JPH06246670A - ワーク把持装置 - Google Patents
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- JPH06246670A JPH06246670A JP3201193A JP3201193A JPH06246670A JP H06246670 A JPH06246670 A JP H06246670A JP 3201193 A JP3201193 A JP 3201193A JP 3201193 A JP3201193 A JP 3201193A JP H06246670 A JPH06246670 A JP H06246670A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】ワイヤボンディング用ワイヤ８の移送経路中に
配置するワーク把持装置でのワイヤの把持を確実にする
と共に固定側の第２把持片２３の取付け位置や取付け姿
勢の微調整の手間を無くする。 【構成】ワイヤ８の移動方向に沿った軸線を挟んで一方
に固定支持体２０を配置し、他方には、固定支持体２０
の表面側に対して遠近揺動する回動クランプアーム２１
を配置し、固定支持体２０の表面側には、回動クランプ
アーム２１における第１把持片２２と対面させてワイヤ
８を挟持するための第２把持片２３を配置する。ワイヤ
挟持部近傍の第２把持片２３の裏面と固定支持体２０の
表面側との間には、第２把持片２３の裏面に接当して揺
動可能に支持するための鋼球２６を介在させる一方、第
２把持片２３と固定支持体２０とを弾性変形可能な軟質
ゴム製の筒状連結体２４にて連結する。
配置するワーク把持装置でのワイヤの把持を確実にする
と共に固定側の第２把持片２３の取付け位置や取付け姿
勢の微調整の手間を無くする。 【構成】ワイヤ８の移動方向に沿った軸線を挟んで一方
に固定支持体２０を配置し、他方には、固定支持体２０
の表面側に対して遠近揺動する回動クランプアーム２１
を配置し、固定支持体２０の表面側には、回動クランプ
アーム２１における第１把持片２２と対面させてワイヤ
８を挟持するための第２把持片２３を配置する。ワイヤ
挟持部近傍の第２把持片２３の裏面と固定支持体２０の
表面側との間には、第２把持片２３の裏面に接当して揺
動可能に支持するための鋼球２６を介在させる一方、第
２把持片２３と固定支持体２０とを弾性変形可能な軟質
ゴム製の筒状連結体２４にて連結する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ワイヤボンディング装
置等において、細い径のワイヤ等のワークを供給したり
切断する等のために、一時的にワークを把持する（掴
む）ワーク把持装置の構造に関するものである。
置等において、細い径のワイヤ等のワークを供給したり
切断する等のために、一時的にワークを把持する（掴
む）ワーク把持装置の構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、図１及び図２に示すように、ボ
ールボンディングによりワイヤボンディングするワイヤ
ボンディング装置１は、半導体チップ３をマウントした
リードフレーム４を位置決めして搭載する作業台２の側
方に、ＸＹテーブル５を配置し、該ＸＹテーブル５に昇
降動可能に搭載した支持体６の前方には、作業台２の上
方に向かってボンディングアーム７を突出させ、該ボン
ディングアーム７の先端には、軸心にワイヤ８が上下方
向に通過し得る細孔を穿設した下端円錐状のキャピラリ
ツール９を装着する。
ールボンディングによりワイヤボンディングするワイヤ
ボンディング装置１は、半導体チップ３をマウントした
リードフレーム４を位置決めして搭載する作業台２の側
方に、ＸＹテーブル５を配置し、該ＸＹテーブル５に昇
降動可能に搭載した支持体６の前方には、作業台２の上
方に向かってボンディングアーム７を突出させ、該ボン
ディングアーム７の先端には、軸心にワイヤ８が上下方
向に通過し得る細孔を穿設した下端円錐状のキャピラリ
ツール９を装着する。
【０００３】ＸＹテーブル５の作動により前記キャピラ
リツール９が作業台２の上方でＸＹ方向（水平方向）に
移動可能となり、ＸＹテーブル５に搭載した駆動モータ
１１とカム機構１０とを介して前記支持体６を昇降させ
て、キャピラリツール９が半導体チップ３及びリードフ
レーム４に対して遠近動するよう昇降する構成となって
いる。そして、ＸＹテーブル５と一体的に移動するカバ
ー体１２等には、ワイヤ８を巻回したリール１３及びワ
イヤガイド１４等が装着されている。
リツール９が作業台２の上方でＸＹ方向（水平方向）に
移動可能となり、ＸＹテーブル５に搭載した駆動モータ
１１とカム機構１０とを介して前記支持体６を昇降させ
て、キャピラリツール９が半導体チップ３及びリードフ
レーム４に対して遠近動するよう昇降する構成となって
いる。そして、ＸＹテーブル５と一体的に移動するカバ
ー体１２等には、ワイヤ８を巻回したリール１３及びワ
イヤガイド１４等が装着されている。
【０００４】そして、前記リール１３及びワイヤガイド
１４等からキャピラリツール９にいたるワイヤの移送経
路中に、ワーク把持装置１５を設ける。従来、この種ワ
ーク把持装置１５は、図１及び図２に示すように、前記
支持体６等の移動部側に固定した固定クランプ体１６を
設け、これと対峙するようにして回動クランプ体１７を
縦軸１８回りに水平回動可能に装着し、回動クランプ体
１７の基部に電磁ソレノイド等のアクチュエータ１９を
連結する。
１４等からキャピラリツール９にいたるワイヤの移送経
路中に、ワーク把持装置１５を設ける。従来、この種ワ
ーク把持装置１５は、図１及び図２に示すように、前記
支持体６等の移動部側に固定した固定クランプ体１６を
設け、これと対峙するようにして回動クランプ体１７を
縦軸１８回りに水平回動可能に装着し、回動クランプ体
１７の基部に電磁ソレノイド等のアクチュエータ１９を
連結する。
【０００５】そして、キャピラリツール９の下端側方に
おいて、火炎トーチや電気火花（放電スパーク）の熱に
てワイヤ８の先端にボール部を形成し、このボール部を
前記キャピラリツール９の下降動にて半導体チップ３の
ボンディング部に圧着し、次いでＸＹテーブル５を移動
させ、ワイヤ８を繰り出し、リードフレーム４のボンデ
ィング部にワイヤ８の中途部を圧着してワイヤボンディ
ングを実行する。この状態までは前記ワーク把持装置１
５によるワイヤ８の挟持（把持）は実行しない。
おいて、火炎トーチや電気火花（放電スパーク）の熱に
てワイヤ８の先端にボール部を形成し、このボール部を
前記キャピラリツール９の下降動にて半導体チップ３の
ボンディング部に圧着し、次いでＸＹテーブル５を移動
させ、ワイヤ８を繰り出し、リードフレーム４のボンデ
ィング部にワイヤ８の中途部を圧着してワイヤボンディ
ングを実行する。この状態までは前記ワーク把持装置１
５によるワイヤ８の挟持（把持）は実行しない。
【０００６】次いで、キャピラリツール９を上方に引き
上げる直前に、前記アクチュエータ１９を作動させ、ワ
イヤ８を固定クランプ体１６と回動クランプ体１７とで
挟持してキャピラリツール９の下端面よりワイヤ８を切
断する。このようにして、一対の相互に電気的に接続さ
れるワイヤボンディングを行うのである。
上げる直前に、前記アクチュエータ１９を作動させ、ワ
イヤ８を固定クランプ体１６と回動クランプ体１７とで
挟持してキャピラリツール９の下端面よりワイヤ８を切
断する。このようにして、一対の相互に電気的に接続さ
れるワイヤボンディングを行うのである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】前述の構成の場合、図
２から理解できるように、回動クランプ体１７は縦軸１
８の軸線回りに円弧運動をするのであるから、ワイヤ８
の軸線と回動クランプ体１７の縦軸１８の軸線とが平行
状であると、回動クランプ体１７が固定クランプ体１６
に接近するように閉じ回動した位置では、回動クランプ
体１７の挟持部（把持部）表面と固定クランプ体１６挟
持部（把持部）表面とが平行状となるように配置位置を
設定していないと、その両者でワイヤ８をしっかりと挟
持できないことになる。換言すると、回動クランプ体１
７の閉じ位置で、その挟持部表面に対して固定クランプ
体１６の挟持部表面が傾いていると、両挟持部間の一方
の隙間が広く、片方が狭くなる。他方、ワイヤは挟持さ
れるまでの間かなりふらつくから、当該ワイヤを確実且
つ強固に挟持できなくなるという問題があった。
２から理解できるように、回動クランプ体１７は縦軸１
８の軸線回りに円弧運動をするのであるから、ワイヤ８
の軸線と回動クランプ体１７の縦軸１８の軸線とが平行
状であると、回動クランプ体１７が固定クランプ体１６
に接近するように閉じ回動した位置では、回動クランプ
体１７の挟持部（把持部）表面と固定クランプ体１６挟
持部（把持部）表面とが平行状となるように配置位置を
設定していないと、その両者でワイヤ８をしっかりと挟
持できないことになる。換言すると、回動クランプ体１
７の閉じ位置で、その挟持部表面に対して固定クランプ
体１６の挟持部表面が傾いていると、両挟持部間の一方
の隙間が広く、片方が狭くなる。他方、ワイヤは挟持さ
れるまでの間かなりふらつくから、当該ワイヤを確実且
つ強固に挟持できなくなるという問題があった。
【０００８】この問題を解消するには、前記従来の構成
のワーク把持装置１５においては、前記固定クランプ体
１６の取付け姿勢を微調整できるように構成しなければ
ならず、ワーク把持装置１５の構造が複雑になる。ま
た、ワイヤ８の径も細いので前記微調整作業にも手間取
るという問題があった。さらに、回動クランプ体１７と
縦軸１８の枢軸箇所でガタ（隙間）があると、前記の微
調整の効果もないのだから、これらの部品の嵌め合い精
度高くしなければならず、そうすると、回動クランプ体
１７の回動抵抗が増大して動きが悪くなるという問題を
招来するのであった。
のワーク把持装置１５においては、前記固定クランプ体
１６の取付け姿勢を微調整できるように構成しなければ
ならず、ワーク把持装置１５の構造が複雑になる。ま
た、ワイヤ８の径も細いので前記微調整作業にも手間取
るという問題があった。さらに、回動クランプ体１７と
縦軸１８の枢軸箇所でガタ（隙間）があると、前記の微
調整の効果もないのだから、これらの部品の嵌め合い精
度高くしなければならず、そうすると、回動クランプ体
１７の回動抵抗が増大して動きが悪くなるという問題を
招来するのであった。
【０００９】本発明は、これらの従来の問題を解決し、
微調整を行う必要のないワーク把持装置を提供すること
を目的とするものである。
微調整を行う必要のないワーク把持装置を提供すること
を目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明は、ワイヤボンディング用ワイヤ等のワーク
の移送経路中に配置するワイヤ把持装置において、ワー
クの移動方向に沿った軸線を挟んで一方に固定支持体を
配置し、他方には、前記固定支持体の表面側に対して遠
近揺動する回動クランプアームを配置し、前記固定支持
体の表面側には、前記回動クランプアームにおける第１
把持片と対面させてワークを挟持するための第２把持片
を配置し、前記ワーク挟持部近傍の第２把持片の裏面と
前記固定支持体の表面側との間には、第２把持片の裏面
に接当して揺動可能に支持するための三次元凸湾曲状支
持手段を介在させる一方、前記第２把持片と前記固定支
持体とを弾性変形可能な連結体にて連結したものであ
る。
め、本発明は、ワイヤボンディング用ワイヤ等のワーク
の移送経路中に配置するワイヤ把持装置において、ワー
クの移動方向に沿った軸線を挟んで一方に固定支持体を
配置し、他方には、前記固定支持体の表面側に対して遠
近揺動する回動クランプアームを配置し、前記固定支持
体の表面側には、前記回動クランプアームにおける第１
把持片と対面させてワークを挟持するための第２把持片
を配置し、前記ワーク挟持部近傍の第２把持片の裏面と
前記固定支持体の表面側との間には、第２把持片の裏面
に接当して揺動可能に支持するための三次元凸湾曲状支
持手段を介在させる一方、前記第２把持片と前記固定支
持体とを弾性変形可能な連結体にて連結したものであ
る。
【００１１】
【実施例】次に、本発明を具体化した実施例について説
明する。図１はワイヤボンディング装置の概要を側面図
で示し、図３は本発明に係るワーク把持装置の第１実施
例の要部断面図であり、ワークとしてワイヤボンディン
グ用の細い径の金線、アルミ線等の金属製のワイヤ８に
適用するものである。なお、図１と同じ部材または相当
部材は同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。
明する。図１はワイヤボンディング装置の概要を側面図
で示し、図３は本発明に係るワーク把持装置の第１実施
例の要部断面図であり、ワークとしてワイヤボンディン
グ用の細い径の金線、アルミ線等の金属製のワイヤ８に
適用するものである。なお、図１と同じ部材または相当
部材は同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００１２】本実施例のワーク把持装置は、前述の支持
体６に固定してボンディングアーム７の上方に突出する
固定支持体２０と、図２に示すように、支持体６に立設
された縦軸１８箇所で水平回動するように軸支持され、
且つ固定支持体２０の表面側に対して遠近揺動するよう
に、電磁ソレノイド等のアクチュエータ１９により駆動
する回動クランプアーム２１とを有する。
体６に固定してボンディングアーム７の上方に突出する
固定支持体２０と、図２に示すように、支持体６に立設
された縦軸１８箇所で水平回動するように軸支持され、
且つ固定支持体２０の表面側に対して遠近揺動するよう
に、電磁ソレノイド等のアクチュエータ１９により駆動
する回動クランプアーム２１とを有する。
【００１３】そして、前記固定支持体２０の表面側に
は、前記回動クランプアーム２１における第１把持片２
２と対面させてワイヤ８を挟持するための第２把持片２
３を配置する。前記第１把持片２２と第２把持片２３と
でワイヤ８を挟持する部分の近傍であって、第２把持片
２３の裏面と前記固定支持体２０の表面とを連結するた
めの連結体２４は、軟質ゴム等の弾性変形可能な材料か
らなり、本実施例では、連結体２４を円筒状に形成し、
円筒端面を適宜材質の接着剤２５にて、固定支持体２０
と第２把持片２３とに接着固定する。そのとき、前記連
結体２４の内径部には、第２把持片２３の裏面及び固定
支持体２０の表面に接当して第２把持片２３を揺動可能
に支持するための三次元凸湾曲状支持手段を介在させ
る。その第１実施例として鋼球２６を使用する。この場
合、鋼球２６に代えて、摩擦係数が小さく、且つ硬度の
高い合成樹脂製の硬い球を使用しても良い。また、連結
体２４の高さ寸法Ｈ１を鋼球２６の直径に等しくするか
若干大きく形成し、連結体２４の内径部直径も鋼球２６
の直径に等しくするか若干大きく形成する。
は、前記回動クランプアーム２１における第１把持片２
２と対面させてワイヤ８を挟持するための第２把持片２
３を配置する。前記第１把持片２２と第２把持片２３と
でワイヤ８を挟持する部分の近傍であって、第２把持片
２３の裏面と前記固定支持体２０の表面とを連結するた
めの連結体２４は、軟質ゴム等の弾性変形可能な材料か
らなり、本実施例では、連結体２４を円筒状に形成し、
円筒端面を適宜材質の接着剤２５にて、固定支持体２０
と第２把持片２３とに接着固定する。そのとき、前記連
結体２４の内径部には、第２把持片２３の裏面及び固定
支持体２０の表面に接当して第２把持片２３を揺動可能
に支持するための三次元凸湾曲状支持手段を介在させ
る。その第１実施例として鋼球２６を使用する。この場
合、鋼球２６に代えて、摩擦係数が小さく、且つ硬度の
高い合成樹脂製の硬い球を使用しても良い。また、連結
体２４の高さ寸法Ｈ１を鋼球２６の直径に等しくするか
若干大きく形成し、連結体２４の内径部直径も鋼球２６
の直径に等しくするか若干大きく形成する。
【００１４】このように構成すれば、ワイヤ８を挟持
（把持）するために、アクチュエータ１９を作動させ
て、回動クランプアーム２１を円弧回動させ、その第１
把持片２２を第２把持片２３の表面に接近させたとき、
第２把持片２３の表面と第１把持片２２の表面とが平行
状にて接近してワイヤ８を挟持すると、図３の実線状態
となる。
（把持）するために、アクチュエータ１９を作動させ
て、回動クランプアーム２１を円弧回動させ、その第１
把持片２２を第２把持片２３の表面に接近させたとき、
第２把持片２３の表面と第１把持片２２の表面とが平行
状にて接近してワイヤ８を挟持すると、図３の実線状態
となる。
【００１５】また、図３の二点鎖線で示すように、回動
クランプアーム２１の先端側（第１把持片２２の先端
側）が第２把持片２３の表面に近づき過ぎるように円弧
回動した場合（矢印Ａ方向）にも、両把持片２２，２３
の表面間隔が平行状のままワイヤ８を挟持できるように
第２把持片２３の姿勢が自動的に変動できるし、ワイヤ
８の挟持を解除すべく、矢印Ｂ方向に回動クランプアー
ム２１を回動させると、前記挟持のための押圧力がなく
なり、第２把持片２３は図３の実線状態に姿勢を復帰で
きる。
クランプアーム２１の先端側（第１把持片２２の先端
側）が第２把持片２３の表面に近づき過ぎるように円弧
回動した場合（矢印Ａ方向）にも、両把持片２２，２３
の表面間隔が平行状のままワイヤ８を挟持できるように
第２把持片２３の姿勢が自動的に変動できるし、ワイヤ
８の挟持を解除すべく、矢印Ｂ方向に回動クランプアー
ム２１を回動させると、前記挟持のための押圧力がなく
なり、第２把持片２３は図３の実線状態に姿勢を復帰で
きる。
【００１６】なお、回動クランプアーム２１の基部側
（図３の上側）で、第１把持片２２と第２把持片２３と
の隙間が小さくなるような回動動作であっても、前記と
同様にして両把持片２２，２３でワイヤ８が挟持された
段階では、両挟持片２２，２３の表面間の隙間が平行状
となるように、第２把持片２３は、鋼球２６の表面にて
一点支持されて傾くことができることは同じである。
（図３の上側）で、第１把持片２２と第２把持片２３と
の隙間が小さくなるような回動動作であっても、前記と
同様にして両把持片２２，２３でワイヤ８が挟持された
段階では、両挟持片２２，２３の表面間の隙間が平行状
となるように、第２把持片２３は、鋼球２６の表面にて
一点支持されて傾くことができることは同じである。
【００１７】このように、第２把持片２３の表面側への
押圧力の着力点が鋼球２６の中心から外れても、また、
前記押圧力の向きが第２把持片２３の表面側に対して直
角でなくても、第２把持片２３は鋼球２６の任意の箇所
の表面に対して傾きうるように一点支持されたことにな
る。しかも、前記第２把持片２３の傾きにつれて、連結
体２４の弾性変形力のため当該連結体２４はその高さ部
分の寸法Ｈ１（円筒軸に沿った方向の寸法）が任意の方
向に変形でき、押圧力が解除されると元の姿勢に復帰で
きるから、従来のように第２把持片２３の取付け位置や
取付け姿勢の微調整する手間も省けると共に、細いワイ
ヤであっても確実にしっかりと挟持でき、ワーク把持装
置の箇所でのワイヤの滑りの発生をなくすることができ
る。
押圧力の着力点が鋼球２６の中心から外れても、また、
前記押圧力の向きが第２把持片２３の表面側に対して直
角でなくても、第２把持片２３は鋼球２６の任意の箇所
の表面に対して傾きうるように一点支持されたことにな
る。しかも、前記第２把持片２３の傾きにつれて、連結
体２４の弾性変形力のため当該連結体２４はその高さ部
分の寸法Ｈ１（円筒軸に沿った方向の寸法）が任意の方
向に変形でき、押圧力が解除されると元の姿勢に復帰で
きるから、従来のように第２把持片２３の取付け位置や
取付け姿勢の微調整する手間も省けると共に、細いワイ
ヤであっても確実にしっかりと挟持でき、ワーク把持装
置の箇所でのワイヤの滑りの発生をなくすることができ
る。
【００１８】図５は第２実施例を示し、第２把持片２３
と固定支持体２０とを連結するための弾性変形可能な連
結体２７として、圧縮型コイルバネを使用し、該コイル
状の連結体２７の両端を、第２把持片２３と固定支持体
２０とにそれぞれ固着した取付け具２８，２８に抜け不
能に係止させる。そして、この連結体２７のコイル部の
内径箇所に前記と同様に、三次元凸湾曲状支持手段とし
ての鋼球２６等の硬い球体を挿入しておけば良く、この
実施例でも前記第１実施例と同様の作用・効果を奏する
し、鋼球２６等が連結体２７から脱落することもない。
なお、図５において、連結体２７の高さ寸法を鋼球２６
の直径より大きく設定しているが、略同じ寸法であって
も良い。
と固定支持体２０とを連結するための弾性変形可能な連
結体２７として、圧縮型コイルバネを使用し、該コイル
状の連結体２７の両端を、第２把持片２３と固定支持体
２０とにそれぞれ固着した取付け具２８，２８に抜け不
能に係止させる。そして、この連結体２７のコイル部の
内径箇所に前記と同様に、三次元凸湾曲状支持手段とし
ての鋼球２６等の硬い球体を挿入しておけば良く、この
実施例でも前記第１実施例と同様の作用・効果を奏する
し、鋼球２６等が連結体２７から脱落することもない。
なお、図５において、連結体２７の高さ寸法を鋼球２６
の直径より大きく設定しているが、略同じ寸法であって
も良い。
【００１９】図６に示す第３実施例では、第２把持片２
３と固定支持体２０とを連結するための弾性変形可能な
連結体２９は第１実施例と同様に軟質ゴムからなる筒状
体を使用し、この連結体２９の筒状両端面を接着剤２５
を介して第２把持片２３と固定支持体２０とにそれぞれ
固着する。三次元凸湾曲状支持手段として、前記連結体
２９の内径部において、固定支持体２０に基部を植設し
たピボット体３０を使用する。該ピボット体３０の先端
部を半球体状に形成し、第２把持片２３の裏面には、ピ
ボット体３０の先端部の半径より大きい半径の三次元凹
所３１を形成し、この凹所３１内表面にてピボット体３
０の先端部で第２把持片２３を一点支持的に傾動自在に
支持する構成である。この実施例でも前記各実施例と同
様の作用・効果を奏する。
３と固定支持体２０とを連結するための弾性変形可能な
連結体２９は第１実施例と同様に軟質ゴムからなる筒状
体を使用し、この連結体２９の筒状両端面を接着剤２５
を介して第２把持片２３と固定支持体２０とにそれぞれ
固着する。三次元凸湾曲状支持手段として、前記連結体
２９の内径部において、固定支持体２０に基部を植設し
たピボット体３０を使用する。該ピボット体３０の先端
部を半球体状に形成し、第２把持片２３の裏面には、ピ
ボット体３０の先端部の半径より大きい半径の三次元凹
所３１を形成し、この凹所３１内表面にてピボット体３
０の先端部で第２把持片２３を一点支持的に傾動自在に
支持する構成である。この実施例でも前記各実施例と同
様の作用・効果を奏する。
【００２０】なお、前記凹所３１は必須要件ではない
が、前記第１及び第２実施例における球体に対しても同
様に適用することができる。また、前記各実施例におい
ては、回動クランプ体１７の回動軸線（縦軸１８）をワ
イヤ８の軸線と平行に配置したものであるが、前記回動
軸線をワイヤ８の軸線と直交（交叉）する方向にして
も、前記各実施例と同様の作用・効果を奏するのであ
る。さらに、本発明は、超音波ワイヤボンディングやボ
ールボンディング作業に使用するワーク把持装置ばかり
でなく、電磁コイル巻回装置に付随させて設ける金属線
のワーク把持装置にも適用可能である。
が、前記第１及び第２実施例における球体に対しても同
様に適用することができる。また、前記各実施例におい
ては、回動クランプ体１７の回動軸線（縦軸１８）をワ
イヤ８の軸線と平行に配置したものであるが、前記回動
軸線をワイヤ８の軸線と直交（交叉）する方向にして
も、前記各実施例と同様の作用・効果を奏するのであ
る。さらに、本発明は、超音波ワイヤボンディングやボ
ールボンディング作業に使用するワーク把持装置ばかり
でなく、電磁コイル巻回装置に付随させて設ける金属線
のワーク把持装置にも適用可能である。
【００２１】
【発明の作用・効果】以上に説明したように、本発明で
は、ワイヤ等のワークの移送方向に沿う軸線を挟んで一
方に固定支持体を配置し、他方には、前記固定支持体の
表面側に対して遠近揺動する回動クランプアームを配置
し、前記固定支持体の表面側には、前記回動クランプア
ームにおける第１把持片と対面させてワークを挟持する
ための第２把持片を配置し、前記ワーク挟持部近傍の第
２把持片の裏面と前記固定支持体の表面側との間には、
第２把持片の裏面に接当して揺動可能に支持するための
三次元凸湾曲状支持手段を介在させる一方、前記第２把
持片と前記固定支持体とを弾性変形可能な連結体にて連
結したものであるから、回動クランプアームの接近回動
により挟持したワークを介して第２把持片の表面側への
押圧力の着力点が三次元凸湾曲状支持手段との支持点か
ら外れても、また、前記押圧力の向きが第２把持片の表
面側に対して直角でなくても、第２把持片は三次元凸湾
曲状支持手段との支持点において任意の方向に対して傾
きうるように一点支持されたことになる。
は、ワイヤ等のワークの移送方向に沿う軸線を挟んで一
方に固定支持体を配置し、他方には、前記固定支持体の
表面側に対して遠近揺動する回動クランプアームを配置
し、前記固定支持体の表面側には、前記回動クランプア
ームにおける第１把持片と対面させてワークを挟持する
ための第２把持片を配置し、前記ワーク挟持部近傍の第
２把持片の裏面と前記固定支持体の表面側との間には、
第２把持片の裏面に接当して揺動可能に支持するための
三次元凸湾曲状支持手段を介在させる一方、前記第２把
持片と前記固定支持体とを弾性変形可能な連結体にて連
結したものであるから、回動クランプアームの接近回動
により挟持したワークを介して第２把持片の表面側への
押圧力の着力点が三次元凸湾曲状支持手段との支持点か
ら外れても、また、前記押圧力の向きが第２把持片の表
面側に対して直角でなくても、第２把持片は三次元凸湾
曲状支持手段との支持点において任意の方向に対して傾
きうるように一点支持されたことになる。
【００２２】そして、前記第２把持片の傾きにつれて、
連結体の弾性変形力のため、当該連結体は固定支持体表
面と第２把持片裏面との任意側の隙間が大小変動するよ
うに、任意の方向に変形でき、押圧力が解除されると元
の姿勢に復帰できる。従って、本発明によれば、従来の
ようにワーク把持装置における固定側の取付け位置も取
付け姿勢の微調整する手間も省けるると共に、細いワー
クであっても確実にしっかりと挟持でき、ワーク把持装
置の箇所でのワークの滑りの発生をなくすることができ
るという顕著を効果を奏することができる。
連結体の弾性変形力のため、当該連結体は固定支持体表
面と第２把持片裏面との任意側の隙間が大小変動するよ
うに、任意の方向に変形でき、押圧力が解除されると元
の姿勢に復帰できる。従って、本発明によれば、従来の
ようにワーク把持装置における固定側の取付け位置も取
付け姿勢の微調整する手間も省けるると共に、細いワー
クであっても確実にしっかりと挟持でき、ワーク把持装
置の箇所でのワークの滑りの発生をなくすることができ
るという顕著を効果を奏することができる。
【図１】ワイヤボンディング装置の概略側面図である。
【図２】図１のII−II線矢視図である。
【図３】ワーク把持装置の要部拡大断面図である。
【図４】図３のIV−IV矢視断面図である
【図５】第２実施例の要部拡大断面図である。
【図６】第３実施例の要部拡大断面図である。
１ ワイヤボンディング装置 ８ ワイヤ １５ ワーク把持装置 １８ 縦軸 １９ アクチュエータ ２０ 固定支持体 ２１ 回動クランプアーム ２２ 第１把持片 ２３ 第２把持片 ２４，２７，２９ 連結体 ２６ 鋼球 ２８ 取付け具 ３０ ピボット体
Claims (1)
- 【請求項１】 ワイヤボンディング用ワイヤ等のワーク
の移送経路中に配置するワーク把持装置において、ワー
クの移動方向に沿った軸線を挟んで一方に固定支持体を
配置し、他方には、前記固定支持体の表面側に対して遠
近揺動する回動クランプアームを配置し、前記固定支持
体の表面側には、前記回動クランプアームにおける第１
把持片と対面させてワークを挟持するための第２把持片
を配置し、前記ワーク挟持部近傍の第２把持片の裏面と
前記固定支持体の表面側との間には、第２把持片の裏面
に接当して揺動可能に支持するための三次元凸湾曲状支
持手段を介在させる一方、前記第２把持片と前記固定支
持体とを弾性変形可能な連結体にて連結したことを特徴
とするワーク把持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3201193A JP3263462B2 (ja) | 1993-02-22 | 1993-02-22 | ワイヤボンディング用ワイヤの把持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3201193A JP3263462B2 (ja) | 1993-02-22 | 1993-02-22 | ワイヤボンディング用ワイヤの把持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06246670A true JPH06246670A (ja) | 1994-09-06 |
| JP3263462B2 JP3263462B2 (ja) | 2002-03-04 |
Family
ID=12346934
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3201193A Expired - Fee Related JP3263462B2 (ja) | 1993-02-22 | 1993-02-22 | ワイヤボンディング用ワイヤの把持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3263462B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012066368A (ja) * | 2010-09-27 | 2012-04-05 | Toyota Motor Corp | ロボットハンド |
| CN111051016A (zh) * | 2017-09-08 | 2020-04-21 | 索尼公司 | 机器人手、机器人设备和制造电子设备的方法 |
| CN120527241A (zh) * | 2025-05-21 | 2025-08-22 | 苏州立臻微波技术有限公司 | 一种楔焊键合头装置 |
-
1993
- 1993-02-22 JP JP3201193A patent/JP3263462B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012066368A (ja) * | 2010-09-27 | 2012-04-05 | Toyota Motor Corp | ロボットハンド |
| CN111051016A (zh) * | 2017-09-08 | 2020-04-21 | 索尼公司 | 机器人手、机器人设备和制造电子设备的方法 |
| CN120527241A (zh) * | 2025-05-21 | 2025-08-22 | 苏州立臻微波技术有限公司 | 一种楔焊键合头装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3263462B2 (ja) | 2002-03-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |