JPH06249889A - 電圧電流測定ユニットおよび電圧電流測定方法 - Google Patents
電圧電流測定ユニットおよび電圧電流測定方法Info
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- JPH06249889A JPH06249889A JP5063389A JP6338993A JPH06249889A JP H06249889 A JPH06249889 A JP H06249889A JP 5063389 A JP5063389 A JP 5063389A JP 6338993 A JP6338993 A JP 6338993A JP H06249889 A JPH06249889 A JP H06249889A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 54
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 claims description 23
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 10
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 2
- 239000000872 buffer Substances 0.000 description 22
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 238000013461 design Methods 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 3
- 101100015484 Saccharomyces cerevisiae (strain ATCC 204508 / S288c) GPA1 gene Proteins 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 238000002484 cyclic voltammetry Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 101100115778 Caenorhabditis elegans dac-1 gene Proteins 0.000 description 1
- 101150115013 DSP1 gene Proteins 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R19/00—Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被測定対象（ＤＵＴ）の電圧−電流特性等の
各種の電気特性を、高速にしかも安定に測定することが
できる電圧電流測定ユニットを提供する。 【構成】 電圧測定回路４または電流測定回路３により
測定された信号が信号生成源１にフィードバックされる
電圧電流測定ユニットにおいて、電圧測定回路４および
電流測定回路３に、電流測定用抵抗２の他方端側の電圧
および前記電流測定用抵抗の両端間の電圧をアナログ値
からディジタル値に変換するアナログ−ディジタル変換
器を設けると共に、信号生成源１の少なくとも誤差検出
部をディジタル回路により構成し、該信号生成源１の出
力段にディジタル−アナログ変換器１２を設けてなるこ
とを特徴とする。
各種の電気特性を、高速にしかも安定に測定することが
できる電圧電流測定ユニットを提供する。 【構成】 電圧測定回路４または電流測定回路３により
測定された信号が信号生成源１にフィードバックされる
電圧電流測定ユニットにおいて、電圧測定回路４および
電流測定回路３に、電流測定用抵抗２の他方端側の電圧
および前記電流測定用抵抗の両端間の電圧をアナログ値
からディジタル値に変換するアナログ−ディジタル変換
器を設けると共に、信号生成源１の少なくとも誤差検出
部をディジタル回路により構成し、該信号生成源１の出
力段にディジタル−アナログ変換器１２を設けてなるこ
とを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体測定装置等の電
子測定機器に用いられる電圧電流測定装置および電圧電
流測定方法に関し、被測定対象（ＤＵＴ）の電圧−電流
特性等の各種の電気特性を、高速にしかも安定に測定す
ることができる上記装置および方法に関する。
子測定機器に用いられる電圧電流測定装置および電圧電
流測定方法に関し、被測定対象（ＤＵＴ）の電圧−電流
特性等の各種の電気特性を、高速にしかも安定に測定す
ることができる上記装置および方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は、従来の半導体試験装置（例え
ば、米国ヒューレット・パッカード社のＨＰ４１４５等
の半導体特性測定装置）において採用されている電圧電
流特性測定ユニット（ＰＭＵ）の概要を示す図である。
このユニットは、電圧設定／電流測定または電流設定／
電圧測定の何れをも行うことができるものであり、その
アーキテクチャーは本願出願人が上市しているＩＣテス
タやＤＣ特性評価装置に広く使用されている。
ば、米国ヒューレット・パッカード社のＨＰ４１４５等
の半導体特性測定装置）において採用されている電圧電
流特性測定ユニット（ＰＭＵ）の概要を示す図である。
このユニットは、電圧設定／電流測定または電流設定／
電圧測定の何れをも行うことができるものであり、その
アーキテクチャーは本願出願人が上市しているＩＣテス
タやＤＣ特性評価装置に広く使用されている。
【０００３】同図において、誤差増幅器１１１は積分器
１１２およびバッファ１１３を介して電流測定用抵抗１
２０の一端ａに接続されている。なお、上記誤差増幅器
１１１，積分器１１２およびバッファ１１３により信号
生成源１１０が構成される。電流測定用抵抗１２０の他
端ｂは図示しないＤＵＴの所定端子に接続される。抵抗
１２０の両端はそれぞれバッファ１３１ａ，１３１ｂを
介して差動増幅器１３２の両入力端子に接続されてい
る。また、この差動増幅器１３２の出力端子および上記
バッファのうち抵抗１２０のＤＵＴ側の端子に接続され
たバッファ（１３１ｂ）の出力端子はそれぞれ前記誤差
増幅器１１１に接続されている。ここで、バッファ１３
１ａ，１３１ｂおよび差動増幅器１３２が電流測定回路
を構成し、バッファ１３１ｂが電圧測定回路となってい
る。
１１２およびバッファ１１３を介して電流測定用抵抗１
２０の一端ａに接続されている。なお、上記誤差増幅器
１１１，積分器１１２およびバッファ１１３により信号
生成源１１０が構成される。電流測定用抵抗１２０の他
端ｂは図示しないＤＵＴの所定端子に接続される。抵抗
１２０の両端はそれぞれバッファ１３１ａ，１３１ｂを
介して差動増幅器１３２の両入力端子に接続されてい
る。また、この差動増幅器１３２の出力端子および上記
バッファのうち抵抗１２０のＤＵＴ側の端子に接続され
たバッファ（１３１ｂ）の出力端子はそれぞれ前記誤差
増幅器１１１に接続されている。ここで、バッファ１３
１ａ，１３１ｂおよび差動増幅器１３２が電流測定回路
を構成し、バッファ１３１ｂが電圧測定回路となってい
る。
【０００４】電圧設定／電流測定を行う場合には、図示
しない測定信号処理回路から同じく図示しないＤＡＣを
介して、設定／電圧（ＶＦＩＮ）がアナログ電圧の形で
誤差増幅器１１１に与えられる。誤差増幅器１１１は、
電流測定用抵抗１２０のＤＵＴ側の端子ｂの電圧をフィ
ードバックして、上記ＶＦＩＮと端子ｂの電圧ＶＯＵＴ
とを比較し、ＶＯＵＴがＶＦＩＮに等しくなるように、
誤差信号を積分器１１２に出力している。電流測定用抵
抗１２０を流れる電流（すなわちＤＵＴに供給される電
流）は、抵抗１２０の両端ａ，ｂ間の電圧を測定するこ
とにより知ることができる。このａ，ｂ間の電圧は差動
増幅器１３２の出力電圧として取り出され、図示しない
ＡＤＣを介して前述した測定信号処理回路に送られる。
しない測定信号処理回路から同じく図示しないＤＡＣを
介して、設定／電圧（ＶＦＩＮ）がアナログ電圧の形で
誤差増幅器１１１に与えられる。誤差増幅器１１１は、
電流測定用抵抗１２０のＤＵＴ側の端子ｂの電圧をフィ
ードバックして、上記ＶＦＩＮと端子ｂの電圧ＶＯＵＴ
とを比較し、ＶＯＵＴがＶＦＩＮに等しくなるように、
誤差信号を積分器１１２に出力している。電流測定用抵
抗１２０を流れる電流（すなわちＤＵＴに供給される電
流）は、抵抗１２０の両端ａ，ｂ間の電圧を測定するこ
とにより知ることができる。このａ，ｂ間の電圧は差動
増幅器１３２の出力電圧として取り出され、図示しない
ＡＤＣを介して前述した測定信号処理回路に送られる。
【０００５】また、電流設定／電圧測定を行う場合に
は、前述した測定信号処理回路から、同じく前述したＤ
ＡＣを介して設定／電流信号（ＩＦＩＮ）が誤差増幅器
１１１に与えられる。誤差増幅器１１１は、抵抗１２０
の両端間の電圧をフィードバックしており、抵抗１２０
を流れる電流（すなわち、ＤＵＴに供給される電流）が
設定／電流に等しくなるように積分器１１２に誤差信号
を出力している。ＤＵＴに印加される電圧は、抵抗１２
０のＤＵＴ側端ｂの電圧を測定することにより知ること
ができる。この電圧はバッファ１３１ｂおよび前述した
ＡＤＣを介して前述した測定信号処理回路に送られる。
は、前述した測定信号処理回路から、同じく前述したＤ
ＡＣを介して設定／電流信号（ＩＦＩＮ）が誤差増幅器
１１１に与えられる。誤差増幅器１１１は、抵抗１２０
の両端間の電圧をフィードバックしており、抵抗１２０
を流れる電流（すなわち、ＤＵＴに供給される電流）が
設定／電流に等しくなるように積分器１１２に誤差信号
を出力している。ＤＵＴに印加される電圧は、抵抗１２
０のＤＵＴ側端ｂの電圧を測定することにより知ること
ができる。この電圧はバッファ１３１ｂおよび前述した
ＡＤＣを介して前述した測定信号処理回路に送られる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のＰＭ
Ｕのアーキテクチャでは、予想されるあらゆる負荷条件
に対して電圧あるいは電流のフィードバックループの安
定性を確保するため、フィードバックループ全体の利得
周波数特性は低く押さえられている。このため、出力信
号ＶＯＵＴの収束に時間がかかり、高速な測定は困難で
あった。また、安定性に問題の無い負荷の場合でも、最
悪条件を考慮した設計に基づいてフィードバックループ
が動作するため、測定スピードは制限される。
Ｕのアーキテクチャでは、予想されるあらゆる負荷条件
に対して電圧あるいは電流のフィードバックループの安
定性を確保するため、フィードバックループ全体の利得
周波数特性は低く押さえられている。このため、出力信
号ＶＯＵＴの収束に時間がかかり、高速な測定は困難で
あった。また、安定性に問題の無い負荷の場合でも、最
悪条件を考慮した設計に基づいてフィードバックループ
が動作するため、測定スピードは制限される。
【０００７】すなわち、高速測定をするために、ループ
全体の利得周波数特性を高周波域まで伸ばすと電圧設定
値変更時に発生するオーバーシュートが増加したり、ま
た負荷条件によってリンギングが発生し、最悪の場合に
は発振する等の問題が生ずる。 また、フィードバック
ループの安定性を確保するための回路の各所にキャパシ
タを接続する必要があり、そのキャパシタの誘電吸収や
漏れ電流に起因する誤差が発生するおそれがある。本発
明は上記のような問題を解決するために提案されたもの
であって、ＤＵＴの電圧電流特性などの各種の電気特性
を、高速にしかも安定に測定することができる電圧電流
測定ユニットおよび電圧電流測定方法を提供することを
目的とする。
全体の利得周波数特性を高周波域まで伸ばすと電圧設定
値変更時に発生するオーバーシュートが増加したり、ま
た負荷条件によってリンギングが発生し、最悪の場合に
は発振する等の問題が生ずる。 また、フィードバック
ループの安定性を確保するための回路の各所にキャパシ
タを接続する必要があり、そのキャパシタの誘電吸収や
漏れ電流に起因する誤差が発生するおそれがある。本発
明は上記のような問題を解決するために提案されたもの
であって、ＤＵＴの電圧電流特性などの各種の電気特性
を、高速にしかも安定に測定することができる電圧電流
測定ユニットおよび電圧電流測定方法を提供することを
目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の測定ユニット
は、誤差検出部を有する信号生成源と、この信号生成源
の出力端子とＤＵＴ接続端子との間に設けられた電流測
定用抵抗と、前記電流測定用抵抗のＤＵＴ接続端子側端
の電圧を測定する電圧測定回路と、前記電流測定用抵抗
の両端間の電圧を測定する電流測定回路とからなり、前
記電圧測定回路または前記電流測定回路により測定され
た信号が前記信号生成源にフィードバックされるように
構成されたものであって、前記電圧測定回路および電流
測定回路に、前記電流測定用抵抗の他方端側の電圧およ
び前記電流測定用抵抗の両端間の電圧をアナログ値から
ディジタル値に変換するＡＤＣを設けると共に、前記信
号生成源の少なくとも誤差検出部をディジタル回路によ
り構成し、該信号生成源の出力段にＤＡＣを設けてなる
ことを特徴とする。
は、誤差検出部を有する信号生成源と、この信号生成源
の出力端子とＤＵＴ接続端子との間に設けられた電流測
定用抵抗と、前記電流測定用抵抗のＤＵＴ接続端子側端
の電圧を測定する電圧測定回路と、前記電流測定用抵抗
の両端間の電圧を測定する電流測定回路とからなり、前
記電圧測定回路または前記電流測定回路により測定され
た信号が前記信号生成源にフィードバックされるように
構成されたものであって、前記電圧測定回路および電流
測定回路に、前記電流測定用抵抗の他方端側の電圧およ
び前記電流測定用抵抗の両端間の電圧をアナログ値から
ディジタル値に変換するＡＤＣを設けると共に、前記信
号生成源の少なくとも誤差検出部をディジタル回路によ
り構成し、該信号生成源の出力段にＤＡＣを設けてなる
ことを特徴とする。
【０００９】また、本発明の測定方法は、誤差検出部を
有する信号生成源からの信号を、他端がＤＵＴに接続さ
れた電流測定用抵抗の一方端に入力し、前記電流測定用
抵抗のＤＵＴ側端の電圧を電圧測定回路により、前記電
流測定用抵抗の両端間の電圧を電流測定回路によりそれ
ぞれ測定すると共に、電圧測定回路または電流測定回路
により測定された信号を前記信号生成源にフィードバッ
クし、該フィードバックされた信号を電圧設定値または
電流設定値と比較して、前記電流測定用抵抗の前記ＤＵ
Ｔ側端の電圧を電圧設定値に等しくさせ、または電流測
定用抵抗の両端間の電圧を電流設定値に等しくさせる方
法であって、電圧測定回路および電流測定回路におい
て、前記電流測定用抵抗の他方端側の電圧および前記電
流測定用抵抗の両端間の電圧をディジタル値に変換する
と共に、前記信号生成源における前記フィードバックさ
れた信号と設定電圧または設定電流との誤差の検出をデ
ィジタル信号処理により行うことを特徴とする。
有する信号生成源からの信号を、他端がＤＵＴに接続さ
れた電流測定用抵抗の一方端に入力し、前記電流測定用
抵抗のＤＵＴ側端の電圧を電圧測定回路により、前記電
流測定用抵抗の両端間の電圧を電流測定回路によりそれ
ぞれ測定すると共に、電圧測定回路または電流測定回路
により測定された信号を前記信号生成源にフィードバッ
クし、該フィードバックされた信号を電圧設定値または
電流設定値と比較して、前記電流測定用抵抗の前記ＤＵ
Ｔ側端の電圧を電圧設定値に等しくさせ、または電流測
定用抵抗の両端間の電圧を電流設定値に等しくさせる方
法であって、電圧測定回路および電流測定回路におい
て、前記電流測定用抵抗の他方端側の電圧および前記電
流測定用抵抗の両端間の電圧をディジタル値に変換する
と共に、前記信号生成源における前記フィードバックさ
れた信号と設定電圧または設定電流との誤差の検出をデ
ィジタル信号処理により行うことを特徴とする。
【００１０】本発明における信号生成源は、少なくとも
誤差検出部がディジタル回路により構成されていればよ
く、たとえば、フィードバックされた信号と設定電圧ま
たは設定電流との誤差の検出をデジタル演算し、ついで
演算結果をＤＡ変換してアナログ信号に変え、該アナロ
グ信号を積分器に入力し、該積分器の出力を電流測定用
抵抗に与えるようにしても良い。 もちろん、誤差検出
部の後段に積分器を設けることなく、信号生成源を構成
してもよい。この場合には、積分器に相当する機能（す
なわち、誤差分の積分）はＤＳＰにより達成される。
誤差検出部がディジタル回路により構成されていればよ
く、たとえば、フィードバックされた信号と設定電圧ま
たは設定電流との誤差の検出をデジタル演算し、ついで
演算結果をＤＡ変換してアナログ信号に変え、該アナロ
グ信号を積分器に入力し、該積分器の出力を電流測定用
抵抗に与えるようにしても良い。 もちろん、誤差検出
部の後段に積分器を設けることなく、信号生成源を構成
してもよい。この場合には、積分器に相当する機能（す
なわち、誤差分の積分）はＤＳＰにより達成される。
【００１１】また、電流測定回路には、通常、電流測定
用抵抗の両端のアナログ電圧をディジタル信号に変換す
るための一対のＡＤＣと、両ＡＤＣの出力の差を演算す
るディジタル引き算器と設けられる。また、電流測定用
抵抗の両端のアナログ電圧の差をアナログ的に求めた後
に、これをＡＤ変換することができる。この場合には前
記引き算器を省くことができる。
用抵抗の両端のアナログ電圧をディジタル信号に変換す
るための一対のＡＤＣと、両ＡＤＣの出力の差を演算す
るディジタル引き算器と設けられる。また、電流測定用
抵抗の両端のアナログ電圧の差をアナログ的に求めた後
に、これをＡＤ変換することができる。この場合には前
記引き算器を省くことができる。
【００１２】
【作用】本発明では、信号生成源の後段を構成するＤＡ
Ｃからのアナログ信号が電流測定用抵抗を介してＤＵＴ
に与えられる。電圧設定／電流測定の場合には、電流測
定用抵抗のＤＵＴ側端のアナログ電圧は、ＡＤ変換さ
れ、信号生成源にフィードバックされる。信号生成源の
誤差検出部はディジタル回路により構成されており、前
記フィードバックされたディジタル電圧信号と設定電圧
とを比較して、前記ＤＡＣに与えるディジタルデータ値
を、電流測定用抵抗のＤＵＴ側端の電圧が設定電圧に等
しくなるように変更する。なお、電流測定回路は、電流
測定用抵抗の両端の電圧をそれぞれＡＤ変換してその差
を求め、電流測定用抵抗の両端間の電圧測定値と該抵抗
値とからＤＵＴに供給される電流を測定する。
Ｃからのアナログ信号が電流測定用抵抗を介してＤＵＴ
に与えられる。電圧設定／電流測定の場合には、電流測
定用抵抗のＤＵＴ側端のアナログ電圧は、ＡＤ変換さ
れ、信号生成源にフィードバックされる。信号生成源の
誤差検出部はディジタル回路により構成されており、前
記フィードバックされたディジタル電圧信号と設定電圧
とを比較して、前記ＤＡＣに与えるディジタルデータ値
を、電流測定用抵抗のＤＵＴ側端の電圧が設定電圧に等
しくなるように変更する。なお、電流測定回路は、電流
測定用抵抗の両端の電圧をそれぞれＡＤ変換してその差
を求め、電流測定用抵抗の両端間の電圧測定値と該抵抗
値とからＤＵＴに供給される電流を測定する。
【００１３】電流設定／電圧測定の場合には、電流測定
用抵抗の両端の電圧がそれぞれＡＤ変換され、通常、両
ディジタル信号の差がディジタル演算された後、信号生
成源にディジタル電流信号としてフィードバックされ
る。信号生成源の誤差検出部は、前記フィードバックさ
れたディジタル電流信号と設定電流とを比較して、電流
測定用抵抗に供給される電流（すなわち、ＤＵＴに供給
される電流）が設定電流に等しくなるように、前記ＤＡ
Ｃに与えるディジタルデータ値を変更する。なお、電圧
測定回路は、電流測定用抵抗のＤＵＴ側端の電圧をＡＤ
変換して、ＤＵＴに供給される電流を測定する。
用抵抗の両端の電圧がそれぞれＡＤ変換され、通常、両
ディジタル信号の差がディジタル演算された後、信号生
成源にディジタル電流信号としてフィードバックされ
る。信号生成源の誤差検出部は、前記フィードバックさ
れたディジタル電流信号と設定電流とを比較して、電流
測定用抵抗に供給される電流（すなわち、ＤＵＴに供給
される電流）が設定電流に等しくなるように、前記ＤＡ
Ｃに与えるディジタルデータ値を変更する。なお、電圧
測定回路は、電流測定用抵抗のＤＵＴ側端の電圧をＡＤ
変換して、ＤＵＴに供給される電流を測定する。
【００１４】本発明は、同様な条件で繰り返し測定する
ことが多い用途に好適に用いられる。たとえば、半導体
測定において、以前に行った条件（ＤＵＴの種類、測定
環境等）と同一または類似の条件下で測定を行う場合、
以前の測定の際のＤＡＣの電圧の設定を外部記憶装置等
に記憶しておき、該設定値を出発点として制御を行え
ば、０Ｖを起点にしたときに比べて高速に設定すること
ができる。また、以前に同じ条件で測定を行ったことの
ない場合であっても、ＤＵＴが存在しないときに所望の
出力電圧を与えるようなＤＡＣの設定を出発点とする
と、０Ｖを起点にしたときと比較して数倍の高速化をは
かることができる。さらに、繰り返しの測定でない場合
において、ＤＵＴの概略値が予め分かっているときに
は、最適な電圧設定値を出発点としてＤＡＣの設定を行
うことができる。
ことが多い用途に好適に用いられる。たとえば、半導体
測定において、以前に行った条件（ＤＵＴの種類、測定
環境等）と同一または類似の条件下で測定を行う場合、
以前の測定の際のＤＡＣの電圧の設定を外部記憶装置等
に記憶しておき、該設定値を出発点として制御を行え
ば、０Ｖを起点にしたときに比べて高速に設定すること
ができる。また、以前に同じ条件で測定を行ったことの
ない場合であっても、ＤＵＴが存在しないときに所望の
出力電圧を与えるようなＤＡＣの設定を出発点とする
と、０Ｖを起点にしたときと比較して数倍の高速化をは
かることができる。さらに、繰り返しの測定でない場合
において、ＤＵＴの概略値が予め分かっているときに
は、最適な電圧設定値を出発点としてＤＡＣの設定を行
うことができる。
【００１５】さらに、本発明では、負荷条件に対応した
出力電圧値制御を行うこともできる。例えば、図６に示
した従来ユニットでは、容量性負荷や誘導性負荷の場合
には安定した出力電圧を得ることが困難であったが、本
発明では、信号処理内容の変更により、回路の設計変更
やハードウェアの変更なしに安定した出力電圧を所望の
状態に設定することができる。また、従来、ＤＵＴの定
格以上の電圧を印加した場合、ＤＵＴが破壊する場合が
ある（このような、ＤＵＴの破壊は負荷が軽い場合に生
ずる）。このため、最悪の負荷条件での安定性を確保す
るあまり、一般的に行われる高速処理可能な場合の速度
が犠牲にされることがしばしば生じていた。本発明で
は、信号生成源における出力電圧の設定をデジタル回路
により行っているので、迅速に出力を所望の電圧に近づ
けることができるので、上記のような不都合が解消され
た。
出力電圧値制御を行うこともできる。例えば、図６に示
した従来ユニットでは、容量性負荷や誘導性負荷の場合
には安定した出力電圧を得ることが困難であったが、本
発明では、信号処理内容の変更により、回路の設計変更
やハードウェアの変更なしに安定した出力電圧を所望の
状態に設定することができる。また、従来、ＤＵＴの定
格以上の電圧を印加した場合、ＤＵＴが破壊する場合が
ある（このような、ＤＵＴの破壊は負荷が軽い場合に生
ずる）。このため、最悪の負荷条件での安定性を確保す
るあまり、一般的に行われる高速処理可能な場合の速度
が犠牲にされることがしばしば生じていた。本発明で
は、信号生成源における出力電圧の設定をデジタル回路
により行っているので、迅速に出力を所望の電圧に近づ
けることができるので、上記のような不都合が解消され
た。
【００１６】
【実施例】図１は本発明の測定ユニットの一実施例を示
す回路図であり、信号生成源１はＤＳＰ１１，ＤＡＣ１
２およびバッファ１３により構成されている。ＤＳＰ１
１は、誤差検出部を含んでおり（換言するなら誤差検出
機能を有しており）、電圧設定値ＶＦＩＮおよび電流設
定値ＩＦＩＮがディジタル信号で与えられると共に、後
述するＡＤＣ３２ｂおよびディジタル引き算器３３から
ディジタル信号が入力されている。バッファ１３は電流
測定用抵抗２の一方端ａに接続され、電流測定用抵抗２
の他端ｂは図示しないＤＵＴ接続端子を介してＤＵＴに
接続されている。
す回路図であり、信号生成源１はＤＳＰ１１，ＤＡＣ１
２およびバッファ１３により構成されている。ＤＳＰ１
１は、誤差検出部を含んでおり（換言するなら誤差検出
機能を有しており）、電圧設定値ＶＦＩＮおよび電流設
定値ＩＦＩＮがディジタル信号で与えられると共に、後
述するＡＤＣ３２ｂおよびディジタル引き算器３３から
ディジタル信号が入力されている。バッファ１３は電流
測定用抵抗２の一方端ａに接続され、電流測定用抵抗２
の他端ｂは図示しないＤＵＴ接続端子を介してＤＵＴに
接続されている。
【００１７】抵抗２の両端ａ，ｂはそれぞれバッファ３
１ａ，３１ｂを介して、ＡＤＣ３２ａ，３２ｂに接続さ
れており、両ＡＤＣ３１ａ，３１ｂの出力端はディジタ
ル引き算器３３の両入力端子に接続されている。また、
ＡＤＣ３１ｂおよび引き算器３３の出力端子は、前述し
たように、ＤＳＰ１１に接続されている。なお、ＡＤＣ
３１ｂおよび引き算器３３の出力は、電圧測定値および
電流測定値として、図示しない測定信号処理回路（マイ
クロプロセッサ，メモリ等からなる）に転送される。こ
こで、バッファ３１ａ，３１ｂ、ＡＤＣ３２ａ，３２
ｂ、および引き算回路３３が電流測定回路３を構成す
る。また、バッファ３１ｂ、ＡＤＣ３２ｂが電圧測定回
路４を構成している。
１ａ，３１ｂを介して、ＡＤＣ３２ａ，３２ｂに接続さ
れており、両ＡＤＣ３１ａ，３１ｂの出力端はディジタ
ル引き算器３３の両入力端子に接続されている。また、
ＡＤＣ３１ｂおよび引き算器３３の出力端子は、前述し
たように、ＤＳＰ１１に接続されている。なお、ＡＤＣ
３１ｂおよび引き算器３３の出力は、電圧測定値および
電流測定値として、図示しない測定信号処理回路（マイ
クロプロセッサ，メモリ等からなる）に転送される。こ
こで、バッファ３１ａ，３１ｂ、ＡＤＣ３２ａ，３２
ｂ、および引き算回路３３が電流測定回路３を構成す
る。また、バッファ３１ｂ、ＡＤＣ３２ｂが電圧測定回
路４を構成している。
【００１８】電圧設定／電流測定の場合は、電流測定用
抵抗２のＤＵＴ側端のアナログ電圧は、バッファ３１ｂ
を介してＡＤＣ３２ｂに入力される。ここで該電圧がデ
ィジタル信号に変換され、該ディジタル信号は前述した
図示しない測定信号処理回路に送られると共に、ＤＳＰ
１１に送られる。ＤＳＰ１１では、該ディジタル信号の
値ＶＭＯＵＴを電圧設定値ＶＦＩＮの値と比較して、そ
の差分と過去の履歴データから出力電圧ＶＯＵＴの最適
値、すなわちＶＯＵＴがＶＦＩＮに等しくなるようなデ
ィジタル値を高速演算し、これをＤＡＣ１２に与える。
電流測定回路３は、電流測定用抵抗２の両端間の電圧測
定値ＩＭＯＵＴと該抵抗値とからＤＵＴに供給される電
流を測定する。
抵抗２のＤＵＴ側端のアナログ電圧は、バッファ３１ｂ
を介してＡＤＣ３２ｂに入力される。ここで該電圧がデ
ィジタル信号に変換され、該ディジタル信号は前述した
図示しない測定信号処理回路に送られると共に、ＤＳＰ
１１に送られる。ＤＳＰ１１では、該ディジタル信号の
値ＶＭＯＵＴを電圧設定値ＶＦＩＮの値と比較して、そ
の差分と過去の履歴データから出力電圧ＶＯＵＴの最適
値、すなわちＶＯＵＴがＶＦＩＮに等しくなるようなデ
ィジタル値を高速演算し、これをＤＡＣ１２に与える。
電流測定回路３は、電流測定用抵抗２の両端間の電圧測
定値ＩＭＯＵＴと該抵抗値とからＤＵＴに供給される電
流を測定する。
【００１９】電流設定／電圧測定の場合には、電流測定
用抵抗２の両端ａ，ｂからの電圧値がＡＤＣ３２ａ，３
２ｂによりＡＤ変換される。両ＡＤＣ３２ａ，３２ｂの
ディジタル出力は、引き算回路３３に入力され、両ディ
ジタル信号の差が演算された後、ＤＳＰ１１に電流信号
ＩＭＯＵＴとしてフィードバックされる。ＤＳＰ１１
は、フィードバックされた電流信号ＩＭＯＵＴと設定電
流ＩＦＩＮとを比較して、ＤＡＣ１２に与えるディジタ
ルデータ値を、電流測定用抵抗２に供給される電流（す
なわち、ＤＵＴに供給される電流）が設定電流ＩＦＩＮ
に等しくなるように変更する。 電圧測定回路４は、電
流測定用抵抗２のＤＵＴ側端ｂの電圧をＡＤ変換して取
り出すことで、ＤＵＴに印加される電圧を測定する。こ
れにより、ＤＵＴの電圧電流特性などの各種の電気特性
が、高速にしかも安定に測定される。
用抵抗２の両端ａ，ｂからの電圧値がＡＤＣ３２ａ，３
２ｂによりＡＤ変換される。両ＡＤＣ３２ａ，３２ｂの
ディジタル出力は、引き算回路３３に入力され、両ディ
ジタル信号の差が演算された後、ＤＳＰ１１に電流信号
ＩＭＯＵＴとしてフィードバックされる。ＤＳＰ１１
は、フィードバックされた電流信号ＩＭＯＵＴと設定電
流ＩＦＩＮとを比較して、ＤＡＣ１２に与えるディジタ
ルデータ値を、電流測定用抵抗２に供給される電流（す
なわち、ＤＵＴに供給される電流）が設定電流ＩＦＩＮ
に等しくなるように変更する。 電圧測定回路４は、電
流測定用抵抗２のＤＵＴ側端ｂの電圧をＡＤ変換して取
り出すことで、ＤＵＴに印加される電圧を測定する。こ
れにより、ＤＵＴの電圧電流特性などの各種の電気特性
が、高速にしかも安定に測定される。
【００２０】図２は、図１に示したユニットの設計変更
例を示している。同図のユニットでは、電流測定用抵抗
２の両端ａ，ｂ間の電圧を差動増幅器３４によりアナロ
グ値で求めている。そして、このアナログ電圧をＡＤＣ
３５によりＡＤ変換し、これをＤＳＰ１１にフィードバ
ックしている（この場合には、バッファ３１ａ，引き算
回路３３は設けられない）。図２では差動増幅器３４お
よびＡＤＣ３５により電流測定回路３が構成されてい
る。バッファ４１，ＡＤＣ４２（図１のバッファ３１
ａ，ＡＤＣ３２に相当する）により、電圧測定回路４が
構成されている。電圧測定回路４は電流測定用抵抗２の
ＤＵＴ側端の電圧を測定することに使用されるが、図１
の場合とは異なり電流測定回路３の一部を共用するよう
には構成されていない。ＡＤＣ３５は電流測定用抵抗２
の両端ａ，ｂ間の差分電圧をＡＤ変換すればよいので、
ＡＤＣ３５として図１と同一仕様のものを使用した場合
には、電流測定における分解能を大きくすることができ
る。上記ユニットは、差動増幅器３４によりアナログ的
な差分を取っているために、図１のユニットと比較する
と誤差が生じ易いが、この誤差を無視できるような場合
に、好適に使用される。
例を示している。同図のユニットでは、電流測定用抵抗
２の両端ａ，ｂ間の電圧を差動増幅器３４によりアナロ
グ値で求めている。そして、このアナログ電圧をＡＤＣ
３５によりＡＤ変換し、これをＤＳＰ１１にフィードバ
ックしている（この場合には、バッファ３１ａ，引き算
回路３３は設けられない）。図２では差動増幅器３４お
よびＡＤＣ３５により電流測定回路３が構成されてい
る。バッファ４１，ＡＤＣ４２（図１のバッファ３１
ａ，ＡＤＣ３２に相当する）により、電圧測定回路４が
構成されている。電圧測定回路４は電流測定用抵抗２の
ＤＵＴ側端の電圧を測定することに使用されるが、図１
の場合とは異なり電流測定回路３の一部を共用するよう
には構成されていない。ＡＤＣ３５は電流測定用抵抗２
の両端ａ，ｂ間の差分電圧をＡＤ変換すればよいので、
ＡＤＣ３５として図１と同一仕様のものを使用した場合
には、電流測定における分解能を大きくすることができ
る。上記ユニットは、差動増幅器３４によりアナログ的
な差分を取っているために、図１のユニットと比較する
と誤差が生じ易いが、この誤差を無視できるような場合
に、好適に使用される。
【００２１】図３は、図１に示したユニットの他の設計
変更例を示している。図３のユニットは、信号生成源１
がＤＳＰ１１′、ＤＡＣ１２′、該ＤＡＣの後段に設け
られた積分回路１４およびバファ１３により構成されて
いる。ＤＳＰ１１′は、設定信号とフィードバック信号
との誤差を検出し、誤差成分をＤＡＣ１２′によりアナ
ログ信号に変換した後、これを積分器１４で積分してい
る。図３の構成では、図１のユニットにおけるＤＳＰ１
１で行われていた誤差成分の積算処理をアナログ積分器
１４に置き換えている。積分器は、ＤＳＰ処理装置のよ
うに、最小演算単位を持たないため、図１の場合のよう
に、出力電圧の分解能が、ＤＳＰ１１およびＤＡＣ１２
の分解能で制限されることがない。このため、ＤＡＣ１
２の分解能を最小１ビットまで減少させて、ハードウェ
ア構成を簡単にし、かわりに速度を犠牲にするような構
成をとることもできる。
変更例を示している。図３のユニットは、信号生成源１
がＤＳＰ１１′、ＤＡＣ１２′、該ＤＡＣの後段に設け
られた積分回路１４およびバファ１３により構成されて
いる。ＤＳＰ１１′は、設定信号とフィードバック信号
との誤差を検出し、誤差成分をＤＡＣ１２′によりアナ
ログ信号に変換した後、これを積分器１４で積分してい
る。図３の構成では、図１のユニットにおけるＤＳＰ１
１で行われていた誤差成分の積算処理をアナログ積分器
１４に置き換えている。積分器は、ＤＳＰ処理装置のよ
うに、最小演算単位を持たないため、図１の場合のよう
に、出力電圧の分解能が、ＤＳＰ１１およびＤＡＣ１２
の分解能で制限されることがない。このため、ＤＡＣ１
２の分解能を最小１ビットまで減少させて、ハードウェ
ア構成を簡単にし、かわりに速度を犠牲にするような構
成をとることもできる。
【００２２】本発明では、既に述べたように、負荷条件
に適応した制御をＤＳＰにより行わせることができる。
図４は、図１に示したユニットの負荷特性を測定するた
めに、該ユニットの測定信号出力端子に負荷を接続した
場合を示す部分回路図である。同図において、ＤＡＣ１
２からはステップ波形がバッファ１３および電流測定用
抵抗２を介して図示しないＤＵＴに入力され、測定信号
出力端子ではステップ波形が歪んだ様子が示されてい
る。なお、同図では、フィクスチャ（測定治具）等の浮
遊容量を符号１００で示してある。
に適応した制御をＤＳＰにより行わせることができる。
図４は、図１に示したユニットの負荷特性を測定するた
めに、該ユニットの測定信号出力端子に負荷を接続した
場合を示す部分回路図である。同図において、ＤＡＣ１
２からはステップ波形がバッファ１３および電流測定用
抵抗２を介して図示しないＤＵＴに入力され、測定信号
出力端子ではステップ波形が歪んだ様子が示されてい
る。なお、同図では、フィクスチャ（測定治具）等の浮
遊容量を符号１００で示してある。
【００２３】一般に、半導体の測定においてはＤＵＴは
容量性負荷としての性質を示すことが多く、またＤＵＴ
自体が容量性を呈しない場合であっても、測定治具等の
容量が存在する（図４の容量１００参照）。この容量は
電流測定用抵抗２との間において時定数ＲＣ（ここで、
Ｒは抵抗２の値、Ｃは容量１００の値である）を構成
し、これが図５に示される測定端における波形の立ち上
り遅れの原因となる。図４においては、一般の動作時と
異なり、ｂ点と設定電圧値との差に基づくＤＳＰ回路１
１の補正動作は行われず、単純なステップ電圧波形が出
力される。このとき、ｂ点の電圧波形を示したのが図５
である。この波形はバッファ３１ｂの出力側に置かれる
ＡＤＣ（図３のＡＤＣ３２ｂ参照）において観測され
る。この時定数ＲＣが図５において定常値と時刻ｔ１，
ｔ２における電圧値との差をｘ１，ｘ２として、 ＲＣ＝（ｔ２−ｔ１）／（ｌｏｇｘ２−ｌｏｇｘ１） （ただし、ｌｏｇは自然対数）で与えられる。ここで、
抵抗値Ｒは既知であるので、これから容量値Ｃを知るこ
とができる。この測定より、ＤＳＰディジタルフィード
バック処理の積分時定数Ｔあるいは利得１／Ｔの安定条
件を、Ｔ＞ＲＣまたは１／Ｔ＜１／ＲＣとして求めるこ
とができる。この条件を満足する範囲内で、適切な余裕
をもって実際のディジタルフィードバックの利得を設定
すれば安定でしかも高速な設定が可能となる。
容量性負荷としての性質を示すことが多く、またＤＵＴ
自体が容量性を呈しない場合であっても、測定治具等の
容量が存在する（図４の容量１００参照）。この容量は
電流測定用抵抗２との間において時定数ＲＣ（ここで、
Ｒは抵抗２の値、Ｃは容量１００の値である）を構成
し、これが図５に示される測定端における波形の立ち上
り遅れの原因となる。図４においては、一般の動作時と
異なり、ｂ点と設定電圧値との差に基づくＤＳＰ回路１
１の補正動作は行われず、単純なステップ電圧波形が出
力される。このとき、ｂ点の電圧波形を示したのが図５
である。この波形はバッファ３１ｂの出力側に置かれる
ＡＤＣ（図３のＡＤＣ３２ｂ参照）において観測され
る。この時定数ＲＣが図５において定常値と時刻ｔ１，
ｔ２における電圧値との差をｘ１，ｘ２として、 ＲＣ＝（ｔ２−ｔ１）／（ｌｏｇｘ２−ｌｏｇｘ１） （ただし、ｌｏｇは自然対数）で与えられる。ここで、
抵抗値Ｒは既知であるので、これから容量値Ｃを知るこ
とができる。この測定より、ＤＳＰディジタルフィード
バック処理の積分時定数Ｔあるいは利得１／Ｔの安定条
件を、Ｔ＞ＲＣまたは１／Ｔ＜１／ＲＣとして求めるこ
とができる。この条件を満足する範囲内で、適切な余裕
をもって実際のディジタルフィードバックの利得を設定
すれば安定でしかも高速な設定が可能となる。
【００２４】さらに、本発明の測定ユニット（特に、図
１，図２に示したような信号生成回路中にアナログ積分
器を含まないもの）では、出力バッファをドライブする
ＤＡＣに任意の数値列を与えることにより、任意波形発
生器（ＡＷＧ）として使用することもできる。なお、図
６に示したような従来のユニットでは、ＶＦＩＮから出
力までの間に積分器が存在するため、そのままではＡＷ
Ｇとして充分な速度でＤＵＴの測定端子をドライブする
ことはできない。
１，図２に示したような信号生成回路中にアナログ積分
器を含まないもの）では、出力バッファをドライブする
ＤＡＣに任意の数値列を与えることにより、任意波形発
生器（ＡＷＧ）として使用することもできる。なお、図
６に示したような従来のユニットでは、ＶＦＩＮから出
力までの間に積分器が存在するため、そのままではＡＷ
Ｇとして充分な速度でＤＵＴの測定端子をドライブする
ことはできない。
【００２５】ところで、半導体計測では、直流バイアス
電圧を印加したときの印加バイアス電圧と容量の測定は
重要であり、特に直流バイアス電圧とＤＵＴの容量の測
定をＣ−Ｖ測定と称している。本発明の測定ユニットを
利用することにより、ＣとＶとの関係（Ｃ−Ｖ特性）を
容量測定のためのハードウェアを別途設けることなく求
めることができる。すなわち、この場合には上述の場合
と同様、測定ユニットをディジタルフィードバックを用
いずに任意波形発生器として使用する。この任意波形発
生器により、直流電圧を重畳した正弦波を生成し、これ
と同期してＤＵＴの電圧および電流値をＡＤＣにより測
定し、この測定値の列からフーリエ変換等の処理によ
り、電圧および電流の正弦波成分の振幅および位相の関
係を求め、ＤＵＴの容量値を求める。そして、上記正弦
波に重畳した直流電圧の値を変化させ、該直流電圧と容
量との関係（Ｃ−Ｖ特性）が求められる。
電圧を印加したときの印加バイアス電圧と容量の測定は
重要であり、特に直流バイアス電圧とＤＵＴの容量の測
定をＣ−Ｖ測定と称している。本発明の測定ユニットを
利用することにより、ＣとＶとの関係（Ｃ−Ｖ特性）を
容量測定のためのハードウェアを別途設けることなく求
めることができる。すなわち、この場合には上述の場合
と同様、測定ユニットをディジタルフィードバックを用
いずに任意波形発生器として使用する。この任意波形発
生器により、直流電圧を重畳した正弦波を生成し、これ
と同期してＤＵＴの電圧および電流値をＡＤＣにより測
定し、この測定値の列からフーリエ変換等の処理によ
り、電圧および電流の正弦波成分の振幅および位相の関
係を求め、ＤＵＴの容量値を求める。そして、上記正弦
波に重畳した直流電圧の値を変化させ、該直流電圧と容
量との関係（Ｃ−Ｖ特性）が求められる。
【００２６】
【発明の効果】本発明は、上記のように構成したので以
下の効果を奏することができる。 （１）ＤＡＣによる出力電圧の設定をデジタル回路によ
り行っているので、負荷条件に対応した出力電圧値制御
を行うことができる。すなわち、ループ全体の利得周波
数特性を高周波域まで伸ばしても電圧設定値変更時に発
生するオーバーシュートが増加することもない。また、
負荷条件によってリンギングが発生し、最悪の場合には
発振する等の問題は解消されるし、回路中のキャパシタ
の誘電吸収や漏れ電流に起因する誤差も生じない。 （２）負荷条件に対応した出力電圧値制御を、信号生成
源のディジタル回路（ＤＳＰ等）により行い、迅速に出
力を所望の電圧に近づけることができる。また、以前の
測定の際のＤＡＣの電圧の設定を外部記憶装置等に記憶
しておく等ができるので、過去の測定条件等を利用して
を、ＤＡＣの電圧設定を高速に行うことができる。 （３）信号生成源内のＤＡＣに任意の数値列を与えるこ
とにより、任意波形をＤＵＴに与えその応答を測定する
こともできる。たとえば、ハードウェアを追加すること
なしに、いわゆるＣ−Ｖ測定を行うことができる。
下の効果を奏することができる。 （１）ＤＡＣによる出力電圧の設定をデジタル回路によ
り行っているので、負荷条件に対応した出力電圧値制御
を行うことができる。すなわち、ループ全体の利得周波
数特性を高周波域まで伸ばしても電圧設定値変更時に発
生するオーバーシュートが増加することもない。また、
負荷条件によってリンギングが発生し、最悪の場合には
発振する等の問題は解消されるし、回路中のキャパシタ
の誘電吸収や漏れ電流に起因する誤差も生じない。 （２）負荷条件に対応した出力電圧値制御を、信号生成
源のディジタル回路（ＤＳＰ等）により行い、迅速に出
力を所望の電圧に近づけることができる。また、以前の
測定の際のＤＡＣの電圧の設定を外部記憶装置等に記憶
しておく等ができるので、過去の測定条件等を利用して
を、ＤＡＣの電圧設定を高速に行うことができる。 （３）信号生成源内のＤＡＣに任意の数値列を与えるこ
とにより、任意波形をＤＵＴに与えその応答を測定する
こともできる。たとえば、ハードウェアを追加すること
なしに、いわゆるＣ−Ｖ測定を行うことができる。
【図１】本発明の電圧電流測定ユニットの一実施例を示
す図である。
す図である。
【図２】図１の測定ユニットの一設計変更例を示す図で
ある。
ある。
【図３】図１の測定ユニットの他の設計変更例を示す図
である。
である。
【図４】図１の測定ユニットの負荷特性を測定する様子
を示す部分回路図である。
を示す部分回路図である。
【図５】図４に示す回路における出力応答を示すグラフ
である。
である。
【図６】従来の電圧電流測定ユニットを示す回路図であ
る。
る。
１ 信号生成源 １１ ＤＳＰ １２ ＤＡＣ １３ バッファ ２ 電流測定用抵抗 ３ 電流測定回路 ３１ａ，３１ｂ バッファ ３２ａ，３２ｂ ＡＤＣ ３３ ディジタル引き算器 ４ 電圧測定回路
Claims (2)
- 【請求項１】 誤差検出部を有する信号生成源と、 この信号生成源の出力端子と被測定対象接続端子との間
に設けられた電流測定用抵抗と、 前記電流測定用抵抗の被測定対象接続端子側端の電圧を
測定する電圧測定回路と、 前記電流測定用抵抗の両端間の電圧を測定する電流測定
回路と、からなり、 前記電圧測定回路または電流測定回路により測定された
信号が前記信号生成源にフィードバックされる電圧電流
測定ユニットにおいて、 前記電圧測定回路および電流測定回路に、前記電流測定
用抵抗の他方端側の電圧および前記電流測定用抵抗の両
端間の電圧をアナログ値からディジタル値に変換するア
ナログ−ディジタル変換器を設けると共に、 前記信号生成源の少なくとも誤差検出部をディジタル回
路により構成し、該信号生成源の出力段にディジタル−
アナログ変換器を設けてなる、ことを特徴とする電圧電
流測定ユニット。 - 【請求項２】 誤差検出部を有する信号生成源からの信
号を、他端が被測定対象に接続された電流測定用抵抗の
一方端に入力し、 前記電流測定用抵抗の被測定対象側端の電圧を電圧測定
回路により、前記電流測定用抵抗の両端間の電圧を電流
測定回路によりそれぞれ測定すると共に、 電圧測定回路または電流測定回路により測定された信号
を前記信号生成源にフィードバックし、該フィードバッ
クされた信号を電圧設定値または電流設定値と比較し
て、前記電流測定用抵抗の前記被測定対象側端の電圧を
電圧設定値に等しくさせ、または電流測定用抵抗の両端
間の電圧を電流設定値に等しくさせる、電圧電流測定方
法において、 電圧測定回路および電流測定回路において、前記電流測
定用抵抗の他方端側端の電圧および前記電流測定用抵抗
の両端間電圧をディジタル値に変換すると共に、 前記信号生成源における前記フィードバックされた信号
と設定電圧または設定電流と誤差の検出をディジタル信
号処理により行うことを特徴とする電圧電流測定方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5063389A JPH06249889A (ja) | 1993-02-27 | 1993-02-27 | 電圧電流測定ユニットおよび電圧電流測定方法 |
| US08/634,755 US5579236A (en) | 1993-02-27 | 1996-04-11 | Voltage/current measuring unit and method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5063389A JPH06249889A (ja) | 1993-02-27 | 1993-02-27 | 電圧電流測定ユニットおよび電圧電流測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06249889A true JPH06249889A (ja) | 1994-09-09 |
Family
ID=13227903
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5063389A Pending JPH06249889A (ja) | 1993-02-27 | 1993-02-27 | 電圧電流測定ユニットおよび電圧電流測定方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5579236A (ja) |
| JP (1) | JPH06249889A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0758750A3 (en) * | 1995-08-11 | 1997-10-01 | Hewlett Packard Co | Test system for an AC network for the measurement of harmonic currents and voltage fluctuations |
| JP2015525379A (ja) * | 2012-04-30 | 2015-09-03 | プロディット エンジニアリング ソシエタ ペル アチオニ | 電流波を生成する電流発生器デバイス及び方法 |
| US9318955B2 (en) | 2012-06-28 | 2016-04-19 | Advantest Corporation | Power supply apparatus with feedback ratio calculation unit |
| JP2023515328A (ja) * | 2020-02-19 | 2023-04-13 | テラダイン、 インコーポレイテッド | 差分測定回路構成の較正 |
| US20240053400A1 (en) * | 2022-08-09 | 2024-02-15 | JCET STATS ChipPAC Korea Limited | Semiconductor Test Equipment and Method of Performing Current and Voltage Test Measurements |
Families Citing this family (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US6281699B1 (en) * | 2000-03-15 | 2001-08-28 | Teradyne, Inc. | Detector with common mode comparator for automatic test equipment |
| JP2002107424A (ja) * | 2000-10-02 | 2002-04-10 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路 |
| US7403030B2 (en) * | 2004-12-17 | 2008-07-22 | Teradyne, Inc. | Using parametric measurement units as a source of power for a device under test |
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