JPH0267645U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0267645U JPH0267645U JP14688688U JP14688688U JPH0267645U JP H0267645 U JPH0267645 U JP H0267645U JP 14688688 U JP14688688 U JP 14688688U JP 14688688 U JP14688688 U JP 14688688U JP H0267645 U JPH0267645 U JP H0267645U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pepper pot
- pin
- elevating shaft
- moves
- pepper
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
Description
図は本考案の実施例を示すものであつて、第1
図はダイエジエクタ装置の斜視図、第2図はペパ
ーポツトの断面図、第3図は部分側面図、第4図
は予備の頭部の断面図である。 1……ペパーポツト、3……基部、4,4a…
…頭部、5,5a……ピン孔、11……昇降装置
、21……昇降駆動装置、51……ピン、40…
…第1の昇降シヤフト、48,48a……第2の
昇降シヤフト。
図はダイエジエクタ装置の斜視図、第2図はペパ
ーポツトの断面図、第3図は部分側面図、第4図
は予備の頭部の断面図である。 1……ペパーポツト、3……基部、4,4a…
…頭部、5,5a……ピン孔、11……昇降装置
、21……昇降駆動装置、51……ピン、40…
…第1の昇降シヤフト、48,48a……第2の
昇降シヤフト。
Claims (1)
- ペパーポツトを昇降させて、このペパーポツト
の上面をウエハーシートの下面に当接させるペパ
ーポツトの昇降装置と、ペパーポツトの内部に装
備されたピンを上下動させて、このピンをペパー
ポツトの上面に開孔されたピン孔から突没させ、
ウエハーシート上のチツプを突き上げるピンの昇
降駆動装置とから成るダイエジエクタ装置におい
て、上記ペパーポツトを、基部と、この基部の上
部に止めばねにより着脱自在に装着される頭部と
に分割形成し、上記昇降駆動装置に駆動されて上
下動する第1の昇降シヤフトをペパーポツトの下
部に設けるとともに、この第1の昇降シヤフトに
駆動されて上下動する第2の昇降シヤフトを上記
頭部の内部に設け、この第2の昇降シヤフトの上
部に上記ピンを立設したことを特徴とするダイエ
ジエクタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14688688U JPH0625964Y2 (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | ダイエジェクタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14688688U JPH0625964Y2 (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | ダイエジェクタ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0267645U true JPH0267645U (ja) | 1990-05-22 |
| JPH0625964Y2 JPH0625964Y2 (ja) | 1994-07-06 |
Family
ID=31416789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14688688U Expired - Lifetime JPH0625964Y2 (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | ダイエジェクタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0625964Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6000322B2 (ja) * | 2014-12-02 | 2016-09-28 | 富士機械製造株式会社 | ダイ供給装置 |
| US20240312808A1 (en) * | 2023-03-16 | 2024-09-19 | Western Digital Technologies, Inc. | Integrated Die Ejector for Die Attach Ejector Devices |
-
1988
- 1988-11-10 JP JP14688688U patent/JPH0625964Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0625964Y2 (ja) | 1994-07-06 |