JPH0624710A - オゾン発生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 高電圧で放電することによりオゾンを発生さ
せる放電体等を冷却しているオゾン発生装置において、
該放電体等における結露を防止して、該放電体等で異常
放電などが生じないようにする。 【構成】 放電によりオゾンを発生させる放電体１０、
該放電体に交流高電圧を印加する電源１２、放電体１０
及び／又は電源１２を冷却する冷却部１１等を一つの筐
体２内に収納したオゾン発生装置１において、換気用の
外気吸気口１４に外気除湿器１５を設け、外気除湿器１
５の冷却液路を前記放電体１０等の冷却部１１の上流側
に設けて、装置内部を乾燥雰囲気としたオゾン発生装
置。また、原料ガスを導入するコンプレッサ５の出口に
除湿器６を設けるとともに、そこで除湿した原料ガスを
通す酸素富化器又はヒートレスドライヤ８の排気ガス路
管２３の排気口２４を装置内に設けたオゾン発生装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、放電体に交流高電圧を
印加する電源を具備し、該放電体内部で放電によりオゾ
ンを発生させる方式のオゾン発生装置に関し、特に放電
体及び／又は電源を冷却するようにした形式のオゾン発
生装置において、その放電体などの冷却部分及び／又は
これらに付属する設備に結露が生じないようにするオゾ
ン発生装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、オゾン発生装置は各種用途に使用
され、例えば水処理関係に多く使用されるようになり、
特にプール水の殺菌に広く使用されるようになってい
る。このような用途に使用されるオゾン発生装置は、一
般に酸素、空気のような酸素含有ガスを通して放電を行
いオゾンを発生させる放電体、前記放電体に交流高電圧
を印加する電源、及びこれらに付属する設備を有するも
ので、全体をまとめるために一つの筐体内に収納して内
蔵するようにされている。そして、通常、放電体への原
料ガス供給のために、酸素富化器あるいはヒートレスド
ライヤが設けられている。

【０００３】原料ガスの酸素含有ガスとして酸素を用い
る場合には、通常酸素ボンベから供給するが、この場合
酸素ガスを前記ヒートレスドライヤに通して水分を除去
した後、放電体に送ることもある。原料ガスとして空気
を用いる場合には、酸素ガスの場合とは違って酸素濃度
が低いため、オゾン発生効率が低くなるので、オゾン発
生効率を高くしたいときには、空気中の窒素成分を選択
的に吸着する吸着剤を有する酸素富化器に空気を通し
て、酸素濃度を高くした酸素富化空気として放電体に送
るようにする。その際、空気中の水分は酸素富化器で除
去される。また、オゾン発生効率が低くてもよい場合に
は、空気をヒートレスドライヤーに通して、空気の水分
を除去した後放電体に送るようにする。

【０００４】このように、原料ガス供給源は、原料ガス
が酸素の場合には通常外置きとなり、また原料ガスが空
気の場合には周囲から取り入れ、通常内蔵の設備で処理
することになるが、その処理設備は外置きとしてもよ
い。そして、この装置では、原料ガスを前記酸素富化器
あるいはヒートレスドライヤに送るために、コンプレッ
サーを設けている。

【０００５】更に、従来の装置では、装置の筐体内部に
おいて熱を発生し、また高電圧により微量の異種ガスが
発生するのを除くため、その内部の換気を目的として、
前記筐体に吸気口と排気口を設け、どちらか片方あるい
は両方にファンを取り付けて、換気効率を上げるように
している。また、この装置で用いる放電体は、高電圧で
放電がなされ、しかも放電効率が一般に低いために、熱
が発生し、それにより電極が損傷し易いので、放電体の
周囲あるいは内部などに冷却液を通して冷却することが
行われている。その場合、冷熱源流路管で冷却液をオゾ
ン発生装置の外部から導入し、放電体を冷却後、装置外
部に排出していた。そして、放電体の冷却は、熱の除去
というだけでなく、効率の向上のために放電体を周囲温
度より低くするために行われることもある。さらに、必
要により電源を冷却する場合もある。

【０００６】この種のオゾン発生装置を図６により説明
すると、筐体に設けた吸気口３からコンプレッサ５によ
り空気４を吸気し、該空気は酸素富化器８に送られ、酸
素富化器８において窒素ガス及び水分が吸着、廃棄さ
れ、酸素が高濃度に富化された乾燥酸素富化空気９が原
料ガスとして放電体１０へ送られる。酸素富化器８の代
わりにヒートレスドライヤを使用した場合には、水分が
吸着されて余剰空気と共に廃棄され、乾燥空気が原料ガ
スとして放電体１０へ供給される。放電体１０に電源１
２から交流高電圧が印加され、放電によってオゾンが発
生し、オゾン出口管路１３を通って装置外の使用点に導
かれる。

【０００７】この際、前記の酸素富化器あるいはヒート
レスドライヤから出る、そこで吸着、廃棄される窒素ガ
ス及び水分、あるいは廃棄される水分及び余剰空気のよ
うな無利用ガスは、排気ガス路管２３を通して排気口２
４から装置の外に排出される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】従来のオゾン発生装置
においては、前述したように放電体などを冷却するため
に、例えばその外周などに冷却部を設けているが、装置
の筐体内に換気用の空気（外気）が入ることにより、周
囲との温度差、及び周囲の空気の湿度との関係で、放電
体などの冷却された部分あるいはその付近に結露を生ず
ることがあり、その水滴が放電体の異常放電や電極短絡
の原因になり、装置の故障や事故を引き起こす事になる
という問題があった。

【０００９】このため、オゾン発生装置において、装置
筐体内を換気しうるようにした時に放電体において結露
を生じないようにすることが求められている。本発明
は、このような一つの筐体内にまとめられたオゾン発生
装置において、従来問題であった放電体など、あるいは
その付近における結露が生じないようにした装置を提供
することを目的とするものである。

【００１０】また、本発明は、放電体など、あるいはそ
の付近において結露が生じないようにするために、新た
に特別の設備を設けることなく、結露が生じないように
することができる簡便なオゾン発生装置を提供すること
を目的とするものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記の目的の
ためには装置内部を乾燥雰囲気にすればよいということ
に着目し、そのための方策として従来の装置を更に複雑
にすることがなく、装置の一部付加・改良で実施できる
ようにしたものである。すなわち、本発明は、下記の手
段により前記の目的をよく達成することができた。 （１） 内部で放電によりオゾンを発生させる放電体、
前記放電体に交流高電圧を印加する電源、前記放電体及
び／又は電源を冷却する液体冷却系、並びにこれらに付
属する設備を一つの筐体内に収納したオゾン発生装置に
おいて、該オゾン発生装置内部の換気のために設けた外
気吸気口部に気・液熱交形熱交換器からなる外気除湿器
を設置し、該外気除湿器の冷熱源として前記液体冷却系
への冷却液を供給し、該外気除湿器の冷却液出口を前記
放電体及び／又は電源を冷却する液体冷却系の入口に接
続したことを特徴とするオゾン発生装置。 （２） 内部で放電によりオゾンを発生させる放電体、
前記放電体に交流高電圧を印加する電源、前記放電体及
び／又は電源を冷却する液体冷却系、並びにこれらに付
属する設備を一つの筐体内に収納したオゾン発生装置に
おいて、外部の空気を導入して断熱圧縮するコンプレッ
サを設け、そのコンプレッサの圧縮空気出口に圧縮空気
を冷却・除湿するための除湿器を設置し、前記除湿器の
後に酸素富化器あるいはヒートレスドライヤを接続し、
その除湿した空気の少なくとも一部を酸素富化器あるい
はヒートレスドライヤを通して前記放電体に送り、前記
酸素富化器あるいはヒートレスドライヤから廃棄される
乾燥されたガスを前記の筐体の内部に放出する管路を設
けたことを特徴とするオゾン発生装置。 （３） 前記酸素富化器あるいはヒートレスドライヤか
ら廃棄される乾燥されたガスを前記の筐体の内部に放出
する管路のガス放出口が、前記放電体及び／又は電源の
部分に直接面するように設けたことを特徴とする前記
（２）項記載のオゾン発生装置。 （４） 該筐体に該オゾン発生装置内部の換気のために
外気吸気口部を設け、その外気吸気口部に気・液熱交形
熱交換器からなる外気除湿器を設置し、該外気除湿器の
冷熱源として冷却液を供給し、該外気除湿器の冷却液出
口を前記放電体及び／又は電源を冷却する液体冷却系の
入口に接続したことを特徴とする前記（２）項記載のオ
ゾン発生装置。 （５） 前記酸素富化器あるいはヒートレスドライヤか
ら廃棄される乾燥されたガスを前記の筐体の内部に放出
する管路のガス放出口が、前記放電体及び／又は電源の
部分に直接面するように設けたことを特徴とする前記
（４）項記載のオゾン発生装置。

【００１２】本発明の一形式では、オゾン発生装置の筐
体に該オゾン発生装置内部の換気のために外気吸気口部
を設け、その外気吸気口部に気・液熱交形熱交換器から
なる外気除湿器を設置し、該外気除湿器の冷熱源として
冷却液を供給し、該外気除湿器の冷却液出口を前記放電
体及び／又は電源を冷却する液体冷却系の入口に接続し
たことにより、従来の放電体などの冷却系を使用して装
置内部を乾燥雰囲気とすることができる。

【００１３】この外気除湿器は、通常の除湿器を使用す
ることができ、空気を除湿後多少温度を上げて相対湿度
を下げる通常の手段が採られてもよい。その冷熱源とす
る冷却液は、従来知られているものでよく、冷却水が一
般的であるが、その外の冷媒を使用してもよい。そし
て、この外気除湿器を用いることにより、放電体及び／
又は電源の表面における結露を防止することができる。

【００１４】また、本発明の他の形式は、外部の空気を
導入して断熱圧縮するコンプレッサを設け、そのコンプ
レッサの圧縮空気出口に圧縮空気を冷却・除湿するため
の除湿器を設置し、前記除湿器の後に酸素富化器あるい
はヒートレスドライヤを接続し、その除湿した空気の少
なくとも一部を酸素富化器あるいはヒートレスドライヤ
を通して前記放電体に送り、前記酸素富化器あるいはヒ
ートレスドライヤから廃棄される乾燥されたガスを前記
の筐体の内部に放出する管路を設けたものである。

【００１５】この形式では、酸素富化器あるいはヒート
レスドライヤに送られる空気は、コンプレッサの後の除
湿器により水分が除かれているため、十分乾燥してお
り、このため酸素富化器あるいはヒートレスドライヤか
ら廃棄される窒素ガス、あるいは余剰空気は、一緒に排
出される水分とともに出ても、全体として換気のために
入ってくる外部空気よりも水分がかなり少ないので、こ
れを外部空気の代わりに装置内部に放出することによ
り、放電体及び／又は電源への結露を防ぐことができ
る。

【００１６】この場合、内部に放出するガス量だけでは
換気が不十分であるときには、最初の形式を併用しても
よい。前記の外気除湿器を使用するが、そこでの外気の
導入量はかなり少なくすることができる。本発明におい
て使用する放電体としては、従来知られた各種のオゾン
を発生する放電体をいずれも使用することができる。こ
の放電体の冷却のための構造としては、既に知られた構
造をいずれも採用することができる。

【００１７】また、この装置で使用する酸素富化器ある
いはヒートレスドライヤの種類または構造等も既に知ら
れたものを使用することができる。本発明の具体的な構
成については、実施例においてさらに詳しく説明する。

【００１８】

【作用】本発明の一形式では、外気吸気口部に気・液熱
交形熱交換器からなる外気除湿器を設置し、該外気除湿
器の冷熱源として冷却液を供給し、該外気除湿器の冷却
液出口を前記放電体及び／又は電源を冷却する液体冷却
系の入口に接続したことにより、従来の放電体などの冷
却系を使用して装置内部を乾燥雰囲気とすることができ
る。

【００１９】また、本発明の他の形式では、酸素富化器
あるいはヒートレスドライヤに送られる空気は、コンプ
レッサの後の除湿器により水分が除かれているため、十
分乾燥しており、このため酸素富化器あるいはヒートレ
スドライヤから廃棄される窒素ガス、あるいは余剰空気
は、一緒に排出される水分とともに出ても、全体として
換気のために入ってくる外部空気よりも水分がかなり少
ないので、これを外部空気の代わりに装置内部に放出す
ることにより、放電体などへの結露を防ぐことができ
る。この場合、この放出するガス量だけでは装置内部の
換気を行うのに不十分であるときには、最初の形式を併
用することができる。

【００２０】

【実施例】以下、本発明を実施例により具体的に説明す
るが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるもので
はない。 実施例１ 本発明の一例である図１に示すオゾン発生装置１は、基
本的構成が図６の従来のオゾン発生装置と共通している
もので、筐体２の外気を導入するための吸気口３から空
気４がコンプレッサ５により吸引され、そこで圧縮され
た空気はファン７により空冷されている除湿器６で冷却
され、かつ除湿されて酸素富化器８に入る。酸素富化器
８は、窒素及び水分を吸着する吸着剤を納めており、そ
こから出た酸素富化空気９は冷却部１１を備えた放電体
１０に入り、そこで電源１２からの交流高電圧による放
電によりオゾンが生成し、オゾン出口路管１３で使用点
に送られる。

【００２１】また、筐体２の換気のためのファンを備え
た外気吸気口１４の内側に気・液熱交形熱交換器からな
る外気除湿器１５を設け、それに冷却液路管１６を接続
して冷却水を供給して除湿した空気が装置内部に入るよ
うにする。それにより前記放電体１０で結露するのを防
止する。外気除湿器１５から冷却液路管１７で放電体１
０の冷却部１１に接続して、外気除湿器１５を出た冷却
水を前記冷却部１１に送る。前記冷却部１１から出た冷
却水は冷却液路管１８で筐体２の外に出る。その際、除
湿器６及び外気除湿器１５で気体から除かれたドレン水
はそれぞれドレン水排水路管１９及び２０により冷却液
路管１８に合流させる。

【００２２】また、装置内部の空気は、筐体２に設けた
排気口２１及び２２から排出される。そして、酸素富化
器８で分離された窒素ガス及び水分は、排気ガス路管２
３から外部に放出される。この装置において、冷却水で
外気除湿器１５を先に冷却するのは、冷却液の流下・冷
却過程での温度上昇を考慮し、冷却液の最低温度付近で
外気除湿器１５を冷却することにより、外気除湿器１５
の効果を高め、装置内に入る気体を極力乾燥度の高いも
のとするとともに、外気除湿器１５を冷却して若干液温
の上がった冷却液で放電体１０を冷却することによっ
て、放電体１０と周囲の温度差を小さくし、放電体の結
露を防止するためである。 実施例２ 本発明の他の一例である図２に示すオゾン発生装置１
は、酸素富化器あるいはヒートレスドライヤからの乾燥
した排気あるいは余剰ガスを装置内部に放出する形式に
係わるものである。

【００２３】この装置は、コンプレッサ５の吸気口３を
装置外部に出して装置外部から吸気するようにし、コン
プレッサ５の出口に断熱圧縮された空気を冷却・除湿
し、系外へ水分を排出する除湿器６を設け、酸素富化器
８の排気ガス路管２３の排気口２４を装置内に設置して
装置内部に排気するようにしている。この排気口から出
るガスは、酸素富化器８にはコンプレッサ５で圧縮され
た後、除湿器６で冷却・除湿された空気が供給されるた
め、該酸素富化器８から吸着された水分とともに廃棄さ
れるときに、外気よりも乾燥したガスとなっているの
で、水分の少ないものである。それを装置内部に出すこ
とにより装置内を乾燥雰囲気にすることができ、放電体
表面での結露を防止することができる。

【００２４】除湿器６の冷却は、空冷・水冷のいずれで
もよく、空冷の場合、該除湿器６に接近させて冷却用の
ファンを取り付ける。水冷の場合には、放電体１０の冷
却部１１を通る冷却系に組み込んで放電体１０と直列で
冷却しても、また別途冷熱源路管を設けて単独で冷却し
てもよい。コンプレッサ５出口の除湿器６を放電体１０
の冷却液路管２５に組み込む場合、該除湿器６は放電体
１０より上流側に組み込み、放電体１０よりも先に冷却
されるようにする。除湿器６で気体から除かれた水分は
ドレン水排水路管１９で装置外部へ排出される。

【００２５】図２では、酸素富化器８、コンプレッサ５
及び除湿器６は筐体２に内蔵されているが、これらの一
部又は全部は外置きでもよく、コンプレッサ５へ導入さ
れる空気の吸気がオゾン発生装置の外で行われ、酸素富
化器８の排気口がオゾン発生装置の内部に設置されて、
装置内部に乾燥排気ガスが放出されるようにすればよ
い。なお、酸素富化器に代えてヒートレスドライヤが使
用されてもよい。 実施例３ 本発明の他の一例である図３に示すオゾン発生装置１
は、図２に示す装置と同様に、コンプレッサ５の吸気口
３をオゾン発生装置の外にとり、コンプレッサ５の出口
に除湿器６を設け、酸素富化器８の排気口を装置内部に
設置したものであるが、図２の例では単に装置内に排気
口を設置したのに対し、この例の装置では該排気口２４
ａ，２４ｂを特に結露を防止したい放電体１０と電源１
２に向け、近づけて設置し、放出される乾燥排気ガスを
直接結露防止対象物に吹きかけるようにしている。

【００２６】これによって、特に結露を防止したい対象
物（放電体１０と電源１２）の結露防止効果を高めてい
る。酸素富化器８の排気口は、該対象物の数や位置、形
状、大きさによって図３のように分岐させて設置しても
よいが、分岐数が増えるとガスの吹きつけ効果が減少す
るので、十分吹きつけ効果が得られる範囲で設置するよ
うにしなければならない。なお、酸素富化器に代えてヒ
ートレスドライヤが使用されてもよい。 実施例４ 図４に示すオゾン発生装置１は、図１の装置と同様に換
気のための装置内部への外気吸気口１４に外気除湿器１
５を取り付け、装置内に入る空気の冷却・除湿を行い、
装置内部を乾燥雰囲気にすると共に、図２に示す手段で
ある、酸素富化器８の排気口２４を装置内部に設置し、
装置内に乾燥排気ガスを放出する構成を採用することに
よって、装置内の乾燥度をより高め、結露を防止するよ
うにしたものである。

【００２７】冷熱源の経路も図１と同様であり、外気除
湿器１５を放電体１０よりも先に冷却することにより、
放電体１０の結露防止効果を高めるようになっている。
また、コンプレッサ５の出口に取り付けた除湿器６も冷
却液路管に組み込んで冷却してもよく、その場合、除湿
器６は放電体１０よりも上流に組み込むようにする。オ
ゾン発生装置換気用吸気口の外気除湿器１５とコンプレ
ッサ５出口の除湿器６の冷却順序はどちらが先でもよ
い。外気除湿器１５及び除湿器６で気体から取り除かれ
た水分は、それぞれドレン水排水路管２０及び１９で冷
却液路管１８に入り、装置外に排出される。 実施例５ 図５に示すオゾン発生装置１は、図４の装置を改変し
て、図３の場合と同様に酸素富化器８の排気口２４ａ及
び２４ｂを放電体１０及び電源１２に向け、かつ近づけ
て設置し、酸素富化器８から排出される乾燥排気ガスが
直接放電体１０と電源１２に吹きかかるようにしたもの
である。

【００２８】この例においては、装置内の乾燥度を高め
て結露を防止すると共に、特に結露を防止したい対象物
である放電体１０と電源１２を重点的に結露防止できる
ようになっている。この装置においても、酸素富化器の
代わりにヒートレスドライヤを用いてもよい。

【００２９】

【発明の効果】本発明によれば、オゾン発生装置の換気
用の外気吸気口に外気除湿器を取り付けることにより、
同装置に入る空気等気体の冷却・除湿が行われ、冷却さ
れている放電体等と周囲気体の温度差、及び周囲気体の
湿度に起因する放電体等の結露を防止することができ
た。

【００３０】また、該除湿器の冷却を放電体の冷却液路
管に組み込み、しかも該冷却液路管の上流側に該除湿器
を設置して放電体よりも先に冷却するようにしたことに
より、結露防止効果を更に高めることができた。これは
冷却液路管における冷却液の温度の上昇を考慮し、外気
除湿器を先に冷却することで、最低温度のときの冷却液
で外気除湿器を冷却することができるようにし、それに
よって結露原因の一つである周囲気体の湿度を除去する
効果を高めることができるのと、冷却液流路の下流で液
温が若干上昇した冷却液で放電体を冷却することによ
り、結露のもう一つの原因である放電体と周囲気体との
温度差を小さくできるためである。外気除湿器を先に冷
却する経路とすることで、放電体に供給される冷却液の
液温の変動を緩和できるので、その液温の変動で左右さ
れるオゾン発生性能の安定化を図ることができる。

【００３１】さらに、本発明は、空気を導入するコンプ
レッサの出口に除湿器を設け、そこで除湿することによ
り、酸素富化器あるいはヒートレスドライヤへは乾燥し
た空気が供給されるので、該酸素富化器あるいはヒート
レスドライヤからの廃棄されるガスも従来よりも乾燥し
たガスにすることができた。この乾燥廃棄ガスを装置内
部に放出することにより、装置内部を乾燥気体にさらす
ことができ、冷却されている放電体などで結露するのを
防止することができた。

【００３２】その際、前記の乾燥廃棄ガスを放電体及び
／又は電源に直接吹きつけるように排気口を設置するこ
とによりこれらを乾燥条件で冷却することができ、放電
体及び／又は電源の結露を重点的に防止することができ
た。実施例では排気口を放電体及び電源に向け、近づけ
て設置してあるが、排気口の向きと対象物への距離を調
整することで、放電体、電源に限らず、特に結露を防止
したい装置内の任意の対象物に対し、単数、複数にかか
わらず効果的な結露防止の対策として利用できる。

【００３３】また、上記の効果をそれぞれ単独に利用す
るだけでなく、前記実施例に挙げた方式をそれぞれ組み
合わせて用いることにより、相乗効果が得られ、より効
果的な結露防止ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１の外気吸気口に外気除湿器を
設けた形式のオゾン発生装置の概要図を示す。

【図２】本発明の実施例２の酸素富化器からの排気ガス
路管の排気口を装置内部に設けた形式のオゾン発生装置
の概要図を示す。

【図３】図２の装置で、該排気ガス路管の排気口を放電
体及び電源の近くに設けるよう改変した形式のオゾン発
生装置の概要図を示す。

【図４】図１の装置に、酸素富化器からの排気ガス路管
の排気口を装置内部に設けるよう併設した形式のオゾン
発生装置の概要図を示す。

【図５】図４の装置で、排気ガス路管の排気口を放電体
及び電源の近くに設けるよう改変した形式のオゾン発生
装置の概要図を示す。

【図６】従来のオゾン発生装置の概要図を示す。

【符号の説明】

１ オゾン発生装置 ２ 筐体 ３ 吸気口 ４ 空気 ５ コンプレッサ ６ 除湿器 ７ ファン ８ 酸素富化器 ９ 酸素富化空気 １０ 放電体 １１ 冷却部 １２ 電源 １３ オゾン出口路管 １４ 外気吸気口 １５ 外気除湿器 １６ 冷却液路管 １７ 冷却液路管 １８ 冷却液路管 １９ ドレン水排水路管 ２０ ドレン水排水路管 ２１ 排気口 ２２ 排気口 ２３ 排気ガス路管 ２４ 排気口 ２４ａ 排気口 ２４ｂ 排気口 ２５ 冷却液路管

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 新荘 良一 神奈川県藤沢市本藤沢４丁目２番１号 株 式会社荏原総合研究所内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内部で放電によりオゾンを発生させる放
   電体、前記放電体に交流高電圧を印加する電源、前記放
   電体及び／又は電源を冷却する液体冷却系、並びにこれ
   らに付属する設備を一つの筐体内に収納したオゾン発生
   装置において、該オゾン発生装置内部の換気のために設
   けた外気吸気口部に気・液熱交形熱交換器からなる外気
   除湿器を設置し、該外気除湿器の冷熱源として前記液体
   冷却系への冷却液を供給し、該外気除湿器の冷却液出口
   を前記放電体及び／又は電源を冷却する液体冷却系の入
   口に接続したことを特徴とするオゾン発生装置。
2. 【請求項２】 内部で放電によりオゾンを発生させる放
   電体、前記放電体に交流高電圧を印加する電源、前記放
   電体及び／又は電源を冷却する液体冷却系、並びにこれ
   らに付属する設備を一つの筐体内に収納したオゾン発生
   装置において、外部の空気を導入して断熱圧縮するコン
   プレッサを設け、そのコンプレッサの圧縮空気出口に圧
   縮空気を冷却・除湿するための除湿器を設置し、前記除
   湿器の後に酸素富化器あるいはヒートレスドライヤを接
   続し、その除湿した空気の少なくとも一部を酸素富化器
   あるいはヒートレスドライヤを通して前記放電体に送
   り、前記酸素富化器あるいはヒートレスドライヤから廃
   棄される乾燥されたガスを前記の筐体の内部に放出する
   管路を設けたことを特徴とするオゾン発生装置。
3. 【請求項３】 前記酸素富化器あるいはヒートレスドラ
   イヤから廃棄される乾燥されたガスを前記の筐体の内部
   に放出する管路のガス放出口が、前記放電体及び／又は
   電源の部分に直接面するように設けたことを特徴とする
   請求項２記載のオゾン発生装置。
4. 【請求項４】 該筐体に該オゾン発生装置内部の換気の
   ために外気吸気口部を設け、その外気吸気口部に気・液
   熱交形熱交換器からなる外気除湿器を設置し、該外気除
   湿器の冷熱源として冷却液を供給し、該外気除湿器の冷
   却液出口を前記放電体及び／又は電源を冷却する液体冷
   却系の入口に接続したことを特徴とする請求項２記載の
   オゾン発生装置。
5. 【請求項５】 前記酸素富化器あるいはヒートレスドラ
   イヤから廃棄される乾燥されたガスを前記の筐体の内部
   に放出する管路のガス放出口が、前記放電体及び／又は
   電源の部分に直接面するように設けたことを特徴とする
   請求項４記載のオゾン発生装置。