JPH0624561A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPH0624561A JPH0624561A JP20444492A JP20444492A JPH0624561A JP H0624561 A JPH0624561 A JP H0624561A JP 20444492 A JP20444492 A JP 20444492A JP 20444492 A JP20444492 A JP 20444492A JP H0624561 A JPH0624561 A JP H0624561A
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- Japan
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- carrier
- path
- transport
- carrying
- electromagnets
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- 238000005339 levitation Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 搬送台の移動方向の自由度を拡大して搬送台
を任意の方向に切替えて走行させることができる磁気浮
上式の搬送装置を提供する。 【構成】 電磁石１が列設されて分岐点２を有する搬送
路３と、上記電磁石１の磁力により、支持されて上記搬
送路３に従って移動する搬送台４と、この搬送台４を磁
力により搬送可能に支持する電磁石６が取付けられ、上
記分岐点２に配設されるとともに回動して、上記搬送台
４の移動方向Ｃ，Ｄ，Ｅを切替える切替え用テーブル装
置５とを備えている。
を任意の方向に切替えて走行させることができる磁気浮
上式の搬送装置を提供する。 【構成】 電磁石１が列設されて分岐点２を有する搬送
路３と、上記電磁石１の磁力により、支持されて上記搬
送路３に従って移動する搬送台４と、この搬送台４を磁
力により搬送可能に支持する電磁石６が取付けられ、上
記分岐点２に配設されるとともに回動して、上記搬送台
４の移動方向Ｃ，Ｄ，Ｅを切替える切替え用テーブル装
置５とを備えている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電磁石の磁気吸引力に
より搬送台を浮上させながら、搬送路に従ってこの搬送
台を移動させる非接触形の磁気浮上式の搬送装置に関す
る。
より搬送台を浮上させながら、搬送路に従ってこの搬送
台を移動させる非接触形の磁気浮上式の搬送装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】上記搬送装置は、電磁石の磁力が生成す
る吸引力を、センサの出力値を基にして制御を行うこと
により、搬送台を吸引して搬送路の上面の上又は下面の
下に非接触状態に浮上させ、リニアモータ駆動や浮上磁
極の切替えにより搬送台を搬送路に従って移動させてい
る。かかる搬送装置においては、搬送台の停止、保持、
搬送台の移動のいずれの場合も、搬送台と、その軌道と
なる搬送路とは非接触状態を維持しているので、接触部
での塵埃発生の恐れがなく、そのため、塵埃の発生を極
端にきらう半導体製造設備等において、上記搬送装置は
広く利用されている。
る吸引力を、センサの出力値を基にして制御を行うこと
により、搬送台を吸引して搬送路の上面の上又は下面の
下に非接触状態に浮上させ、リニアモータ駆動や浮上磁
極の切替えにより搬送台を搬送路に従って移動させてい
る。かかる搬送装置においては、搬送台の停止、保持、
搬送台の移動のいずれの場合も、搬送台と、その軌道と
なる搬送路とは非接触状態を維持しているので、接触部
での塵埃発生の恐れがなく、そのため、塵埃の発生を極
端にきらう半導体製造設備等において、上記搬送装置は
広く利用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記半導体製造設備等
に配設された搬送装置により、搬送路上を搬送台が走行
して各種部品や製品等が搬送される。しかしながら、従
来の搬送装置においては、搬送路は分岐点を有しない直
線状や曲線状をなしており、したがって搬送台はこの搬
送路に従って一方向に走行するのみであった。そのため
に、従来はＴ字又は十字等の方向に搬送台を移動させる
ことができず、移動方向の自由度が極めて制限されてし
まうという課題があった。
に配設された搬送装置により、搬送路上を搬送台が走行
して各種部品や製品等が搬送される。しかしながら、従
来の搬送装置においては、搬送路は分岐点を有しない直
線状や曲線状をなしており、したがって搬送台はこの搬
送路に従って一方向に走行するのみであった。そのため
に、従来はＴ字又は十字等の方向に搬送台を移動させる
ことができず、移動方向の自由度が極めて制限されてし
まうという課題があった。
【０００４】本発明は、かかる課題を解決するためにな
されたもので、搬送台の移動方向の自由度を拡大して、
搬送台を任意の方向に切替えて走行させることができる
磁気浮上式の搬送装置を提供することを目的とする。
されたもので、搬送台の移動方向の自由度を拡大して、
搬送台を任意の方向に切替えて走行させることができる
磁気浮上式の搬送装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係る搬送装置
は、電磁石が列設されて分岐点を有する搬送路と、上記
電磁石の磁力により支持されて上記搬送路に従って移動
する搬送台と、この搬送台を磁力により搬送可能に支持
する電磁石が取付けられ、上記分岐点に配設されるとと
もに回動して上記搬送台の移動方向を切替える切替え用
テーブル装置とを備えたものである。
は、電磁石が列設されて分岐点を有する搬送路と、上記
電磁石の磁力により支持されて上記搬送路に従って移動
する搬送台と、この搬送台を磁力により搬送可能に支持
する電磁石が取付けられ、上記分岐点に配設されるとと
もに回動して上記搬送台の移動方向を切替える切替え用
テーブル装置とを備えたものである。
【０００６】
【作用】搬送路の分岐点に配設された切替え用テーブル
装置に搬送台が到着すると、この搬送台は、切替え用テ
ーブル装置に取付けられた電磁石により浮上して支持さ
れる。搬送台が移動方向を変えないで直進する時は、切
替え用テーブル装置は回動せず静止したままなので、搬
送台は上記電磁石により直進方向に搬送される。一方、
搬送台が移動方向を他の方向に変える場合には、切替え
用テーブル装置が搬送台を支持したまま所定角度回動し
たのち静止する。次いで、上記他の方向に配設された分
岐搬送路の電磁石と切替え用テーブル装置の上記電磁石
との磁力より支持されて搬送台は上記他の方向に移動を
開始する。これにより、搬送台の移動方向が切替えられ
たことになる。
装置に搬送台が到着すると、この搬送台は、切替え用テ
ーブル装置に取付けられた電磁石により浮上して支持さ
れる。搬送台が移動方向を変えないで直進する時は、切
替え用テーブル装置は回動せず静止したままなので、搬
送台は上記電磁石により直進方向に搬送される。一方、
搬送台が移動方向を他の方向に変える場合には、切替え
用テーブル装置が搬送台を支持したまま所定角度回動し
たのち静止する。次いで、上記他の方向に配設された分
岐搬送路の電磁石と切替え用テーブル装置の上記電磁石
との磁力より支持されて搬送台は上記他の方向に移動を
開始する。これにより、搬送台の移動方向が切替えられ
たことになる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図４に基
づいて説明する。
づいて説明する。
【０００８】図１及び図２に示すように、本実施例に係
る搬送装置は、多数の電磁石１が列設されて分岐点２を
有する搬送路３と、電磁石１の磁力により搬送路３に従
って移動する搬送台４と、この搬送台４の移動方向を切
替える切替え用テーブル装置５とを備えている。この切
替え用テーブル装置５には、搬送台４を磁力により搬送
可能に支持する電磁石６が取付けられ、また、切替え用
テーブル装置５は分岐点２に配設されるとともに、搬送
台４を保持したまま矢印Ｂのように正逆両方向に回動で
きるようになっている。
る搬送装置は、多数の電磁石１が列設されて分岐点２を
有する搬送路３と、電磁石１の磁力により搬送路３に従
って移動する搬送台４と、この搬送台４の移動方向を切
替える切替え用テーブル装置５とを備えている。この切
替え用テーブル装置５には、搬送台４を磁力により搬送
可能に支持する電磁石６が取付けられ、また、切替え用
テーブル装置５は分岐点２に配設されるとともに、搬送
台４を保持したまま矢印Ｂのように正逆両方向に回動で
きるようになっている。
【０００９】搬送台４の軌道となる搬送路３は、主な搬
送方向Ｃに向けて配設された主搬送路１１と、分岐点２
で分岐されて、該主搬送方向Ｃに対して例えばＴ字状又
は十字状に直交する方向Ｄ，Ｅに向けて配設された拡張
搬送路と呼ばれる分岐搬送路１２，１３とを備えてお
り、かかる搬送路３は水平方向に配設されている。な
お、分岐搬送路１２，１３はいずれか一方のみでもよ
く、また主搬送方向Ｃに対して分岐搬送路１２，１３の
方向は直交に限られず、９０°以外の任意の角度で配設
してもよい。また、搬送装置の設置後に、新たな分岐搬
送路を増設してもよい。
送方向Ｃに向けて配設された主搬送路１１と、分岐点２
で分岐されて、該主搬送方向Ｃに対して例えばＴ字状又
は十字状に直交する方向Ｄ，Ｅに向けて配設された拡張
搬送路と呼ばれる分岐搬送路１２，１３とを備えてお
り、かかる搬送路３は水平方向に配設されている。な
お、分岐搬送路１２，１３はいずれか一方のみでもよ
く、また主搬送方向Ｃに対して分岐搬送路１２，１３の
方向は直交に限られず、９０°以外の任意の角度で配設
してもよい。また、搬送装置の設置後に、新たな分岐搬
送路を増設してもよい。
【００１０】本実施例における搬送装置は、図１乃至図
３に示すように、搬送路３の本体フレーム１４の下面
に、磁気軸受を構成する左右一対の多数の電磁石１を、
搬送方向Ｃ，Ｄ又はＥに対して所定のピッチで列設して
いる。一次側をなす電磁石１はコイルと磁性体ヨークか
らなっており、また、搬送台４の本体４ａの上面１５の
周縁部には、浮上用ターゲットとなるヨーク（継鉄）等
により形成されて二次側をなす磁性体ターゲット１６が
取付けられている。この磁性体ターゲット１６は、励磁
された電磁石１の磁気吸引力により搬送台４を非接触状
態で所定位置に浮上させるように、電磁石１の下方に位
置している。
３に示すように、搬送路３の本体フレーム１４の下面
に、磁気軸受を構成する左右一対の多数の電磁石１を、
搬送方向Ｃ，Ｄ又はＥに対して所定のピッチで列設して
いる。一次側をなす電磁石１はコイルと磁性体ヨークか
らなっており、また、搬送台４の本体４ａの上面１５の
周縁部には、浮上用ターゲットとなるヨーク（継鉄）等
により形成されて二次側をなす磁性体ターゲット１６が
取付けられている。この磁性体ターゲット１６は、励磁
された電磁石１の磁気吸引力により搬送台４を非接触状
態で所定位置に浮上させるように、電磁石１の下方に位
置している。
【００１１】このように列設された電磁石１への電流
を、搬送台４の移動方向に従って順次オン、オフして、
浮上対象磁極を切替えて搬送台４の磁性体ターゲット１
６への磁力による吸引力を次々に生成させることによ
り、搬送台４を電磁石１の下面と所定のギャップを保持
しながら搬送方向Ｃ，Ｄ，Ｅに走行させることができ
る。また浮上用磁石とは別に搬送台下面にリニアインダ
クションモータを設けて、駆動することによって、搬送
台４を搬送方向Ｃ，Ｄ，Ｅに走行させることができる。
を、搬送台４の移動方向に従って順次オン、オフして、
浮上対象磁極を切替えて搬送台４の磁性体ターゲット１
６への磁力による吸引力を次々に生成させることによ
り、搬送台４を電磁石１の下面と所定のギャップを保持
しながら搬送方向Ｃ，Ｄ，Ｅに走行させることができ
る。また浮上用磁石とは別に搬送台下面にリニアインダ
クションモータを設けて、駆動することによって、搬送
台４を搬送方向Ｃ，Ｄ，Ｅに走行させることができる。
【００１２】次に、分岐点２に設けられた切替え用テー
ブル装置５についてさらに説明する。図２に示すよう
に、本体フレーム１４の凹部１４ａ内に回転駆動部２１
が下方向に向けて取付けられ、この回転駆動部２１の下
部には円板状の回転テーブル２２が取付けられており、
この回転テーブル２２は、回転駆動部２１により鉛直軸
Ｆまわりに正逆方向（矢印Ｇ）に回動制御されるように
なっている。回転テーブル２２の下面２２ａには、搬送
路３の電磁石１と同一形状を有して磁気軸受を構成する
複数個の電磁石６が固定されており、この電磁石６は、
回転テーブル２２が回動することにより主搬送路１１と
分岐搬送路１２，１３のいずれの電磁石１とも規則的な
列状をなすように位置決めされている。
ブル装置５についてさらに説明する。図２に示すよう
に、本体フレーム１４の凹部１４ａ内に回転駆動部２１
が下方向に向けて取付けられ、この回転駆動部２１の下
部には円板状の回転テーブル２２が取付けられており、
この回転テーブル２２は、回転駆動部２１により鉛直軸
Ｆまわりに正逆方向（矢印Ｇ）に回動制御されるように
なっている。回転テーブル２２の下面２２ａには、搬送
路３の電磁石１と同一形状を有して磁気軸受を構成する
複数個の電磁石６が固定されており、この電磁石６は、
回転テーブル２２が回動することにより主搬送路１１と
分岐搬送路１２，１３のいずれの電磁石１とも規則的な
列状をなすように位置決めされている。
【００１３】上記のように構成された搬送装置におい
て、図示しない制御装置からの制御信号により主搬送路
１１の電磁石１が制御されると、図１乃至図３に示すよ
うに、この電磁石１の磁気吸引力により磁性体ターゲッ
ト１６が吸引され、これにより、搬送台４は浮上支持さ
れながら主搬送路１１を矢印Ｃ方向に移動し、やがて分
岐点２に到着する。搬送台４がさらに主搬送路１１を直
進走行する時には、分岐点２の切替え用テーブル装置５
は、その電磁石６が主搬送路１１の電磁石１と規則的な
列状をなすように回転テーブル２２を所定の回転位置に
静止させておく。そして、電磁石６も電磁石１と同様に
制御されることにより、搬送台４は浮上したまま回転テ
ーブル２２の下部を通過してさらに前方の主搬送路１１
に乗り移り、ここの電磁石１により走行が続けられる。
このように、切替え用テーブル装置５は、搬送台４を搬
送可能に支持する。これに対して、分岐点２で搬送台４
の移動方向を主搬送路１１の方向Ｃから分岐搬送路１２
又は１３の方向Ｄ又はＥに切替える場合には、切替え用
テーブル装置５を上記制御装置により制御することとな
る。即ち、図１の状態の切替え用テーブル装置５に搬送
台４が到着すると、この搬送台４は、電磁石６の磁気吸
引力により回転テーブル２２の下部で浮上した状態を保
ちながら支持される。次いで、制御装置から回転駆動部
２１に信号を出力して、回転テーブル２２を鉛直軸Ｆま
わりに９０°回動させる。これにより、図４に示すよう
に、電磁石６は分岐搬送路１２又は１３の電磁石１と規
則的な列状をなす。こうして列状をなした電磁石６と分
岐搬送路１２又は１３の電磁石１とを制御すれば、回転
テーブル２２の下に保持されていた搬送台４は、この回
転テーブル２２から分岐搬送路１２又は１３に乗り移っ
て矢印Ｄ又はＥの方向に走行を続ける。なお、これとは
逆に搬送台４を分岐搬送路１２又は１３から主搬送路１
１に搬送することも容易にできる。
て、図示しない制御装置からの制御信号により主搬送路
１１の電磁石１が制御されると、図１乃至図３に示すよ
うに、この電磁石１の磁気吸引力により磁性体ターゲッ
ト１６が吸引され、これにより、搬送台４は浮上支持さ
れながら主搬送路１１を矢印Ｃ方向に移動し、やがて分
岐点２に到着する。搬送台４がさらに主搬送路１１を直
進走行する時には、分岐点２の切替え用テーブル装置５
は、その電磁石６が主搬送路１１の電磁石１と規則的な
列状をなすように回転テーブル２２を所定の回転位置に
静止させておく。そして、電磁石６も電磁石１と同様に
制御されることにより、搬送台４は浮上したまま回転テ
ーブル２２の下部を通過してさらに前方の主搬送路１１
に乗り移り、ここの電磁石１により走行が続けられる。
このように、切替え用テーブル装置５は、搬送台４を搬
送可能に支持する。これに対して、分岐点２で搬送台４
の移動方向を主搬送路１１の方向Ｃから分岐搬送路１２
又は１３の方向Ｄ又はＥに切替える場合には、切替え用
テーブル装置５を上記制御装置により制御することとな
る。即ち、図１の状態の切替え用テーブル装置５に搬送
台４が到着すると、この搬送台４は、電磁石６の磁気吸
引力により回転テーブル２２の下部で浮上した状態を保
ちながら支持される。次いで、制御装置から回転駆動部
２１に信号を出力して、回転テーブル２２を鉛直軸Ｆま
わりに９０°回動させる。これにより、図４に示すよう
に、電磁石６は分岐搬送路１２又は１３の電磁石１と規
則的な列状をなす。こうして列状をなした電磁石６と分
岐搬送路１２又は１３の電磁石１とを制御すれば、回転
テーブル２２の下に保持されていた搬送台４は、この回
転テーブル２２から分岐搬送路１２又は１３に乗り移っ
て矢印Ｄ又はＥの方向に走行を続ける。なお、これとは
逆に搬送台４を分岐搬送路１２又は１３から主搬送路１
１に搬送することも容易にできる。
【００１４】このように、本実施例によれば、搬送台４
の移動方向は、主搬送路１１以外の任意の分岐搬送路１
２又は１３に切替えられ、搬送台４を水平面上において
いわゆる直交２自由度をもって移動させることができ
る。また、分岐点２を始点とする任意の分岐搬送路を増
設して、平面上の移動方向の自由度を大幅に拡大するこ
ともできる。
の移動方向は、主搬送路１１以外の任意の分岐搬送路１
２又は１３に切替えられ、搬送台４を水平面上において
いわゆる直交２自由度をもって移動させることができ
る。また、分岐点２を始点とする任意の分岐搬送路を増
設して、平面上の移動方向の自由度を大幅に拡大するこ
ともできる。
【００１５】なお、各図中同一符号は同一又は相当部分
を示す。
を示す。
【００１６】
【発明の効果】本発明は上記のように構成したので、切
替え用テーブル装置を制御することにより搬送台の移動
方向を任意の方向に切替えることができる。
替え用テーブル装置を制御することにより搬送台の移動
方向を任意の方向に切替えることができる。
【図１】図１乃至図４は本発明の一実施例を示す図で、
図１は本実施例に係る搬送装置の平面構造図であり、移
動方向の切替え前の状態を示している。
図１は本実施例に係る搬送装置の平面構造図であり、移
動方向の切替え前の状態を示している。
【図２】図１に示す搬送装置の立面構造図である。
【図３】図１の部分拡大斜視図である。
【図４】図１に示す状態から、移動方向を切替えた後の
状態を示す搬送装置の平面構造図である。
状態を示す搬送装置の平面構造図である。
１ 搬送路の電磁石 ２ 分岐点 ３ 搬送路 ４ 搬送台 ５ 切替え用テーブル装置 ６ 切替え用テーブル装置の電磁石 １１ 主搬送路（搬送路） １２，１３ 分岐搬送路（搬送路） Ｃ，Ｄ，Ｅ 移動方向
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 江口 真人 神奈川県藤沢市本藤沢４丁目２番１号 株 式会社荏原総合研究所内
Claims (1)
- 【請求項１】 電磁石が列設されて分岐点を有する搬送
路と、 上記電磁石の磁力により支持されて上記搬送路に従って
移動する搬送台と、 この搬送台を磁力により搬送可能に支持する電磁石が取
付けられ、上記分岐点に配設されるとともに回動して上
記搬送台の移動方向を切替える切替え用テーブル装置と
を備えたことを特徴とする搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20444492A JPH0624561A (ja) | 1992-07-08 | 1992-07-08 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20444492A JPH0624561A (ja) | 1992-07-08 | 1992-07-08 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0624561A true JPH0624561A (ja) | 1994-02-01 |
Family
ID=16490632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20444492A Pending JPH0624561A (ja) | 1992-07-08 | 1992-07-08 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0624561A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5641054A (en) * | 1992-07-07 | 1997-06-24 | Ebara Corporation | Magnetic levitation conveyor apparatus |
| EP4053052A1 (en) * | 2021-02-26 | 2022-09-07 | ATS Automation Tooling Systems Inc. | System and method for moving element transport in a conveyor system |
-
1992
- 1992-07-08 JP JP20444492A patent/JPH0624561A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5641054A (en) * | 1992-07-07 | 1997-06-24 | Ebara Corporation | Magnetic levitation conveyor apparatus |
| EP4053052A1 (en) * | 2021-02-26 | 2022-09-07 | ATS Automation Tooling Systems Inc. | System and method for moving element transport in a conveyor system |
| US11964832B2 (en) | 2021-02-26 | 2024-04-23 | Ats Corporation | System and method for moving element transport in a conveyor system |
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