JPH06252480A - ガスレーザ放電部 - Google Patents
ガスレーザ放電部Info
- Publication number
- JPH06252480A JPH06252480A JP3512693A JP3512693A JPH06252480A JP H06252480 A JPH06252480 A JP H06252480A JP 3512693 A JP3512693 A JP 3512693A JP 3512693 A JP3512693 A JP 3512693A JP H06252480 A JPH06252480 A JP H06252480A
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- Japan
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- gas
- laser
- discharge
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ガス容器に対する主電極および誘電体の固定
構造に改良を施すことによりコスト削減およびガスレー
ザ装置の小形化を図ると共に、沿面放電の発生を防止し
てグロー放電の形成を安定化させることにより高い信頼
性を獲得するガスレーザ放電部を提供する。 【構成】 本発明のガスレーザ放電部は、ガス容器２４
内に一対の主電極１，２を対向配置して機械的に固定す
ると共に、送風ファン２１および熱交換器２２を含むガ
ス流路２３を形成している。また、主電極１，２は誘電
体１０ａ，１０ｂを電気的に接続して固定している。さ
らに絶縁物１７が主電極１，２と誘電体１０ａ，１０ｂ
との接続部分を覆っている。
構造に改良を施すことによりコスト削減およびガスレー
ザ装置の小形化を図ると共に、沿面放電の発生を防止し
てグロー放電の形成を安定化させることにより高い信頼
性を獲得するガスレーザ放電部を提供する。 【構成】 本発明のガスレーザ放電部は、ガス容器２４
内に一対の主電極１，２を対向配置して機械的に固定す
ると共に、送風ファン２１および熱交換器２２を含むガ
ス流路２３を形成している。また、主電極１，２は誘電
体１０ａ，１０ｂを電気的に接続して固定している。さ
らに絶縁物１７が主電極１，２と誘電体１０ａ，１０ｂ
との接続部分を覆っている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガスレーザ放電部に係
り、特に、ガス容器に対する主電極および誘電体の固定
構造に改良を施したガスレーザ放電部に関するものであ
る。
り、特に、ガス容器に対する主電極および誘電体の固定
構造に改良を施したガスレーザ放電部に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】一般に放電励起方式のガスレーザ装置で
は、ガスレーザ放電部にレーザガスを供給して空間的に
均一なグロー放電を発生させ、この放電によってレーザ
ガスを励起してレーザを発生させて、光共振器の作用で
レーザ出力を取り出している。またガスレーザ装置の中
でも、横方向励起パルスＣＯ2 レーザやエキシマレーザ
を初めとするパルスレーザ装置では、レーザガス圧力が
大気圧以上であり、さらに電子付着性の強いガス成分を
含んでいる。そのため、グロー放電を均一に点弧するこ
とは困難である。そこで通常、高速のパルス電圧を放電
部に印加して均一なグロー放電を形成するようにしてい
る。
は、ガスレーザ放電部にレーザガスを供給して空間的に
均一なグロー放電を発生させ、この放電によってレーザ
ガスを励起してレーザを発生させて、光共振器の作用で
レーザ出力を取り出している。またガスレーザ装置の中
でも、横方向励起パルスＣＯ2 レーザやエキシマレーザ
を初めとするパルスレーザ装置では、レーザガス圧力が
大気圧以上であり、さらに電子付着性の強いガス成分を
含んでいる。そのため、グロー放電を均一に点弧するこ
とは困難である。そこで通常、高速のパルス電圧を放電
部に印加して均一なグロー放電を形成するようにしてい
る。
【０００３】このようなガスレーザ装置におけるガスレ
ーザ放電部の構成および励起電源回路の一例を図３を参
照して具体的に説明する。すなわち、レーザガスを気密
充填した図示していない容器内に、一対の主電極１，２
が対向して配置されており、一方の主電極２は接地され
ている。また、主電極１はコンデンサ（Ｃｓ）５と充電
用インダクタンス６の接続点に接続されている。コンデ
ンサ（Ｃｓ）５の一端部は充電抵抗８を介して高圧電源
（Ｈｖ）９に接続されている。コンデンサ（Ｃｓ）５の
他端部はスイッチ７を介して接地されている。また充電
用インダクタンス６は抵抗１４を介して接地されてい
る。さらに主電極１，２間にはインダクタンス１５が接
続されている。
ーザ放電部の構成および励起電源回路の一例を図３を参
照して具体的に説明する。すなわち、レーザガスを気密
充填した図示していない容器内に、一対の主電極１，２
が対向して配置されており、一方の主電極２は接地され
ている。また、主電極１はコンデンサ（Ｃｓ）５と充電
用インダクタンス６の接続点に接続されている。コンデ
ンサ（Ｃｓ）５の一端部は充電抵抗８を介して高圧電源
（Ｈｖ）９に接続されている。コンデンサ（Ｃｓ）５の
他端部はスイッチ７を介して接地されている。また充電
用インダクタンス６は抵抗１４を介して接地されてい
る。さらに主電極１，２間にはインダクタンス１５が接
続されている。
【０００４】主電極１，２の対向する面側には誘電体１
０ａ，１０ｂが電気的に接続されて取付けられている。
誘電体１０ａ，１０ｂおよび主電極１，２には絶縁物１
３が取付けられている。この絶縁物１３は、主電極１，
２を図示していない容器内に固定する部材であると同時
に、誘電体１０ａ，１０ｂ間のギャップ長を決定し、誘
電体１０ａ，１０ｂ間の沿面距離を十分にとる部材であ
る。
０ａ，１０ｂが電気的に接続されて取付けられている。
誘電体１０ａ，１０ｂおよび主電極１，２には絶縁物１
３が取付けられている。この絶縁物１３は、主電極１，
２を図示していない容器内に固定する部材であると同時
に、誘電体１０ａ，１０ｂ間のギャップ長を決定し、誘
電体１０ａ，１０ｂ間の沿面距離を十分にとる部材であ
る。
【０００５】なお、以上のコンデンサ、抵抗およびイン
ダクタンス類は、単体で構成されるか、あるいは複数個
が並列もしくは直列に接続されて構成されている。さら
に図示しないが、誘電体１０ａ，１０ｂの対向軸に直交
する方向（図面が描かれた紙面に対して垂直な方向）に
は、光共振器が配設されている。
ダクタンス類は、単体で構成されるか、あるいは複数個
が並列もしくは直列に接続されて構成されている。さら
に図示しないが、誘電体１０ａ，１０ｂの対向軸に直交
する方向（図面が描かれた紙面に対して垂直な方向）に
は、光共振器が配設されている。
【０００６】以上のように構成されたガスレーザ放電部
は以下のように動作する。まずスイッチ７が開いている
状態でコンデンサ（Ｃｓ）５が充電抵抗８を介して高圧
電源（Ｈｖ）９により充電される。そして、スイッチ７
が閉じられると、コンデンサ（Ｃｓ）５と誘電体１０
ａ，１０ｂとインダクタンス１５との間で電気的な振動
が生じ、レーザガスが励起され、誘電体１０ａ，１０ｂ
間にグロー放電が形成され、図示していない光共振器の
作用により、レーザ光が誘電体１０ａ，１０ｂの対向軸
に直交する方向（図面が描かれた紙面に対して垂直な方
向）に出射される。
は以下のように動作する。まずスイッチ７が開いている
状態でコンデンサ（Ｃｓ）５が充電抵抗８を介して高圧
電源（Ｈｖ）９により充電される。そして、スイッチ７
が閉じられると、コンデンサ（Ｃｓ）５と誘電体１０
ａ，１０ｂとインダクタンス１５との間で電気的な振動
が生じ、レーザガスが励起され、誘電体１０ａ，１０ｂ
間にグロー放電が形成され、図示していない光共振器の
作用により、レーザ光が誘電体１０ａ，１０ｂの対向軸
に直交する方向（図面が描かれた紙面に対して垂直な方
向）に出射される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来のガスレーザ放電部には、以下に述べるよう
な解決すべき課題が指摘されていた。すなわち、誘電体
１０ａ，１０ｂ間のギャップ長を変更するとき、絶縁物
１３ごと変えなくてはならず、非常に面倒であった。ま
た、誘電体１０ａ，１０ｂ間の沿面距離をとるために
は、絶縁物１３を大きくする必要がある。そのため、ガ
スレーザ放電部を含むガスレーザ装置が大形化し、コス
トが高騰して経済的に不利であった。さらに、主電極
１，２と誘電体１０ａ，１０ｂとの接続部分はレーザガ
スにさらされている。したがって、接続部分に部分放電
が発し、沿面放電が発生する可能性があった。沿面放電
が発生すると、グロー放電の形成が不安定となり、ガス
レーザ放電部の信頼性が低下した。
ような従来のガスレーザ放電部には、以下に述べるよう
な解決すべき課題が指摘されていた。すなわち、誘電体
１０ａ，１０ｂ間のギャップ長を変更するとき、絶縁物
１３ごと変えなくてはならず、非常に面倒であった。ま
た、誘電体１０ａ，１０ｂ間の沿面距離をとるために
は、絶縁物１３を大きくする必要がある。そのため、ガ
スレーザ放電部を含むガスレーザ装置が大形化し、コス
トが高騰して経済的に不利であった。さらに、主電極
１，２と誘電体１０ａ，１０ｂとの接続部分はレーザガ
スにさらされている。したがって、接続部分に部分放電
が発し、沿面放電が発生する可能性があった。沿面放電
が発生すると、グロー放電の形成が不安定となり、ガス
レーザ放電部の信頼性が低下した。
【０００８】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたものであり、その目的は、ガス容器に対す
る主電極および誘電体の固定構造に改良を施すことによ
りコスト削減およびガスレーザ装置の小形化を図ると共
に、沿面放電の発生を防止してグロー放電の形成を安定
化させることにより高い信頼性を獲得するガスレーザ放
電部を提供することにある。
めになされたものであり、その目的は、ガス容器に対す
る主電極および誘電体の固定構造に改良を施すことによ
りコスト削減およびガスレーザ装置の小形化を図ると共
に、沿面放電の発生を防止してグロー放電の形成を安定
化させることにより高い信頼性を獲得するガスレーザ放
電部を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の請求項１記載のガスレーザ放電部は、ガス
容器内に一対の主電極を対向配置すると共に、送風ファ
ンおよび熱交換器を含むガス流路を形成し、前記主電極
にレーザガスを供給してグロー放電を発生させ、この放
電によりレーザガスを励起してレーザを発生させるガス
レーザ放電部において、主電極の少なくとも一方に誘電
体を電気的に接続して固定し、誘電体と接続している主
電極を機械的にガス容器に固定することを特徴とする。
に、本発明の請求項１記載のガスレーザ放電部は、ガス
容器内に一対の主電極を対向配置すると共に、送風ファ
ンおよび熱交換器を含むガス流路を形成し、前記主電極
にレーザガスを供給してグロー放電を発生させ、この放
電によりレーザガスを励起してレーザを発生させるガス
レーザ放電部において、主電極の少なくとも一方に誘電
体を電気的に接続して固定し、誘電体と接続している主
電極を機械的にガス容器に固定することを特徴とする。
【００１０】また、本発明の請求項２記載のガスレーザ
放電は、ガス容器内に一対の主電極を対向配置すると共
に、送風ファンおよび熱交換器を含むガス流路を形成
し、前記主電極にレーザガスを供給してグロー放電を発
生させ、この放電によりレーザガスを励起してレーザを
発生させるガスレーザ放電部において、主電極の少なく
とも一方に誘電体を電気的に接続して固定し、主電極と
誘電体とを接続している部分を絶縁物で覆うことを特徴
とするものである。
放電は、ガス容器内に一対の主電極を対向配置すると共
に、送風ファンおよび熱交換器を含むガス流路を形成
し、前記主電極にレーザガスを供給してグロー放電を発
生させ、この放電によりレーザガスを励起してレーザを
発生させるガスレーザ放電部において、主電極の少なく
とも一方に誘電体を電気的に接続して固定し、主電極と
誘電体とを接続している部分を絶縁物で覆うことを特徴
とするものである。
【００１１】
【作用】以上のような構成を有する請求項１記載の本発
明においては、誘電体を固定している主電極をガス容器
に機械的に固定するので、主電極の固定作業を行う際に
誘電体間のギャップ長や沿面距離を形成することが可能
である。したがって、誘電体間のギャップ長および沿面
距離を形成させるための絶縁物が不要となる。
明においては、誘電体を固定している主電極をガス容器
に機械的に固定するので、主電極の固定作業を行う際に
誘電体間のギャップ長や沿面距離を形成することが可能
である。したがって、誘電体間のギャップ長および沿面
距離を形成させるための絶縁物が不要となる。
【００１２】また、請求項２記載の本発明においては、
主電極と誘電体とを接続している部分を絶縁物が覆うの
で、この部分に部分放電が発することがなく、沿面放電
の発生を防止することができる。
主電極と誘電体とを接続している部分を絶縁物が覆うの
で、この部分に部分放電が発することがなく、沿面放電
の発生を防止することができる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明によるガスレーザ放電部の一実
施例について図１および図２を参照して具体的に説明す
る。図１は本実施例によるガスレーザ放電部の構成およ
び励起電源回路を示す構成図、図２は本実施例の要部拡
大図である。なお、図３に示した従来例と同一の部材に
関しては、同一符号を付し、説明は省略する。
施例について図１および図２を参照して具体的に説明す
る。図１は本実施例によるガスレーザ放電部の構成およ
び励起電源回路を示す構成図、図２は本実施例の要部拡
大図である。なお、図３に示した従来例と同一の部材に
関しては、同一符号を付し、説明は省略する。
【００１４】すなわち、ガス容器２４にはレーザガスが
気密充填されており、その上面および下面には絶縁板２
０が配置されている。このガス容器２４内には主電極
１，２が対向して配置されている。これら主電極１，２
は絶縁板２０を介してガス容器２４に機械的に固定され
ている。また主電極１，２の対向する面には誘電体１０
ａ，１０ｂが電気的に接続されて固定されている。主電
極１，２と誘電体１０ａ，１０ｂとを接続している部分
には絶縁物１７が被覆されている。さらにガス容器２４
内には送風ファン２１および熱交換器２２が設けられて
いる。送風ファン２１および熱交換器２２によりガス流
路２３が形成されるようになっており、このガス流路２
３は前記誘電体１０ａ，１０ｂ間を通過するように設定
されている。
気密充填されており、その上面および下面には絶縁板２
０が配置されている。このガス容器２４内には主電極
１，２が対向して配置されている。これら主電極１，２
は絶縁板２０を介してガス容器２４に機械的に固定され
ている。また主電極１，２の対向する面には誘電体１０
ａ，１０ｂが電気的に接続されて固定されている。主電
極１，２と誘電体１０ａ，１０ｂとを接続している部分
には絶縁物１７が被覆されている。さらにガス容器２４
内には送風ファン２１および熱交換器２２が設けられて
いる。送風ファン２１および熱交換器２２によりガス流
路２３が形成されるようになっており、このガス流路２
３は前記誘電体１０ａ，１０ｂ間を通過するように設定
されている。
【００１５】さらに主電極１，２には同電位の電流端子
１８，１９が電気的に接続されている。電流端子１８，
１９は絶縁板２０によりガス容器２４から電気的に絶縁
されている。また電流端子１８，１９間には、直列接続
されたインダクタンス１５およびコンデンサ（Ｃｐ）１
６が接続されている。なお、コンデンサ（Ｃｐ）１６と
電流端子１９との接続点は接地されている。
１８，１９が電気的に接続されている。電流端子１８，
１９は絶縁板２０によりガス容器２４から電気的に絶縁
されている。また電流端子１８，１９間には、直列接続
されたインダクタンス１５およびコンデンサ（Ｃｐ）１
６が接続されている。なお、コンデンサ（Ｃｐ）１６と
電流端子１９との接続点は接地されている。
【００１６】以上のような構成を有する本実施例におい
ては、誘電体１０ａ，１０ｂと電気的に接続しこれを固
定している主電極１，２を、ガス容器２４に機械的に固
定しているので、主電極１，２の固定作業に伴って、誘
電体１０ａ，１０ｂ間のギャップ長や沿面距離を容易に
形成することができる。したがって図３に示した従来例
における絶縁物１３、すなわち誘電体１０ａ，１０ｂ間
のギャップ長および沿面距離を形成させるめの絶縁物が
不要となる。その結果、ガスレーザ放電部を含むガスレ
ーザ装置の小形化に貢献することができ、且つコストの
削減を図ることができるため経済的に有利である。
ては、誘電体１０ａ，１０ｂと電気的に接続しこれを固
定している主電極１，２を、ガス容器２４に機械的に固
定しているので、主電極１，２の固定作業に伴って、誘
電体１０ａ，１０ｂ間のギャップ長や沿面距離を容易に
形成することができる。したがって図３に示した従来例
における絶縁物１３、すなわち誘電体１０ａ，１０ｂ間
のギャップ長および沿面距離を形成させるめの絶縁物が
不要となる。その結果、ガスレーザ放電部を含むガスレ
ーザ装置の小形化に貢献することができ、且つコストの
削減を図ることができるため経済的に有利である。
【００１７】また、本実施例においては、主電極１，２
と誘電体１０ａ，１０ｂとを接続している部分を絶縁物
１７が覆っているため、接続部分に部分放電が発するこ
とがなく、沿面放電の発生を防止することができる。し
たがって安定してグロー放電を形成することができ、ガ
スレーザ放電部の信頼性が向上する。
と誘電体１０ａ，１０ｂとを接続している部分を絶縁物
１７が覆っているため、接続部分に部分放電が発するこ
とがなく、沿面放電の発生を防止することができる。し
たがって安定してグロー放電を形成することができ、ガ
スレーザ放電部の信頼性が向上する。
【００１８】上記のような本実施例によれば、ガス容器
２４に対して主電極１，２を機械的に固定し、この主電
極１，２に誘電体１０ａ，１０ｂを固定するという構成
により、誘電体１０ａ，１０ｂのギャップ長や沿面距離
を確保するための絶縁物を不要とするので、コスト削減
およびガスレーザ装置の小形化を図ることができた。ま
た、主電極１，２と誘電体１０ａ，１０ｂとの接続部分
に絶縁物１７を被覆することにより、沿面放電の発生を
防止してグロー放電の形成を安定化させ、高い信頼性を
獲得することができた。
２４に対して主電極１，２を機械的に固定し、この主電
極１，２に誘電体１０ａ，１０ｂを固定するという構成
により、誘電体１０ａ，１０ｂのギャップ長や沿面距離
を確保するための絶縁物を不要とするので、コスト削減
およびガスレーザ装置の小形化を図ることができた。ま
た、主電極１，２と誘電体１０ａ，１０ｂとの接続部分
に絶縁物１７を被覆することにより、沿面放電の発生を
防止してグロー放電の形成を安定化させ、高い信頼性を
獲得することができた。
【００１９】なお、本発明は、以上のような実施例に限
定されるものではなく、各構成部材の形状および寸法な
どは適宜変更可能である。
定されるものではなく、各構成部材の形状および寸法な
どは適宜変更可能である。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のガスレー
ザ放電部によれば、ガス容器に対して主電極を機械的に
固定し、この主電極に誘電体を固定するという構成によ
り、従来使用していた誘電体のギャップ長や沿面距離の
確保用の絶縁物を不要として、コスト削減およびガスレ
ーザ装置の小形化を図ることができた。また、主電極と
誘電体との接続部分に絶縁物を被覆することにより、沿
面放電の発生を防止してグロー放電の形成を安定化さ
せ、高い信頼性を獲得することができた。
ザ放電部によれば、ガス容器に対して主電極を機械的に
固定し、この主電極に誘電体を固定するという構成によ
り、従来使用していた誘電体のギャップ長や沿面距離の
確保用の絶縁物を不要として、コスト削減およびガスレ
ーザ装置の小形化を図ることができた。また、主電極と
誘電体との接続部分に絶縁物を被覆することにより、沿
面放電の発生を防止してグロー放電の形成を安定化さ
せ、高い信頼性を獲得することができた。
【図１】本発明の一実施例によるガスレーザ放電部の構
成および励起電源回路を示す構成図。
成および励起電源回路を示す構成図。
【図２】本実施例の要部拡大図。
【図３】従来のガスレーザ放電部の構成および励起電源
回路の一例を示す構成図。
回路の一例を示す構成図。
１，２…主電極 １０ａ，１０ｂ…誘電体 １７…絶縁物 １８，１９…電流端子 ２０…絶縁板 ２１…送風ファン ２２…熱交換器 ２３…ガス流路 ２４…ガス容器
フロントページの続き (72)発明者 沖田 裕二 東京都府中市晴見町２丁目24番地の１ 東 芝エフエーシステムエンジニアリング株式 会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 ガス容器内に一対の主電極を対向配置す
ると共に、送風ファンおよび熱交換器を含むガス流路を
形成し、前記主電極にレーザガスを供給してグロー放電
を発生させ、この放電によりレーザガスを励起してレー
ザを発生させるガスレーザ放電部において、 前記主電極の少なくとも一方に誘電体を電気的に接続し
て固定し、 前記誘電体と接続している主電極を機械的にガス容器に
固定することを特徴とするガスレーザ放電部。 - 【請求項２】 ガス容器内に一対の主電極を対向配置す
ると共に、送風ファンおよび熱交換器を含むガス流路を
形成し、前記主電極にレーザガスを供給してグロー放電
を発生させ、この放電によりレーザガスを励起してレー
ザを発生させるガスレーザ放電部において、 前記主電極の少なくとも一方に誘電体を電気的に接続し
て固定し、 前記主電極と前記誘電体とを接続している部分を絶縁物
で覆うことを特徴とするガスレーザ放電部。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3512693A JPH06252480A (ja) | 1993-02-24 | 1993-02-24 | ガスレーザ放電部 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3512693A JPH06252480A (ja) | 1993-02-24 | 1993-02-24 | ガスレーザ放電部 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06252480A true JPH06252480A (ja) | 1994-09-09 |
Family
ID=12433245
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3512693A Pending JPH06252480A (ja) | 1993-02-24 | 1993-02-24 | ガスレーザ放電部 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06252480A (ja) |
-
1993
- 1993-02-24 JP JP3512693A patent/JPH06252480A/ja active Pending
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