JPH06241741A - リード検査装置 - Google Patents
リード検査装置Info
- Publication number
- JPH06241741A JPH06241741A JP5033648A JP3364893A JPH06241741A JP H06241741 A JPH06241741 A JP H06241741A JP 5033648 A JP5033648 A JP 5033648A JP 3364893 A JP3364893 A JP 3364893A JP H06241741 A JPH06241741 A JP H06241741A
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ＩＣパッケージのリード浮き、ピッチなどのリ
ード外観検査を、簡単な構成で高精度で行う。 【構成】ＩＣパッケージ１を鏡板２の上に置き、ＩＣパ
ッケージ１の側面方向からリード先端部８の画像を取り
込むＣＣＤカメラ６の傾斜角度が水平面に対し１度から
１０度の範囲でＩＣパッケージ１のリード実像と鏡面に
映るリード虚像の画像を取り込む。取り込んだ画像をパ
ターンマッチングの手法を用いて検査する。 【効果】ＩＣパッケージのリードのゴミやバリなどの影
響を受けにくく、簡単な照明系の構成で高精度で検査で
きる。また、光学系の設計、調整を容易に行うことがで
きる。
ード外観検査を、簡単な構成で高精度で行う。 【構成】ＩＣパッケージ１を鏡板２の上に置き、ＩＣパ
ッケージ１の側面方向からリード先端部８の画像を取り
込むＣＣＤカメラ６の傾斜角度が水平面に対し１度から
１０度の範囲でＩＣパッケージ１のリード実像と鏡面に
映るリード虚像の画像を取り込む。取り込んだ画像をパ
ターンマッチングの手法を用いて検査する。 【効果】ＩＣパッケージのリードのゴミやバリなどの影
響を受けにくく、簡単な照明系の構成で高精度で検査で
きる。また、光学系の設計、調整を容易に行うことがで
きる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣパッケージのリー
ド浮き、ピッチなどのリード外観を検査するリード検査
装置に関する。
ド浮き、ピッチなどのリード外観を検査するリード検査
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術は、図３に示すように、ＩＣ
パッケージ１を鏡板２の上に置き、ＣＣＤカメラ６を水
平面に対してある程度の傾斜角度をつけてセットし、リ
ード先端部８のリード実像と鏡面に写るリード虚像を取
り込んでいる。図４に図３の方式により取り込まれた画
像を示すが、リード実像２０のリードの下部エッジ部２
３とリード虚像３０のリードの上部エッジ部３２をそれ
ぞれ検出し、２点の距離から計算してリード浮きＨを求
めている。リードピッチＰを求める場合は、リード実像
２０のリードの側面エッジ部２４と隣のリードの側面エ
ッジ部２５をそれぞれ検出し、２点の距離を計算するこ
とによりリードピッチＰを求めている。
パッケージ１を鏡板２の上に置き、ＣＣＤカメラ６を水
平面に対してある程度の傾斜角度をつけてセットし、リ
ード先端部８のリード実像と鏡面に写るリード虚像を取
り込んでいる。図４に図３の方式により取り込まれた画
像を示すが、リード実像２０のリードの下部エッジ部２
３とリード虚像３０のリードの上部エッジ部３２をそれ
ぞれ検出し、２点の距離から計算してリード浮きＨを求
めている。リードピッチＰを求める場合は、リード実像
２０のリードの側面エッジ部２４と隣のリードの側面エ
ッジ部２５をそれぞれ検出し、２点の距離を計算するこ
とによりリードピッチＰを求めている。
【０００３】また図５に示すように、ＩＣパッケージ１
を置き台３に置き、ＣＣＤカメラ６を水平面に対して傾
斜角度０度でセットし、リード先端部８と置き台のエッ
ジ部１１の画像を取り込んでいる。図６に図５の方式に
より取り込まれた画像を示すが、リードの下部エッジ部
２３と置き台の平面エッジ部２６をそれぞれ検出し、２
点の距離を計算することによりリード浮きＨを求めてい
る。リードピッチＰを求める場合は、リードの側面エッ
ジ部２４と隣のリードの側面エッジ部２５をそれぞれ検
出し、２点の距離を計算することによりリードピッチＰ
を求めている。
を置き台３に置き、ＣＣＤカメラ６を水平面に対して傾
斜角度０度でセットし、リード先端部８と置き台のエッ
ジ部１１の画像を取り込んでいる。図６に図５の方式に
より取り込まれた画像を示すが、リードの下部エッジ部
２３と置き台の平面エッジ部２６をそれぞれ検出し、２
点の距離を計算することによりリード浮きＨを求めてい
る。リードピッチＰを求める場合は、リードの側面エッ
ジ部２４と隣のリードの側面エッジ部２５をそれぞれ検
出し、２点の距離を計算することによりリードピッチＰ
を求めている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述の従来例
では、それぞれエッジ部を検出するという手法を用いて
いるため、ゴミやバリに影響されやすい。図４と図６に
おいて、リード部にゴミやバリがついていると、ゴミや
バリを含んだ画像２２となる。例えばリードの下部エッ
ジを検出するとき、本当の下部エッジは点Ｐ１の位置で
あるが、ゴミやバリの影響により点Ｐ２の位置を下部エ
ッジと検出してしまう。そのためエッジ検出の場合はゴ
ミやバリが直接測定誤差に影響するという問題点を有し
ている。
では、それぞれエッジ部を検出するという手法を用いて
いるため、ゴミやバリに影響されやすい。図４と図６に
おいて、リード部にゴミやバリがついていると、ゴミや
バリを含んだ画像２２となる。例えばリードの下部エッ
ジを検出するとき、本当の下部エッジは点Ｐ１の位置で
あるが、ゴミやバリの影響により点Ｐ２の位置を下部エ
ッジと検出してしまう。そのためエッジ検出の場合はゴ
ミやバリが直接測定誤差に影響するという問題点を有し
ている。
【０００５】また、エッジ検出をする場合は、それぞれ
のリード先端画像２７とその他の部分の画像２８のコン
トラストを強くし、リード先端画像２７を大変きれいな
画像で取り込まないと正確にエッジ検出ができない。し
かし、図３や図５に示すように拡散板１０を用いたりし
て画像取り込みの照明系のセッティングや調整をいろい
ろ試行錯誤しても、きれいなリード先端画像を取り込む
ことは難しいことである。
のリード先端画像２７とその他の部分の画像２８のコン
トラストを強くし、リード先端画像２７を大変きれいな
画像で取り込まないと正確にエッジ検出ができない。し
かし、図３や図５に示すように拡散板１０を用いたりし
て画像取り込みの照明系のセッティングや調整をいろい
ろ試行錯誤しても、きれいなリード先端画像を取り込む
ことは難しいことである。
【０００６】また、図３に示す場合、ＣＣＤカメラ６を
ある程度傾斜させるが、傾斜角度が明確でなく、傾斜角
度による検査精度への影響を都度調査し傾斜角度を決定
するということが必要であった。
ある程度傾斜させるが、傾斜角度が明確でなく、傾斜角
度による検査精度への影響を都度調査し傾斜角度を決定
するということが必要であった。
【０００７】そこで本発明は従来のこのような問題点を
解決するため、ゴミやバリなどに影響を受けにくく、照
明系は簡単な構成でＩＣパッケージのリード外観検査を
高精度で行なうことができ、ＣＣＤカメラの傾斜角度を
明確にすることにより設計、調整が容易にできるリード
検査装置を提供するところにある。
解決するため、ゴミやバリなどに影響を受けにくく、照
明系は簡単な構成でＩＣパッケージのリード外観検査を
高精度で行なうことができ、ＣＣＤカメラの傾斜角度を
明確にすることにより設計、調整が容易にできるリード
検査装置を提供するところにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明のリード検査装置は、ＩＣパッケージのリード浮
き、ピッチなどのリード外観を検査するリード検査装置
において、鏡面上に前記ＩＣパッケージを置き、前記Ｉ
Ｃパッケージの側面方向からリード部画像を取り込むカ
メラの傾斜角度が水平面に対し１度から１０度の範囲で
前記ＩＣパッケージのリード実像と鏡面に映るリード虚
像の画像を取り込むことにより、前記ＩＣパッケージの
リード検査を画像処理を用いて行い、前記ＩＣパッケー
ジのリード実像とリード虚像の取り込み画像を、パター
ンマッチングの手法を用いて検査する手段をとる。
本発明のリード検査装置は、ＩＣパッケージのリード浮
き、ピッチなどのリード外観を検査するリード検査装置
において、鏡面上に前記ＩＣパッケージを置き、前記Ｉ
Ｃパッケージの側面方向からリード部画像を取り込むカ
メラの傾斜角度が水平面に対し１度から１０度の範囲で
前記ＩＣパッケージのリード実像と鏡面に映るリード虚
像の画像を取り込むことにより、前記ＩＣパッケージの
リード検査を画像処理を用いて行い、前記ＩＣパッケー
ジのリード実像とリード虚像の取り込み画像を、パター
ンマッチングの手法を用いて検査する手段をとる。
【０００９】
【実施例】以下に本発明の実施例を図１及び図２により
説明する。
説明する。
【００１０】図１において、置き台３の上に上面が鏡面
となっている鏡板２を置く。鏡板２は、固定具４により
置き台３に固定されている。鏡板２の上にＩＣパッケー
ジ１が置かれる。ＣＣＤカメラ６は水平面に対して角度
Ａで取り付けられており、角度Ａの範囲は、１度から１
０度の範囲とする。ＣＣＤカメラ６には、所定の倍率と
なるようにレンズ７が取り付いている。レンズ７の前
に、ＩＣパッケージ１のリード先端部８を照らすよう
に、照明９を取り付ける。リード先端部８は、通常表面
が均一な粗さとなっていないため、リード先端部８の画
像を取り込むためには強い光量でリード先端部８を照ら
さなければならない。そのため照明９の光源には、ハロ
ゲンの光源を用いるのがよい。
となっている鏡板２を置く。鏡板２は、固定具４により
置き台３に固定されている。鏡板２の上にＩＣパッケー
ジ１が置かれる。ＣＣＤカメラ６は水平面に対して角度
Ａで取り付けられており、角度Ａの範囲は、１度から１
０度の範囲とする。ＣＣＤカメラ６には、所定の倍率と
なるようにレンズ７が取り付いている。レンズ７の前
に、ＩＣパッケージ１のリード先端部８を照らすよう
に、照明９を取り付ける。リード先端部８は、通常表面
が均一な粗さとなっていないため、リード先端部８の画
像を取り込むためには強い光量でリード先端部８を照ら
さなければならない。そのため照明９の光源には、ハロ
ゲンの光源を用いるのがよい。
【００１１】図２は、図１に示す構成により、リード先
端部８をＣＣＤカメラ６により取り込んだ画像である。
ＩＣパッケージ１のリード実像２０が画面４０の上の列
に一列に取り込まれ、鏡面に映るリード虚像３０が画面
４０の下の列に一列に取り込まれる。
端部８をＣＣＤカメラ６により取り込んだ画像である。
ＩＣパッケージ１のリード実像２０が画面４０の上の列
に一列に取り込まれ、鏡面に映るリード虚像３０が画面
４０の下の列に一列に取り込まれる。
【００１２】リード浮きＨを測定するため、まず数個の
リード実像２０の中から一個基準とするリード実像画像
２１を画像処理のメモリに登録し、その基準とするリー
ド実像画像２１の中に任意の点Ｑ１を決める。同様に数
個のリード虚像３０の中から一個基準とするリード虚像
画像３１を画像処理のメモリに登録し、その基準とする
リード虚像画像３１の中に任意の点Ｒ１を決める。次
に、画像処理のメモリに登録した基準とするリード実像
画像２１を基にして、画面４０の上の列に一列に取り込
まれている数個のリード実像２０を、パターンマッチン
グにより捜し出し、基準とするリード実像画像２１内の
点Ｑ１に相当する点Ｑ２、Ｑ３、Ｑ４、Ｑ５、Ｑ６をそ
れぞれ求める。またリード虚像３０についても同様に、
画像処理のメモリに登録した基準とするリード虚像画像
３１を基にして、画面４０の下の列に一列に取り込まれ
ている数個のリード虚像３０を、パターンマッチングに
より捜し出し、基準とするリード虚像画像３１内の点Ｒ
１に相当する点Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ６をそれぞ
れ求める。ここでリード実像２０の中から求められる点
Ｑ２と点Ｑ２に対応するリード虚像３０の中から求めら
れる点Ｒ２により、両者のＹ座標の差を計算することに
よりリード浮きＨを求めることができる。そして同様
に、点Ｑ３と点Ｒ３、点Ｑ４と点Ｒ４というようにリー
ド実像２０とリード虚像３０の対応する点からそれぞれ
のリードの浮きを求めることができる。
リード実像２０の中から一個基準とするリード実像画像
２１を画像処理のメモリに登録し、その基準とするリー
ド実像画像２１の中に任意の点Ｑ１を決める。同様に数
個のリード虚像３０の中から一個基準とするリード虚像
画像３１を画像処理のメモリに登録し、その基準とする
リード虚像画像３１の中に任意の点Ｒ１を決める。次
に、画像処理のメモリに登録した基準とするリード実像
画像２１を基にして、画面４０の上の列に一列に取り込
まれている数個のリード実像２０を、パターンマッチン
グにより捜し出し、基準とするリード実像画像２１内の
点Ｑ１に相当する点Ｑ２、Ｑ３、Ｑ４、Ｑ５、Ｑ６をそ
れぞれ求める。またリード虚像３０についても同様に、
画像処理のメモリに登録した基準とするリード虚像画像
３１を基にして、画面４０の下の列に一列に取り込まれ
ている数個のリード虚像３０を、パターンマッチングに
より捜し出し、基準とするリード虚像画像３１内の点Ｒ
１に相当する点Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ６をそれぞ
れ求める。ここでリード実像２０の中から求められる点
Ｑ２と点Ｑ２に対応するリード虚像３０の中から求めら
れる点Ｒ２により、両者のＹ座標の差を計算することに
よりリード浮きＨを求めることができる。そして同様
に、点Ｑ３と点Ｒ３、点Ｑ４と点Ｒ４というようにリー
ド実像２０とリード虚像３０の対応する点からそれぞれ
のリードの浮きを求めることができる。
【００１３】リードピッチＰを測定するには、リード実
像２０の中の点Ｑ２と隣合うリードの点Ｑ３のＸ座標の
差からリードピッチＰを求めることができる。同様に、
点Ｑ３と点Ｑ４というように順次隣合うリードのＸ座標
の差を求めることにより、それぞれのリードのピッチを
求めることができる。
像２０の中の点Ｑ２と隣合うリードの点Ｑ３のＸ座標の
差からリードピッチＰを求めることができる。同様に、
点Ｑ３と点Ｑ４というように順次隣合うリードのＸ座標
の差を求めることにより、それぞれのリードのピッチを
求めることができる。
【００１４】一画面でＩＣパッケージ１の一辺が全て画
像に取り込めない場合、ＣＣＤカメラ６を横送りのでき
るＸ−ステージ５の上に乗せ、ＣＣＤカメラ６を横方向
に移動させることにより、ＩＣパッケージ１の一辺のリ
ードを全て検査することができる。これは、ＩＣパッケ
ージ１の乗っている置き台３を横送りのできるＸ−ステ
ージの上に乗せても同じことが言える。
像に取り込めない場合、ＣＣＤカメラ６を横送りのでき
るＸ−ステージ５の上に乗せ、ＣＣＤカメラ６を横方向
に移動させることにより、ＩＣパッケージ１の一辺のリ
ードを全て検査することができる。これは、ＩＣパッケ
ージ１の乗っている置き台３を横送りのできるＸ−ステ
ージの上に乗せても同じことが言える。
【００１５】それぞれのリード実像２０とリード虚像３
０をパターンマッチングにより捜すとき、リード先端部
８にゴミやバリが付いていて、取り込み画像がゴミやバ
リを含んだ画像２２になったとしても、基準とするリー
ド実像画像２１を基にしているため、パターンマッチン
グを行うとき基準とするリード実像画像２１に対してゴ
ミやバリを含んだ画像２２は類似度は低くなるが、基準
とするリード実像画像２１内の点Ｑ１に相当する点Ｑ６
の位置には、それほど影響を及ぼさない。よってゴミや
バリの影響を直接受けないという利点がある。
０をパターンマッチングにより捜すとき、リード先端部
８にゴミやバリが付いていて、取り込み画像がゴミやバ
リを含んだ画像２２になったとしても、基準とするリー
ド実像画像２１を基にしているため、パターンマッチン
グを行うとき基準とするリード実像画像２１に対してゴ
ミやバリを含んだ画像２２は類似度は低くなるが、基準
とするリード実像画像２１内の点Ｑ１に相当する点Ｑ６
の位置には、それほど影響を及ぼさない。よってゴミや
バリの影響を直接受けないという利点がある。
【００１６】またＣＣＤカメラ６の取り付け角度は、水
平面に対して１度から１０度の範囲内であれば、リード
浮きＨの測定値は、ほぼ一定の値となる。
平面に対して１度から１０度の範囲内であれば、リード
浮きＨの測定値は、ほぼ一定の値となる。
【００１７】照明の取り付けは、リード部分とその他の
部分でそれほどコントラストを強く付けなくても、パタ
ーンマッチングによりリード実像２０やリード虚像３０
を捜し出すことができるので、簡単な構成でよい。
部分でそれほどコントラストを強く付けなくても、パタ
ーンマッチングによりリード実像２０やリード虚像３０
を捜し出すことができるので、簡単な構成でよい。
【００１８】
【発明の効果】本発明のリード検査装置は、以上説明し
たように鏡面上にＩＣパッケージを置き、ＩＣパッケー
ジのリード実像とリード虚像を画像に取り込んでパター
ンマッチングを行うことにより、ゴミやバリなどに影響
を受けにくく、照明系は簡単な構成で高精度で検査でき
る。またＣＣＤカメラの傾斜角度を明確にしたので、設
計、調整が容易であるという効果がある。
たように鏡面上にＩＣパッケージを置き、ＩＣパッケー
ジのリード実像とリード虚像を画像に取り込んでパター
ンマッチングを行うことにより、ゴミやバリなどに影響
を受けにくく、照明系は簡単な構成で高精度で検査でき
る。またＣＣＤカメラの傾斜角度を明確にしたので、設
計、調整が容易であるという効果がある。
【図１】本発明のリード検査装置の構成を示す図。
【図２】本発明のリード検査装置の取り込み画像を示す
図。
図。
【図３】従来のリード検査装置の構成を示す図。
【図４】従来のリード検査装置の取り込み画像を示す
図。
図。
【図５】従来のリード検査装置の構成を示す図。
【図６】従来のリード検査装置の取り込み画像を示す
図。
図。
１ ・・・ＩＣパッケージ ２ ・・・鏡板 ３ ・・・置き台 ４ ・・・固定具 ５ ・・・Ｘ−ステージ ６ ・・・ＣＣＤカメラ ７ ・・・レンズ ８ ・・・リード先端部 ９ ・・・照明 １０・・・拡散板 １１・・・置き台のエッジ部 ２０・・・リード実像 ２１・・・基準とするリード実像画像 ２２・・・ゴミやバリを含んだ画像 ２３・・・リードの下部エッジ部 ２４・・・リードの側面エッジ部 ２５・・・隣のリードの側面エッジ部 ２６・・・置き台の平面エッジ部 ２７・・・リード先端画像 ２８・・・その他の部分の画像 ３０・・・リード虚像 ３１・・・基準とするリード虚像画像 ３２・・・リードの上部エッジ部 ４０・・・画面
Claims (2)
- 【請求項１】ＩＣパッケージのリード浮き、ピッチなど
のリード外観を検査するリード検査装置において、鏡面
上に前記ＩＣパッケージを置き、前記ＩＣパッケージの
側面方向からリード部画像を取り込むカメラの傾斜角度
が水平面に対し１度から１０度の範囲で前記ＩＣパッケ
ージのリード実像と鏡面に映るリード虚像の画像を取り
込むことにより、前記ＩＣパッケージのリード検査を画
像処理を用いて行うことを特徴とするリード検査装置。 - 【請求項２】請求項１記載のリード検査装置において、
前記ＩＣパッケージのリード実像とリード虚像の取り込
み画像を、パターンマッチングの手法を用いて検査する
ことを特徴とするリード検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5033648A JPH06241741A (ja) | 1993-02-23 | 1993-02-23 | リード検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5033648A JPH06241741A (ja) | 1993-02-23 | 1993-02-23 | リード検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06241741A true JPH06241741A (ja) | 1994-09-02 |
Family
ID=12392274
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5033648A Pending JPH06241741A (ja) | 1993-02-23 | 1993-02-23 | リード検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06241741A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030006064A (ko) * | 2001-07-11 | 2003-01-23 | 현대자동차주식회사 | 차량의 글라스 개구부 측정방법 |
| JP2009287933A (ja) * | 2008-05-27 | 2009-12-10 | Shimadzu Corp | モーショントラッカ装置 |
| JP2024125252A (ja) * | 2023-03-05 | 2024-09-18 | 三晶エムイーシー株式会社 | コプラナリティ測定方法及びコプラナリティ測定装置 |
-
1993
- 1993-02-23 JP JP5033648A patent/JPH06241741A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030006064A (ko) * | 2001-07-11 | 2003-01-23 | 현대자동차주식회사 | 차량의 글라스 개구부 측정방법 |
| JP2009287933A (ja) * | 2008-05-27 | 2009-12-10 | Shimadzu Corp | モーショントラッカ装置 |
| JP2024125252A (ja) * | 2023-03-05 | 2024-09-18 | 三晶エムイーシー株式会社 | コプラナリティ測定方法及びコプラナリティ測定装置 |
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