JPH06246561A - ベッドの支持方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】ベッド上面の摺り合わせ加工時において、ベッ
ド上に構造物を設置した時の支持荷重を考慮して摺り合
わせ時の精度を確保する。 【構成】（Ａ）ベッド３の複数個所を荷重センサ１２ａ
を備えた除振台８上に支持して上面の水準を出し、各支
持点の支持荷重を検測する。（Ｂ）荷重センサ１２ｂが
備えられかつ除振台８と同一支持点に配置されているレ
ベリング装置２上にベッド３を移載支持し、各支持点の
支持荷重を前記の支持荷重と同一条件になるように各レ
ベリング装置２の高さを調整した後上面の摺り合わせ加
工を行う。（Ｃ）摺り合わせ加工後のベッド３上に所要
の構造物を組み付け、各点の支持荷重を測定する。
（Ｄ）再び防振台８上に移し、之と同一条件に各中空体
８ｂの支持荷重を調整する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、工作機械のベッド支持
方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】超精密工作機械のベッドの上面を摺り合
わせ加工する場合、図４（Ａ）で示すように、調整ねじ
２ａによって水平軸線方向に移動するスライドカム２ｂ
と、このスライドカム２ｂとテーパ当接して昇降動する
可動部材２ｃとから構成されたレベリング装置２を床面
１上に設置し、ベッド３を前記レベリング装置２により
３点又は４点以上の複数箇所で支持し、各支持点のレベ
リング装置２によって各支持点の高さを調整してベッド
３の上面の水準を出し、鑢等の摺り合わせ工具４により
ベッド３の上面を摺り合わせ加工している。

【０００３】上記摺り合わせ加工の完了後には図４
（Ｂ）で示すように、前記ベッド３上に案内部材５と、
この案内部材５に案内されるテーブル６等の構造物を設
置し、図４（Ｃ）で示すように、床面７上の複数箇所に
設置した除振台８上に据付け支持している。この除振台
８は、ブロック８ａと、このブロック８ａ上に固設され
た中空体８ｂとから構成され、前記中空体８ｂには空気
源９とパイロット形電磁減圧弁１０、レリーフ弁１１を
介して接続され、中空体８ｂに空気を供給するようにな
っている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】前記複数個所の除振台
８の各支持点に加わる力は工作機械の重心に対して一義
的に決定される。工作機械の超精密性の確保を考える
と、摺り合わせ加工の時のベッド３の各支持点の荷重を
再現して除振台で支持することが望ましい。

【０００５】また、ベッド３を除振台８に支持して摺り
合わせ加工をすることが考えられるが、除振台８のよう
な不安定な支持状態では精度が出せない。従って、上記
従来技術のように、レベリング装置２上に支持して摺り
合わせ加工を行い、除振台８に移載支持する方法が取ら
れている。

【０００６】上記従来技術のレベリング装置２では、ベ
ッド３の上面の水準を出すことはできるが、複数箇所の
各支持点の支持荷重値を把握することはできない。この
ような状態で摺り合わせ加工を行い、かつ所要の構造物
を設置したベッド３を除振台８に載置した時には、摺り
合わせ加工を行った時の各支持点の支持荷重と除振台８
の支持点おける支持荷重が異なり、摺り合わせ加工時の
高精度を再現することが難しい。また、除振台８を使用
しない場合でも、４点以上の複数個所を支持している場
合に、工作機械を据付け換えしても上記と同様の現象が
起こる。

【０００７】本発明の目的は、ベッド上面の摺り合わせ
加工時において、工作機械の最終的据付け状態でベッド
上面の水準を調整した時のベッドの各支持点の支持荷重
を把握し、前記支持荷重を再現してベッド上面の摺り合
わせ加工を可能とし、工作機械の最終的据付けではベッ
ド上に構造物を設置した時の支持荷重と同一条件で据付
け可能とし、摺り合わせ時の精度を確保したベッド支持
方法を提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明の要旨は、上面を摺り合せ加工すべき工作機
械のベッドの複数箇所を、荷重センサを備えた除振台上
に支持して各支持点の高さを調整してベッド上面の水準
を出し、この水準調整時における各支持点の支持荷重を
前記各荷重センサで検測し、前記ベッドの上面を摺り合
わせ加工するために、荷重サンサを備え、かつ前記除振
台と同一支持点に配置されているレベリング装置上に前
記ベッドを除振台より移載支持し、レベリング装置のよ
って各支持点で荷重センサにより検測される支持荷重を
前記除振台における各支持点の支持荷重と同一条件にな
るように各レベリング装置の支持点の高さを調整するも
のである。

【０００９】また、前記レベリング装置上に支持し上面
を摺り合せ加工した前記ベッドの上面に所要の構造物を
搭載組み付けして各レベリング装置の支持荷重を検測
し、前記所要の構造物を搭載組み付けしたベッドを荷重
センサが備えられ、かつ前記レベリング装置と同一支持
点に配置した支持台上に前記レベリング装置より移載支
持し、前記各支持台よって各支持点の支持荷重を前記レ
ベリング装置における各支持点の支持荷重と同一条件に
なるように各支持台の支持点の高さを調整して据付ける
ものである。

【００１０】

【作用】上記の構成により、除振台上でベッドの上面の
水準を調整した時の各支持点の支持荷重と同一条件でレ
ベリング装置上でベッドの上面の摺り合わせ加工が得ら
れ、また、摺り合わせ加工後のベッド上に構造物を搭載
組み付けした時の支持荷重を再現し高精密なベッドの摺
り合わせ面を保持した据付けを可能とする。

【００１１】

【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。図１は工作機械が据付け支持される床面７上の複数
箇所（４箇所）に設置されている除振台８上に、摺り合
わせ加工すべきベッド３を支持した状態である。前記除
振台８は、ブロック８ａと、このブロック８ａ上に固設
された中空体８ｂとから構成され、この中空体８ｂには
空気源９とパイロット形電磁減圧弁１０、レリーフ弁１
１を介して接続され、中空体８ｂ内に所定圧に制御され
た空気を供給するようになっている。前記各中空体８ｂ
の上面にはベッド３の下面との間に介在される荷重セン
サ１２ａを備えている。１３ａは前記各荷重センサ１２
ａと接続されたセンサコントローラであり、表示部を備
えている。

【００１２】図２は摺り合わせ加工すべきベッド３を床
面１上に前記除振台８と同じ位置で設置されている複数
のレベリング装置２上に支持した状態である。前記レベ
リング装置２は、本体２ｄ内に上下動可能に案内され、
上面が水平面であり下面が傾斜面で、この傾斜面の傾斜
方向に溝２ｅを有する可動部材２ｃと、この可動部材２
ｃの傾斜面とテーパ面当接し、前記溝２ｅに摺動可能に
案内された突起２ｆとを有し、調整ねじ２ａによって水
平軸線方向に移動して前記可動部材２ｃを上下動するス
ライドカム２ｂとから構成されている。前記各可動部材
２ｃの上面とベッド３の下面との間には荷重センサ１２
が介在されている。１３ｂは前記各荷重センサ１２と接
続されたセンサコントローラであり、表示部を備えてい
る。

【００１３】除振台８上に据付ける工作機械のベッド３
の場合の本発明方法を図３によって説明する。図３
（Ａ）で示すように、摺り合わせ加工すべきベッド３を
除振台８上に支持してベッド３の上面の水準を出す。そ
の動作は、ベッド３の上面に水準器をおいて、除振台８
の各支持点の中空体８ｂに空気を供給し、この空気圧を
パイロット形電磁減圧弁１０で調整することにより各支
持点の高さを調整する。そしてベッド３の上面の水準が
出たところで、各支持点の支持荷重を荷重センサ１２に
よって検測する。

【００１４】次に、図３（Ｂ）で示すように、除振台８
上からレベリング装置２上にベッド３を移載支持する。
この時にはレベリング装置２の各支持点の支持荷重を前
記除振台８で検測した支持荷重値と同一条件となるよう
レベリング装置２の調整ねじ２ａを回して可動部材２ｃ
の高さを調整し、鑢等の摺り合わせ工具４によってベッ
ド３の上面を摺り合わせ加工する。これにより、レベリ
ング装置２に支持されたベッド３は、除振台８の各支持
点の当初の支持荷重と同一条件の下で摺り合わせ加工さ
れる。

【００１５】上記摺り合わせ加工を完了したベット３上
に図３（Ｃ）で示すように、案内部材５及びテーブル６
等の構造物が搭載組み付けされる。この構造物の搭載組
み付けによって、レベリング装置２に支持されたベッド
３の各支持点の支持荷重が変化する。

【００１６】前記ベッド３の各支持点の支持荷重がレベ
リング装置２と異なる条件下で除振台８にベッドを移載
支持して据付けると、ベッド３に撓みが生じてベッド３
の上面の摺り合わせ精度に狂いが出るため、ベッド３上
に構造物を搭載組み付けした後に、レベリング装置２の
荷重センサ１２ｂによって各支持点の支持荷重を検測す
る。

【００１７】この構造物を搭載組み付けした後のベッド
３の各支持点の支持荷重を検測して後にベッド３を図３
（Ｄ）で示すように、当初の除振台８に移載する。この
時、除振台８の荷重センサ１２ａによって各支持点の支
持荷重を検測し、前記ベッド３上に構造物を搭載組み付
けした後のレベリング装置２の荷重センサ１２ｂによっ
て検測した各支持点の支持荷重と同一条件になるように
各除振台８の空気圧を調整してベッド３を除振台８に据
付け支持する。これにより、除振台８に据付け支持され
たベッド３の上面は撓みが生じることがなく、高精度の
摺り合わせ面を保持することができる。

【００１８】上記の実施例では、摺り合わせ加工し、構
造物を搭載組み付けしたベッド３を除振台８に据付け支
持させるようにした説明であるが、本発明は除振台８に
据付け支持させるだけではなく、レベリング装置２のよ
うに高さの調整と荷重センサとを備えた支持台に据付け
支持することも可能である。

【００１９】この場合は、図３（Ｃ）で示すように、摺
り合わせ加工し、構造物を搭載組み付けしたベッド３を
図示しない支持台に移載支持して、支持台によりベッド
３上に構造物を搭載組み付けした後のレベリング装置２
の荷重センサ１２ｂによって検測した各支持点の支持荷
重と同一条件に調整して据付け支持する。従って、除振
台８を使用しない工作機械においても、工作機械を移動
して同じ支持荷重条件で据付けることにより摺り合わせ
時の精度を確保することができる。

【００２０】

【発明の効果】以上述べたように本発明によると、上面
を摺り合せ加工すべき工作機械のベッドの複数個所を、
荷重センサを備えた除振台上に支持して各支持点の高さ
を調整してベッド上面の水準を出し、この水準調整時に
おける各支持点の支持荷重を前記各荷重センサで検測
し、荷重センサが備えられかつ前記除振台と同一支持点
に配置されているレベリング装置上に前記ベッドを除振
台より移載支持し、レベリング装置の各支持点の支持荷
重を前記除振台における各支持点の支持荷重と同一条件
になるように各レベリング装置の各支持点の高さを調整
して前記ベッドの上面を摺り合わせ加工を行い、摺り合
わせ加工後のベッド上に所要の構造物を組み付けた状態
のベッドの各支持点の支持荷重と同一条件及び同一支持
点で据付け支持させるものであるから、超精密工作機械
の場合の除振台への移載や、通常工作機械の移動据付け
において、ベッド上の摺り合わせ面は、摺り合わせ加工
時の精度が再現され、高精度の摺り合わせ面を確保する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】摺り合わせ加工すべきベッドを除振台に載置し
た状態の断面図

【図２】摺り合わせ加工すべきベッドをレベリング装置
に載置した状態の断面図

【図３】本発明方法の一例を示す工程図

【図４】従来のベッド支持方法を示す工程図

【符号の説明】

２ レベリング装置 ３ ベッド ４ 摺り合わせ工具 ８ 除振台 １２ａ 荷重センサ １２ｂ 荷重センサ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上面を摺り合せ加工すべき工作機械のベ
   ッドの複数箇所を、荷重センサを備えた除振台上に支持
   して各支持点の高さを調整してベッド上面の水準を出
   し、この水準調整時における各支持点の支持荷重を前記
   各荷重センサで検測し、前記ベッドの上面を摺り合わせ
   加工するために、荷重センサを備え、かつ前記除振台と
   同一支持点に配置されているレベリング装置上に前記ベ
   ッドを除振台より移載支持し、レベリング装置の各支持
   点で荷重センサにより検測できる支持荷重を前記除振台
   における各支持点の支持荷重と同一条件になるように各
   レベリング装置の支持点の高さを調整することを特徴と
   するベッドの支持方法。
2. 【請求項２】 工作機械のベッドの複数箇所を荷重セン
   サが備えられているレベリング装置上に支持し上面を摺
   り合せ加工した前記ベッドの上面に所要の構造物を搭載
   組み付けして各レベリング装置の支持荷重を検測し、前
   記所要の構造物を搭載組み付けしたベッドを荷重センサ
   が備えられ、かつ前記レベリング装置と同一支持点に配
   置した支持台上に前記レベリング装置より移載支持し、
   前記各支持台によって各支持点の支持荷重を前記レベリ
   ング装置における各支持点の支持荷重と同一条件になる
   ように各支持台の支持点の高さを調整して据付けること
   を特徴とするベッドの支持方法。