JPH0625964Y2 - ダイエジェクタ装置 - Google Patents
ダイエジェクタ装置Info
- Publication number
- JPH0625964Y2 JPH0625964Y2 JP14688688U JP14688688U JPH0625964Y2 JP H0625964 Y2 JPH0625964 Y2 JP H0625964Y2 JP 14688688 U JP14688688 U JP 14688688U JP 14688688 U JP14688688 U JP 14688688U JP H0625964 Y2 JPH0625964 Y2 JP H0625964Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pin
- pepper pot
- head
- chip
- elevating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 235000002566 Capsicum Nutrition 0.000 claims description 24
- 239000006002 Pepper Substances 0.000 claims description 24
- 241000722363 Piper Species 0.000 claims description 24
- 235000016761 Piper aduncum Nutrition 0.000 claims description 24
- 235000017804 Piper guineense Nutrition 0.000 claims description 24
- 235000008184 Piper nigrum Nutrition 0.000 claims description 24
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 20
- 101100298222 Caenorhabditis elegans pot-1 gene Proteins 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000011435 rock Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案はダイエジェクタ装置に係り、殊にチップの品種
変更にともなうチップ突き上げピンの交換を簡単に行え
るようにするためのペパーポットの構造に関する。
変更にともなうチップ突き上げピンの交換を簡単に行え
るようにするためのペパーポットの構造に関する。
（従来の技術） ウェハー上のチップは、その下方に配設されたダイエジ
ェクタ装置のピンにより突き上げられて移送ヘッドのノ
ズルにピックアップされ、基板に移送搭載される。この
ピンは、チップの品種変更にともない、チップの寸法が
変る場合には交換されるが、従来、かかるピンの交換
は、ピンが内装されたペパーポットのキャップを取りは
ずし、ピンをセッティングし直すことにより行われてい
た。
ェクタ装置のピンにより突き上げられて移送ヘッドのノ
ズルにピックアップされ、基板に移送搭載される。この
ピンは、チップの品種変更にともない、チップの寸法が
変る場合には交換されるが、従来、かかるピンの交換
は、ピンが内装されたペパーポットのキャップを取りは
ずし、ピンをセッティングし直すことにより行われてい
た。
（考案が解決しようとする課題） しかしながら上記従来手段は、ピンの交換に多大な手間
と時間を要するものであり、その間、装置の運転を停止
しなければならないため、チップの実装能率があがらな
い問題があった。
と時間を要するものであり、その間、装置の運転を停止
しなければならないため、チップの実装能率があがらな
い問題があった。
したがって本考案は、チップの品種変更にともなうピン
の交換を簡単に行うことができるダイエジェクタ装置を
提供することを目的とする。
の交換を簡単に行うことができるダイエジェクタ装置を
提供することを目的とする。
（課題を解決するための手段） このために本考案は、チップ突き上げピンを準備するペ
パーポットを、基部と、この基部の上部に止めばね材に
より着脱自在に装着される頭部とに分割形成している。
そして昇降駆動装置に駆動されて上下動する第１の昇降
シャフトをペパーポットの下部に設けるとともに、この
第１の昇降シャフトに駆動されて上下動する第２の昇降
シャフトを上記頭部の内部に設け、この第２の昇降シャ
フトの上部にピンを立設してダイエジェクタ装置を構成
している。
パーポットを、基部と、この基部の上部に止めばね材に
より着脱自在に装着される頭部とに分割形成している。
そして昇降駆動装置に駆動されて上下動する第１の昇降
シャフトをペパーポットの下部に設けるとともに、この
第１の昇降シャフトに駆動されて上下動する第２の昇降
シャフトを上記頭部の内部に設け、この第２の昇降シャ
フトの上部にピンを立設してダイエジェクタ装置を構成
している。
（作用） 上記構成によれば、ピンを装備する頭部を基部から取り
はずし、新たな頭部を基部に装着することにより、ピン
の交換を簡単に行うことができる。
はずし、新たな頭部を基部に装着することにより、ピン
の交換を簡単に行うことができる。
（実施例） 次に、図面を参照しながら本考案の実施例を説明する。
第１図はダイエジェクタ装置の斜視図であって、１はペ
パーポットであり、このペパーポット１は、支持台２上
に配設された基部３と、この基部３上に設けられた頭部
４とに分割して形成されており、頭部４の上面に開孔さ
れたピン孔５からピン（後述）が突没し、ウェハー上の
チップを突き上げる。６は支持台２のガイド板であっ
て、その前面にはガイド材７が設けられている。また支
持台２の背面にはこのガイド材７に嵌合するガイド材８
が設けられており、ペパーポット１と支持台２はガイド
材７，８に案内されて昇降する。
パーポットであり、このペパーポット１は、支持台２上
に配設された基部３と、この基部３上に設けられた頭部
４とに分割して形成されており、頭部４の上面に開孔さ
れたピン孔５からピン（後述）が突没し、ウェハー上の
チップを突き上げる。６は支持台２のガイド板であっ
て、その前面にはガイド材７が設けられている。また支
持台２の背面にはこのガイド材７に嵌合するガイド材８
が設けられており、ペパーポット１と支持台２はガイド
材７，８に案内されて昇降する。
１１はペパーポット１の昇降装置であって、エアシリン
ダ１２と、シリンダ１２のロッド１３に連結された連結
子１４と、この連結子１４に連結されて、軸部１５を中
心に揺動するレバー１６から成っており、レバー１６の
先端部の溝部１７に、上記支持台２の側壁に設けられた
ローラ１８が嵌合している。したがってシリンダ１２が
駆動してロッド１３が突没し、レバー１６が軸部１５を
中心に揺動すると、支持台２及びペパーポット１は、ガ
イド材７，８に沿って昇降し、ペパーポット１の上面を
ウェハーシートの下面に押し付ける。
ダ１２と、シリンダ１２のロッド１３に連結された連結
子１４と、この連結子１４に連結されて、軸部１５を中
心に揺動するレバー１６から成っており、レバー１６の
先端部の溝部１７に、上記支持台２の側壁に設けられた
ローラ１８が嵌合している。したがってシリンダ１２が
駆動してロッド１３が突没し、レバー１６が軸部１５を
中心に揺動すると、支持台２及びペパーポット１は、ガ
イド材７，８に沿って昇降し、ペパーポット１の上面を
ウェハーシートの下面に押し付ける。
２１はピンの昇降駆動装置であって、２２は基板２３上
にガイド材２４，２５を介して摺動自在に配設されたス
ライダ、２６はこのスライダ２２に連結されたロッドで
あり、モータのような駆動手段（図外）に駆動されてロ
ッド２６がその長さ方向に往復動すると、スライダ２２
は同方向に摺動する。２７はスライダ２２を後方（ロッ
ド２６側）へ付勢するばね材である。４０はペパーポッ
ト１の下部に設けた第１の昇降シャフトであって、その
下端部に、軸部２９を中心に揺動するカギ型の揺動材２
８の先端部が軸着されている。９は軸部２９の支持板、
２０は揺動材２８を時計方向に付勢するコイルスプリン
グである。３１は上記スライダ２２から突出する駆動杆
であって、上記のようにエアシリンダ１２の駆動により
支持台２が上昇した状態で、駆動杆３１が前方に突出す
ると、揺動材２８の下部に装着されたローラ３２をこの
駆動杆３１により前方へ押し、揺動材２８を反時計方向
に回動させて、昇降シャフト４０を上昇させる。次に第
２図を参照しながら、ペパーポット１の詳細な構造を説
明する。
にガイド材２４，２５を介して摺動自在に配設されたス
ライダ、２６はこのスライダ２２に連結されたロッドで
あり、モータのような駆動手段（図外）に駆動されてロ
ッド２６がその長さ方向に往復動すると、スライダ２２
は同方向に摺動する。２７はスライダ２２を後方（ロッ
ド２６側）へ付勢するばね材である。４０はペパーポッ
ト１の下部に設けた第１の昇降シャフトであって、その
下端部に、軸部２９を中心に揺動するカギ型の揺動材２
８の先端部が軸着されている。９は軸部２９の支持板、
２０は揺動材２８を時計方向に付勢するコイルスプリン
グである。３１は上記スライダ２２から突出する駆動杆
であって、上記のようにエアシリンダ１２の駆動により
支持台２が上昇した状態で、駆動杆３１が前方に突出す
ると、揺動材２８の下部に装着されたローラ３２をこの
駆動杆３１により前方へ押し、揺動材２８を反時計方向
に回動させて、昇降シャフト４０を上昇させる。次に第
２図を参照しながら、ペパーポット１の詳細な構造を説
明する。
基部３は略筒状体であって、その内部に上方へ向って末
広がり状に開孔する中央孔４２が開孔されており、また
その両側部には一対の係合片４３が設けられている。こ
の係合片４３はその上部と下部に係合部４３ａ，４３ｂ
が突設されており、下部の突部４３ｂは基部３の側壁面
に凹設された凹部４４に係合している。また係合片４３
の背後には板ばねから成る止ばね４５があって、上方の
突部４３ａを内方に付勢している。また上記第１のシャ
フト４０は、上記支持台２を貫通している。
広がり状に開孔する中央孔４２が開孔されており、また
その両側部には一対の係合片４３が設けられている。こ
の係合片４３はその上部と下部に係合部４３ａ，４３ｂ
が突設されており、下部の突部４３ｂは基部３の側壁面
に凹設された凹部４４に係合している。また係合片４３
の背後には板ばねから成る止ばね４５があって、上方の
突部４３ａを内方に付勢している。また上記第１のシャ
フト４０は、上記支持台２を貫通している。
上記頭部４は略長管形であって、その下部９は先細状で
あり、上記テーパ状の中央孔４２に面接合されて挿着さ
れる。またその側壁面には、上記係合部４３ａが係合す
る係合部４７が凹設されている。第３図に示すように、
係合部４３ａは係合部４７の下部に係合することによ
り、止ばね４５のばね力Ｆが頭部４を下方に押えつける
方向に作用するようにして、頭部４を基部３にしっかり
と固定するようにしている。４８は頭部４の軸心に沿っ
て形成された中心孔４９に立設された第２の昇降シャフ
トであって、コイルばね５０により下方に付勢されて、
その下端部は第１の昇降シャフト４０の上面に弾接して
いる。またこのシャフト４８の上部には、ウェハー６０
に装着されたウェハーシート６１上に配設されたチップ
Ｐを突き上げるピン５１が１本立設されている。６２は
突き上げられたチップＰを吸着して基板（図外）に移送
搭載する移送ヘッドである。頭部４にはキャップ５２が
着脱自在に装着されており、このキャップ５２の上面に
はピン５１が突没するピン孔５が開孔されている。
あり、上記テーパ状の中央孔４２に面接合されて挿着さ
れる。またその側壁面には、上記係合部４３ａが係合す
る係合部４７が凹設されている。第３図に示すように、
係合部４３ａは係合部４７の下部に係合することによ
り、止ばね４５のばね力Ｆが頭部４を下方に押えつける
方向に作用するようにして、頭部４を基部３にしっかり
と固定するようにしている。４８は頭部４の軸心に沿っ
て形成された中心孔４９に立設された第２の昇降シャフ
トであって、コイルばね５０により下方に付勢されて、
その下端部は第１の昇降シャフト４０の上面に弾接して
いる。またこのシャフト４８の上部には、ウェハー６０
に装着されたウェハーシート６１上に配設されたチップ
Ｐを突き上げるピン５１が１本立設されている。６２は
突き上げられたチップＰを吸着して基板（図外）に移送
搭載する移送ヘッドである。頭部４にはキャップ５２が
着脱自在に装着されており、このキャップ５２の上面に
はピン５１が突没するピン孔５が開孔されている。
第４図は予備の頭部４ａを示すものであって、昇降シャ
フト４８ａの上部には複数本のピン５１が装着され、か
つキャップ５２ａにはこれに対応して複数のピン孔５が
形成されている。この頭部４ａの下部９ａは、上記頭部
４の下部９と同形同寸であって、上記基部３の中央孔４
２に挿着できる。上記頭部４は比較的小さなチップＰの
場合に使用されるのに対し、この頭部４ａは比較的大き
なチップの場合に使用される。
フト４８ａの上部には複数本のピン５１が装着され、か
つキャップ５２ａにはこれに対応して複数のピン孔５が
形成されている。この頭部４ａの下部９ａは、上記頭部
４の下部９と同形同寸であって、上記基部３の中央孔４
２に挿着できる。上記頭部４は比較的小さなチップＰの
場合に使用されるのに対し、この頭部４ａは比較的大き
なチップの場合に使用される。
このダイエジェクタ装置は上記のような構成より成り、
次に動作を説明する。
次に動作を説明する。
エアシリンダ１２の駆動によりペパーポット１は上昇
し、その上面はウェハーシート６１の下面に当接すると
ともに、その状態でウェハーシート６１を吸引手段（図
外）により吸着する。またこれとともにロッド２６が駆
動して第２のシャフト４０が上昇すると、第２のシャフ
ト４８は、コイルばね５０のばね力に抗して上昇し、ピ
ン５１はピン孔５から突出してウェハーシート６１上の
チップＰを突き上げ、突き上げられたチップＰを移送ヘ
ッド６２がピックアップして基板に移送搭載する。
し、その上面はウェハーシート６１の下面に当接すると
ともに、その状態でウェハーシート６１を吸引手段（図
外）により吸着する。またこれとともにロッド２６が駆
動して第２のシャフト４０が上昇すると、第２のシャフ
ト４８は、コイルばね５０のばね力に抗して上昇し、ピ
ン５１はピン孔５から突出してウェハーシート６１上の
チップＰを突き上げ、突き上げられたチップＰを移送ヘ
ッド６２がピックアップして基板に移送搭載する。
チップの品種変更により、チップの寸法が大きくなると
きは、頭部４を基板３から取りはずし、複数本のピン５
１を有する頭部４ａと交換する。この頭部の交換は、こ
れを止ばね４５のばね力に抗して基部３に対して着脱す
ることにより簡単に行われ、頭部の交換が終ったなら
ば、チップの実装作業を再開する。なおこの実施例で
は、予備の頭部は１個であるが、チップの寸法が多種あ
るときは、これに対応できるように２個以上備えてよい
ものである。
きは、頭部４を基板３から取りはずし、複数本のピン５
１を有する頭部４ａと交換する。この頭部の交換は、こ
れを止ばね４５のばね力に抗して基部３に対して着脱す
ることにより簡単に行われ、頭部の交換が終ったなら
ば、チップの実装作業を再開する。なおこの実施例で
は、予備の頭部は１個であるが、チップの寸法が多種あ
るときは、これに対応できるように２個以上備えてよい
ものである。
（考案の効果） 以上説明したように本発明は、ペパーポットを、基部
と、この基部の上部に止めばねにより着脱自在に装着さ
れる頭部とに分割形成し、昇降駆動装置に駆動されて上
下動する第１の昇降シャフトをペパーポットの下部に設
けるとともに、この第１の昇降シャフトに駆動されて上
下動する第２の昇降シャフトを上記頭部の内部に設け、
この第２の昇降シャフトの上部に、ウェハー上のチップ
を突き上げるピンを立設して成るので、チップの品種変
更によりチップの寸法が変る場合には、所望本数のピン
を有する頭部と簡単に交換して、これに対応することが
できる。
と、この基部の上部に止めばねにより着脱自在に装着さ
れる頭部とに分割形成し、昇降駆動装置に駆動されて上
下動する第１の昇降シャフトをペパーポットの下部に設
けるとともに、この第１の昇降シャフトに駆動されて上
下動する第２の昇降シャフトを上記頭部の内部に設け、
この第２の昇降シャフトの上部に、ウェハー上のチップ
を突き上げるピンを立設して成るので、チップの品種変
更によりチップの寸法が変る場合には、所望本数のピン
を有する頭部と簡単に交換して、これに対応することが
できる。
図は本考案の実施例を示すものであって、第１図はダイ
エジェクタ装置の斜視図、第２図はペパーポットの断面
図、第３図は部分側面図、第４図は予備の頭部の断面図
である。 １……ペパーポット ３……基部 ４，４ａ……頭部 ５，５ａ……ピン孔 １１……昇降装置 ２１……昇降駆動装置 ５１……ピン ４０……第１の昇降シャフト ４８，４８ａ……第２の昇降シャフト
エジェクタ装置の斜視図、第２図はペパーポットの断面
図、第３図は部分側面図、第４図は予備の頭部の断面図
である。 １……ペパーポット ３……基部 ４，４ａ……頭部 ５，５ａ……ピン孔 １１……昇降装置 ２１……昇降駆動装置 ５１……ピン ４０……第１の昇降シャフト ４８，４８ａ……第２の昇降シャフト
Claims (1)
- 【請求項１】ペパーポットを昇降させて、このペパーポ
ットの上面をウェハーシートの下面に当接させるペパー
ポットの昇降装置と、ペパーポットの内部に装備された
ピンを上下動させて、このピンをペパーポットの上面に
開孔されたピン孔から突没させ、ウェハーシート上のチ
ップを突き上げるピンの昇降駆動装置とから成るダイエ
ジェクタ装置において、上記ペパーポットを、基部と、
この基部の上部に止めばねにより着脱自在に装着される
頭部とに分割形成し、上記昇降駆動装置に駆動されて上
下動する第１の昇降シャフトをペパーポットの下部に設
けるとともに、この第１の昇降シャフトに駆動されて上
下動する第２の昇降シャフトを上記頭部の内部に設け、
この第２の昇降シャフトの上部に上記ピンを立設したこ
とを特徴とするダイエジェクタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14688688U JPH0625964Y2 (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | ダイエジェクタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14688688U JPH0625964Y2 (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | ダイエジェクタ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0267645U JPH0267645U (ja) | 1990-05-22 |
| JPH0625964Y2 true JPH0625964Y2 (ja) | 1994-07-06 |
Family
ID=31416789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14688688U Expired - Lifetime JPH0625964Y2 (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | ダイエジェクタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0625964Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015062253A (ja) * | 2014-12-02 | 2015-04-02 | 富士機械製造株式会社 | ダイ供給装置 |
| US20240312808A1 (en) * | 2023-03-16 | 2024-09-19 | Western Digital Technologies, Inc. | Integrated Die Ejector for Die Attach Ejector Devices |
-
1988
- 1988-11-10 JP JP14688688U patent/JPH0625964Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015062253A (ja) * | 2014-12-02 | 2015-04-02 | 富士機械製造株式会社 | ダイ供給装置 |
| US20240312808A1 (en) * | 2023-03-16 | 2024-09-19 | Western Digital Technologies, Inc. | Integrated Die Ejector for Die Attach Ejector Devices |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0267645U (ja) | 1990-05-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI716887B (zh) | 換刀單元及具有該換刀單元之換刀裝置 | |
| US7131363B2 (en) | Paper-cutting apparatus and paper-holding device of the same | |
| KR101730535B1 (ko) | 브러쉬를 이용한 마스크팩용 시트 자동분리장치 | |
| JPH0734517B2 (ja) | 部品装着機の装着ヘツド交換装置 | |
| JPS596985Y2 (ja) | フアスナ−締結機のフアスナ−部品供給装置 | |
| WO2019208146A1 (ja) | スクライブ装置及びスクライブ装置に備えられるリムーバー | |
| JPH06297258A (ja) | 部品移送装置 | |
| JP3436355B2 (ja) | 半田ボール搭載装置 | |
| KR102127695B1 (ko) | 반도체 다이 분리장치 | |
| CN209664597U (zh) | 一种医疗托架用激光打标机 | |
| JPH05326672A (ja) | チップ突き上げ装置 | |
| CN222857764U (zh) | 一种电腐蚀机打标辅助治具 | |
| JPH06198340A (ja) | 折曲型のノックアウト装置 | |
| CN209632468U (zh) | 一种锁销自动组装机构 | |
| CN219938725U (zh) | 一种招工盒子一体机 | |
| CN222106438U (zh) | 一种推片上料工装 | |
| JPH0312487Y2 (ja) | ||
| JPH098101A (ja) | ダイエジェクタ装置 | |
| CN223084776U (zh) | 工具头放置槽及工具盒 | |
| CN220238965U (zh) | 一种金属徽章喷涂装置 | |
| JP2002103261A (ja) | 部品挟持装置 | |
| CN211752406U (zh) | 一种推牌装置 | |
| JP2550284Y2 (ja) | ピン状ソケットをプリント基板に挿入する機構 | |
| JPH0357436Y2 (ja) | ||
| JPH0625963Y2 (ja) | 電子部品実装装置 |