JPH0623977Y2 - プローブカード - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案はプローブカード、特に着脱可能なカード基板に
複数の触針を取付け、この触針により半導体製品の電気
的測定を行うプローブカードに関する。

［従来の技術］ 半導体製品の製作の際に導通状態などの電気的特性の測
定が行われており、例えば半導体製品のウエーハ状態で
のチェック、或いは抵抗アレイ、ダイオードアレイ、液
晶の表示板などの各種のＩＣにおける電気的チェック等
が行われている。

この様な測定器として、各半導体製品毎に交換して使用
するカード状のプローブカードが周知であり、これは例
えば、第５図に示されるように、カード基板１０がその
コネクタ１０ａによりテスタ１２に接続されている。

このカード基板１０の中心部には複数の触針１４が設け
られ、この触針１４の先端は下側に突出する構造となっ
ている。

一方、半導体のウエーハ１６は可動台１８の所定位置に
載置されており、この可動台１８を移動させてウエーハ
１６を順次触針１４の下側位置にセッティングする。そ
して、この触針１４によりウエーハ１６の電気的測定が
行われる。

［考案が解決しようとする問題点］ 従来の問題点 ところで、前述した従来の触針１４は、カード基板１０
に固定されており、これでは各種の被測定物や測定の時
の微調整に対応することができないという問題があっ
た。

即ち、カード基板１０の触針位置は被測定物に応じて作
成されていて、被測定物が変わればカード基板１０も異
なることになる。従って、従来は測定端子位置に多少の
相違があってもカード基板１０を新たに作成しなければ
ならなかった。

また、実際の測定に当たっては、触針位置に多少の変更
を必要とすることがあり、この様な場合にも従来装置で
は微調整ができないという不便があった。

考案の目的 この考案は係る問題点を解決するために為されたもの
で、触針位置を微調整可能とすることにより各種の被測
定物に対応することのできるプローブカードの提供を目
的とする。

［問題点を解決するための手段］ 前記目的を達成するために、本考案は、テスタに着脱可
能なコネクタを備えたカード基板と、前記カード基板に
保持され先端の触針が被測定物の測定端子に接触可能に
カード基板から突出し、前記カード基板のコネクタに電
気的に接続される少なくとも１個のプローブと、を含む
プローブカードにおいて、 前記プローブは上アームと下アームとを含む断面コ字状
の固定台と、前記上下アーム間に介装され一端に触針が
取付けられてアームの長手方向一側に弾発付勢された可
動板と、先端にテーパ部を有し該テーパ部が前記可動板
の端縁を基板と平行な平面内で押圧可能に前記上アーム
に取付けられた調整ネジと、を含み、調整ネジの回動操
作により前記可動板を基板と平行な平面内で微調整可能
としたことを特徴とする。

［作用］ 以上の構成により、まず固定台はカード基板に固定保持
されると共に、この固定台において摺動可能に配置され
た可動板は、固定台側に取付けられた調整ネジの回動操
作により基板と平行な平面内で移動することができる。
そして、この可動板の移動に伴ない、その一端に取付け
られた触針が任意の位置に移動され、しかも、このとき
前記可動板は調整ネジのテーパ部に押圧されて移動する
ことになるので、調整ネジの回転角を制御することによ
り極めて微量の調整が可能となる。

即ち、本考案によれば触針の微調整を可能としたことに
より、実用性の高い測定器を得ることができる。

［実施例］ 以下、図面に基づき本考案の好適な実施例を説明する。

第１図には本考案に適用されるプローブが示され、第２
図にはこのプローブが取付けられたカード基板の一例が
示されている。

第２図において、プローブ２０，２０，…がカード基板
１０に取付けられており、これらのプローブ２０はエポ
キシ系樹脂等から成るカード基板１０の中心位置に設け
られた中心孔１０ｂの外周の所定位置に配置されてい
る。そして、先端の触針２２は被測定物の測定端子に接
触可能にカード基板１０から突出されている。

このカード基板１０には、中心孔１０ｂの周りにプロー
ブ２０を取付けるための取付ネジ挿入孔１０ｃが所定の
角度で複数個設けられており、測定する半導体製品に合
わせてプローブ２０の位置を任意に選択できるようにな
っている。

また、前記カード基板１２には、前記触針２２とカード
基板１０のコネクタ１０ａとを電気的に接続するため
に、差込式の着脱容易な接続端子３８が設けられてい
て、この接続端子３８の一方はコネクタ１０ａに、また
他方は触針２２から引き出されたリード線４０に接続さ
れている。これにより、プローブ２０の配置位置の変化
を容易に行うことができる。

以上はプローブ２０が中心孔１０ｂの外周位置に配置し
た場合について説明したが、これらのプローブ２０を直
線上に配置しても良い。

ここで本考案の特徴的なことは、前記プローブ２０は上
アームと下アームを含む断面コ字状の固定台と、前記上
下アーム間に介装され一端に触針２２が取付けられてア
ームの長手方向一側に弾発付勢された可動板と、先端に
テーパ部を有し該テーパ部が前記可動板の端縁を基板と
平行な平面内で押圧可能に上下アームに取付けられた調
整ネジとを含んでいることである。

即ち、本実施例において、第１図（ａ），（ｂ）に示さ
れるように、プローブ２０は、カード基板１０に固定保
持される固定台２６と、該固定台２６に摺動自在に配置
され先端部に触針２２が取付けられた可動板２４、及び
固定台２６側に取付けられた調整ネジ３６−１，３６−
２を含んでいる。前記固定台２６は上アーム３２と下ア
ーム３４とが長手方向の一側端において垂直片４２にて
結合された断面コ字状を為していて、上下アーム３２，
３４間に形成された空隙部４４に前記可動板２４が介装
されている。

この可動板２４と前記垂直片４２間には、上下アーム３
２，３４の長手方向に沿いスプリング（引張）が装着さ
れていて、可動板２４はこのスプリング４６によってそ
の伸張方向に付勢されている。また、可動板２４と上ア
ーム３２との間には板バネ４８が取付けられていて、こ
の板バネ４８により可動板２４は下アーム３４側に付勢
されている。

前記可動板２４は、第３図に示されるように、一端にＶ
字状の切欠き溝５２が設けられ他端は先細に形成されて
いて、その中間部には長円孔５２が穿設されている。前
記切欠き溝５２及び長円孔５６の端縁部はほぼ60°に面
取りされていて、この面取部に調整ネジ３６−１，３６
−２のテーパ部３６ａがそれぞれ接触するようになって
いる。

即ち、前記調整ネジ３６は、第４図に示されるように、
テーパ部３６ａが水平面に対し約60°傾斜して形成され
ており、従って、調整ネジ３６の回動操作によって可動
板２４はテーパ部３６ａに押圧され、カード基板１０と
平行な平面内で移動される。ここで、前記長円孔５６
は、調整ネジ３６−２のテーパ部３６ａの径よりも充分
大きく形成されている。これは、可動板２４がスプリン
グ４６により引っ張られるとき、第１図（ｂ）のＡ方向
（時計方向）に偶力のモーメントが生じ、このモーメン
トによる可動板２４の回動を阻止するため、調整ネジ３
６−２のテーパ部３６ａを長円孔５６の一側端縁に当接
させるためである。

また、前記可動板２４の先端部には触針２２を含むプロ
ーブヘッド５０が取付けられており、このプローブヘッ
ド５０は、一端が取付けネジ３０によって可動板２４に
固定され、他端が片持状に伸張された支持アーム５４
と、該指示アーム５４に固定保持された絶縁物からなる
取付け板２８と、この取付け板２８から突設された触針
２２を含んでいる。そして、前記取付け板２８により触
針２２と可動板２４とは電気的に絶縁状態とされ、ま
た、触針２２は可動板２４に取付けられた高さ調節ネジ
５８によって高さ方向の位置決めが行われる。更に、前
記取付け板２８の触針２２取付け面側には配線パターン
が布設されていて、この配線パターンからはリード線４
０が半田付けされて引き出され、その他端はカード基板
１０側に接続されている。

本考案は以上の構成からなり、次にその作用を説明す
る。

まず、被測定物の測定端子に合わせて決定されるカード
基板１０の取付位置にプローブ２０が取付けられ、触針
２２からのリード線４０を接続端子３８によりコネクタ
１０ａと接続する。これにより触針２２とテスタ１２と
の電気的接続が取られる。

そして、被測定物の測定端子に触針２２を位置合わせ
し、高さ調整の必要がある場合は高さ調節ネジ５８によ
り、また、触針２２を基板と平行な平面内で調整を行う
場合には、調整ネジ３６−１，３６−２の回動操作によ
って調整を行う。

即ち、調整ネジ３６のネジピッチをｐとすると、ネジの
１回転によりテーパ部３６ａは下方に１ピッチ分だけ移
動するが、このテーパ部３６ａは水平面に対しほぼ60°
の傾斜を有しているため、このテーパ部３６ａと当接さ
れる可動板２４の端縁は基板と平行な平面内で１／√３
ピッチだけ変位することになる。

従って、このネジピッチＰを例えば250μｍとすれば、
およそ調整ネジ３６の１回転で150μｍ変位し、その回
転角を任意に制御することにより10μｍ単位の微調整も
可能となる。

まお、本実施例では、プローブ２０をカード基板１０に
直接固定保持する場合について説明したが、これに限る
ことなく、例えばプローブ２０とカード基板１０との間
に粗な位置決めを行うための可動保持具を配置して、こ
の可動保持具により粗な位置決めを行った後にプローブ
２０により密な位置決めを行うようにすることもでき
る。

本実施例によれば、測定端子位置の多少異なる被測定物
に対しても、プローブ２０の取付位置を変えることなく
可動板２４を調整することにより、触針２２の位置決め
を行うことができる。

［考案の効果］ 以上説明した通り、本考案は調整ネジの回動操作により
可動板を基板と平行な平面内で微調整可能としたことに
より、プローブの取付位置を変えることなく被測定物と
触針との電気的導通を完全に保持することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に適用されたプローブの実施例を示す図
であり、同図（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図、 第２図は第１図のプローブをカード基板に取付けた状態
を示す斜視図、 第３図は可動板の形状を示す図、 第４図は調整ネジの外観図、 第５図はプローブカードの使用状態を示す斜視図であ
る。 １０……カード基板 ２０……プローブ ２２……触針 ２４……可動板 ２６……固定台 ３２……上アーム ３４……下アーム ３６……調整ネジ ４６……スプリング ５２……切欠き溝 ５６……長円孔

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】テスタに着脱可能なコネクタを備えたカー
   ド基板と、前記カード基板に保持され先端の触針が被測
   定物の測定端子に接触可能にカード基板から突出し、前
   記カード基板のコネクタに電気的に接続される少なくと
   も１個のプローブと、を含むプローブカードにおいて、 前記プローブは上アームと下アームとを含む断面コ字状
   の固定台と、 前記上下アーム間に介装され一端に触針が取付けられて
   アームの長手方向一側に弾発付勢された可動板と、 先端にテーパ部を有し該テーパ部が前記可動板の端縁を
   基板と平行な平面内で押圧可能に前記上アームに取付け
   られた調整ネジと、を含み、 調整ネジの回動操作により前記可動板を基板と平行な平
   面内で微調整可能としたことを特徴とするプローブカー
   ド。