JPH06229748A - 磁歪ポテンショメータ - Google Patents

磁歪ポテンショメータ

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JPH06229748A
JPH06229748A JP1533293A JP1533293A JPH06229748A JP H06229748 A JPH06229748 A JP H06229748A JP 1533293 A JP1533293 A JP 1533293A JP 1533293 A JP1533293 A JP 1533293A JP H06229748 A JPH06229748 A JP H06229748A
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JP
Japan
Prior art keywords
magnetostrictive
signal
elastic wave
propagation time
circuit
Prior art date
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Pending
Application number
JP1533293A
Other languages
English (en)
Inventor
Sadao Mori
定男 森
Hiroyuki Yamamoto
裕之 山本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
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Publication date
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  • Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は磁歪ポテンショメータに関し、その
目的は、弾性波の乱れに対して強く、駆動方法や磁歪線
の長さによる影響を受けない磁歪ポテンショメータを提
供することにある。 【構成】 請求項1の発明では磁歪線の全長を往復伝播
する弾性波信号の反射波の伝播時間信号Tと磁歪線に沿
って移動可能に配置された検出素子が検出する弾性波信
号の直接波の伝播時間信号T1に基づいてT1/Tに比例
した電圧を演算出力するように構成し、請求項2の発明
では磁歪線の他端に配置された第1の検出素子が検出す
る弾性波信号の直接波の伝播時間信号Tと磁歪線に沿っ
て移動可能に配置された第2の検出素子が検出する弾性
波信号の直接波の伝播時間信号T1に基づいてT1/Tに
比例した電圧を演算出力するように構成した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は磁歪ポテンショメータに
関し、更に詳しくは、位置検出回路の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】サーボ形記録計の非接触形の位置帰還要
素として、磁歪線を伝播する弾性波の反射時間に基づい
て可動体の位置信号を生成するように構成された磁歪ポ
テンショメータが用いられている。これは、非接触であ
ることから寿命が半永久的という特徴がある。
【0003】図9は従来の磁歪ポテンショメータの要部
の構成図である。図において、1は磁歪線であり、一端
には弾性波を発生させるためのPZT(圧電素子)等の
駆動素子2が設けられている。3は駆動素子2の駆動回
路である。4は磁歪線1を伝播する弾性波の直接波と反
射波を検出するコイル等の検出素子であり、磁歪線1に
沿って移動可能に配置された図示しない可動体と一体化
されている。該検出素子4の出力信号は検出回路5に加
えられて、検出素子4の位置における直接波に関連した
時間信号T1と反射波に関連した時間信号T2に変換され
る。6は時間/電圧変換回路であり、これら時間信号T
1,T2に基づいて検出素子4の位置に関連した電圧V
potを演算出力する。
【0004】時間/電圧変換回路6において、演算増幅
器A1の非反転入力端子は共通電位点に接続され、反転
入力端子と出力端子の間にはコンデンサC1が接続され
ている。また、反転入力端子には抵抗R1とスイッチS1
の直列回路を介して基準電圧+Vsが加えられるととも
に、抵抗R2とスイッチS2の直列回路を介して基準電圧
−Vsが加えられている。スイッチS1は時間信号T1
より駆動され、スイッチS2は時間信号T2により駆動さ
れる。抵抗R1とスイッチS1の接続点と抵抗R 2とスイ
ッチS2の接続点の間には抵抗R3とR4の直列回路が接
続されている。該抵抗R3とR4の接続点は演算増幅器A
2の反転入力端子及び出力端子に接続されている。演算
増幅器A2の非反転入力端子はコンデンサC2を介して共
通電位点に接続されるとともに、スイッチS3を介して
演算増幅器A1の出力端子に接続されている。
【0005】このような構成において、磁歪線1の長さ
をL、反射端から検出素子4までの距離をxとすると、
時間/電圧変換回路6は、 Vpot=K(T1−T2)/(T1+T2) =αx/L…(1) で表される電圧を出力する。なお、K,αは比例定数で
ある。
【0006】図10は図9で用いられている従来の検出
回路の一例の回路図であり、図9と共通する部分には同
一の符号を付けている。図において、コンパレータCO
MP 1の非反転入力端子には検出素子4の出力信号が入
力されて反転入力端子にはスレッショルド電圧+Vth
入力され、コンパレータCOMP2の反転入力端子には
検出素子4の出力信号が入力されて非反転入力端子には
スレッショルド電圧−Vthが入力されている。フリップ
フロップFF1のクロック端子にはコンパレータCOM
1の出力信号が入力され、端子Dは共通電位点に接続
され、端子SにはSET信号が入力され、出力端子Qか
ら時間信号T1が出力される。フリップフロップFF2
クロック端子にはコンパレータCOMP2の出力信号が
入力され、端子Dは出力端子Q´に接続され、端子Rに
はフリップフロップFF1の出力端子Qが接続され、出
力端子Q´はフリップフロップFF3のクロック端子に
接続されている。フリップフロップFF3の端子Dは共
通電位点に接続され、端子SにはSET信号が入力さ
れ、出力端子Qから時間信号T2が出力される。
【0007】図11は図10の動作を示すタイミングチ
ャートである。(A)は駆動回路3から加えられるSE
T信号である。(B)は磁歪線1を伝播する弾性波信号
で、A,A1は直接波、Bは反射波である。(C)はコ
ンパレータCOMP1の出力信号、(D)はコンパレー
タCOMP2の出力信号、(E)はフリップフロップF
1の出力端子Qから出力される時間信号T1、(F)は
フリップフロップFF2の出力端子Q´から出力される
出力信号Q1´、(G)はフリップフロップFF3の出力
端子Qから出力される時間信号T2である。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】ところが、図10の回
路は、順序回路を使っているため、弾性波信号の波形の
乱れに対して弱いという問題点がある。具体的には、直
接波のA1の部分を期待しているので、この部分が変動
すると誤動作してしまう。特に、駆動素子2としてPZ
T(圧電素子)を用いた場合や磁歪線1が長くなると、
分散やダンピングの問題で波形がくずれやすい。
【0009】本発明は、このような問題点に鑑みてなさ
れたものであり、その目的は、弾性波の乱れに対して強
く、駆動方法や磁歪線の長さによる影響を受けない磁歪
ポテンショメータを提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に係る
磁歪ポテンショメータは、磁歪線と、該磁歪線の一端に
配置され弾性波信号を伝播させる駆動素子と、前記磁歪
線に沿って移動可能に配置された検出素子と、磁歪線の
全長を往復伝播する弾性波信号の反射波を前記駆動素子
から検出してその伝播時間信号Tを生成する第1の検出
回路と、磁歪線を伝播する弾性波信号の直接波を前記検
出素子から検出してその伝播時間信号T1を生成する第
2の検出回路と、これら伝播時間信号T,T1に基づい
てT1/Tに比例した電圧を演算出力する演算回路、と
で構成されたことを特徴とする。
【0011】そして、本発明の請求項2に係る磁歪ポテ
ンショメータは、磁歪線と、該磁歪線の一端に配置され
弾性波信号を伝播させる駆動素子と、前記磁歪線の他端
に配置された第1の検出素子と、前記磁歪線に沿って移
動可能に配置された第2の検出素子と、磁歪線の一端か
ら他端まで伝播する弾性波信号を前記第1の検出素子か
ら検出してその伝播時間信号Tを生成する第1の検出回
路と、磁歪線を伝播する弾性波信号の直接波を前記第2
の検出素子から検出してその伝播時間信号T1を生成す
る第2の検出回路と、これら伝播時間信号T,T1に基
づいてT1/Tに比例した電圧を演算出力する演算回
路、とで構成されたことを特徴とする。
【0012】
【作用】請求項1の発明では、磁歪線の全長を往復伝播
する弾性波信号の反射波の伝播時間信号Tと磁歪線に沿
って移動可能に配置された検出素子が検出する弾性波信
号の直接波の伝播時間信号T1に基づいて、T1/Tに比
例した電圧が演算出力される。
【0013】請求項2の発明では、磁歪線の他端に配置
された第1の検出素子が検出する弾性波信号の直接波の
伝播時間信号Tと磁歪線に沿って移動可能に配置された
第2の検出素子が検出する弾性波信号の直接波の伝播時
間信号T1に基づいて、T1/Tに比例した電圧が演算出
力される。いずれの場合も、従来のような順序回路を用
いていないので弾性波信号の波形の乱れ部分の影響を受
けることはなく、安定した位置検出動作が実現できる。
【0014】さらに、請求項2の発明では反射波を用い
ていないので位置検出に用いる弾性波信号の減衰は小さ
くなり、磁歪線の長さを請求項1の発明に比べてより長
くできる。
【0015】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の実施例を詳
細に説明する。図1は本発明の一実施例を示すブロック
図であり、図9と共通する部分には同一符号を付けてい
る。図において、7は第1の検出回路であり、磁歪線1
の全長を往復伝播する弾性波信号の反射波を駆動素子2
から検出してその伝播時間信号Tを生成する。8は第2
の検出回路であり、磁歪線1を伝播する弾性波信号の直
接波を検出素子4から検出してその伝播時間信号T1
生成する。9は演算回路であり、これら伝播時間信号
T,T1に基づいてT1/Tに比例した電圧Vpotを演算
出力する。10はタイミング信号発生回路であり、各部
にタイミング信号SETを出力する。
【0016】図2および図3は図1の具体回路例図であ
る。駆動回路3は駆動素子2として用いるPZTを駆動
する回路であり、コンプリメンタリ接続されたp形とn
形の2個のMOSFETで構成されている。これらMO
SFETのゲートにはタイミング信号発生回路10の出
力信号SETが入力され、p形MOSFETのドレイン
は電源+VPZTに接続され、n形MOSFETのドレイ
ンは共通電位点に接続され、各ソースは共通にPZT2
に接続されている。 第1の検出回路7はコンパレータ
COMP3とR−S形のフリップフロップFF4で構成さ
れている。コンパレータCOMP3の非反転入力端子に
はPZT2が接続されて反転入力端子にはスレッショル
ド電圧Vth1が入力され、その出力端子はフリップフロ
ップFF4のR端子に接続されている。フリップフロッ
プFF4のS端子には第2の検出回路8から出力される
伝播時間信号T1が加えられている。
【0017】第2の検出回路8はコンパレータCOMP
4とR−S形のフリップフロップFF5で構成されてい
る。コンパレータCOMP4の非反転入力端子には検出
素子4が接続されて反転入力端子にはスレッショルド電
圧Vth2が入力され、その出力端子はフリップフロップ
FF5のR端子に接続されている。フリップフロップF
5のS端子にはタイミング信号発生回路10の出力信
号SETが加えられている。
【0018】演算回路9は、2個の演算増幅器A3,A4
と、3個のスイッチS4〜S6と、2個のコンデンサ
3,C4と、2個の抵抗R5,R6とで構成されている。
図3において、演算増幅器A3の非反転入力端子は共通
電位点に接続され、反転入力端子と出力端子の間にはコ
ンデンサC3が接続されている。また、演算増幅器A3
反転入力端子には抵抗R5とスイッチS4の直列回路を介
して基準電圧−Vrefが加えられるとともに、スイッチ
5と抵抗R6の直列回路を介して演算増幅器A4の出力
端子に接続されている。なお、スイッチS4は時間信号
1により駆動され、スイッチS5は時間信号Tにより駆
動される。演算増幅器A3の出力端子はスイッチS6を介
して演算増幅器A4の非反転入力端子に接続され、演算
増幅器A4の非反転入力端子はコンデンサC4を介して共
通電位点に接続されている。なお、スイッチS6は例え
ば時間信号Tを入力とするモノマルチ回路MMで生成さ
れるホールド制御信号HOLDにより駆動される。演算
増幅器A4の出力端子は電圧Vp otの出力端子Toutに接
続されるとともに演算増幅器A4の反転入力端子に直接
接続されている。
【0019】図3の回路の動作を図4のタイミングチャ
ートを用いて説明する。(A)は時間信号T1、(B)
は時間信号T、(C)は演算増幅器A3の出力、(D)
はホールド制御信号HOLDを示している。演算増幅器
3に流れ込む電流は1周期で零になることから、 (−Vref/R5)T1+(Vpot/R6)=0…(2) の関係が成立し、この(2)式から、 Vpot=(R6/R5)(T1/T)Vref…(3) の関係が成立する。そして、R5=R6とすると、出力電
圧Vpotは、 Vpot=(T1/T)Vref…(4) になる。
【0020】図5は図1および図2の動作を示すタイミ
ングチャートである。(A)はタイミング信号発生回路
10から出力されるタイミング信号SET、(B)はP
ZT2の出力信号、(C)は検出素子4の出力信号、
(D)は時間信号T1、(E)は時間信号T、(F)は
コンパレータCOMP3の出力信号、(G)はコンパレ
ータCOMP4の出力信号である。
【0021】PZT2にタイミング信号SETに従って
駆動電圧を印加されることにより磁歪線1に弾性波が発
生して磁歪線1を伝播する。この弾性波が検出素子4を
通過するとき、逆磁歪効果により検出素子4の両端に電
圧が発生する。PZT2の駆動タイミングから検出素子
4の両端に電圧が発生するまでの時間T1は、PZT2
と検出素子4との距離をx、弾性波の伝播速度をvとす
ると、 T1=x/v…(5) になる。
【0022】一方、検出素子4を通過した弾性波は磁歪
線1の他端で反射してPZT2に戻り、PZT2に圧力
をかける。この結果、PZT2の両端には電圧が発生す
る。弾性波が磁歪線1の全長Lを往復伝播するのに要す
る時間Tは、 T=2L/v…(6) になる。
【0023】従って、これら(5),(6)式から、 T1/T=x/2L…(7) の演算を行うことにより、伝播速度vに依存することな
く距離xに比例した電圧を得ることができる。このよう
に構成することにより、従来のような順序回路は用いて
いないので波形の乱れに対しても安定に動作し、駆動素
子としてPZTのように制御しにくい素子を用いた場合
にも高精度の位置検出が行える。
【0024】また、コンパレータのスレッショルド電圧
が自由に設定できるので弾性波が減衰しても検出可能で
あり、磁歪線が長い場合に有効である。図6は本発明の
一実施例を示すブロック図であり、図1と共通する部分
には同一符号を付けている。図6と図1の異なる点は、
磁歪線1の他端に磁歪線1の一端から他端まで伝播する
弾性波信号の直接波を検出する第2の検出素子11とし
てPZTを設けていることと、この第2の検出素子11
の検出信号に基づいて磁歪線1の全長を伝播する弾性波
信号の伝播時間信号Tを生成する第3の検出回路12を
設けていることである。
【0025】図7は図6の具体回路例図であり、図2お
よび図3と共通する部分には同一符号を付けている。図
7において、第3の検出回路12はコンパレータCOM
5とR−S形のフリップフロップFF6で構成されてい
る。コンパレータCOMP5の非反転入力端子には検出
素子11が接続されて反転入力端子にはスレッショルド
電圧Vth3が入力され、その出力端子はフリップフロッ
プFF6のR端子に接続されている。フリップフロップ
FF6のS端子にはタイミング信号発生回路10の出力
信号SETが加えられている。
【0026】図8は図6および図7の動作を示すタイミ
ングチャートである。(A)はタイミング信号発生回路
10から出力されるタイミング信号SET、(B)は検
出素子11の出力信号、(C)は検出素子4の出力信
号、(D)はコンパレータCOMP5の出力信号、
(E)はコンパレータCOMP4の出力信号、(F)は
時間信号T1、(G)は時間信号Tである。
【0027】PZT2にタイミング信号SETに従って
駆動電圧を印加されることにより磁歪線1に弾性波が発
生して磁歪線1を伝播する。この弾性波が検出素子4を
通過するとき、逆磁歪効果により検出素子4の両端に電
圧が発生する。PZT2の駆動タイミングから検出素子
4の両端に電圧が発生するまでの時間T1は、PZT2
と検出素子4との距離をx、弾性波の伝播速度をvとす
ると、前述と同様に、 T1=x/v…(5) になる。
【0028】一方、検出素子4を通過した弾性波は磁歪
線1の他端に達することによりPZT11に圧力をかけ
る。この結果、PZT11の両端には電圧が発生する。
弾性波が磁歪線1の全長Lを伝播するのに要する時間T
は、前述と同様に、 T=2L/v…(6) になる。
【0029】従って、これら(5),(6)式から、前
述と同様に、 T1/T=x/2L…(7) の演算を行うことにより、伝播速度vに依存することな
く距離xに比例した電圧を得ることができる。このよう
に構成することにより、図1および図2の構成による効
果の他に、反射波を用いていないので時間信号の生成に
関与する弾性波の減衰は小さくなり、磁歪線を長くして
検出範囲を拡大する場合に有効である。
【0030】
【発明の効果】以上詳細に説明した本発明によれば、弾
性波の乱れに対して強く、駆動方法や磁歪線の長さによ
る影響を受けない磁歪ポテンショメータが実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例のブロック図である。
【図2】図1の各部の具体回路例図である。
【図3】図1の演算回路の具体回路例図である。
【図4】図2および図3の動作を示すタイミングチャー
トである。
【図5】図1の動作を示すタイミングチャートである。
【図6】本発明の他の実施例のブロック図である。
【図7】図6の各部の具体回路例図である。
【図8】図6および図7の動作を示すタイミングチャー
トである。
【図9】従来の磁歪ポテンショメータの要部の構成図で
ある。
【図10】図9で用いられている従来の検出回路の一例
の回路図である。
【図11】図10の動作を示すタイミングチャートであ
る。
【符号の説明】
1 磁歪線 2 駆動素子 3 駆動回路 4,11 検出素子 7,8,12 検出回路 9 演算回路 10 タイミング信号発生回路

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】磁歪線と、 該磁歪線の一端に配置され弾性波信号を伝播させる駆動
    素子と、 前記磁歪線に沿って移動可能に配置された検出素子と、 磁歪線の全長を往復伝播する弾性波信号の反射波を前記
    駆動素子から検出してその伝播時間信号Tを生成する第
    1の検出回路と、 磁歪線を伝播する弾性波信号の直接波を前記検出素子か
    ら検出してその伝播時間信号T1を生成する第2の検出
    回路と、 これら伝播時間信号T,T1に基づいてT1/Tに比例し
    た電圧を演算出力する演算回路、とで構成されたことを
    特徴とする磁歪ポテンショメータ。
  2. 【請求項2】磁歪線と、 該磁歪線の一端に配置され弾性波信号を伝播させる駆動
    素子と、 前記磁歪線の他端に配置された第1の検出素子と、 前記磁歪線に沿って移動可能に配置された第2の検出素
    子と、 磁歪線の一端から他端まで伝播する弾性波信号を前記第
    1の検出素子から検出してその伝播時間信号Tを生成す
    る第1の検出回路と、 磁歪線を伝播する弾性波信号の直接波を前記第2の検出
    素子から検出してその伝播時間信号T1を生成する第2
    の検出回路と、 これら伝播時間信号T,T1に基づいてT1/Tに比例し
    た電圧を演算出力する演算回路、とで構成されたことを
    特徴とする磁歪ポテンショメータ。
JP1533293A 1993-02-02 1993-02-02 磁歪ポテンショメータ Pending JPH06229748A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003075143A (ja) * 2001-09-07 2003-03-12 Yokogawa Electric Corp 位置検出装置及び位置決め装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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