JPH06252199A - ワイヤボンディング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】低コスト、調整容易なクランプ機構を提供し、
ボンディングの自動化及び人員削減を達成する。 【構成】クランパ機構は、キャピラリ３５とエア−テン
ション機構Ａ，Ｂの間に配置される。当該クランパ機構
において、弾性体２３は、ワイヤ３１のワイヤ径よりも
大きい内径の筒状を有している。コイル２９に電流を流
すと、電磁力により、永久磁石により構成された可動体
２４が上方向へ移動する。その結果、弾性体２３は圧縮
され、当該弾性体２３の径方向にたわみが生じる。ワイ
ヤ３１は、弾性体２３により挟まれ、固定される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ワイヤボンディング装
置のクランパ機構の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ワイヤボンディング装置には、図
５及び図６に示すものが知られている。なお、図５は、
当該ワイヤボンディング装置の主要部を示すものであ
る。また、図６は、当該ワイヤボンディング装置のクラ
ンパ機構のみを詳細に示すものである。

【０００３】図５及び図６において、１１は、エア−テ
ンション機構であり、ボンディングワイヤ１２に下方か
ら上方へ引き上げる力を作用させることができる。１３
は、キャピラリであり、ボンディングワイヤ１２の先端
部（下方向）に配置されるものである。１４は、クラン
パ機構であり、エア−テンション機構１１とキャピラリ
１３との間に配置される。

【０００４】上述のようなワイヤボンディング装置にお
いて、クランパ機構１４は、ボンディングワイヤ１２の
左右方向にクランプ部１４ａ，１４ｂを有している。当
該ボンディングワイヤ１２は、このクランプ部１４ａ，
１４ｂで挟み付けられることによって固定される。具体
的には、クランプ部１４ａ，１４ｂのいずれか一方又は
双方を駆動させることにより、ボンディングワイヤ１２
の固定／非固定の状態を制御している。

【０００５】そして、通常、クランプ部１４ａ，１４ｂ
の加圧面（ボンディングワイヤ１２を加圧する面）は、
当該ボンディングワイヤ１２に傷などを付けないよう
に、鏡面仕上げされ、その平面度も高く設定されてい
る。

【０００６】しかし、ワイヤボンディング装置では、ク
ランプ部１４ａ，１４ｂを互いに平行に保つことが重要
である。従って、当該クランプ部１４ａ，１４ｂの平行
度を保つための機構が必要となるため、コストが上り、
調整なども複雑となる欠点がある。

【０００７】また、近年、半導体製造工程における自動
化及び人員削減などを達成するため、ワイヤボンディン
グ装置のワイヤの自動供給化の研究が進められている。
かかるワイヤの自動供給化を可能ならしめるには、対向
するクランプ部１４ａ，１４ｂに対して、ボンディング
ワイヤの位置を一定にすることが必要である。

【０００８】しかし、当該ボンディングワイヤは線形で
あるため、小さな力で左右に動いてしまう。従って、ワ
イヤボンディング装置には、当該ボンディングワイヤの
位置を決めるガイド機構が必要となることは必至であ
る。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】このように、従来のワ
イヤボンディング装置では、クランパ機構の対向するク
ランプ部を平行に保つ必要があるため、コストが高くな
り、調整が困難となる欠点がある。また、将来のワイヤ
の自動供給化のためには、ワイヤのガイド機構を開発す
る必要がある。

【００１０】そこで、本願は、ボンディングワイヤのガ
イド機構を備え、低コストで、調整も容易なクランプ機
構を提供し、ワイヤボンディング工程の無人化を図り、
もって半導体装置の製造工程における自動化及び人員削
減を達成することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のワイヤボンディング装置は、ボンディング
ワイヤのワイヤ径よりも大きい内径の筒状を有し、当該
ボンディングワイヤが当該筒内を通るように配置される
弾性体と、前記弾性体の径方向に垂直な方向の両端面の
一方又は両方に圧力を加えて当該弾性体を圧縮し、当該
弾性体の径方向に当該弾性体をたわませて、前記ボンデ
ィングワイヤを当該弾性体により挟むことにより当該ボ
ンディングワイヤを固定する手段とを備える。

【００１２】前記手段は、前記弾性体の径方向に垂直な
方向の両端面のいずれか一方に配置される固定体と、前
記固定体が配置される側と反対側の前記弾性体の端面に
配置される可動体と、ボンディングワイヤを固定する際
には、前記固定体に対して、前記可動体を当該固定体の
方向へ移動させて前記弾性体を圧縮し、当該ボンディン
グワイヤを解放する際には、前記固定体に対して、前記
可動体を当該固定体と反対の方向へ移動させて前記弾性
体に加わる圧力をなくす駆動体とから構成されている。

【００１３】前記可動体は、ボンディングワイヤを中心
とする底を有する筒状を有し、前記弾性体の端面が当該
底部に接触し、前記弾性体の外径が当該可動体の内径に
一致している。また、前記駆動体は、前記可動体を取り
囲み、電磁力により当該可動体を駆動するコイルと、前
記可動体の底部と反対側に配置されるスプリングとから
構成されている。

【００１４】また、ボンディングワイヤの先端部に配置
されるキャピラリと、当該ボンディングワイヤに軸方向
の力を与えることができる機構とをさらに備え、前記弾
性体は、前記キャピラリと前記機構との間に配置されて
いる。

【００１５】前記機構は、先端部を有し、当該先端部か
ら一定方向へ直線状に延びるボンディングワイヤに対し
て、前記ボンディングワイヤに平行であって前記一定方
向を向いている第１の力を、当該ボンディングワイヤに
作用させることができる第１のエア−テンション機構
と、前記ボンディングワイヤに平行であって前記ボンデ
ィングワイヤの先端部の方向を向いている第２の力を、
当該ボンディングワイヤに作用させることができる第２
のエア−テンション機構とから構成されている。そし
て、前記第１の力が作用する部分は、前記第２の力が作
用する部分よりも前記ボンディングワイヤの先端側に位
置し、前記第１の力と前記第２の力は、同一直線上に属
する互いに向きが反対の力となっている。

【００１６】

【作用】上記構成によれば、クランパ機構が、ボンディ
ングワイヤを取り囲む筒状の弾性体と、当該弾性体に圧
力を加えて当該ボンディングワイヤを固定する手段とか
ら構成されている。これにより、ボンディングワイヤに
ダメ−ジを与えることなく、当該ボンディングワイヤを
固定できる。

【００１７】また、ボンディングワイヤのガイド機構を
備えることができ、低コストで、調整も容易である。さ
らに、ワイヤ切れ自動復帰機構と組み合わせることによ
り、ワイヤボンディング工程の無人化を達成でき、半導
体装置の製造工程における自動化及び人員削減を実現で
きる。

【００１８】

【実施例】以下、図面を参照しながら、本発明の一実施
例について詳細に説明する。図１は、本発明の一実施例
に係わるワイヤボンディング装置のクランパ機構の主要
部を示している。

【００１９】２１は、底部を有する外筒である。外筒２
１の中心軸には、ボンディングワイヤ２２が配置され、
外筒２１の底部においては、当該ボンディングワイヤ２
２を通すための円形の穴が設けられている。

【００２０】２３は、筒状の弾性体である。弾性体２３
の外径は、外筒２１の内径とほぼ同じになっている。ま
た、弾性体２３の径方向に垂直な方向の両端面の一方
は、外筒２１の底部に接して配置されている。従って、
当該弾性体２３は、外筒２１の中にすっぽりと収まる形
となっている。

【００２１】２４は、筒状の可動体である。可動体２４
の外径は、外筒２１の内径とほぼ同じになっている。従
って、当該可動体２４は、外筒２１中の弾性体２３上
に、当該弾性体２３に接触させて配置させることができ
る。なお、可動体２４には、腕２５が設けられている。

【００２２】２６は、可動体２４の腕２５に取り付けら
れた駆動体（例えば、電磁ソレノイド）である。駆動体
２６は、外筒２１に対して、ボンディングワイヤ２２の
軸方向に沿って、当該可動体２４を当該外筒２１の底部
方向へ移動させる機能を有する。

【００２３】なお、外筒２１の底部の穴の径、弾性体２
３の内径、及び可動体２４の内径は、基本的には、それ
ぞれが同一となるように形成される。その理由は、外筒
２１と弾性体２３の接続部、又は弾性体２３と可動体２
４の接続部において、ボンディングワイヤ２２の先端が
引っ掛かり、当該ボンディングワイヤ２２がクランパ機
構から抜けなくなるのを防止するためである。

【００２４】次に、図１のワイヤボンディング装置のク
ランパ機構の動作原理について説明する。まず、クラン
パ機構が開いた状態では、弾性体２３の内径は、ボンデ
ィングワイヤ２２の径よりも大きくなっている。従っ
て、当該ボンディングワイヤ２２は、非固定の状態とな
っている。

【００２５】次に、クランパ機構が閉じる場合について
説明する。まず、駆動体２６により、ボンディングワイ
ヤ２２の軸方向に沿って、当該可動体２４を当該外筒２
１の底部方向へ移動させる。すると、弾性体２３の径方
向に垂直な方向の両端面の一方、即ち弾性体２３の可動
体２４側の端面に圧力が加わる。一方、弾性体２３の他
方の端面及び外周面は、外筒（固定）２１に取り囲まれ
ているため、当該弾性体２３は、その径方向に垂直な方
向に圧縮される。これにより、当該弾性体２３は、破線
で示すように、その径方向にたわむため、ボンディング
ワイヤ２２は、当該弾性体２３により挟み付けられる。
つまり、ボンディングワイヤ２２は、当該弾性体２３に
より固定される。

【００２６】このような構成によれば、ボンディングワ
イヤ２２は、弾性体２３により、その四方から圧縮固定
される。従って、当該ボンディングワイヤ２２には、均
等に圧力が加わるため、当該ボンディングワイヤ２２を
傷付けることがない。

【００２７】図２は、本発明の他の実施例に係わるワイ
ヤボンディング装置のクランパ機構の主要部を示してい
る。本実施例は、駆動体が外筒内に組み込まれている点
において、図１のクランパ機構と相違している。

【００２８】２１は、外筒である。外筒２１の中心軸に
は、ボンディングワイヤ２２が配置されている。外筒２
１の上部は、ボンディングワイヤ２２を通す中心部に円
形の穴を有する蓋により閉じられている。また、外筒２
１の下部には、後述する可動体が抜け落ちるのを防止す
るためのストッパ２７が設けられている。

【００２９】２４は、底部を有する筒状の可動体であ
る。可動体２４の中心軸には、ボンディングワイヤ２２
が配置され、可動体２４の底部には、当該ボンディング
ワイヤ２２を通すための円形の穴が設けられている。ま
た、可動体２４は、永久磁石により形成される。

【００３０】２３は、筒状の弾性体である。弾性体２３
の外径は、可動体２４の内径とほぼ同じになっている。
また、弾性体２３の径方向に垂直な方向の両端面の一方
は、可動体２４の底部に接して配置されている。従っ
て、当該弾性体２３は、可動体２４の中にすっぽりと収
まる形となっている。

【００３１】２８は、軸受材（固定体）である。軸受材
２８は、外筒２１と一体化して形成されている。また、
軸受材２８の外径は、可動体２４の内径とほぼ同じにな
っている。軸受材２８は、可動体２４の滑り抵抗を減ら
すために設けられている。

【００３２】なお、外筒２１上部の穴の径、弾性体２３
の内径、可動体２４底部の穴の径、及び軸受材２８の内
径は、基本的には、それぞれが同一となるように形成さ
れる。その理由は、外筒２１と軸受材２８の接続部、軸
受材２８と弾性体２３の接続部、又は弾性体２３と可動
体２４の接続部において、ボンディングワイヤ２１の先
端が引っ掛かり、当該ボンディングワイヤ２２がクラン
パ機構から抜けなくなるのを防止するためである。

【００３３】さらに、本実施例では、駆動体が、外筒２
１内に設けられたコイル２９及びスプリング３０により
構成されている。コイル２９は、可動体２４の外周部に
形成されている。即ち、当該コイル２９は、ボンディン
グワイヤ２２を中心軸とする筒状に形成されている。ス
プリング３０は、可動体２４の底部と反対側に配置され
ている。また、スプリング３０は、ボンディングワイヤ
２２を中心軸とする筒状に形成されている。

【００３４】次に、図２のワイヤボンディング装置のク
ランパ機構の動作原理について説明する。まず、クラン
パ機構が開いた状態では、図３（ａ）に示すように、弾
性体２３の内径は、ボンディングワイヤ２２の径よりも
大きくなっている。従って、当該ボンディングワイヤ２
２は、非固定の状態となっている。

【００３５】次に、クランパ機構が閉じる場合につい
て、図２及び図３（ｂ）を参照しながら説明する。ま
ず、コイル２９に電流を流すと、可動体２４は、電磁力
の作用により上方向へ移動する。すると、弾性体２３
は、当該可動体２４と軸受材２８との間に挟まれて、圧
縮される。この時、弾性体２３は、その上下方向及び外
周方向が可動体２４及び軸受材２８により取り囲まれて
いるため、内側（ボンディングワイヤ２２側）に歪み、
ボンディングワイヤ２２を圧縮固定する。

【００３６】なお、クランパ機構を再び開く際には、コ
イル２９に流れる電流を遮断すれば、可動体２４は、ス
プリング３０の力により下方向へ移動するため、弾性体
２３に加わる圧力がなくなり、ボンディングワイヤ２２
は非固定の状態となる。なお、可動体２４は、ストッパ
２７に接触すると停止する。

【００３７】このような構成によれば、ボンディングワ
イヤ２２は、弾性体２３により、その四方から圧縮固定
される。従って、ボンディングワイヤ２２には、均等に
力が与えられ、当該ボンディングワイヤを傷付けること
がない。なお、弾性体２３によるワイヤの保持を解除す
るときは、コイル２９に流す電流を遮断すればスプリン
グ３０の力により容易に元の状態に戻すことができる。
また、外筒２１及び軸受材２８により、ボンディングワ
イヤ２２のガイド機構が構成されている。

【００３８】図４は、本発明のクランパ機構を、ワイヤ
切れ自動復帰機構を有するワイヤボンディング装置に適
用した実施例である。

【００３９】従来、ワイヤボンディング装置には、ワイ
ヤを上方へ引き上げる機構として、エア−テンション機
構が用いられている。このエア−テンション機構は、例
えば図５に示すような構成を有している。しかし、図５
に示すエア−テンション機構では、ワイヤ切れを自動的
に復帰させることができないため、ワイヤボンディング
工程の無人化、自動化の妨げとなっている。

【００４０】そこで、本実施例では、本発明のクランパ
機構をワイヤ切れ自動復帰機構を有するワイヤボンディ
ング装置に適用し、ワイヤボンディング工程の無人化、
自動化を実現させる。

【００４１】まず、当該ワイヤ切れ自動復帰機構につい
て説明する。ワイヤ３１は、クランパ３２、ハウジング
３３内の内筒３４ａ，３４ｂ及び筒状のキャピラリ３５
を通るように配置される。なお、キャピラリ３５の先端
部において、当該ワイヤ３１にはボ−ルが形成される。
ハウジング３３にはエア−テンション機構が備え付けら
れているが、当該エア−テンション機構は、第１のエア
−テンション機構Ａと第２のエア−テンション機構Ｂと
から構成されている。

【００４２】第１のエア−テンション機構Ａは、キャピ
ラリ３５側に設けられ、ワイヤ３１に上向きのテンショ
ン力を与えるものである。ハウジング３３の下部にはエ
ア−供給口３７ａが設けられている。このエア−供給口
３７ａは、当該ハウジング３３の外側から内側まで貫通
している。ハウジング３３の中央部にはエア−放出口３
８ａが設けられている。このエア−放出口３８ａは、当
該ハウジング３３の内側から外側まで貫通している。

【００４３】また、ハウジング３３内には内筒３４ａが
挿入される。この内筒３４ａは、上端部及び下端部にお
いて、外径が中央部の外径よりも小さくなっている。ま
た、当該内筒３４ａには、エア−を内筒３４ａ内へ供給
又は内筒３４ａ外へ放出するために、例えば互いに対向
する位置に二つの穴を有している。内筒３４ａの下端部
の二つの穴は、エア−供給口３７ａから供給されるエア
−をワイヤ３１に均等に吹き付けるためのものである。

【００４４】第２のエア−テンション機構Ｂは、第１の
エア−テンション機構Ａの上側に設けられている。ま
た、第２のエア−テンション機構Ｂは、ワイヤ３１に下
向きのテンション力を与えるものである。

【００４５】ハウジング３３の上部にはエア−供給口３
７ｂが設けられている。このエア−供給口３７ｂは、当
該ハウジング３３の外側から内側まで貫通している。ハ
ウジング３３の中央部にはエア−放出口３８ｂが設けら
れている。このエア−放出口３８ｂは、当該ハウジング
３３の内側から外側まで貫通している。

【００４６】また、ハウジング３３内には内筒３４ｂが
挿入される。この内筒３４ｂは、上端部及び下端部にお
いて外径が中央部の外径よりも小さくなっている。ま
た、当該内筒３４ｂには、エア−を内筒３４ｂ内へ供給
又は内筒３４ｂ外へ放出するために、例えば互いに対向
する位置に二つの穴を有している。内筒３４ｂの上端部
の二つの穴は、エア−供給部３７ｂから供給されるエア
−をワイヤ３１に均等に吹き付けるためのものである。

【００４７】ハウジング３３の上端部には、内筒３４ｂ
を固定するための内筒ストッパ３９ｂが設けられてい
る。また、当該内筒ストッパ３９ｂの上部における穴径
は、エア−の漏れが極力少なくなるように小さく（ワイ
ヤ径と同じ程度に）設定されている。

【００４８】そして、エア−供給口３７ａからエア−を
供給することにより、ボンディングワイヤ３１を引き上
げるテンション力（以下、「プラスの力 Ｐ＋」とい
う。）を発生させることができる。また、エア−供給口
３７ｂからエア−を供給することにより、ボンディング
ワイヤ３１を引き下げるテンション力（以下、「マエナ
スの力 Ｐ−」という。）発生させることができる。

【００４９】なお、第１のエア−テンション機構Ａによ
りボンディングワイヤ３１に与える上向きのプラスの力
Ｗ＋と、第２のエア−テンション機構Ｂによりボンディ
ングワイヤ３１に与える上向きのマエナスの力Ｗ−と
は、ベクトル的にみて互いに向きが反対であり、かつ、
同一直線上にある。プラスの力Ｗ＋及びマエナスの力Ｗ
−は、図示しないエア−発生機構により発生するエア−
の流量を調節することにより任意に設定することが可能
である。

【００５０】上記ワイヤ切れ自動復帰機構を有するワイ
ヤボンディング装置において、クランパ機構３２は、キ
ャピラリ３５とエア−テンション機構Ａ，Ｂの間に設け
られている。

【００５１】即ち、当該ワイヤ切れ自動復帰機構を採用
する場合、従来のようなクランパ機構を用いると、ワイ
ヤの引っ掛かりなどが生じるおそれがある。従って、ク
ランパ機構は、エア−テンション機構Ａ，Ｂの上部に設
け、キャピラリ３５とエア−テンション機構Ａ，Ｂと
は、隣接して配置することが必要である。

【００５２】しかし、本発明のクランパ機構３２を用い
れば、エア−テンション機構（ハウジング３３）とクラ
ンパ機構（外筒２１）とを一体化して形成でき、また、
ワイヤのガイド機構を備えている。このため、当該クラ
ンパ機構３２を、キャピラリ３５とエア−テンション機
構Ａ，Ｂの間に設けることができる。

【００５３】上記構成によれば、ワイヤ切れが発生した
場合に、人手をかけずに、自動的にキャピラリまでのワ
イヤ通しを行うことができる。また、ワイヤガイドを兼
ねた新たなクランパ機構を、キャピラリとエア−テンシ
ョン機構の間に設けることができる。これにより、将
来、行われるであろうワイヤの自動供給化に貢献するこ
とができる。また、機構も簡単で、コストの増大を避け
ることができる。

【００５４】

【発明の効果】以上、説明したように、本発明のワイヤ
ボンディング装置によれば、次のような効果を奏する。
ワイヤガイド機構を備えた新たなクランパ機構を提供す
ることにより、ワイヤの自動供給化に貢献することがで
きる。また、その機構が簡単で、調整なども容易であ
る。さらに、ワイヤに均等に加圧できるため、当該ワイ
ヤへのダメ−ジを防止できる。

【００５５】また、本発明のクランパ機構とワイヤ切れ
自動復帰機構と組み合わせることにより、ワイヤの自動
供給化をも可能ならしめることができる。従って、ワイ
ヤボンディング工程の無人化又は完全自動化に貢献でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係わるクランパ機構を示す
図。

【図２】本発明の他の実施例に係わるクランパ機構を示
す図。

【図３】図２の装置のクランパ機構のしくみを示す図。

【図４】本発明の他の実施例に係わるワイヤボンディン
グ装置を示す図。

【図５】従来のワイヤボンディング装置を示す図。

【図６】従来のクランパ機構を示す図。

【符号の説明】

２１ …外筒、 ２２ …ボンディングワイヤ、 ２３ …弾性体、 ２４ …可動体、 ２５ …腕、 ２６ …駆動体、 ２７ …ストッパ、 ２８ …軸受材、 ２９ …コイル、 ３０ …スプリング、 ３１ …ボンディングワイヤ、 ３３ …ハウジング、 ３４ａ，３４ｂ …内筒、 ３２ …クランパ、 ３５ …キャピラリ、 ３６ …ボ−ル、 ３７ａ，３７ｂ …エア−供給口、 ３８ａ，３８ｂ …エア−放出口、 ３９ｂ …内筒ストッパ、 ４０ａ，４０ｂ …エア−流路、 ４１ …電気ト−チ棒、 ４２ …窪み。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ボンディングワイヤのワイヤ径よりも大
   きい内径の筒状を有し、当該ボンディングワイヤが当該
   筒内を通るように配置される弾性体と、 前記弾性体の径方向に垂直な方向の両端面の一方又は両
   方に圧力を加えて当該弾性体を圧縮し、当該弾性体の径
   方向に当該弾性体をたわませて、前記ボンディングワイ
   ヤを当該弾性体により挟むことにより当該ボンディング
   ワイヤを固定する手段とを具備することを特徴とするワ
   イヤボンディング装置。
2. 【請求項２】 前記手段は、 前記弾性体の径方向に垂直な方向の両端面のいずれか一
   方に配置される固定体と、 前記固定体が配置される側と反対側の前記弾性体の端面
   に配置される可動体と、 ボンディングワイヤを固定する際には、前記固定体に対
   して、前記可動体を当該固定体の方向へ移動させて前記
   弾性体を圧縮し、当該ボンディングワイヤを解放する際
   には、前記固定体に対して、前記可動体を当該固定体と
   反対の方向へ移動させて前記弾性体に加わる圧力をなく
   す駆動体とから構成されることを特徴とする請求項１に
   記載のワイヤボンディング装置。
3. 【請求項３】 前記可動体は、ボンディングワイヤを中
   心とする底を有する筒状を有し、前記弾性体の端面が当
   該底部に接触し、前記弾性体の外径が当該可動体の内径
   に一致しており、 前記駆動体は、前記可動体を取り囲み、電磁力により当
   該可動体を駆動するコイルと、前記可動体の底部と反対
   側に配置されるスプリングとから構成されていることを
   特徴とする請求項２に記載のワイヤボンディング装置。
4. 【請求項４】 ボンディングワイヤの先端部に配置され
   るキャピラリと、 当該ボンディングワイヤに軸方向の力を与えることがで
   きる機構とをさらに具備し、 前記弾性体は、前記キャピラリと前記機構との間に配置
   されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか
   １項に記載のワイヤボンディング装置。
5. 【請求項５】 前記機構は、 先端部を有し、当該先端部から一定方向へ直線状に延び
   るボンディングワイヤに対して、 前記ボンディングワイヤに平行であって前記一定方向を
   向いている第１の力を、当該ボンディングワイヤに作用
   させることができる第１のエア−テンション機構と、 前記ボンディングワイヤに平行であって前記ボンディン
   グワイヤの先端部の方向を向いている第２の力を、当該
   ボンディングワイヤに作用させることができる第２のエ
   ア−テンション機構とから構成され、かつ、 前記第１の力が作用する部分は、前記第２の力が作用す
   る部分よりも前記ボンディングワイヤの先端側に位置
   し、前記第１の力と前記第２の力は、同一直線上に属す
   る互いに向きが反対の力であることを特徴とする請求項
   ４に記載のワイヤボンディング装置。