JPH06240475A

JPH06240475A - ニッケルを含む塩化鉄系のエッチング液の処理方法

Info

Publication number: JPH06240475A
Application number: JP2694693A
Authority: JP
Inventors: Yasuya Mikami; 八州家三上; Masaaki Iorizaki; 雅章庵崎; Susumu Takayama; 進高山; Yuji Tanimura; 裕次谷村
Original assignee: Nittetsu Mining Co Ltd
Current assignee: Nittetsu Mining Co Ltd
Priority date: 1993-02-16
Filing date: 1993-02-16
Publication date: 1994-08-30

Abstract

(57)【要約】【目的】エッチング工程で発生する余剰の塩化ニッケ
ル及び塩化第１鉄を含むエッチング液から、簡単な操作
で、しかも低い運転コストで、金属ニッケル、金属鉄を
回収し、発生する塩素ガスを安全に有効利用して当該液
を再生する。【構成】ニッケルを含む塩化鉄系のエッチング液を隔
膜電解法で処理し、陰極でニッケル及び鉄を電析回収す
るとともに、陽極室で発生する塩素ガスを塩化第１鉄含
有のエッチング液に導き、当該液を酸化する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ニッケルを含む塩化鉄
系のエッチング液の処理方法に関するもので、特に当該
エッチング液を隔膜電解処理するとともに、そこで発生
する塩素ガスを有効にエッチング液の再生処理に用いる
方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば、カラー受像管の一構成部材たる
シャドウマスクは、鉄及びニッケルを主成分とする素材
の厚さ０．１〜０．３ｍｍの薄板にエッチング処理を施
して、多数の電子ビーム開孔を穿設することで形成され
る。

【０００３】そのエッチング工程において、鉄及びニッ
ケルを主成分とする素材を塩化第２鉄により開孔穿設す
る場合、成分中のニッケルについては、

【０００４】

【化１】

【０００５】なる反応により、また鉄については、

【０００６】

【化２】

【０００７】なる反応により、エッチング能力を有しな
いＦｅＣｌ₂とＮｉＣｌ₂を生成する。このように、３価
の鉄イオンが還元されてなる２価の鉄イオンやニッケル
イオンを含むエッチング廃液は、環境汚染防止上および
経済的要請から再生し、エッチング操作に再利用するこ
とが望ましい。

【０００８】ニッケルを含む廃液からニッケルを除去す
ることについては、従来から幾つかの方法が提案されて
いる。

【０００９】例えば、、特開平４−１１９８９号公報に
おいては、ニッケル等の重金属を含む塩化鉄系の廃液
に、鉄粉と少量の塩化第２鉄を混入して、酸化還元電位
とｐＨの調整を行ない、次の反応を生じさせて、ニッケ
ルを析出除去することが提案されている。

【００１０】

【化３】

【００１１】

【化４】

【００１２】この場合、投入した鉄の表面に不動態の膜
が形成されると、反応の進行を妨げるが、少量の塩化第
２鉄の混入により、当該膜の生成を防止し、鉄粉の表面
を活性化することで、鉄粉の反応を進行させると共に、
析出されたニッケルを当該鉄粉に付着させて沈殿物を生
じさせるものである。

【００１３】そして、エッチング工程で生じたＦｅＣｌ
₂や鉄粉の混入により上記反応式で形成されたＦｅＣｌ₂
は、エッチング能力を有せず、当該ＦｅＣｌ₂を含むエ
ッチング液が増加するにつれて、エッチング能率が低下
するが、上記環境汚染防止上および経済的要請から、そ
のようなエッチング液のエッチング能力を回復させるこ
とが要望される。そのためには、当該ＦｅＣｌ₂をエッ
チング能力を有する塩化第２鉄に再生する手立てが必要
である。

【００１４】そこで、特開平４−１１９８９号公報にお
いては、塩素ガスを吹き込むことによって、ＦｅＣｌ₂
をＦｅＣｌ₃に酸化して、廃液の再生を行なうとしてい
る。

【００１５】また、特開昭５９−１９０３６７号公報に
おいては、ＮｉＣｌ₂やＦｅＣｌ₂を含む組成物にオキシ
ム試薬を加えて、ニッケルを含む組成物を沈殿性錯塩に
変性し、当該沈殿性錯塩から分離された２価の鉄イオン
を含む組成物に塩素ガスを溶解させてＦｅＣｌ₃に再生
することが提案されている。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
４−１１９８９号公報に開示された鉄粉を投入してニッ
ケルを析出除去する方法においては、エッチング工程以
外でも、鉄粉の混入によりＦｅＣｌ₂が形成され、これ
を酸化させるので、かなり多量の余剰ＦｅＣｌ₃が発生
することとなり、その処理が問題となる。

【００１７】また特開昭５９−１９０３６７号公報に開
示されたオキシム試薬を加えてニッケルを沈殿除去する
方法では、オキシム試薬の添加に伴い発生するニッケル
錯塩を廃棄物として排出することとしているので、その
処理が問題となる。またエッチング工程で発生するＦｅ
Ｃｌ₂を酸化させることで、エッチング素材による余剰
のＦｅＣｌ₃が発生することとなり、その処理も問題と
なる。

【００１８】そこで本発明は、上記した従来方法での問
題に鑑み、エッチング工程で発生する余剰の塩化ニッケ
ル及び塩化第１鉄を含むエッチング液から、簡単な操作
で、しかも低い運転コストで、金属ニッケル、金属鉄を
回収し、発生する塩素ガスを安全に有効利用して当該液
を再生することを課題としている。

【００１９】

【課題を解決するための手段】上記課題は、本発明によ
り、ニッケルを含む塩化鉄系のエッチング液を隔膜電解
法で処理し、陰極でニッケル及び鉄を電析回収するとと
もに、陽極室で発生する塩素ガスを塩化第１鉄含有のエ
ッチング液に導き、当該液を酸化することにより解決さ
れる。

【００２０】本発明の基本概念は、エッチング液を隔膜
電解法と塩素ガス法の両方で処理することを内容とする
もので、とりわけ、隔膜電解槽の陽極室で発生する塩素
ガスすべてを塩素ガス法に利用するので、全く無駄が生
じない。

【００２１】塩素ガス法については、例えば、特開平２
−２５４１８８号公報で指摘されているように、従来は
理論上のみの再生方法と考えられていたが、本発明者は
その有効性を確認するとともに、特に本方法のために開
発した密閉型の電解槽を使用し、高電流密度の電解で積
極的に塩素ガスを発生させ、吸収塔を併用することによ
って、当該公報で言及されている「環境衛生上の問題」
を回避することに成功したものである。

【００２２】本発明の詳細な工程を以下に説明する。

【００２３】ニッケルを含む塩化鉄系のエッチング液を
隔膜電解槽の陽極室に導き、含有する２価の鉄イオンを
３価の鉄イオンに酸化するとともに塩素ガスを発生させ
る工程と、隔膜を介して陰極室に移動した金属イオンか
らニッケル及び鉄を電析回収する工程と、陽極室で発生
した塩素ガスで塩化第１鉄含有のエッチング液を酸化す
る工程とからエッチング液を再生処理するのが、好適で
ある。

【００２４】また、ニッケルを含む塩化鉄系のエッチン
グ液を隔膜電解槽の陰極室に導き、含有する金属イオン
からニッケル及び鉄を電析回収する工程と、隔膜を介し
て陽極室に移動した塩素イオンを酸化して塩素ガスを発
生させる工程と、還元電析により金属イオン濃度を減じ
た液を上記塩素ガスで酸化する工程とからエッチング液
を再生処理しても、好適である。その際、隔膜電解槽を
複数個備えるようにして、還元電析により金属イオン濃
度を減じた液を次段の陰極室に導き、ニッケル及び鉄を
電析回収するとともに、陽極室で塩素ガスを発生させる
繰り返し工程を加えるようにしてもよい。

【００２５】更に、ニッケルを含む塩化鉄系のエッチン
グ液を二段の隔膜電解槽の第１陰極室に導き、３価の鉄
イオンを２価の鉄イオンに還元する工程と、還元処理後
の当該液を冷却して塩化第１鉄を結晶として分離する工
程と、塩化第１鉄を分離した液を第２陰極室に導き、ニ
ッケル及び鉄を電析回収する工程と、還元電析により金
属イオン濃度を減じた液に上記塩化第１鉄結晶を再溶解
させる工程と、隔膜を介してそれぞれの陽極室に移動し
た塩素イオンを酸化して塩素ガスを発生させる工程と、
当該塩素ガスで、塩化第１鉄結晶を再溶解させた液を酸
化する工程とからエッチング液を再生処理することも、
一層好ましい。なぜならば、金属を電析回収する段階
で、鉄の濃度が低くなり、そのため回収金属中の鉄に対
するニッケルの比率を高めることができるからである。

【００２６】本発明で使用される電解隔膜としては、
陰極中に存在する３価から２価に還元された鉄の塩素錯
体が陽極側に移動することを制限し、多少の液面の揺れ
等では、陰極液と陽極液の混合が起こらない程度の気密
性を有し、できるかぎり電気抵抗の小さいものであ
り、できるだけ電極間の電気抵抗を上昇させないもの
であり、耐薬品性、とりわけ耐塩素化性に優れるもの
であって、膜自体が複極を形成しない、電気的に中
性、即ち、極性を持たないものである等の特性を有する
ことが要求され、例えば、モドアクリル、酢酸ビニル、
ポリエステル、ＰＴＦＥ、サラン等を挙げることができ
る。

【００２７】また電解槽での陽極には、塩素ガス発生の
際の過電圧を低下させる機能を有するものが求められ、
白金や、寸方安定アノード(dimentionaly stable anod
e、ＤＳＡと略称される）と称される（Ｒｕ−Ｓｎ）Ｏ₂
／Ｔｉ、（Ｐｔ−Ｉｒ）Ｏ₂／Ｔｉを用いるのが好まし
い。陰極には、鉄、鉄-ニッケル合金、ニッケル、チタ
ン、カーボン等を用いるのが好ましい。これらの電極仕
様により、液に全く不純物を溶出させることなく、また
電極板から剥離しやすい金属の結晶を得ることができ
る。

【００２８】電解液は、液の電気抵抗を下げ実用的な電
流密度を保つために、５０〜９０℃に保持するのが好ま
しい。

【００２９】

【作用】例えば、ニッケル濃度が２．５〜１５ｇ／ｌ程
度の低い場合には、２価の鉄イオン及びニッケルイオン
を含有するエッチング液を、先ず隔膜電解槽の陽極室に
導く。２価の鉄イオンはここで３価の鉄イオンに酸化再
生され、その一部は、２価の鉄イオンとニッケルイオン
と共に、陰極室に移動し、合金として還元電析される。

【００３０】陽極室では、塩素イオンが電子を失って塩
素ガスが発生する。当該塩素ガスは、吸収塔に導かれ
る。塩素ガスの発生により塩素濃度を減じ一部の２価の
鉄イオンを３価の鉄イオンに電解酸化された液は、陽極
室からエッチング槽に戻される。発生した塩素ガスによ
って、別の塩化第１鉄含有エッチング液を酸化して、再
生エッチャントとしてエッチング槽に戻す。

【００３１】ニッケル濃度が比較的高い場合には、２価
の鉄イオン及びニッケルイオンを含有するエッチング液
を、上記とは逆に、先ず隔膜電解槽の陰極室に導く。エ
ッチング液に含まれる金属イオンは還元電析され、ニッ
ケルや鉄を含む合金が回収される。

【００３２】一方、陽極室では、塩素イオンが酸化され
て塩素ガスを発生する。当該塩素ガスは、吸収塔に集め
られる。塩素ガスの発生により塩素濃度を減じ還元電析
により金属イオン濃度を減じた液は、陰極室から抜き出
され、塩素ガスによって酸化再生されて、エッチング槽
に戻される。

【００３３】塩化第１鉄の溶解度が塩化第２鉄のそれよ
りも小さいことを利用して、陰極液を冷却し、塩化第１
鉄を一旦結晶分離することで、電解条件を変えて、ニッ
ケルを効率良く回収することが可能である。

【００３４】本発明においては、通常の電解方法では発
生を極力抑えるように考慮されていた塩素ガスを、完全
密閉された系内においてエッチング液の再生に積極的に
利用するものである。

【００３５】

【実施例】以下に、本発明の実施例を挙げて更に具体的
に説明する。エッチング液の組成に応じて最適な方法が
選択される。電解方法は、電解毎に液を全量抜き出すバ
ッチ方式、濃度調整された電解液の循環する電解槽に、
電解液濃度が一体に保たれるように一定量の原液を供給
し、一定量の液を抜き出して回収する連続方式のいずれ
かを選択すればよく、場合によっては両方式を組み合わ
せてもよい。

【００３６】実施例１図１に概念的に示された装置において、エッチング工程
に供されたエッチング原液は、エッチング槽１から、エ
ッチング廃液として、７ｍｌ／minの流量で、モドアク
リル製隔膜を有し電解電圧４Ｖの隔膜電解槽２の陽極室
３（電極；（Ｒｕ−Ｓｎ）Ｏ₂／Ｔｉ）に導かれる。エ
ッチング槽１から引き出されたエッチング原液の一部
は、吸収塔５に導かれる。陽極室３では、２価の鉄イオ
ンが３価の鉄イオンに酸化され、その一部の３価鉄イオ
ンは、２価の鉄イオンとニッケルイオンと共に、隔膜を
介して陰極室４（電極；Ｔｉ）に移動する。

【００３７】陽極では、塩素イオンが電子を奪われて、
塩素ガスを発生する。この塩素ガスは、吸収塔５に導か
れる。この導入塩素ガスによって、エッチング槽１から
引き出され吸収塔５に導かれたエッチング原液の一部
は、塩化第１鉄が塩化第２鉄にされる。このように酸化
再生された塩化第２鉄を含む液は、再生エッチャントと
してエッチング槽１に戻される。また塩素ガスの発生に
より塩素濃度を減じた陽極液も、再生エッチャントとし
てエッチング槽１に戻される。

【００３８】隔膜を介して陰極室４に移動した金属イオ
ンのうち、３価の鉄イオンは電子を受け取り、一旦、２
価の鉄イオンとなる。陰極室４では、陰極液が流入・流
出して循環する。電解に伴い、陰極液のｐＨが上昇し、
スラッジが発生するので、これを濾過しながら陰極液を
循環するのが好ましい。この陰極室４で、金属イオンが
還元電析される。析出回収された金属の組成を調べたと
ころ、鉄８８．６％、ニッケル３．０％、銅５．９％、
クロム１．２％、コバルト０．３％の結果を得た。回収
金属の量は、２．０ｇ／ｈであった。析出金属１ｇあた
りの電解電力は、４．２Ｗｈ／ｇであった。

【００３９】７８〜８２℃の範囲に調整された隔膜電解
槽に入る直前の廃液の組成、循環する陰極液の組成、再
生エッチャントの組成は、それぞれ表１に示される通り
である。

【００４０】

【表１】

【００４１】実施例２図２に概念的に示された装置において、エッチング工程
に供されたエッチング原液は、エッチング槽１から、エ
ッチング廃液として、５ｍｌ／minの流量で、モドアク
リル製隔膜を有し電解電圧４．５Ｖの隔膜電解槽２の陰
極室４（電極；Ｔｉ）に導かれる。当該陰極室４では、
３価の鉄イオンが２価の鉄イオンに還元され、更に金属
イオンが還元電析される。隔膜を介して陽極室３（電
極；（Ｒｕ−Ｓｎ）Ｏ₂／Ｔｉ）に移動した塩素イオン
は、陽極で酸化されて塩素ガスを発生する。発生した塩
素ガスは、吸収塔５に導かれる。隔膜電解槽２の陽極液
は、陽極室３を流入・流出して循環する。

【００４２】還元電析により金属イオン濃度を減じた陰
極液は、吸収塔５に導かれて、当該吸収塔５に導入され
た塩素ガスによって、塩化第１鉄が塩化第２鉄にされ
る。酸化再生された塩化第２鉄を含む液は、再生エッチ
ャントとしてエッチング槽１に戻される。

【００４３】陰極室４で析出回収された金属の組成を調
べたところ、鉄３５．０％、ニッケル５６．５％、銅
３．８％、クロム０．９％の結果を得た。回収金属の量
は、８．５ｇ／ｈであった。析出金属１ｇあたりの電解
電力は、１５．０Ｗｈ／ｇであった。

【００４４】６８〜７２℃の範囲に調整された隔膜電解
槽に入る直前の廃液の組成、吸収塔に入る前の陰極液の
組成、循環する陽極液の組成、吸収塔を出た再生エッチ
ャントの組成は、それぞれ表２に示される通りである。

【００４５】

【表２】

【００４６】実施例３図３に概念的に示された装置において、エッチング工程
に供されたエッチング原液は、エッチング槽１から、エ
ッチング廃液として、５ｍｌ／minの流量で、モドアク
リル製隔膜を有し電解電圧４Ｖの第１隔膜電解槽２の陰
極室４（電極；Ｔｉ）に導かれる。陰極室４では、３価
の鉄イオンが２価の鉄イオンに還元され、一部の金属イ
オンは還元電析される。隔膜を介して陽極室３（電極；
（Ｒｕ−Ｓｎ）Ｏ₂／Ｔｉ）に移動した塩素イオンは、
陽極で酸化されて塩素ガスを発生する。発生した塩素ガ
スは、吸収塔５に導かれる。第１隔膜電解槽２の陽極液
は、陽極室３を流入・流出して循環する。

【００４７】還元電析により金属イオン濃度を減じ、陽
極室３への移動で塩素イオン濃度も減じた第１隔膜電解
槽２の陰極液は、同じくモドアクリル製隔膜を有し電解
電圧４．５Ｖの第２隔膜電解槽６の陰極室７（電極；Ｔ
ｉ）に導かれる。陰極室７では、金属イオンが還元電析
される。第１隔膜電解槽２と第２隔膜電解槽６とから析
出回収された金属の組成を調べたところ、鉄７．０％、
ニッケル１３．２％、銅７８．０％、クロム０．２５
％、スズ１．９％の結果を得た。回収金属の量は、９．
１ｇ／ｈであった。析出金属１ｇあたりの電解電力は、
１５Ｗｈ／ｇであった。

【００４８】隔膜を介して陽極室８（電極；（Ｒｕ−Ｓ
ｎ）Ｏ₂／Ｔｉ）に移動した塩素イオンは、第１隔膜電
解槽と同じく陽極で酸化されて塩素ガスを発生する。発
生した塩素ガスは、吸収塔５に導かれる。第２隔膜電解
槽６の陽極液も、陽極室８を流入・流出して循環する。
金属イオン濃度が減じ、陽極室８への移動で塩素イオン
濃度も減じた第２隔膜電解槽６の陰極液は、吸収塔５に
導かれ、導入された塩素ガスと接触する。その結果、塩
化第１鉄が塩化第２鉄にされる。酸化再生された塩化第
２鉄を含む液は、再生エッチャントとしてエッチング槽
１に戻される。

【００４９】第１隔膜電解槽に入る直前の廃液の組成、
６８〜７２℃の範囲にそれぞれ調整された第１隔膜電解
槽・第２隔膜電解槽での陰極液及び陽極液の組成、再生
エッチャントの組成は、それぞれ表３に示される通りで
ある。

【００５０】

【表３】

【００５１】実施例４図３に概念的に示された装置において、エッチング工程
に供された実施例３とは異なる組成のエッチング原液
は、エッチング槽１から、エッチング廃液として、実施
例３と同様に第１隔膜電解槽２の陰極室４に導かれる。

【００５２】組成以外については実施例と同じ条件で電
解を行ない、第１隔膜電解槽２と第２隔膜電解槽６とか
ら析出回収された金属の組成を調べたところ、鉄７１．
０％、ニッケル６．５％、銅１７．２％、クロム０．２
％、コバルト０．０４％、亜鉛０．０３％の結果を得
た。回収金属の量は、７．０ｇ／ｈであった。析出金属
１ｇあたりの電解電力は、７．２Ｗｈ／ｇであった。

【００５３】第１隔膜電解槽に入る直前の廃液の組成、
７８〜８２℃の範囲にそれぞれ調整された第１隔膜電解
槽・第２隔膜電解槽での陰極液及び陽極液の組成、再生
エッチャントの組成は、それぞれ表４に示される通りで
ある。

【００５４】

【表４】

【００５５】実施例５図４に概念的に示された装置において、エッチング工程
に供されたエッチング原液は、エッチング槽１から、エ
ッチング廃液として、５ｍｌ／minの流量で、モドアク
リル製隔膜を有し電解電圧４Ｖの第１隔膜電解槽２の陰
極室４（電極；Ｔｉ）に導かれる。陰極室４では、３価
の鉄イオンが２価の鉄イオンに還元される。還元された
２価の鉄イオンを含む陰極液を切替弁９で開閉調整され
た２個の冷却槽１０のいずれかに導き、冷却する。塩化
第１鉄は塩化第２鉄に比べて、その溶解度が小さく、結
晶として分離可能である。

【００５６】冷却槽１０において、沈降した結晶を分離
したオーバーフロー液は、同じくモドアクリル製隔膜を
有し電解電圧４．５Ｖの第２隔膜電解槽６の陰極室７
（電極；Ｔｉ）に導かれる。

【００５７】一方、隔膜を介して陽極室３（電極；（Ｒ
ｕ−Ｓｎ）Ｏ₂／Ｔｉ）に移動した塩素イオンは、陽極
で酸化されて塩素ガスを発生する。発生した塩素ガス
は、第１吸収塔５に導かれる。第１隔膜電解槽２の陽極
液は、陽極室３を流入・流出して循環する。

【００５８】鉄成分の濃度が減じられたオーバーフロー
液を受け入れた陰極室７では、金属イオンが還元電析さ
れる。この第２隔膜電解槽６から析出回収された金属の
組成を調べたところ、鉄１５．５％、ニッケル８１．０
％、銅０．０５％の結果を得た。回収金属の量は、４．
８ｇ／ｈであった。析出金属１ｇあたりの電解電力は、
１３．５Ｗｈ／ｇであった。

【００５９】隔膜を介して陽極室８（電極；（Ｒｕ−Ｓ
ｎ）Ｏ₂／Ｔｉ）に移動した塩素イオンは、第１隔膜電
解槽と同じく陽極で酸化されて塩素ガスを発生する。発
生した塩素ガスは、第２吸収塔１１に導かれる。第２隔
膜電解槽６の陽極液も、陽極室８を流入・流出して循環
する。金属イオン濃度が減じ、陽極室８への移動で塩素
イオン濃度も減じた第２隔膜電解槽６の陰極液は、第２
吸収塔１１に導かれ、導入された塩素ガスと接触して、
２価の鉄イオンを３価の鉄イオンに酸化する。

【００６０】酸化された塩化第２鉄を含む当該液は、切
替弁９の閉鎖によって第１陰極室４からの液導入を停止
しているいずれかの冷却槽１０に導かれ、ここで塩化第
１鉄の結晶を溶解する。結晶の堆積量に応じて冷却槽１
０を切り替えて、一方で冷却を、他方で結晶の溶解を行
なうものである。塩化第１鉄の結晶を溶解した回収液は
第１吸収塔５に導かれ、導入された塩素ガスと接触し
て、２価の鉄イオンをほぼ全量３価の鉄イオンに酸化再
生して、エッチング槽１に戻される。

【００６１】第１隔膜電解槽に入る直前の廃液の組成、
６８〜７２℃の範囲にそれぞれ調整された第１隔膜電解
槽・第２隔膜電解槽での循環陽極液の組成、オーバーフ
ロー液の組成、第２隔膜電解槽での陰極液の組成、塩化
第１鉄の結晶を溶解し冷却槽を出た回収液の組成、再生
エッチャントの組成は、それぞれ表５に示される通りで
ある。

【００６２】

【表５】

【００６３】実施例６図４に概念的に示された装置において、実施例５と同様
にエッチング液の処理を行なった。

【００６４】第２隔膜電解槽６から析出回収された金属
の組成を調べたところ、鉄４６．５％、ニッケル４８．
４％、銅０．０６％の結果を得た。回収金属の量は、１
２．６ｇ／ｈであった。析出金属１ｇあたりの電解電力
は、１０．５Ｗｈ／ｇであった。

【００６５】第１隔膜電解槽に入る直前の廃液の組成、
第１隔膜電解槽・第２隔膜電解槽での循環陽極液の組
成、オーバーフロー液の組成、第２隔膜電解槽での陰極
液の組成、塩化第１鉄の結晶を溶解し冷却槽を出た回収
液の組成、再生エッチャントの組成は、それぞれ表６に
示される通りである。

【００６６】

【表６】

【００６７】

【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明は以下の効果を奏するものである。

【００６８】本発明は、エッチング液を隔膜電解法と塩
素ガス法の両方で処理するので、無駄なく当該液を再生
することができる。

【００６９】また本発明による方法は、鉄、ニッケルの
みでなく、銅、スズ、クロム、亜鉛等の金属を電析又は
スラッジとして分離させ得るため、エッチング液中に含
まれるこれら不純物の濃度を一定値以上に上昇させるこ
となく、循環使用できるという長所もある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る概念フロー図である。

【図２】本発明の別の実施例に係る概念フロー図であ
る。

【図３】本発明の更に別の実施例に係る概念フロー図で
ある。

【図４】冷却槽を備えた本発明の別の実施例に係る概念
フロー図である。

【符号の説明】

１エッチング槽２隔膜電解槽３吸収塔

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者谷村裕次東京都三鷹市下連雀八丁目10番16号日鉄鉱業株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ニッケルを含む塩化鉄系のエッチング液
を隔膜電解法で処理し、陰極でニッケル及び鉄を電析回
収するとともに、陽極室で発生する塩素ガスを塩化第１
鉄含有のエッチング液に導き、当該液を酸化することを
特徴とするエッチング液の処理方法。
【請求項２】ニッケルを含む塩化鉄系のエッチング液
を隔膜電解槽の陽極室に導き、含有する２価の鉄イオン
を３価の鉄イオンに酸化するとともに塩素ガスを発生さ
せる工程と、隔膜を介して陰極室に移動した金属イオン
からニッケル及び鉄を電析回収する工程と、陽極室で発
生した塩素ガスで塩化第１鉄含有のエッチング液を酸化
する工程とからなるエッチング液の処理方法。
【請求項３】ニッケルを含む塩化鉄系のエッチング液
を隔膜電解槽の陰極室に導き、含有する金属イオンから
ニッケル及び鉄を電析回収する工程と、隔膜を介して陽
極室に移動した塩素イオンを酸化して塩素ガスを発生さ
せる工程と、還元電析により金属イオン濃度を減じた液
を上記塩素ガスで酸化する工程とからなるエッチング液
の処理方法。
【請求項４】ニッケルを含む塩化鉄系のエッチング液
を複数段の隔膜電解槽の最初の陰極室に導き、ニッケル
及び鉄を電析回収する工程と、隔膜を介して陽極室に移
動した塩素イオンを酸化して塩素ガスを発生させる工程
と、還元電析により金属イオン濃度を減じた液を次段の
陰極室に導き、ニッケル及び鉄を電析回収するととも
に、陽極室で塩素ガスを発生させる少なくとも１回の繰
り返し工程と、最終段の陰極室から抜き出した液を上記
塩素ガスで酸化する工程とからなるエッチング液の処理
方法。
【請求項５】ニッケルを含む塩化鉄系のエッチング液
を二段の隔膜電解槽の第１陰極室に導き、３価の鉄イオ
ンを２価の鉄イオンに還元する工程と、還元処理後の当
該液を冷却して塩化第１鉄を結晶として分離する工程
と、塩化第１鉄を分離した液を第２陰極室に導き、ニッ
ケル及び鉄を電析回収する工程と、還元電析により金属
イオン濃度を減じた液に上記塩化第１鉄結晶を再溶解さ
せる工程と、隔膜を介してそれぞれの陽極室に移動した
塩素イオンを酸化して塩素ガスを発生させる工程と、当
該塩素ガスで、塩化第１鉄結晶を再溶解させた液を酸化
する工程とからなるエッチング液の処理方法。