JPH0625002Y2 - ワ−ク移送装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案はワーク移送装置に関し、詳しくは半導体装置製
造におけるペレットマウント工程等でリードフレームを
定ピッチ間歇移送する装置に関するものである。

従来の技術 例えば、トランジスタやＩＣ等の半導体装置製造におけ
るペレットマウント工程では、第７図に示すように多数
のリードフレーム（１）（１）…を段積み状態で収納し
たマガジンを配置したローダ部（２）から、上記リード
フレーム（１）（１）…を１枚ずつ順次取出して搬送ラ
イン（３）に供給する。この搬送ライン（３）は、上記
リードフレーム（１）（１）…をその長手方向に沿って
誘導するフレームガイド（４）からなり、ローダ部
（２）から供給されたリードフレーム（１）（１）…を
定ピッチで間歇的に順次移送する。このリードフレーム
（１）の間歇移送は、図示しないがリードフレーム
（１）の側端部に穿設された送り穴に搬送爪を嵌装し、
該搬送爪をフレームガイド（４）に沿って上下動及び水
平往復動を行うスクウェアモーションさせることにより
行われる。

上述のようにして移送されたリードフレーム（１）は、
ペレットマウント部（５）に供給され、このペレットマ
ウント部（５）では、搬送ライン（３）の側方に近接配
置されたウェーハリング（６）の各半導体ペレット
（７）（７）…をパターン認識し、このパターン認識に
より所望の半導体ペレット（７）をマウントヘッド（図
示せず）で真空吸着する。この半導体ペレット（７）の
ピックアップ後、マウントヘッドを移送して半導体ペレ
ット（７）をリードフレーム（１）の素子搭載部に固着
マウントする。このペレットマウント後、上記リードフ
レーム（１）は、搬送ライン（３）のフレームガイド
（４）の上を移送され、アンローダ部（８）に配置した
空マガジンに順次収納されて次工程へ搬送される。

考案が解決しようとする問題点 ところで、従来、前記ペレットマウント工程におけるリ
ードフレーム（１）の間歇移送は、カム等による駆動機
構で搬送爪を作動させることによって行われるのが一般
的であった。このカム駆動機構の場合、装置自体の構造
が複雑化すると共に、上記搬送爪が組付けされた駆動部
分の重量が大きくなって慣性が大きく、その結果リード
フレーム（１）を高速で移送することが実現困難であっ
た。また前記搬送爪をリードフレーム（１）の側端部に
穿設された送り穴に嵌装することにより、リードフレー
ム（１）を搬送爪で把持した状態から移送するため、上
記リードフレーム（１）の品種に応じて送り穴の形状、
大きさや位置が変更された場合、この品種対応が容易な
ことではなかった。

問題点を解決するための手段 本考案は前記問題点に鑑みて提案されたもので、この問
題点を解決するための技術的手段は、並行配置された固
定及び可動ガイドレールからなり、長尺な薄板状ワーク
をその長手方向に沿って誘導するフレームガイドと、フ
レームガイドの可動ガイドレールに固設された軸受けブ
ロックに、上記可動ガイドレールに沿ってワーク移送方
向摺動自在に架設したガイド軸と、ガイド軸に定ピッチ
間隔で固着された開閉自在な複数の搬送爪と、上記ガイ
ド軸に沿って配設され、且つ、各搬送爪によるワーク移
送と連動させて各搬送爪を開閉させる並行リンク機構
と、上記軸受けブロックに回転可能に軸支されたプーリ
に纏掛け、且つ、一部を上記ガイド軸と連結固定した連
結帯と、前記可動ガイドレールに固設され、且つ、連結
帯を正逆方向に周回動させる駆動源を含むものである。

作用 本考案に係るワーク移送装置によれば、フレームガイド
に供給された長尺な薄板状ワークを、平行リンク機構を
作動させて搬送爪でクランプし、この状態から駆動源を
作動させることより連結帯を定方向に周回動させ、上記
搬送爪が固着されたガイド軸を摺動させて前記ワークを
定ピッチ移送する。その後、平行リンク機構及び駆動源
を逆作動させることにより搬送爪を開放すると共に、ガ
イド軸を介して上記搬送爪を初期位置に復帰させる。上
記動作を繰り返すことによりワークをフレームガイドに
沿って高速で間歇移送する。

実施例 本考案に係るワーク移送装置を、半導体装置製造のペレ
ットマウント工程での搬送ラインに適用した一実施例を
第１図乃至第６図を参照しながら説明する。第１図に示
すワーク移送装置(10)における(11)は、ワーク移送方向
に沿って配設され、長尺な薄膜状ワーク、例えば前述の
リードフレーム（１）をその長手方向に沿って誘導する
フレームガイドで、基台(12)に固設された固定ガイドレ
ール(13)と、該固定ガイドレール(13)から略リードフレ
ーム幅寸法だけ離隔して並行配置された可動ガイドレー
ル(14)とからなる。この可動ガイドレール(14)は、複数
箇所に設けられた長穴(15)(15)…を利用してその幅方向
に沿って位置調整可能に基台(12)に装着され、リードフ
レーム（１）の品種に対応できるように設定されてい
る。(16a)(16b)は上記可動ガイドレール(14)の２箇所に
固設されたボールブッシュ(17a)(17b)からなる軸受けブ
ロック、(18)は該軸受けブロック(16a)(16b)のボールブ
ッシュ(17a)(17b)を介して摺動自在に上記可動ガイドレ
ール(14)に沿って架設されたガイド軸、(19)(19)(19)は
上記ガイド軸(18)に定ピッチ間隔（図では両端部及び中
央部の３箇所）に固着された開閉自在な複数の搬送爪
で、この搬送爪(19)は、第２図に示すようにガイド軸(1
8)に固着された固定ブロック(20)と、該固定ブロック(2
0)の略ブロック(20)と、該固定ブロック(20)の略中央に
回転自在に軸支された可動ブロック(21)とからなり、こ
の固定および可動ブロック(20)(21)の先端に下爪部(20
a)及び上爪部(21a)を設けて可動ブロック(21)を回動さ
せることにより上下爪部(21a)(20a)で上下方向からリー
ドフレーム（１）の側端部を挾持する。このように搬送
爪(19)の上下爪部(21a)(20a)でリードフレーム（１）を
上下方向から挾持するため、上記リードフレーム（１）
に設けられた送り穴の形状、大きさや位置に規制される
ことはない。この上下爪部(21a)(20a)による挾持力は、
固定ブロック(20)を可動ブロック(21)との間に張設され
たバネ(22)により付与される。また、搬送爪(19)の開
閉、即ち上爪部(21a)の開閉は、可動ブロック(21)の後
端に回転ローラ(23)を軸支し、この回転ローラ(23)の上
方に配置された後述の水平リンクを上下動させることに
より上記回転ローラ(23)を上下動させて可動ブロック(2
1)を回動させることで行われる。(24)は前記ガイド軸(1
8)に沿って配設された並行リンク機構で、この並行リン
ク機構(24)は、第３図に示すように下端部(25a)(25a)が
前記軸受ブロック(16a)(16b)に回転可能に軸支された上
下リンク(25)(25)と、ガイド軸(18)と並行配置され、且
つ、上記上下リンク(25)(25)の上端部(25b)(25b)に枢着
された水平リンク(26)とで構成され、前述したようにこ
の水平リンク(26)は、各搬送爪(19)(19)(19)の可動ブロ
ック(21)(21)(21)の回転ローラ(23)(23)(23)上方に配置
される。上記水平リンク(26)の一端部(26a)には垂直ロ
ッド(27)が立設され、この垂直ロッド(27)を水平リンク
(26)に沿う両側方から挾持するガイドローラ(28)(28)が
軸支されたブロック(29)を、可動ガイドレール(14)の一
部に固設されたシリンダ(30)のシリンダロッド(30a)に
固着する。(31a)(31b)(32a)は軸受ブロック(16a)(16b)
に回転可能に軸支されたプーリ、(33)(34)は軸受ブロッ
ク(16a)(16b)のプーリ(31a)と(31b)間、及び可動ガイド
レール(14)に固設されたステッピングモータ等の駆動源
(35)の出力軸(35a)と軸受ブロック(16a)のプーリ(32a)
間に纏掛けされた連結帯であるタイミングベルトで、こ
れはバックラッシュが極めて僅かしか発生しないものを
使用する。(36)は第４図に示すように上記タイミングベ
ルト(33)の一部とガイド軸(18)とを連結固定する連結部
材で、タイミングベルト(33)の周回動をガイド軸(18)に
伝達する。

次にペレットマウント工程での動作状態を以下説明する
と、まずシリンダ(30)のシリンダロッド(30a)の突出作
動により並行リンク機構(24)の水平リンク(26)を下降端
位置に配置する。これにより第２図に示すように上記水
平リンク(26)で回転ローラ(23)を下方へ押圧し、可動ブ
ロック(21)をバネ(22)の弾性力に抗して回動させ、上記
可動ブロック(21)の上爪部(21a)を上昇させて搬送爪(1
9)を開状態で待機させる。

この待機状態でローダ部（２）からリードフレーム
（１）が供給されると、前述した動作とは逆にシリンダ
(30)のシリンダロッド(30a)の退入作動により並行リン
ク機構(24)の水平リンク(26)を上昇端位置に配置する。
これにより水平リンク(26)を回転ローラ(23)から隔離さ
せ、可動ブロック(21)をバネ(22)の弾性力により逆方向
に回動させ、上記可動ブロック(21)の上爪部(21a)を下
降させて固定ブロック(20)の下爪部(20a)とでリードフ
レーム（１）の側端部を挾持する。

この搬送爪(19)の開閉動作と連動させて駆動源(35)を作
動させる。即ち、上記搬送爪(19)を閉状態にしてリード
フレーム（１）をチャックした後、上記駆動源(35)を定
方向に所定量だけ回転させ、その出力軸(35a)及びプー
リ(31a)(31b)(32a)を介してタイミングベルト(33)(34)
を周回動させる。このタイミングベルト(33)の周回動に
より連結部材(36)に連結されたガイド軸(18)を定ストロ
ーク摺動させて搬送爪(19)(19)(19)を前進させ、搬送爪
(19)(19)(19)にチャックされたリードフレーム（１）を
フレームガイド(11)に沿って定ピッチ移送する。

この搬送爪(19)(19)(19)によるリードフレーム（１）の
定ピッチ移送後、前記シリンダ(30)のシリンダロッド(3
0a)を再度突出作動させて搬送爪(19)(19)(19)を開放す
ると共に、駆動源(35)を逆回転させることにより上記搬
送爪(19)(19)(19)を後退させて初期状態に復帰させる。
この上述した動作を繰り返すことによって搬送爪(19)(1
9)(19)の前後進及び開閉動作でリードフレーム（１）を
定ピッチ間歇移送する。

尚、上記リードフレーム（１）の間歇移送時、所定のポ
ジション、例えばリードフレーム（１）の素子搭載部上
に、マウント材であるAgペーストを供給するポジション
や、上記素子搭載部上に半導体ペレットを固着マウント
するポジション等で、上記リードフレーム（１）の位置
決めを確実にするため、リードフレーム（１）をクラン
プする必要がある。このリードフレーム（１）をクラン
プする手段は、軸受けブロック(16a)(16b)と共に可動ガ
イドレール(14)に沿う２箇所に設けられ、各クランプ機
構は、第５図に示すように上記軸受ブロック(16a)(16b)
の延設部(16c)(16d)にクロスローラガイド(37)を介して
クランプ取付部材(38)を上下方向摺動自在に装着し、こ
のクランプ取付部材(38)と軸受ブロック(16a)(16b)の延
設部(16c)(16d)間にバネ(39)を張設して該バネ(39)の弾
性力によりクランプ取付材(38)を下方へ付勢する。この
クランプ取付部材(38)の先端にはクランプ爪(40)が固着
され、その後端には回転ローラ(41)が軸支されて前記水
平リンク(26)の上方に配置される。

このクランプ機構によるリードフレーム（１）のクラン
プ固定は、次の要領で行われる。即ち、リードフレーム
（１）の移送時には搬送爪(19)が閉状態にあって水平リ
ンク(26)が上方昇端位置にある。それ故に前記クランプ
取付部材(38)がバネ(39)の弾性力に抗して上昇し、クラ
ンプ爪(40)は開放状態にある。逆に上記搬送爪(19)の開
放時、水平リンク(26)が下降端位置になり、クランプ取
付部材(38)がバネ(39)の弾性力により下降し、クランプ
爪(40)の可動ガイドレール(14)間でリードフレーム
（１）の側端部を押圧挾持する。

ところで、前述のようにして搬送爪(19)の前後進及びこ
れと連動した開閉動作で定ピッチ間歇移送されたリード
フレーム（１）はアンローダ部（８）へ搬送されるが、
該アンローダ部（８）までのタイムロスをカバーするた
め、上記間歇移送後は、リードフレーム（１）を連続移
送によりアンローダ部（８）へ搬送する。

この連続移送機構は、第１図に示すように可動ガイドレ
ール(14)に沿って前記搬送爪(19)と同一ピッチで搬送ロ
ーラ(42a)(42b)を回転可能に軸支し、その軸端部(43a)
(43b)に固着されたプーリ(44a)(44b)(45b)にタイミング
ベルト(46)(47)を纏掛け、更に上記プーリ(45b)に纏掛
けられたタイミングベルト(47)は、可動ガイドレール(1
4)に固設されたインダクションモータ等の駆動源(48)の
出力軸(48a)に纏掛けられている。

前記搬送爪(19)(19)(19)により間歇移送されたリードフ
レーム（１）は、駆動源(48)を作動させてタイミングベ
ルト(46)(47)を定方向に周回動させることにより回転す
る搬送ローラ(42a)(42b)で連続移送される。ここで上記
搬送ローラ(42a)(42b)により連続移送で直接的にリード
フレーム（１）をアンローダ部（８）の空マガジンに収
納すると、その衝撃力が大きいため、上記リードフレー
ム（１）が折曲する虞がある。

そこで上記連続移送機構とアンローダ部（８）間にプッ
シャー機構を配設する。このプッシャー機構は、第１図
及び第６図に示すようにＬ型ブラケット(49)を介して可
動ガイドレール(14)に沿ってシリンダロッド(50a)が突
出退入可能なシリンダ(50)を固設し、このシリンダ(50)
のシリンダロッド(50a)にＬ形フレーム(51)を装着す
る。更にこのＬ形フレーム(51)の屈曲先端部にシリンダ
ロッドが鉛直方向突出退入可能な小型シリンダ(52)を固
着し、該小型シリンダ(52)のシリンダロッド先端にプッ
シャー(53)を装着する。

このプッシャー機構では、小型シリンダ(52)のシリンダ
ロッドを突出させてプッシャー(53)を下降させ、更にシ
リンダ(50)のシリンダロンド(50a)を突出させることに
よりＬ形フレーム(51)を介してプッシャー(53)を前進動
させる。これにより上記プッシャー(53)で、前記連続移
送機構により移送されたリードフレーム（１）の後端部
を押圧し、アンローダ部（８）の空マガジンに上記リー
ドフレーム（１）を低速で収納する。

尚、本考案に係るワーク移送装置は、半導体装置製造の
ペレットマウント工程で使用されるリードフレーム以外
の長尺な薄膜状ワークであれば適用可能である。

考案の効果 本考案に係るワーク移送装置によれば、駆動部分が搬送
爪及びガイド軸のみで、他の駆動機構が固定配置される
ため、上記駆動部分の重量が小さくなって慣性が小さ
く、ワークを高速移送することが実現容易となって歩留
まりも大幅に向上する。またワークの品種対応も容易と
なって実用的価値が大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係るワーク搬送装置の一実施例を示す
平面図、第２図は第１図装置の搬送爪を示す側面図、第
３図は第１図装置の軸受ブロック及び並行リンク機構を
示す側面図、第４図は第１図装置の連結部材を示す側面
図、第５図は第１図装置のクランプ機構を示す側面図、
第６図は第１図装置のプッシャー機構を示す側面図であ
る。 第７図は半導体装置製造のペレットマウント工程を示す
平面図である。 （１）…薄板状ワーク（リードフレーム）、 (11)…フレームガイド、(13)…固定ガイドレール、 (14)…可動ガイドレール、 (16a)(16b)…軸受ブロック、(18)…ガイド軸、 (19)…搬送爪、(24)…平行リンク機構、 (31a)(31b)(32a)…プーリ、 (33)(34)…タイミングベルト、(35)…駆動源。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】並行配置された固定及び可動ガイドレール
   からなり、長尺な薄板状ワークをその長手方向に沿って
   誘導するフレームガイドと、 フレームガイドの可動ガイドレールに固設された軸受け
   ブロックに、上記可動ガイドレールに沿ってワーク移送
   方向摺動自在に架設したガイド軸と、 ガイド軸に定ピッチ間隔で固着された開閉自在な複数の
   搬送爪と、 上記ガイド軸に沿って配設され、且つ、各搬送爪による
   ワーク移送と連動させて各搬送爪を開閉させる並行リン
   ク機構と、 上記軸受けブロックに回転可能に軸支されたプーリに纏
   掛け、且つ、一部を上記ガイド軸と連結固定した連結帯
   と、 前記可動ガイドレールに固設され、且つ、連結帯を正逆
   方向に周回動させる駆動源を含むことを特徴とするワー
   ク移送装置。