JPH06251741A - 走査電子顕微鏡における自動倍率設定方法 - Google Patents
走査電子顕微鏡における自動倍率設定方法Info
- Publication number
- JPH06251741A JPH06251741A JP5033206A JP3320693A JPH06251741A JP H06251741 A JPH06251741 A JP H06251741A JP 5033206 A JP5033206 A JP 5033206A JP 3320693 A JP3320693 A JP 3320693A JP H06251741 A JPH06251741 A JP H06251741A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- sample
- electron beam
- scanning width
- magnification
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】 試料の注目領域のサイズや試料表面の凹凸の
状態に最適な観察倍率を自動的に設定することができる
走査電子顕微鏡における自動倍率設定方法を実現する実
現する。 【構成】 コンピュータ１２はＤＡ変換器１３を介して
走査回路６を制御し、試料４上の電子ビームの走査幅を
最小から最大まで変化させる。電子ビームの走査に基づ
いて発生した２次電子は、検出器７によって検出され、
その検出信号はフィルター回路１０，ＡＤ変換器１１を
介してコンピュータ１２に供給される。コンピュータ１
２は検出信号を試料４上の１回の２次元走査の間積算
し、記憶する。コンピュータ１２は、最大の信号強度が
得られたときの走査幅を検出し、その値に電子ビームの
走査幅を設定し、この走査幅で像を得れば試料の注目領
域を最適な倍率の状態で観察することができる。
状態に最適な観察倍率を自動的に設定することができる
走査電子顕微鏡における自動倍率設定方法を実現する実
現する。 【構成】 コンピュータ１２はＤＡ変換器１３を介して
走査回路６を制御し、試料４上の電子ビームの走査幅を
最小から最大まで変化させる。電子ビームの走査に基づ
いて発生した２次電子は、検出器７によって検出され、
その検出信号はフィルター回路１０，ＡＤ変換器１１を
介してコンピュータ１２に供給される。コンピュータ１
２は検出信号を試料４上の１回の２次元走査の間積算
し、記憶する。コンピュータ１２は、最大の信号強度が
得られたときの走査幅を検出し、その値に電子ビームの
走査幅を設定し、この走査幅で像を得れば試料の注目領
域を最適な倍率の状態で観察することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子ビームを試料上で
２次元的に走査し、この走査に基づいて得られた２次電
子や反射電子を検出し、この検出信号に基づいて試料の
走査像を得るようにした走査電子顕微鏡における自動倍
率設定方法に関する。
２次元的に走査し、この走査に基づいて得られた２次電
子や反射電子を検出し、この検出信号に基づいて試料の
走査像を得るようにした走査電子顕微鏡における自動倍
率設定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】走査電子顕微鏡では観察倍率は任意に設
定できるように構成されており、走査電子顕微鏡のオペ
レータは、試料の観察に先立って手動で所望の倍率を設
定するか、あるいは固定の倍率を用いて像の観察を行っ
ている。
定できるように構成されており、走査電子顕微鏡のオペ
レータは、試料の観察に先立って手動で所望の倍率を設
定するか、あるいは固定の倍率を用いて像の観察を行っ
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記した走査像の観察
において、観察対象の試料の内、注目領域が最適に観察
できるように倍率を設定する必要がある。しかし、試料
の注目領域のサイズが既に分かっている場合にはそのサ
イズに最適な倍率を設定することができるが、試料の注
目領域のサイズは通常は事前に知ることが困難であるた
め、最適倍率を見出して設定することは面倒な作業であ
るばかりでなく、熟練も必要である。また、試料表面の
凹凸の状態（粗い凹凸か細かい凹凸か）により、適切な
倍率を設定しなければならないが、この倍率設定も観察
者の熟練によらなければならない。
において、観察対象の試料の内、注目領域が最適に観察
できるように倍率を設定する必要がある。しかし、試料
の注目領域のサイズが既に分かっている場合にはそのサ
イズに最適な倍率を設定することができるが、試料の注
目領域のサイズは通常は事前に知ることが困難であるた
め、最適倍率を見出して設定することは面倒な作業であ
るばかりでなく、熟練も必要である。また、試料表面の
凹凸の状態（粗い凹凸か細かい凹凸か）により、適切な
倍率を設定しなければならないが、この倍率設定も観察
者の熟練によらなければならない。
【０００４】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、試料の注目領域のサイズや試料表
面の凹凸の状態に最適な観察倍率を自動的に設定するこ
とができる走査電子顕微鏡における自動倍率設定方法を
実現するにある。
もので、その目的は、試料の注目領域のサイズや試料表
面の凹凸の状態に最適な観察倍率を自動的に設定するこ
とができる走査電子顕微鏡における自動倍率設定方法を
実現するにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に基づく走査電子
顕微鏡における自動倍率設定方法は、試料上に電子ビー
ムを細く集束すると共に試料上で電子ビームを２次元的
に走査し、試料から得られた情報に基づいて試料の走査
像を得るようにした走査電子顕微鏡において、試料上の
電子ビームの走査幅を徐々に変化させ、各走査幅ごとに
試料から得られた信号の強度を記憶し、記憶された各走
査幅ごとの信号強度の最大値の時の走査幅を検出し、こ
の走査幅により電子ビームの走査を行い、試料の走査像
を得るようにしたことを特徴としている。
顕微鏡における自動倍率設定方法は、試料上に電子ビー
ムを細く集束すると共に試料上で電子ビームを２次元的
に走査し、試料から得られた情報に基づいて試料の走査
像を得るようにした走査電子顕微鏡において、試料上の
電子ビームの走査幅を徐々に変化させ、各走査幅ごとに
試料から得られた信号の強度を記憶し、記憶された各走
査幅ごとの信号強度の最大値の時の走査幅を検出し、こ
の走査幅により電子ビームの走査を行い、試料の走査像
を得るようにしたことを特徴としている。
【０００６】
【作用】本発明に基づく走査電子顕微鏡における自動倍
率設定方法は、試料上の電子ビームの走査幅を徐々に変
化させ、各走査幅ごとに試料から得られた信号の強度を
記憶し、記憶された各走査幅ごとの信号強度の最大値の
時の走査幅を検出し、この走査幅に基づく倍率に設定し
て像の観察を行う。
率設定方法は、試料上の電子ビームの走査幅を徐々に変
化させ、各走査幅ごとに試料から得られた信号の強度を
記憶し、記憶された各走査幅ごとの信号強度の最大値の
時の走査幅を検出し、この走査幅に基づく倍率に設定し
て像の観察を行う。
【０００７】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の一実施例を詳
細に説明する。図１は本発明に基づく自動倍率設定方法
を実施するための走査電子顕微鏡の一例を示しており、
１は電子銃である。電子銃１から発生し加速された電子
ビームＥＢは集束レンズ２，対物レンズ３によって試料
４上に集束される。また、電子ビームＥＢは、偏向器５
によって偏向され，試料４上で２次元的に走査される。
偏向器５には走査回路６から走査信号が供給される。
細に説明する。図１は本発明に基づく自動倍率設定方法
を実施するための走査電子顕微鏡の一例を示しており、
１は電子銃である。電子銃１から発生し加速された電子
ビームＥＢは集束レンズ２，対物レンズ３によって試料
４上に集束される。また、電子ビームＥＢは、偏向器５
によって偏向され，試料４上で２次元的に走査される。
偏向器５には走査回路６から走査信号が供給される。
【０００８】試料４への電子ビームの照射に基づいて発
生した２次電子は、２次電子検出器７によって検出され
る。検出器７の検出信号は、増幅器８によって増幅され
た後、陰極線管９に供給されると共に、フィルター回路
１０に供給される。フィルター回路１０の出力信号は、
ＡＤ変換器１１を介してコンピュータ１２に供給され
る。コンピュータ１２はＤＡ変換器１３を介して走査回
路６を制御すると共に、ＤＡ変換器１４を介してフィル
ター回路１０を制御する。このような構成の動作を次に
説明する。
生した２次電子は、２次電子検出器７によって検出され
る。検出器７の検出信号は、増幅器８によって増幅され
た後、陰極線管９に供給されると共に、フィルター回路
１０に供給される。フィルター回路１０の出力信号は、
ＡＤ変換器１１を介してコンピュータ１２に供給され
る。コンピュータ１２はＤＡ変換器１３を介して走査回
路６を制御すると共に、ＤＡ変換器１４を介してフィル
ター回路１０を制御する。このような構成の動作を次に
説明する。
【０００９】まず、通常の２次電子像を観察する場合、
走査回路６から偏向器５には試料４上の所望領域を電子
ビームが２次元的に走査するための走査信号が供給され
る。この試料４上の電子ビームの走査に基づいて発生し
た２次電子は、検出器７によって検出される。検出器７
の検出信号は電子ビームの２次元走査と同期した陰極線
管９に輝度変調信号として供給されることから、陰極線
管９には試料の２次電子像が表示される。
走査回路６から偏向器５には試料４上の所望領域を電子
ビームが２次元的に走査するための走査信号が供給され
る。この試料４上の電子ビームの走査に基づいて発生し
た２次電子は、検出器７によって検出される。検出器７
の検出信号は電子ビームの２次元走査と同期した陰極線
管９に輝度変調信号として供給されることから、陰極線
管９には試料の２次電子像が表示される。
【００１０】次に、試料４上の注目領域に最適な倍率を
設定する方法を図２のフローチャートを参照しながら説
明する。まず、コンピュータ１２に自動倍率設定機能の
スタートを指示すると、コンピュータ１２はＤＡ変換器
１３を介して走査回路６を制御し、試料４上の電子ビー
ムの走査幅が最小となる走査信号を発生させる。これに
より、電子ビームは試料４上で最も小さな領域の２次元
走査を行う。すなわち、最も倍率の高い状態での電子ビ
ームの走査を行う。
設定する方法を図２のフローチャートを参照しながら説
明する。まず、コンピュータ１２に自動倍率設定機能の
スタートを指示すると、コンピュータ１２はＤＡ変換器
１３を介して走査回路６を制御し、試料４上の電子ビー
ムの走査幅が最小となる走査信号を発生させる。これに
より、電子ビームは試料４上で最も小さな領域の２次元
走査を行う。すなわち、最も倍率の高い状態での電子ビ
ームの走査を行う。
【００１１】この電子ビームの走査に基づいて発生した
２次電子は、検出器７によって検出され、その検出信号
はフィルター回路１０に供給される。このフィルター回
路１０は帯域通過フィルターであり、電子ビームの走査
幅によって決まる電子ビームの走査速度に応じた周波数
帯域の信号を通過させる。このフィルター回路１０の通
過周波数帯域は、コンピュータ１２からその時の走査幅
に応じた試料上の電子ビームの走査速度に基づいて制御
される。フィルター回路１０の出力信号は、ＡＤ変換器
１１によってディジタル信号に変換された後、コンピュ
ータ１２に供給される。コンピュータ１２はＡＤ変換器
１１から供給された信号を試料４上の１回の２次元走査
の間積算し、記憶する。
２次電子は、検出器７によって検出され、その検出信号
はフィルター回路１０に供給される。このフィルター回
路１０は帯域通過フィルターであり、電子ビームの走査
幅によって決まる電子ビームの走査速度に応じた周波数
帯域の信号を通過させる。このフィルター回路１０の通
過周波数帯域は、コンピュータ１２からその時の走査幅
に応じた試料上の電子ビームの走査速度に基づいて制御
される。フィルター回路１０の出力信号は、ＡＤ変換器
１１によってディジタル信号に変換された後、コンピュ
ータ１２に供給される。コンピュータ１２はＡＤ変換器
１１から供給された信号を試料４上の１回の２次元走査
の間積算し、記憶する。
【００１２】次に、電子ビームの試料４上の走査幅を一
定長さ広げ（走査幅アップ）、上記した電子ビームの試
料上の２次元走査と検出信号の積算および記憶を行う。
この走査幅を変化させながらの信号強度の積算と記憶を
電子ビームの走査幅の最大値まで繰り返し行う。すなわ
ち、最も倍率の高い状態から最も倍率の低い状態まで１
フレームごとの検出信号の積算値を求める。図３はこの
ようにして求められた電子ビームの走査幅と信号強度と
の関係を示している。図の横軸が走査幅（周波数）、縦
軸が信号強度の積算値である。
定長さ広げ（走査幅アップ）、上記した電子ビームの試
料上の２次元走査と検出信号の積算および記憶を行う。
この走査幅を変化させながらの信号強度の積算と記憶を
電子ビームの走査幅の最大値まで繰り返し行う。すなわ
ち、最も倍率の高い状態から最も倍率の低い状態まで１
フレームごとの検出信号の積算値を求める。図３はこの
ようにして求められた電子ビームの走査幅と信号強度と
の関係を示している。図の横軸が走査幅（周波数）、縦
軸が信号強度の積算値である。
【００１３】この図３の関係において、最大の信号強度
が得られたときの走査幅Ｄを検出し、その値に電子ビー
ムの走査幅（倍率）を設定し、像を得れば試料の注目領
域を最適な状態で観察することができる。すなわち、平
滑な試料面の中に部分的に注目領域が存在する場合に
は、その注目領域が電子ビームの走査領域中に効率良く
含まれたときに信号強度が最大となり、その信号強度が
最大の走査幅で電子ビームの走査を行い、像を得れば、
注目領域が画面全体に表示されることになる。なお、こ
の場合、事前に注目領域が光軸上に配置されるようにす
ることが望ましい。
が得られたときの走査幅Ｄを検出し、その値に電子ビー
ムの走査幅（倍率）を設定し、像を得れば試料の注目領
域を最適な状態で観察することができる。すなわち、平
滑な試料面の中に部分的に注目領域が存在する場合に
は、その注目領域が電子ビームの走査領域中に効率良く
含まれたときに信号強度が最大となり、その信号強度が
最大の走査幅で電子ビームの走査を行い、像を得れば、
注目領域が画面全体に表示されることになる。なお、こ
の場合、事前に注目領域が光軸上に配置されるようにす
ることが望ましい。
【００１４】また、試料面上一様に凹凸が存在する場
合、走査幅を変化させて信号強度の最大の走査幅を検出
し、その最大信号強度の走査幅で電子ビームの２次元走
査を行い、像を得れば、その凹凸が最も明瞭に表示され
ることになる。
合、走査幅を変化させて信号強度の最大の走査幅を検出
し、その最大信号強度の走査幅で電子ビームの２次元走
査を行い、像を得れば、その凹凸が最も明瞭に表示され
ることになる。
【００１５】以上本発明の実施例を説明したが、本発明
はこの実施例に限定されない。例えば、２次電子を検出
するようにしたが、反射電子を検出するようにしても同
様な結果が得られる。また、走査幅を変化させる際、倍
率の高い状態から低い状態に変化させたが、逆に、倍率
の低い状態から高い状態に変化させても良い。更に、本
発明に基づく自動倍率調整動作を自動焦点機能、コント
ラスト，輝度などの自動画質調整機能あるいは自動非点
補正機能と併用することもできる。
はこの実施例に限定されない。例えば、２次電子を検出
するようにしたが、反射電子を検出するようにしても同
様な結果が得られる。また、走査幅を変化させる際、倍
率の高い状態から低い状態に変化させたが、逆に、倍率
の低い状態から高い状態に変化させても良い。更に、本
発明に基づく自動倍率調整動作を自動焦点機能、コント
ラスト，輝度などの自動画質調整機能あるいは自動非点
補正機能と併用することもできる。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に基づく走
査電子顕微鏡における自動倍率設定方法は、試料上の電
子ビームの走査幅を徐々に変化させ、各走査幅ごとに試
料から得られた信号の強度を記憶し、記憶された各走査
幅ごとの信号強度の最大値の時の走査幅を検出し、この
走査幅に基づく倍率に設定して像の観察を行うようにし
たので、試料の注目領域のサイズや試料表面の凹凸の状
態に最適な観察倍率を自動的に設定することができる。
査電子顕微鏡における自動倍率設定方法は、試料上の電
子ビームの走査幅を徐々に変化させ、各走査幅ごとに試
料から得られた信号の強度を記憶し、記憶された各走査
幅ごとの信号強度の最大値の時の走査幅を検出し、この
走査幅に基づく倍率に設定して像の観察を行うようにし
たので、試料の注目領域のサイズや試料表面の凹凸の状
態に最適な観察倍率を自動的に設定することができる。
【図１】本発明に基づく方法を実施するための走査電子
顕微鏡の一例を示す図である。
顕微鏡の一例を示す図である。
【図２】本発明の一実施例のフローチャートである。
【図３】電子ビームの走査幅に対応した２次電子検出信
号強度の関係を示す図である。
号強度の関係を示す図である。
１ 電子銃 ２ 集束レンズ ３ 対物レンズ ４ 試料 ５ 偏向器 ６ 走査回路 ７ ２次電子検出器 ８ 増幅器 ９ 陰極線管 １０ フィルター回路 １１ ＡＤ変換器 １２ コンピュータ １３，１４ ＤＡ変換器
Claims (1)
- 【請求項１】 試料上に電子ビームを細く集束すると共
に試料上で電子ビームを２次元的に走査し、試料から得
られた情報に基づいて試料の走査像を得るようにした走
査電子顕微鏡において、試料上の電子ビームの走査幅を
徐々に変化させ、各走査幅ごとに試料から得られた信号
の強度を記憶し、記憶された各走査幅ごとの信号強度の
最大値の時の走査幅を検出し、この走査幅により電子ビ
ームの走査を行い、試料の走査像を得るようにした走査
電子顕微鏡における自動倍率設定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5033206A JPH06251741A (ja) | 1993-02-23 | 1993-02-23 | 走査電子顕微鏡における自動倍率設定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5033206A JPH06251741A (ja) | 1993-02-23 | 1993-02-23 | 走査電子顕微鏡における自動倍率設定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06251741A true JPH06251741A (ja) | 1994-09-09 |
Family
ID=12379995
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5033206A Withdrawn JPH06251741A (ja) | 1993-02-23 | 1993-02-23 | 走査電子顕微鏡における自動倍率設定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06251741A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008226508A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-09-25 | Hitachi High-Technologies Corp | 撮像倍率調整方法及び荷電粒子線装置 |
-
1993
- 1993-02-23 JP JP5033206A patent/JPH06251741A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008226508A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-09-25 | Hitachi High-Technologies Corp | 撮像倍率調整方法及び荷電粒子線装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH1173903A (ja) | 走査電子顕微鏡のオートフォーカス方法 | |
| US7285776B2 (en) | Scanning transmission electron microscope and electron energy loss spectroscopy | |
| US5198668A (en) | Automatic focusing apparatus for scanning electron microscope | |
| JP3293677B2 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPH0729539A (ja) | 集束イオンビーム装置 | |
| JPH06251741A (ja) | 走査電子顕微鏡における自動倍率設定方法 | |
| JP3571561B2 (ja) | 走査顕微鏡 | |
| JPH1050245A (ja) | 荷電粒子ビーム装置における焦点合わせ方法 | |
| JPH10172489A (ja) | 走査電子顕微鏡における電子ビームの調整方法 | |
| JP2002015691A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPH0668830A (ja) | 走査電子顕微鏡における輝度補正方法 | |
| JP2001006599A (ja) | 電子ビーム装置における電子ビーム制御方法 | |
| JPH08167396A (ja) | 電界放射型電子銃を備えた電子ビーム装置 | |
| JP3114416B2 (ja) | 荷電粒子ビーム装置における焦点合わせ方法 | |
| JPH05128989A (ja) | 立体像観察用走査電子顕微鏡 | |
| JP3037006B2 (ja) | 走査電子顕微鏡における自動画像調整方法 | |
| JPH08138605A (ja) | 電子ビーム装置における焦点合わせ方法および非点補正方法並びに電子ビーム装置 | |
| JP2775812B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
| JPH07312195A (ja) | 走査型電子顕微鏡 | |
| JPH05325860A (ja) | 走査電子顕微鏡における像撮影方法 | |
| JPH07161327A (ja) | 荷電粒子ビーム装置における焦点合わせ方法 | |
| JP3114335B2 (ja) | 走査電子顕微鏡における焦点合わせ方法 | |
| JPH07114901A (ja) | 画像信号処理方法および装置 | |
| KR830002861Y1 (ko) | 주사전자 현미경 및 그의유사장치의 주사상 관찰장치 | |
| JP3453247B2 (ja) | 走査電子顕微鏡およびその制御方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000509 |