JPH01125548U - - Google Patents

Info

Publication number
JPH01125548U
JPH01125548U JP2139988U JP2139988U JPH01125548U JP H01125548 U JPH01125548 U JP H01125548U JP 2139988 U JP2139988 U JP 2139988U JP 2139988 U JP2139988 U JP 2139988U JP H01125548 U JPH01125548 U JP H01125548U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cassette
arm
block
swinging
substrate storage
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2139988U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH062268Y2 (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2139988U priority Critical patent/JPH062268Y2/ja
Publication of JPH01125548U publication Critical patent/JPH01125548U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH062268Y2 publication Critical patent/JPH062268Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Description

【図面の簡単な説明】
第１図及び第２図は第１の考案に係るカセツト
検知装置の実施例を示す要部縦断面図、第３図は
アーム挾持式カセツト搬送装置の要部を示す斜視
図、第４図は第２の考案に係るカセツト検知装置
の実施例を示す要部縦断面図、第５図は従来例に
よるアーム挾持式カセツト搬送装置の斜視図であ
る。 １……アーム挾持式カセツト搬送装置、４……
アーム駆動支軸、５……挾持用アーム、５ａ……
アームの吊持部、６……基板収容カセツト、６ａ
……被吊持部、２１・３１……検知具取付用ブロ
ツク、２４……揺動杆、３４……揺動筒杆、２６
……センサ、３６……圧電センサ、２６ａ・３６
ａ……リード線、２８・３８……付勢ばね、２９
・３９……防蝕カバー。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ カセツト挾持用アームを駆動するアーム駆動
    支軸と、アーム駆動支軸に固定した検知具取付用
    ブロツクと、当該ブロツクにその上部を軸支して
    揺動自在に設けた揺動杆と、当該ブロツクに設け
    られ、揺動杆上部の接近に基づいて基板収容カセ
    ツトの挾持状態を検知するセンサと、当該ブロツ
    クに固定され揺動杆の上部及びセンサを覆う防蝕
    カバーとを具備して成り、アーム駆動支軸を回転
    させて挾持用アームで基板収容カセツトを挾持す
    る際に、揺動杆の下部が基板収容カセツトに当接
    することにより、センサが作動し、当該カセツト
    を挾持したことを検知するように構成したことを
    特徴とするカセツト搬送装置のカセツト検知装置
    。 ２ カセツト挾持用アームを駆動するアーム駆動
    支軸と、アーム駆動支軸に固定した検知具取付用
    ブロツクと、当該ブロツクにその上部を軸支して
    揺動自在に設けた揺動筒杆と、当該ブロツクと揺
    動筒杆の上部とに亘つて付設され、揺動筒杆を挾
    持用アームとともに揺動可能に付勢する付勢ばね
    と、当該ブロツクに固定され揺動筒杆の上部及び
    付勢ばねを覆う防蝕カバーと、揺動筒杆の下部に
    防蝕部材で覆つて付設されたセンサとを具備して
    成り、アーム駆動支軸を回転させて挾持用アーム
    で基板収容カセツトを挾持する際に、揺動筒杆が
    挾持用アームとともに揺動して当該カセツトに圧
    接することにより基板収容カセツトの存在を検知
    するように構成したことを特徴とするカセツト搬
    送装置のカセツト検知装置。
JP2139988U 1988-02-19 1988-02-19 カセット搬送装置のカセット検知装置 Expired - Lifetime JPH062268Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2139988U JPH062268Y2 (ja) 1988-02-19 1988-02-19 カセット搬送装置のカセット検知装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2139988U JPH062268Y2 (ja) 1988-02-19 1988-02-19 カセット搬送装置のカセット検知装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH01125548U true JPH01125548U (ja) 1989-08-28
JPH062268Y2 JPH062268Y2 (ja) 1994-01-19

Family

ID=31238606

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2139988U Expired - Lifetime JPH062268Y2 (ja) 1988-02-19 1988-02-19 カセット搬送装置のカセット検知装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH062268Y2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0579941U (ja) * 1992-03-31 1993-10-29 株式会社スガイ 物品把持装置
WO2011141960A1 (ja) * 2010-05-12 2011-11-17 ムラテックオートメーション株式会社 自動倉庫及び移載方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0579941U (ja) * 1992-03-31 1993-10-29 株式会社スガイ 物品把持装置
WO2011141960A1 (ja) * 2010-05-12 2011-11-17 ムラテックオートメーション株式会社 自動倉庫及び移載方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH062268Y2 (ja) 1994-01-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH01125548U (ja)
JPH0229232U (ja)
JPS609066U (ja) ヘツドのトラツク位置調整装置
JPS61153345U (ja)
JPH03102505U (ja)
JPS5827727U (ja) 重量検出装置
JPH0282431U (ja)
JPH01175149U (ja)
JPH0371525U (ja)
JPH02120499U (ja)
JPS6024483U (ja) ワ−ク取出し装置
JPS61139990U (ja)
JPH02115342U (ja)
JPS62113119U (ja)
JPH02124551U (ja)
JPS62138535U (ja)
JPH0288409U (ja)
JPH0255161U (ja)
JPS5917190U (ja) ロボツト把持部の負荷検出装置
JPS639838U (ja)
JPS611334U (ja) ボルトクランプ機構
JPS6248635U (ja)
JPH0371846U (ja)
JPS639839U (ja)
JPH03106727U (ja)