JPH06249618A - 光学式寸法測定装置 - Google Patents
光学式寸法測定装置Info
- Publication number
- JPH06249618A JPH06249618A JP6476593A JP6476593A JPH06249618A JP H06249618 A JPH06249618 A JP H06249618A JP 6476593 A JP6476593 A JP 6476593A JP 6476593 A JP6476593 A JP 6476593A JP H06249618 A JPH06249618 A JP H06249618A
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- JP
- Japan
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- data processing
- measuring
- processing unit
- connector
- unit
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- Pending
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 17
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000003708 edge detection Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 230000008719 thickening Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 接続ケーブルを太くすることなく、また外部
ノイズの影響を低減しながら、測定部とデータ処理部の
別売りを可能とした光学式寸法測定装置を提供すること
を目的とする。 【構成】 レーザ光ビーム１３を測定対象物２に照射す
る送光部１１および測定対象物２の後方に配置されてレ
ーザ光ビームを受光する受光部１２を有する測定部１
と、この測定部１で得られた出力信号を処理して測定対
象物２の寸法を算出するデータ処理部３と、一端が第１
のコネクタ５1 を介してし測定部１に接続され他端が第
２のコネクタ５2 を介してデータ処理部３に接続された
接続ケーブル４とを有する光学式寸法測定装置におい
て、データ処理部３で算出される寸法の測定部１の部品
精度に起因する誤差を補正するための補正用データを記
憶するＥＥＰＲＯＭが、第２のコネクタ５2 内に設けら
れている。
ノイズの影響を低減しながら、測定部とデータ処理部の
別売りを可能とした光学式寸法測定装置を提供すること
を目的とする。 【構成】 レーザ光ビーム１３を測定対象物２に照射す
る送光部１１および測定対象物２の後方に配置されてレ
ーザ光ビームを受光する受光部１２を有する測定部１
と、この測定部１で得られた出力信号を処理して測定対
象物２の寸法を算出するデータ処理部３と、一端が第１
のコネクタ５1 を介してし測定部１に接続され他端が第
２のコネクタ５2 を介してデータ処理部３に接続された
接続ケーブル４とを有する光学式寸法測定装置におい
て、データ処理部３で算出される寸法の測定部１の部品
精度に起因する誤差を補正するための補正用データを記
憶するＥＥＰＲＯＭが、第２のコネクタ５2 内に設けら
れている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光学式寸法測定装置に
関する。
関する。
【０００２】
【従来の技術】レーザ光ビームを平行に走査して測定対
象物に照射し、その測定対象物の後方で検出される明暗
パターンをデータ処理して測定対象物の寸法を測定する
走査型の光学式寸法測定装置が知られている。この種の
測定装置は通常、レーザ光ビームを走査照射する送光部
と受光部を持つ測定部と、この測定部で得られた出力信
号を処理して測定対象物の寸法を算出するデータ処理部
とにより構成される。測定部とデータ処理部とは接続ケ
ーブルにより接続される。
象物に照射し、その測定対象物の後方で検出される明暗
パターンをデータ処理して測定対象物の寸法を測定する
走査型の光学式寸法測定装置が知られている。この種の
測定装置は通常、レーザ光ビームを走査照射する送光部
と受光部を持つ測定部と、この測定部で得られた出力信
号を処理して測定対象物の寸法を算出するデータ処理部
とにより構成される。測定部とデータ処理部とは接続ケ
ーブルにより接続される。
【０００３】この様な光学式寸法測定装置は近年ますま
す高精度化しているが、それに伴って測定部内のポリゴ
ンミラー，反射ミラー，ｆ−θ等の各種光学部品の部品
精度（取り付け精度を含む）が無視できなくなってい
る。しかし、光学部品の高精度化は技術的にも難しく、
また非常にコストがかかるため、これら光学部品の精度
に起因する測定誤差をソフトウェア的に補正することが
提案されている。具体的には、光学部品の精度に起因す
る測定誤差を補正するために補正用メモリがデータ処理
部に設けられる。補正用メモリには、装置の販売或いは
使用に先立って、寸法が既知の標準試料を測定して測定
誤差が零となるようにデータ処理部で算出される寸法を
補正するための補正用データが設定される。
す高精度化しているが、それに伴って測定部内のポリゴ
ンミラー，反射ミラー，ｆ−θ等の各種光学部品の部品
精度（取り付け精度を含む）が無視できなくなってい
る。しかし、光学部品の高精度化は技術的にも難しく、
また非常にコストがかかるため、これら光学部品の精度
に起因する測定誤差をソフトウェア的に補正することが
提案されている。具体的には、光学部品の精度に起因す
る測定誤差を補正するために補正用メモリがデータ処理
部に設けられる。補正用メモリには、装置の販売或いは
使用に先立って、寸法が既知の標準試料を測定して測定
誤差が零となるようにデータ処理部で算出される寸法を
補正するための補正用データが設定される。
【０００４】ところが、上述のように補正用メモリをデ
ータ処理部内に設けると、データ処理部がいわば汎用性
を失い、常に測定部とデータ処理部とを一対一のペアと
して扱わねばならないことになる。修理や別売りの都合
を考慮すると、一台のデータ処理部に任意の測定部を接
続できるようにすることが望ましい。この様な観点か
ら、補正用メモリをデータ処理部ではなく測定部側の設
けることが提案されている（例えば特開平３−１１５９
０９号公報参照）。
ータ処理部内に設けると、データ処理部がいわば汎用性
を失い、常に測定部とデータ処理部とを一対一のペアと
して扱わねばならないことになる。修理や別売りの都合
を考慮すると、一台のデータ処理部に任意の測定部を接
続できるようにすることが望ましい。この様な観点か
ら、補正用メモリをデータ処理部ではなく測定部側の設
けることが提案されている（例えば特開平３−１１５９
０９号公報参照）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、補正用メモリ
を測定部側に設けると、補正用メモリのデータの読み書
きのための信号配線を測定部とデータ処理部をつなぐ接
続ケーブル内に設けることになるため、接続ケーブルが
太くなるだけでなく、外部ノイズに弱くなるといった問
題が生じる。本発明はこの様な問題を解決して、接続ケ
ーブルを太くすることなく、また外部ノイズの影響を低
減しながら、測定部とデータ処理部の別売りを可能とし
た光学式寸法測定装置を提供することを目的とする。
を測定部側に設けると、補正用メモリのデータの読み書
きのための信号配線を測定部とデータ処理部をつなぐ接
続ケーブル内に設けることになるため、接続ケーブルが
太くなるだけでなく、外部ノイズに弱くなるといった問
題が生じる。本発明はこの様な問題を解決して、接続ケ
ーブルを太くすることなく、また外部ノイズの影響を低
減しながら、測定部とデータ処理部の別売りを可能とし
た光学式寸法測定装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、レーザ光を被
測定物に照射する送光部および被測定物の後方に配置さ
れてレーザ光を受光して電気信号を出力する受光部を有
する測定部と、この測定部で得られた出力信号を処理し
て前記被測定物の寸法を算出するデータ処理部と、これ
らの測定部とデータ処理部を接続する接続ケーブルとを
有する光学式寸法測定装置において、前記データ処理部
で算出される寸法の前記測定部の部品精度に起因する誤
差を補正するための補正用データを記憶するメモリが、
前記接続ケーブルの前記データ処理部側のコネクタ内に
設けられていることを特徴としている。
測定物に照射する送光部および被測定物の後方に配置さ
れてレーザ光を受光して電気信号を出力する受光部を有
する測定部と、この測定部で得られた出力信号を処理し
て前記被測定物の寸法を算出するデータ処理部と、これ
らの測定部とデータ処理部を接続する接続ケーブルとを
有する光学式寸法測定装置において、前記データ処理部
で算出される寸法の前記測定部の部品精度に起因する誤
差を補正するための補正用データを記憶するメモリが、
前記接続ケーブルの前記データ処理部側のコネクタ内に
設けられていることを特徴としている。
【０００７】
【作用】本発明によれば、補正用メモリがデータ処理部
と測定部を接続する接続ケーブルのデータ処理部側のコ
ネクタ内部に設けられるから、測定部と接続ケーブルと
は一対一のペアとして扱わなければならないが、データ
処理部の汎用性は維持される。また、補正用メモリの信
号配線は接続ケーブル内には配設されないため、接続ケ
ーブルが太くなることもなく、外部ノイズの影響も少な
くなる。
と測定部を接続する接続ケーブルのデータ処理部側のコ
ネクタ内部に設けられるから、測定部と接続ケーブルと
は一対一のペアとして扱わなければならないが、データ
処理部の汎用性は維持される。また、補正用メモリの信
号配線は接続ケーブル内には配設されないため、接続ケ
ーブルが太くなることもなく、外部ノイズの影響も少な
くなる。
【０００８】
【実施例】以下、図面を参照しながら本発明の実施例を
説明する。図１は、本発明の一実施例に係る測定装置の
構成を示す。測定部１は、レーザ光ビーム１３を平行に
走査して照射する送光部１１と、この送光部１１からの
レーザ光ビームを受光して電気信号を得る受光部１２を
有する。送光部１１と受光部１２の間のレーザ光ビーム
１３の走査幅内に測定対象物２が配置される。
説明する。図１は、本発明の一実施例に係る測定装置の
構成を示す。測定部１は、レーザ光ビーム１３を平行に
走査して照射する送光部１１と、この送光部１１からの
レーザ光ビームを受光して電気信号を得る受光部１２を
有する。送光部１１と受光部１２の間のレーザ光ビーム
１３の走査幅内に測定対象物２が配置される。
【０００９】測定部１と別体にデータ処理部３が設けら
れる。測定部１とデータ処理部３とは接続ケーブル４に
より接続される。接続ケーブル４の一端は第１のコネク
タ５1 を介して測定部１に接続され、他端は第２のコネ
クタ５2 を介してデータ処理部３に接続されている。第
１，第２のコネクタ５1 ，５2 のうち、データ処理部３
側の第２のコネクタ５2 内部に、図２に示すように、測
定部１の部品精度に起因する誤差を補正するための補正
用データを記憶する補正用メモリであるＥＥＰＲＯＭ６
が埋め込まれている。
れる。測定部１とデータ処理部３とは接続ケーブル４に
より接続される。接続ケーブル４の一端は第１のコネク
タ５1 を介して測定部１に接続され、他端は第２のコネ
クタ５2 を介してデータ処理部３に接続されている。第
１，第２のコネクタ５1 ，５2 のうち、データ処理部３
側の第２のコネクタ５2 内部に、図２に示すように、測
定部１の部品精度に起因する誤差を補正するための補正
用データを記憶する補正用メモリであるＥＥＰＲＯＭ６
が埋め込まれている。
【００１０】図３は、この実施例の装置の内部システム
構成を示している。測定部１の送光部１１は、レーザ光
源２１、この光源２１からのレーザ光ビームを反射する
ミラー２２、反射されたレーザ光ビームを回転走査ビー
ムに変換するポリゴンミラー２３、このポリゴンミラー
２３から得られるレーザ光ビーム２７を平行走査ビーム
１３に変換するためのｆ−θレンズ２６、ポリゴンミラ
ー２３を回転駆動するためのモータ２４およびモータ駆
動回路２５等により構成されている。測定部１の受光部
１２は、集光レンズ３１、受光ダイオード３２、および
受光ダイオード３２の出力信号を増幅するアンプ３３等
により構成されている。
構成を示している。測定部１の送光部１１は、レーザ光
源２１、この光源２１からのレーザ光ビームを反射する
ミラー２２、反射されたレーザ光ビームを回転走査ビー
ムに変換するポリゴンミラー２３、このポリゴンミラー
２３から得られるレーザ光ビーム２７を平行走査ビーム
１３に変換するためのｆ−θレンズ２６、ポリゴンミラ
ー２３を回転駆動するためのモータ２４およびモータ駆
動回路２５等により構成されている。測定部１の受光部
１２は、集光レンズ３１、受光ダイオード３２、および
受光ダイオード３２の出力信号を増幅するアンプ３３等
により構成されている。
【００１１】データ処理部３には、測定部１で得られた
信号を波形成形してエッジ検出を行うエッジ検出回路４
２、そのエッジ検出信号によりクロック発生器４６から
のクロックをオン，オフするゲート回路４３、このゲー
ト回路４３を通ったクロックを計数して寸法値を算出す
るカウンタ４４等を有する。データ処理のシステム制御
を行うのがＣＰＵ４１であり、制御用メモリ４５はシス
テム制御を行う制御データを記憶するＲＯＭ，ＲＡＭ等
である。データ処理部３にはまた、キーボード４８およ
び表示装置４９が設けられている。クロック発生器４６
はモータ２４の回転同期に用いられる同期信号発生器４
７にも使用されている。
信号を波形成形してエッジ検出を行うエッジ検出回路４
２、そのエッジ検出信号によりクロック発生器４６から
のクロックをオン，オフするゲート回路４３、このゲー
ト回路４３を通ったクロックを計数して寸法値を算出す
るカウンタ４４等を有する。データ処理のシステム制御
を行うのがＣＰＵ４１であり、制御用メモリ４５はシス
テム制御を行う制御データを記憶するＲＯＭ，ＲＡＭ等
である。データ処理部３にはまた、キーボード４８およ
び表示装置４９が設けられている。クロック発生器４６
はモータ２４の回転同期に用いられる同期信号発生器４
７にも使用されている。
【００１２】補正用ＥＥＰＲＯＭ６は前述のように、デ
ータ処理部３とは別に、接続ケーブル４のデータ処理部
３側の第２のコネクタ５2 内に設けられている。補正用
ＥＥＰＲＯＭ６を数mm角程度のフラットパッケージ型と
すれば、例えば１０ピン程度のコネクタ内に容易に埋め
込むことができる。補正用ＥＥＰＲＯＭ６をシリアル転
送型とすれば、信号配線はデータ入出力（ＤＩ／ＤＯ）
線、システムクロック（ＳＣＫ）線、チップセレクト
（ＣＳ）線の３本となるが、これらを接続ケーブル４内
に配設することなく、第２のコネクタ５2 内の配線によ
ってデータ処理部３に接続することができる。
ータ処理部３とは別に、接続ケーブル４のデータ処理部
３側の第２のコネクタ５2 内に設けられている。補正用
ＥＥＰＲＯＭ６を数mm角程度のフラットパッケージ型と
すれば、例えば１０ピン程度のコネクタ内に容易に埋め
込むことができる。補正用ＥＥＰＲＯＭ６をシリアル転
送型とすれば、信号配線はデータ入出力（ＤＩ／ＤＯ）
線、システムクロック（ＳＣＫ）線、チップセレクト
（ＣＳ）線の３本となるが、これらを接続ケーブル４内
に配設することなく、第２のコネクタ５2 内の配線によ
ってデータ処理部３に接続することができる。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、デ
ータ処理部で算出される寸法の測定部の部品精度に起因
する誤差を補正するための補正用データを記憶するメモ
リを、データ処理部と測定部を接続する接続ケーブルの
データ処理部側のコネクタ内に設けることによって、接
続ケーブルを太くすることなく、また外部ノイズの影響
を低減しながら、測定部とデータ処理部の別売りを可能
とした光学式寸法測定装置が得られる。
ータ処理部で算出される寸法の測定部の部品精度に起因
する誤差を補正するための補正用データを記憶するメモ
リを、データ処理部と測定部を接続する接続ケーブルの
データ処理部側のコネクタ内に設けることによって、接
続ケーブルを太くすることなく、また外部ノイズの影響
を低減しながら、測定部とデータ処理部の別売りを可能
とした光学式寸法測定装置が得られる。
【図１】 本発明の一実施例に係る測定装置の概略構成
を示す図である。
を示す図である。
【図２】 同実施例の補正用ＥＥＰＲＯＭ収納の様子を
示す図である。
示す図である。
【図３】 同実施例装置のシステム構成を示す図であ
る。
る。
１…測定部、１１…送光部、１２…受光部、１３…レー
ザ光ビーム、２…測定対象物、３…データ処理部、４…
接続ケーブル、５1 …第１のコネクタ、５2 …第２のコ
ネクタ、６…補正用ＥＥＰＲＯＭ。
ザ光ビーム、２…測定対象物、３…データ処理部、４…
接続ケーブル、５1 …第１のコネクタ、５2 …第２のコ
ネクタ、６…補正用ＥＥＰＲＯＭ。
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザ光を測定対象物に照射する送光部
および測定対象物の後方に配置されてレーザ光を受光し
て電気信号を出力する受光部を有する測定部と、この測
定部で得られた出力信号を処理して前記測定対象物の寸
法を算出するデータ処理部と、これら測定部とデータ処
理部を接続する接続ケーブルとを有する光学式寸法測定
装置において、 前記データ処理部で算出される寸法の前記測定部の部品
精度に起因する誤差を補正するための補正用データを記
憶するメモリが、前記接続ケーブルの前記データ処理部
側のコネクタ内に設けられていることを特徴とする光学
式寸法測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6476593A JPH06249618A (ja) | 1993-03-01 | 1993-03-01 | 光学式寸法測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6476593A JPH06249618A (ja) | 1993-03-01 | 1993-03-01 | 光学式寸法測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06249618A true JPH06249618A (ja) | 1994-09-09 |
Family
ID=13267617
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6476593A Pending JPH06249618A (ja) | 1993-03-01 | 1993-03-01 | 光学式寸法測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06249618A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2241855A1 (en) | 2009-04-14 | 2010-10-20 | Mitutoyo Corporation | Optical measuring apparatus and method |
| JP2018151231A (ja) * | 2017-03-13 | 2018-09-27 | オムロン株式会社 | 光学計測装置および光学計測装置用アダプタ |
-
1993
- 1993-03-01 JP JP6476593A patent/JPH06249618A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2241855A1 (en) | 2009-04-14 | 2010-10-20 | Mitutoyo Corporation | Optical measuring apparatus and method |
| US7948642B2 (en) | 2009-04-14 | 2011-05-24 | Mitutoyo Corporation | Optical measuring apparatus, optical measuring method, and optical measurement processing program |
| JP2018151231A (ja) * | 2017-03-13 | 2018-09-27 | オムロン株式会社 | 光学計測装置および光学計測装置用アダプタ |
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