕性ガ
スで光電センサが侵蝕されることを考慮して所定の高さ
に光電センサが固定されているため、カセットが決めら
れた高さ、例えば移動時の高さに達するまでは、検知不
可能であった。そのため、カセット有無の確認動作の遅
れによる不都合を生じていた。また、それにもかかわら
ず、光電センサが腐蝕性ガスで侵蝕され誤動作を生ずる
という問題もある。

本考案はこのような事情に鑑みてなされたもので、その
目的はカセットの受け渡し位置でカセットの有無ないし
挟持状態を確実に検知する手段を提供するとともに、耐
蝕性に優れた検知手段を提供することである。

〔課題を解決するための手段〕

上記課題を解決するために、本考案は次のように構成さ
れる。

第１の考案はカセット挟持用アーム５を駆動するアーム
駆動支軸４と、アーム駆動支軸４に固定した検知具取付
用ブロック２１と、当該ブロック２１にその上部を軸支
して揺動自在に設けた揺動杆２４と、当該ブロック２１
に設けられ、揺動杆２４上部の接近に基づいて基板収容
カセット６の挟持状態を検知するセンサ２６と、当該ブ
ロックに固定され揺動杆２４の上部２４ａおよびセンサ
２６を覆う防蝕カバー２９とを具備して成り、アーム駆
動支軸４を回転させて挟持用アーム５で基板収容カセッ
ト６を挟持する際に、揺動杆２４の下部２４ｂが基板収
容カセット６に当接することにより、センサ２６が作動
し、当該カセット６を挟持したことを検知するように構
成したことを特徴とするものである。

そして、第２の考案はカセット挟持用アーム５を駆動す
るアーム駆動支軸４と、アーム駆動支軸４に固定した検
知具取付用ブロック３１と、当該ブロック３１にその上
部３４ａを軸支して揺動自在に設けた揺動筒杆４３と、
当該ブロック３１と揺動筒杆３４の上部３４ａとに亘っ
て付設され、揺動筒杆３４を挟持用アーム５とともに揺
動可能に付勢する付勢ばね３８と、当該ブロック３１に
固定され揺動筒杆３４の上部３４ａ及び付勢ばね３８を
覆う防蝕カバー３９と、揺動筒杆３４の下部３４ｂに防
蝕部材４１で覆って付設されたセンサ３６とを具備して
成り、アーム駆動支軸４を回転させて挟持用アーム５で
基板収容カセット６を挟持する際に、揺動筒杆３４が挟
持用アーム５とともに揺動して当該カセット６に圧接す
ることにより基板収容カセット６の存在を検知するよう
に構成したことを特徴とするものである。

〔作用〕

先ず第１の考案では、センサ２６が揺動杆２４の上部２
４ａとともに防蝕カバー２９内に設けられており、腐蝕
性ガスで侵蝕されるおそれはない。そして、挟持用アー
ム５が基盤収容カセット６を挟持する際には、揺動可能
に垂下されている揺動杆２４の下部２４ｂが基板収容カ
セット６の被吊持部６ａに当接する。すると、揺動杆２
４の上部２４ａがアーム駆動支軸４に固定された検知具
取付用ブロック２１に近接し、挟持用アーム５がカセッ
ト６を挟持したことをセンサ２６が検知する。

これにより、カセット６の受け渡し位置で確実にカセッ
トの挟持状態を検知することができる。

第２の考案では、圧力センサ３６が揺動筒杆３４の下部
３４ｂに防蝕部材４１で覆って付設され、そのリード線
３６ａは揺動筒杆３４内を通して付勢ばね３８ととも
に、防蝕カバー３９で保護されており、第１の考案と同
様に腐蝕性ガスで侵蝕されるおそれはない。又挟持用ア
ーム５がカセット６を挟持する際には、揺動可能に垂下
され挟持用アーム５とともに揺動可能に付勢されている
揺動筒杆３４が、挟持用アーム５とともに揺動して当該
カセット６の被吊持部６ａに圧接する。これにより、圧
力センサ３６はカセット６の受け渡し位置で確実にカセ
ットの有無を検知する。

〔実施例〕

以下図面に基づいて本考案の実施例をさらに詳述する。

第１図及び第２図は第１の考案に係るカセット検知装置
の要部縦断面図、第３図はそのカセット検知装置を備え
るアーム挟持式カセット搬送装置の要部を示す斜視図で
ある。

第３図において符号１はアーム挟持式カセット搬送装置
全体を示し、この搬送装置１は第５図に示したものと同
様に構成されており、一対のアーム駆動支軸４・４を支
軸駆動手段１０で回転駆動することにより、一対の挟持
用アーム５・５で基板収容カセット６を挟持し、昇降移
動ブロック３を上昇させて当該カセット６を昇降移動す
るように構成されている。なお第３図において、支軸駆
動手段１０は、昇降移動ブロック３内に設けられ、一対
のアーム駆動支軸４・４を回転自在に枢支する軸受具１
１・１１と、各アーム駆動支軸４・４にその基端部を固
定した伝動用アーム１２・１２と、伝動用アーム１２・
１２の先端部をピン１４を介して上下に揺動駆動するロ
ータリアクチェータ１６を具備して成り、ロータリアク
チェータ１６で、偏心板１５に立設したピン１４を偏心
駆動することにより、伝動アーム１２・１２を介してア
ーム駆動支軸４・４を回転し、一対の挟持用アーム５・
５でカセット６を挟持、解放するように構成されてい
る。

第３図において、符号２０は第１の考案に係るカセット
検知装置を示し、このカセット検知装置２０は、第１図
〜第２図に示すような構造になっている。なお第１図は
解放状態を、第２図は挟持状態を示す。

即ち、このカセット検知装置２０は、上記アーム駆動支
軸４と、アーム駆動支軸４に固定した検知具取付用ブロ
ック２１と、そのブロック２１に揺動自在に垂下させて
設けた揺動杆２４と、当該ブロック２１に設けた磁気セ
ンサ２６と、揺動杆２４の上部２４ａとセンサ２６とを
覆う耐蝕カバー２９とを具備して成る。

検知具取付用ブロック２１はアーム駆動支軸４に固定さ
れ、当該挟持用アーム５と一体回転するようになってい
る。

一方、揺動杆２４はその上部２４ａが当該ブロック２１
に立設した支持具２２によって軸支され、揺動自在に垂
下して設けられている。そして、揺動杆２４の下部２４
ｂにはカセット６の被吊持部６ａに当接する大径の錘り
２５が固設され、揺動杆２４の下端部は挟持用アーム５
の吊持部５ａよりも下方へ延設されている。従って、第
１図に示すアーム解放位置Ｄにあっては、揺動杆２４は
その下端部が挟持用アーム５の吊持部５ａに当接して、
挟持用アーム５に随行して揺動するとともに、第２図に
示すアーム挟持位置Ｅにあっては、揺動杆２４の下部２
４ｂに固設した上記錘り２５がカセット６の被吊持部６
ａに当接してそれ以上進まなくなる。

また、錘り２５は、揺動杆２４の反応を迅速にするため
設けられたもので、仮想線で示すように、付勢ばね２８
で揺動杆２４を挟持用アーム５に随行させるように構成
した場合、あるいは、揺動杆２４の重心位置が十分下方
にある場合には揺動アーム２４は迅速に挟持用アーム５
に随行するので必ずしも上記錘り２５は必要ではない。

揺動杆２４の上部２４ａには、磁気センサ２６に対面す
るように被検体２７が付設されており、第２図に示すア
ーム挟持位置Ｅにおいて、磁気センサ２６が当該被検体
２７の接近を検知することにより、挟持用アーム５がカ
セット６を挟持したことを検知するように構成されてい
る。

なお、揺動杆２４が防蝕カバー２９を貫通する部分は、
耐蝕性のベローズ２９ａで密閉されているが、必要に応
じて、このカバー２９内へ窒素ガス又はエアーを送り込
み、腐蝕性ガスの侵入を防止するようにしてもよい。

第４図は第２の考案に係るカセット検知装置の要部縦断
面図である。この図において符号３０はカセット検知装
置を示し、このカセット検知装置３０は前記アーム駆動
支軸４と、アーム駆動支軸４に固定した検知具取付用ブ
ロック３１と、そのブロック３１に揺動自在に垂下させ
て設けた揺動筒杆３４と、揺動筒杆３４を挟持用アーム
５とともに揺動可能に付勢する付勢ばね３８と、ブロッ
ク３１に固定され、揺動筒杆３４の上部３４ａ及び付勢
ばね３８を覆う防蝕カバー３９と、揺動筒杆３４の下部
３４ｂに付設された圧電センサ３６とを具備して成る。

以下、前記したカセット検知装置２０と相異する部分に
ついてのみ説明する。

圧電センサ３６は弾性変形可能な防蝕部材４１で覆って
あり、当該センサ３６のリード線３６ａは、下端を閉止
した揺動筒杆３４内を通して付勢ばね３８とともに、防
蝕カバー３９で保護されている。防蝕部材４１はベロー
ズ３９ａとともに、耐蝕性材料（例えば四弗化エチレン
樹脂）で形成されている。なお第４図中符号４２は密閉
用ブッシュ、４３は防蝕用チューブである。

圧電センサ３６は、第４図に示すアーム挟持位置におい
て、カセット６の被吊持部６ａに当接して、付勢ばね３
８の付勢力で圧接され、挟持用アーム５がカセット６を
挟持したことを検知する。

なお、圧電センサ２６はこれに限定されるものでなく、
使用する薬品によっては光センサを使用することもでき
る。

上記第１の考案及び第２の考案は上記実施例に限るもの
ではなく、多くの変形を加えて実施し得ることは云うま
でもない。

〔考案の効果〕

以上の説明で明らかなように、本考案によれば、常にカ
セットの受け渡し位置で確実にカセットの挟持状態もし
くはカセットの有無を検知することができるので、従来
例のように検知確認動作の遅れによる不都合を解消する
ことができる。

しかも、耐蝕性に優れ、誤動作を防止することができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は第１の考案に係るカセット検知装置
の実施例を示す要部縦断面図、第３図はアーム挟持式カ
セット搬送装置の要部を示す斜視図、第４図は第２の考
案に係るカセット検知装置の実施例を示す要部縦断面
図、第５図は従来例によるアーム挟持式カセット搬送装
置の斜視図である。 １…アーム挟持式カセット搬送装置、４…アーム駆動支
軸、５…挟持用アーム、５ａ…アームの吊持部、６…基
板収容カセット、６ａ…被吊持部、２１・３１…検知具
取付用ブロック、２４…揺動杆、３４…揺動筒杆、２６
…センサ、３６…圧電センサ、２６ａ・３６ａ…リード
線、２８・３８…付勢ばね、２９・３９…防蝕カバー。

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】カセット挟持用アームを駆動するアーム駆
   動支軸と、アーム駆動支軸に固定した検知具取付用ブロ
   ックと、当該ブロックにその上部を軸支して揺動自在に
   設けた揺動杆と、当該ブロックに設けられ、揺動杆上部
   の接近に基づいて基板収容カセットの挟持状態を検知す
   るセンサと、当該ブロックに固定され揺動杆の上部及び
   センサを覆う防蝕カバーとを具備して成り、アーム駆動
   支軸を回転させて挟持用アームで基板収容カセットを挟
   持する際に、揺動杆の下部が基板収容カセットに当接す
   ることにより、センサが作動し、当該カセットを挟持し
   たことを検知するように構成したことを特徴とするカセ
   ット搬送装置のカセット検知装置
2. 【請求項２】カセット挟持用アームを駆動するアーム駆
   動支軸と、アーム駆動支軸に固定した検知具取付用ブロ
   ックと、当該ブロックにその上部を軸支して揺動自在に
   設けた揺動筒杆と、当該ブロックと揺動筒杆の上部とに
   亘って付設され、揺動筒杆を挟持用アームとともに揺動
   可能に付勢する付勢ばねと、当該ブロックに固定され揺
   動筒杆の上部及び付勢ばねを覆う防蝕カバーと、揺動筒
   杆の下部に防蝕部材で覆って付設されたセンサとを具備
   して成り、アーム駆動支軸を回転させて挟持用アームで
   基板収容カセットを挟持する際に、揺動筒杆が挟持用ア
   ームとともに揺動して当該カセットに圧接することによ
   り基板収容カセットの存在を検知するように構成したこ
   とを特徴とするカセット搬送装置のカセット検知装置