JPH082617Y2

JPH082617Y2 - プローブ構造

Info

Publication number: JPH082617Y2
Application number: JP1990024968U
Authority: JP
Inventors: 克哉佐藤
Original assignee: Anritsu Corp
Current assignee: Anritsu Corp
Priority date: 1990-03-14
Filing date: 1990-03-14
Publication date: 1996-01-29
Anticipated expiration: 2005-03-14
Also published as: JPH03115866U

Description

【考案の詳細な説明】［産業上の利用分野］本考案は、被測定物として例えば電子回路部品等の入
出力端子に接触させて電気的特性や性能等を検査するプ
ローブ構造に関する。

［従来の技術］例えば電子回路部品の入出力端子に接触させてその電
気特性を検査する場合には、プローブが用いられる。そ
して、電子回路部品の入出力端子が複数ある場合、複数
のプローブをまとめて形成し複数の入出力端子に接触す
る構造のプローブがある。

第４図（ａ）に示すのは従来のプローブ構造を示す平
面図、第４図（ｂ）は、同図（ａ）のＢ−Ｂ線断面図で
ある。（特開昭63-308582号公報参照）このプローブは、平板状の板30中央部分に空孔34が形
成されると共に、この空孔34周縁部には複数の接触部35
が突設され、この接触部５は、信号線路S1〜S4により外
部に導出されている。

このプローブにより複数の接触部35が被測定物に設け
られた複数の入出力端子に接触し、この被測定物の特性
測定を行う。

次に、第５図に示すのは、特開昭62-56864号公報に開
示されているプローブの斜視図であり、複数の接点42a
〜42dが直線状に配置されている。また、板41先端部に
はスリット45a〜45cが形成され、よって接点42a〜42d部
分の基板46a〜46dは、各々上下方向に移動自在であり、
被測定物入出力端子と複数の接点との間の接触を取り易
い構成である。

さらに、第６図に示すのは、特開平1-147374号公報に
開示されているプローブの側面図である。固定の基板55
上には、プローブ用の基板53が設けられ、この基板53先
端部は、平行に突出されており、この先端部には、触針
60が設けられステージ72上の被測定物71に接触する構造
である。

［考案が解決しようとする課題］しかしながら、第４図（ａ），（ｂ）に示す構造のプ
ローブでは板30が平板状に形成されているため、全ての
接触部35が被測定物に対し良好に接触するには、被測定
物に対し板30が平行な状態としなければならず、この板
30が傾いたり、板30に凹凸があると、いずれかの部分の
接触部35の接触が不安定となり、正確な特性測定を行な
うことができない問題点を有している。

また、第５図に示すプローブでは、被測定物の入出力
端子のうち直線状に並んだ入出力端子部分のみしか接触
できない。通常、被測定物としてのICウェハは、複数の
入出力端子をウェハ上の４方に有しており、よってこれ
ら複数の入出力端子に同時に複数のプローブを接触する
ためには、図示のプローブを４個対向状に配置すること
になり、組み立てを必要とすると共に、各プローブ毎に
高さ方向を揃える調整を行わねばならない。

さらに、第６図に示すプローブでは、基板53が平行に
突出するのみであり、被測定物に対する押圧動作を行な
うと、触針60以外の部分が接触し傷をつけたりは損する
場合がある。

本考案は、上記事情に鑑みて成されたものであり、構
成が簡単で容易に製造でき、かつ被測定物に対する位置
精度を向上でき接触を安定することができるプローブ構
造を提供することを目的としている。

［課題を解決するための手段］上記目的を達成するため本考案のプローブ構造は、被
測定物10の入出力端子10aに接触して該被測定物の特性
を測定するプローブ構造であって、固定板１と、誘電体材質により板状に形成され、前記被測定物10に
対向する位置に空孔2aが設けられ、かつ該空孔2a部分か
ら外方に向けて所定間隔毎に形成された溝部2bにより複
数に分割されて前記入出力端子10aにそれぞれ接触自在
な接触片2cを有し、前記固定板１の下部に固定された基
板２と、前記基板２の接触片2cの一面に各々設けられ、先端に
接点部５を有する膜状の信号伝送路４と、前記固定板１の上部に螺合され、かつ先端が接触片2c
に接触するように前記各接触片2cの位置上に設けられた
複数の螺子３と、を具備し、前記基板２の面に対し接触片2cを所定角度で
折曲して形成され、前記螺子３の回転により各接触片2c
の傾斜角度をそれぞれ調整自在なことを特徴としてい
る。

また、前記信号伝送路４が接触片2c先端部で折り返し
状態の伝送路４′で成り、さらに折り返し部分から接点
部５までさらに信号伝送路を設けた構成とすることもで
きる。

［作用］上記構成によれば、接触片2cは、溝部2bにより複数に
分割され、それぞれ所定角度に折曲されており、単一枚
の基板２で一体形成できる。

そして、被測定物10の入出力端子10aに接する接点部
５は、この傾斜した接触片2cの先端に設けられているの
で被測定物10の入出力端子10aに対しこの接点部５のみ
接触し、他の部分が触れることがない。

また、固定板１に螺合された螺子３の一端は、接触片
2cに接しておりこの螺子３を回転させて接触片2cの傾斜
角度を可変でき、複数設けられた各接点部５をいずれも
同一位置に配置できる。

［実施例］第１図（ａ）は、本考案によるプローブ構造の第１実
施例を示す平面図、第１図（ｂ）は、同図（ａ）のＡ−
Ａ線断面図である。

平板状の固定板１の中央部には４角形状の空孔1aが設
けられている。

この固定板１下部には、同様に中央部に４角形状の空
孔2aが形成された基板２が固定されている。この基板２
は、板状誘電体により構成される。

この基板２は、中央部から４方向に夫々５つの溝部2b
が形成されており、夫々４個の接触片2cを形成してい
る。そして、第１図（ｂ）に示すように、この接触片2c
は角度調整手段３により所定角度下方に折曲保持され
る。

角度調整手段３としては、接触片2cの中央部分に設け
られ、固定板１に螺合された螺子３で構成でき、この螺
子３が接触片2c上面に当接することにより所定角度下方
に折曲保持されている。

この接触片2cの下面には夫々、膜状の信号伝送路４が
設けられている。膜状の信号伝送路４はマイクロストリ
ップ構造をなし、その幅と基板２の厚さにより、所定の
インピーダンスを形成している。そして信号伝送路４の
先端部には、接点部５が設けられると共に、他端部は、
図示しないが外部の測定器等と接続するためのコネクタ
部分まで導出されている。

この接点部５は、被測定物10の入出力端子10aに接触
して各種電気的特性を測定する。

そして、前記接触片2bは基板２に溝部2bを設けるのみ
で形成でき、かつ高さ位置方向以外に位置ずれがなく高
精度に形成することができる。

また、螺子３を調整することにより接触片2cの角度が
調整でき、これにより接点部５の高さ位置の調整が非常
に容易にでき、かつ全ての接点部５を同一位置に配置す
ることができる。

次に、第２図に示すのは、プローブ構造の第２実施例
である。この実施例では、螺子３に代えて予め固定板１
下面には接触片2cに対応する位置に各々凸部1bを形成し
ておく。

これにより、第１実施例同様、接触片2cは凸部1bによ
り所定角度傾斜した状態で保持することができ、第１実
施例同様の作用効果を得ることができる。

また、第３図に示すのは、プローブ構造の第３実施例
である。この実施例では、螺子３に代えて予め固定板１
には接触片2cに対応する位置に各々貫通孔1cを形成して
おく。そして、この貫通孔1c部分には球体６を設ける。

これにより、第１実施例同様、接触片2cは球体６によ
り所定角度傾斜した状態で保持することができる。

また、第１図（ｃ）は、信号伝送路の変形例を示す部
分拡大図である。この信号伝送路は、接触片2c先端部で
折り返し状態の伝送路４′で成り、折り返し部分から接
点部までさらに信号伝送路が設けられている。

［考案の効果］本考案によれば、通常被測定物としてのICウェハは４
辺に入出力端子を有しているが、この被測定物に対向す
る位置の基板に空孔を設け、この空孔から外方に向けて
溝部を設けるのみでこの４辺に接触する接触片を基板上
に予め一体形成でき、簡単な構成でプローブを容易に製
作することができる。

そして、接触片は基板から折曲するのみで所定角度傾
斜して形成でき、この接触片先端に設けられた接点部の
み被測定物の入出力端子に接することができ、接点部以
外が触れることがなく被測定物を傷付けたり、損傷する
ことがないとともに、被測定物の特性を安定して測定す
ることができる。

また、固定板に螺合された螺子を回転させることによ
り、各接触片の傾斜角度をそれぞれ容易に調整すること
ができ、各接点部を容易に同一位置に配置することがで
きるようになる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は、本考案によるプローブ構造の第１実施
例を示す平面図、第１図（ｂ）は、同図（ａ）のＡ−Ａ
線断面図、第１図（ｃ）は、伝送線路の変形を示す図、
第２図は、同プローブ構造の第２実施例を示す側断面
図、第３図は、同プローブ構造の第３実施例を示す側断
面図、第４図（ａ），（ｂ）は、従来のプローブを示す
平面図、第４図（ｂ）は、同図（ａ）のＢ−Ｂ線断面
図、第５図は、従来のプローブの他の例を示す斜視図、
第６図は、従来のプローブのさらに他の例を示す側面図
である。１……固定板、1b……凸部、1c……貫通孔、２……基
板、2a……空孔、2b……溝部、2c……接触片、３……螺
子、４……信号伝送路、５……接点部、６……球体、10
……被測定物、10a……入出力端子。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】被測定物（10）の入出力端子（10a）に接
触して該被測定物の特性を測定するプローブ構造であっ
て、固定板（１）と、誘電体材質により板状に形成され、前記被測定物に対向
する位置に空孔（2a）が設けられ、かつ該空孔部分から
外方に向けて所定間隔毎に形成された溝部（2b）により
複数に分割されて前記入出力端子にそれぞれ接触自在な
接触片（2c）を有し、前記固定板の下部に固定された基
板（２）と、前記基板の接触片の一面に各々設けられ、先端に接点部
（５）を有する膜状の信号伝送路（４）と、前記固定板の上部に螺合され、かつ先端が接触片に接触
するように前記各接触片（2c）の位置上に設けられた複
数の螺子（３）と、を具備し、前記基板（２）の面に対し接触片（2c）を所
定角度で折曲して形成され、前記螺子（３）の回転によ
り各接触片（2c）の傾斜角度をそれぞれ調整自在なこと
を特徴とするプローブ構造。
【請求項２】前記信号伝送路が接触片（2c）先端部で折
り返し状態の伝送路（４′）で成り、さらに折り返し部
分から接点部（５）までさらに信号伝送路を設けた請求
項１記載のプローブ構造。