JPH0626816A - ガラス基板の位置合わせ方法 - Google Patents
ガラス基板の位置合わせ方法Info
- Publication number
- JPH0626816A JPH0626816A JP20185692A JP20185692A JPH0626816A JP H0626816 A JPH0626816 A JP H0626816A JP 20185692 A JP20185692 A JP 20185692A JP 20185692 A JP20185692 A JP 20185692A JP H0626816 A JPH0626816 A JP H0626816A
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- JP
- Japan
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- mark
- glass substrate
- substrate
- mask
- line
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- Pending
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- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 カラーフィルタのガラス基板に設定され、塗
料のプリントのために屈曲したマーク線を有する＋形の
基板マークＢを、マスク板に設定された＃形のマスクマ
ークＭに対して最適な状態に位置合わせする。 【構成】 露光装置のＣＣＤX,ＣＣＤY に対して、マス
ク板１とガラス基板２とをともにステップ移動し、基板
マークＢの、塗料のプリントにより屈曲したマーク線Ｂ
1,Ｂ2 と、この各マーク線にそれぞれ対応し、マスクマ
ークＭの２組の平行な２本のマーク線のＭ1 またはＭ2
（Ｍ3 またはＭ4)との間隔を、マーク線Ｂ1,Ｂ2 の全範
囲に亘ってＣＣＤセンサによりそれぞれ測定して平均値
を算出する。この平均値より＃形の中心に対するガラス
基板２の移動距離を求めて移動し、マスクマークＭに対
して基板マークＢが最適な状態に位置合わせされる。 【効果】 ガラス基板に対するマスク板の各画素が位置
ズレを最小として良好に露光される。
料のプリントのために屈曲したマーク線を有する＋形の
基板マークＢを、マスク板に設定された＃形のマスクマ
ークＭに対して最適な状態に位置合わせする。 【構成】 露光装置のＣＣＤX,ＣＣＤY に対して、マス
ク板１とガラス基板２とをともにステップ移動し、基板
マークＢの、塗料のプリントにより屈曲したマーク線Ｂ
1,Ｂ2 と、この各マーク線にそれぞれ対応し、マスクマ
ークＭの２組の平行な２本のマーク線のＭ1 またはＭ2
（Ｍ3 またはＭ4)との間隔を、マーク線Ｂ1,Ｂ2 の全範
囲に亘ってＣＣＤセンサによりそれぞれ測定して平均値
を算出する。この平均値より＃形の中心に対するガラス
基板２の移動距離を求めて移動し、マスクマークＭに対
して基板マークＢが最適な状態に位置合わせされる。 【効果】 ガラス基板に対するマスク板の各画素が位置
ズレを最小として良好に露光される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は露光装置において、マ
スク板に対してカラーフィルタ用のガラス基板を位置合
わせする方法に関する。
スク板に対してカラーフィルタ用のガラス基板を位置合
わせする方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶パネル用カラーフィルタは、素材の
ガラス基板に対してマスク板より３原色の画素が露光に
より逐次に転写されて作成される。露光においては、そ
れぞれに位置合わせマークが設定され、これにより両者
が位置合わせされる。図２(a) は両者に設定される位置
合わせマークを示すもので、マスク板１には適当な２箇
所に対して、クロームなどの薄膜を蒸着して＃形のマス
クマークＭが設定される。一方ガラス基板２には、各マ
スクマークＭに対応して、やはりクローム薄膜の蒸着、
または塗料のプリントにより＋形の基板マークＢが設定
される。位置合わせにおいては、(b) のように、マスク
板１とガラス基板２を微小なギャップＧをなして重ね合
わせ、位置合わせ光学系３の光源31により各マークＭお
よびＢを照明する。２箇所の各マークＭ，Ｂの反射光を
２個の受光器32a,32b のＣＣＤセンサによりそれぞれ受
光し、その検出パルスの位置をもとにガラス基板２を移
動して位置合わせがなされる。
ガラス基板に対してマスク板より３原色の画素が露光に
より逐次に転写されて作成される。露光においては、そ
れぞれに位置合わせマークが設定され、これにより両者
が位置合わせされる。図２(a) は両者に設定される位置
合わせマークを示すもので、マスク板１には適当な２箇
所に対して、クロームなどの薄膜を蒸着して＃形のマス
クマークＭが設定される。一方ガラス基板２には、各マ
スクマークＭに対応して、やはりクローム薄膜の蒸着、
または塗料のプリントにより＋形の基板マークＢが設定
される。位置合わせにおいては、(b) のように、マスク
板１とガラス基板２を微小なギャップＧをなして重ね合
わせ、位置合わせ光学系３の光源31により各マークＭお
よびＢを照明する。２箇所の各マークＭ，Ｂの反射光を
２個の受光器32a,32b のＣＣＤセンサによりそれぞれ受
光し、その検出パルスの位置をもとにガラス基板２を移
動して位置合わせがなされる。
【０００３】図２(c) により上記の各マークＭ，Ｂと、
これによる位置合わせ方法とをやや詳細に説明する。マ
スクマークＭの＃形は、平行する２本のマーク線Ｍ1,Ｍ
2 とこれらに直交する２本のマーク線Ｍ3,Ｍ4 よりな
り、各マーク線Ｍ1 〜Ｍ4 は線幅を、例えば１０μｍと
して蒸着される。基板マークＢも互いに直交するマーク
線Ｂ1,Ｂ2 よりなり、その線幅は、クローム薄膜の場合
は１０〜５０μｍで、塗料のプリントの場合は５０〜１
００μｍである。いま便宜上、マーク線Ｍ1,Ｂ1の方向
をＹとし、Ｍ3,Ｂ2 の方向をＸとする。上記の各受光器
32a,32b のそれぞれに、ＸおよびＹ方向の２個のＣＣＤ
センサ、ＣＣＤX とＣＣＤY とを設ける。ＣＣＤX は＃
形のマーク線Ｍ1,Ｍ2 と＋形のマーク線Ｂ1 の反射光を
受光して、それぞれの位置に対応したパルスｐM1，ｐM2
およびｐB1が検出される。パルスｐB1がｐM1とｐM2の中
心位置となるように、ガラス基板２を移動する。同様
に、ＣＣＤY の検出パルスｐM3，ｐM4の中心位置にｐB2
を移動すると、＋形の中心が＃形の中心に位置合わせさ
れる。なお、各マーク線をＸ，Ｙ軸に対して斜め４５°
の方向とする場合は、各ＣＣＤセンサの方向と、ガラス
基板２の移動方向とをその方向とすれば、上記と同様に
位置合わせがなされる。
これによる位置合わせ方法とをやや詳細に説明する。マ
スクマークＭの＃形は、平行する２本のマーク線Ｍ1,Ｍ
2 とこれらに直交する２本のマーク線Ｍ3,Ｍ4 よりな
り、各マーク線Ｍ1 〜Ｍ4 は線幅を、例えば１０μｍと
して蒸着される。基板マークＢも互いに直交するマーク
線Ｂ1,Ｂ2 よりなり、その線幅は、クローム薄膜の場合
は１０〜５０μｍで、塗料のプリントの場合は５０〜１
００μｍである。いま便宜上、マーク線Ｍ1,Ｂ1の方向
をＹとし、Ｍ3,Ｂ2 の方向をＸとする。上記の各受光器
32a,32b のそれぞれに、ＸおよびＹ方向の２個のＣＣＤ
センサ、ＣＣＤX とＣＣＤY とを設ける。ＣＣＤX は＃
形のマーク線Ｍ1,Ｍ2 と＋形のマーク線Ｂ1 の反射光を
受光して、それぞれの位置に対応したパルスｐM1，ｐM2
およびｐB1が検出される。パルスｐB1がｐM1とｐM2の中
心位置となるように、ガラス基板２を移動する。同様
に、ＣＣＤY の検出パルスｐM3，ｐM4の中心位置にｐB2
を移動すると、＋形の中心が＃形の中心に位置合わせさ
れる。なお、各マーク線をＸ，Ｙ軸に対して斜め４５°
の方向とする場合は、各ＣＣＤセンサの方向と、ガラス
基板２の移動方向とをその方向とすれば、上記と同様に
位置合わせがなされる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】さて、上記の基板マー
クＢがクローム薄膜の蒸着の場合は、各マーク線Ｂ1,Ｂ
2 は直線性が良好であるが、塗料のプリントの場合は直
線性が悪く、図３に例示するように多少に拘らず屈曲し
ている。このように屈曲した場合は、図示のようにマー
ク線Ｂ1 の１箇所をＣＣＤX により検出して位置合わせ
しても、全体では正しく位置合わせされない。ＣＣＤY
によるマーク線Ｂ2 の検出と位置合わせも同様である。
このように不完全に位置合わせされたガラス基板２に対
して露光すると、各画素に位置ズレが生じてカラーフィ
ルタは品質が劣化する。上記のような屈曲が甚だしい基
板マークＢは不良であり、これを改善することが必要で
あるが、通常では屈曲の程度が許容範囲内であるので、
なんらかの方法により最適な状態に位置合わせして、カ
ラーフィルタの品質の劣化を防止することが必要であ
る。この発明は以上に鑑みてなされたもので、カラーフ
ィルタのガラス基板に設定され、塗料のプリントのため
に屈曲したマーク線を有する基板マークＢを、マスク板
に設定されたマスクマークＭに対して偏差が最も少ない
最適な状態に位置合わせする方法を提供することを目的
とする。
クＢがクローム薄膜の蒸着の場合は、各マーク線Ｂ1,Ｂ
2 は直線性が良好であるが、塗料のプリントの場合は直
線性が悪く、図３に例示するように多少に拘らず屈曲し
ている。このように屈曲した場合は、図示のようにマー
ク線Ｂ1 の１箇所をＣＣＤX により検出して位置合わせ
しても、全体では正しく位置合わせされない。ＣＣＤY
によるマーク線Ｂ2 の検出と位置合わせも同様である。
このように不完全に位置合わせされたガラス基板２に対
して露光すると、各画素に位置ズレが生じてカラーフィ
ルタは品質が劣化する。上記のような屈曲が甚だしい基
板マークＢは不良であり、これを改善することが必要で
あるが、通常では屈曲の程度が許容範囲内であるので、
なんらかの方法により最適な状態に位置合わせして、カ
ラーフィルタの品質の劣化を防止することが必要であ
る。この発明は以上に鑑みてなされたもので、カラーフ
ィルタのガラス基板に設定され、塗料のプリントのため
に屈曲したマーク線を有する基板マークＢを、マスク板
に設定されたマスクマークＭに対して偏差が最も少ない
最適な状態に位置合わせする方法を提供することを目的
とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明はガラス基板の
位置合わせ方法であって、上記の露光装置のＣＣＤセン
サに対して、マスク板とガラス基板とをともにステップ
移動する。基板マークの＋形を構成し、塗料のプリント
により屈曲した各マーク線と、該各マーク線にそれぞれ
対応し、マスクマークの＃形を構成する２組の平行な２
本のマーク線のいずれか一方との間隔を、＋形の各マー
ク線の全範囲に亘ってＣＣＤセンサによりそれぞれ測定
して平均値を算出する。この平均値より＃形の中心に対
するガラス基板の移動距離を求めて移動し、マスクマー
クに対して屈曲したマーク線を有する基板マークが位置
合わせされる。
位置合わせ方法であって、上記の露光装置のＣＣＤセン
サに対して、マスク板とガラス基板とをともにステップ
移動する。基板マークの＋形を構成し、塗料のプリント
により屈曲した各マーク線と、該各マーク線にそれぞれ
対応し、マスクマークの＃形を構成する２組の平行な２
本のマーク線のいずれか一方との間隔を、＋形の各マー
ク線の全範囲に亘ってＣＣＤセンサによりそれぞれ測定
して平均値を算出する。この平均値より＃形の中心に対
するガラス基板の移動距離を求めて移動し、マスクマー
クに対して屈曲したマーク線を有する基板マークが位置
合わせされる。
【０００６】
【作用】上記においては、基板マークの＋形を構成する
２本のマーク線は、塗料のプリントにより屈曲してい
る。この各マーク線と、これらにそれぞれ対応し、マス
クマークの＃形を構成する２組の平行な２本のマーク線
のいずれか一方との間隔が、＋形の各マーク線の全範囲
に亘ってＣＣＤセンサにより測定され、その平均値が算
出される。この平均値より＃形の中心に対する基板の移
動距離が求められ、基板を移動距離だけ移動すると、マ
スクマークに対して基板マークが、各マーク線の全範囲
で偏差値が最小となる最適の状態に位置合わせされるも
のである。
２本のマーク線は、塗料のプリントにより屈曲してい
る。この各マーク線と、これらにそれぞれ対応し、マス
クマークの＃形を構成する２組の平行な２本のマーク線
のいずれか一方との間隔が、＋形の各マーク線の全範囲
に亘ってＣＣＤセンサにより測定され、その平均値が算
出される。この平均値より＃形の中心に対する基板の移
動距離が求められ、基板を移動距離だけ移動すると、マ
スクマークに対して基板マークが、各マーク線の全範囲
で偏差値が最小となる最適の状態に位置合わせされるも
のである。
【０００７】
【実施例】図１はこの発明の一実施例を示し、(a) はマ
スク板に対するガラス基板の位置合わせ手順の説明図、
(b) は位置合わせされた状態を示す図である。
スク板に対するガラス基板の位置合わせ手順の説明図、
(b) は位置合わせされた状態を示す図である。
【０００８】図１(a) において、マスク板１とガラス基
板２が重ね合わされ、図２(b) と同様に、マスクマーク
Ｍと基板マークＢとが対応し、ＣＣＤX がＸ方向に、ま
たＣＣＤY はＹ方向にそれぞれ設けられている。ただ
し、基板マークＢの各マーク線Ｂ1,Ｂ2 は、塗料のプリ
ントのために、例えば図示のように屈曲しているとす
る。なお、図ではマーク線は一部のみを示す。いま、マ
スク板１とガラス基板２を一緒にＹの上方向に、マーク
線Ｂ1 の全範囲に亘ってステップ移動する。ＣＣＤX は
相対的に図示点線のよう下方に移動し、ステップ移動の
各ステップで、マスクマークＭのマーク線Ｍ1 またはＭ
2 と、基板マークＢのマーク線Ｂ1 の位置を検出し、検
出パルスによりマーク線Ｍ1(Ｍ2)とマーク線Ｂ1 の間隔
を測定する。各ステップで測定された間隔の、マーク線
Ｂ1 全範囲に対する平均値を算出し、この平均値によ
り、マーク線Ｍ1 とＭ2 の中心位置に対するガラス基板
２の移動距離を求めて移動する。これによりＸ方向が位
置合わせされる。同様に、マスク板１とガラス基板２を
Ｘ方向にステップ移動し、ＣＣＤY の測定によりＹ方向
が位置合わせされる。図１(b) は上記によりＸ，Ｙ方向
に位置合わせされた状態を示す。位置合わせは、屈曲し
たマーク線Ｂ1,Ｂ2 の位置の平均値によるので、部分的
にはマーク線Ｂ1 はマーク線Ｍ1,Ｍ2 の中心線Ｃ1 に対
して偏差しており、同様にマーク線Ｂ2 は中心線Ｃ2 に
対して偏差がある。しかし全体としては最小の偏差値で
あって、これによりマスクマークＭと基板マークＢのそ
れぞれの中心が、最適の状態で位置合わせされて、これ
によりマスク板１の各画素が最小の位置ズレで良好に露
光される。
板２が重ね合わされ、図２(b) と同様に、マスクマーク
Ｍと基板マークＢとが対応し、ＣＣＤX がＸ方向に、ま
たＣＣＤY はＹ方向にそれぞれ設けられている。ただ
し、基板マークＢの各マーク線Ｂ1,Ｂ2 は、塗料のプリ
ントのために、例えば図示のように屈曲しているとす
る。なお、図ではマーク線は一部のみを示す。いま、マ
スク板１とガラス基板２を一緒にＹの上方向に、マーク
線Ｂ1 の全範囲に亘ってステップ移動する。ＣＣＤX は
相対的に図示点線のよう下方に移動し、ステップ移動の
各ステップで、マスクマークＭのマーク線Ｍ1 またはＭ
2 と、基板マークＢのマーク線Ｂ1 の位置を検出し、検
出パルスによりマーク線Ｍ1(Ｍ2)とマーク線Ｂ1 の間隔
を測定する。各ステップで測定された間隔の、マーク線
Ｂ1 全範囲に対する平均値を算出し、この平均値によ
り、マーク線Ｍ1 とＭ2 の中心位置に対するガラス基板
２の移動距離を求めて移動する。これによりＸ方向が位
置合わせされる。同様に、マスク板１とガラス基板２を
Ｘ方向にステップ移動し、ＣＣＤY の測定によりＹ方向
が位置合わせされる。図１(b) は上記によりＸ，Ｙ方向
に位置合わせされた状態を示す。位置合わせは、屈曲し
たマーク線Ｂ1,Ｂ2 の位置の平均値によるので、部分的
にはマーク線Ｂ1 はマーク線Ｍ1,Ｍ2 の中心線Ｃ1 に対
して偏差しており、同様にマーク線Ｂ2 は中心線Ｃ2 に
対して偏差がある。しかし全体としては最小の偏差値で
あって、これによりマスクマークＭと基板マークＢのそ
れぞれの中心が、最適の状態で位置合わせされて、これ
によりマスク板１の各画素が最小の位置ズレで良好に露
光される。
【０００９】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明による位
置合わせ方法においては、マスク板に対して、塗料のプ
リントにより屈曲した基板マークの位置合わせが最適に
なされるもので、これによりマスク板の各画素は位置ズ
レが最小として露光され、カラーフィルタの品質の劣化
の防止に寄与するところには大きいものがある。
置合わせ方法においては、マスク板に対して、塗料のプ
リントにより屈曲した基板マークの位置合わせが最適に
なされるもので、これによりマスク板の各画素は位置ズ
レが最小として露光され、カラーフィルタの品質の劣化
の防止に寄与するところには大きいものがある。
【図１】 この発明の一実施例を示し、(a) は位置合わ
せ手順の説明図、(b) は位置合わせされた状態を示す図
である。
せ手順の説明図、(b) は位置合わせされた状態を示す図
である。
【図２】 (a) はマスク板とガラス基板に設定された位
置合わせマークを示す図、(b) は位置合わせ方法の説明
図、(c) は位置合わせマークと、位置合わせ方法のそれ
ぞれの詳細説明図である。
置合わせマークを示す図、(b) は位置合わせ方法の説明
図、(c) は位置合わせマークと、位置合わせ方法のそれ
ぞれの詳細説明図である。
【図３】 塗料のプリントにより設定された基板マーク
の屈曲の説明図である。
の屈曲の説明図である。
１…マスク板、２…ガラス基板、３…位置合わせ光学
系、31…光源、32a,32b …受光器、Ｍ…マスクマーク、
Ｍ1,Ｍ2,Ｍ3,Ｍ4 …マーク線、Ｂ…基板マーク、Ｂ1 Ｂ
2 …マーク線、Ｇ…ギャップ、ＣＣＤX …Ｘ方向のＣＣ
Ｄセンサ、ＣＣＤY …Ｙ方向のＣＣＤセンサ、ｐM …マ
スクマークＭの検出パルス、ｐB …基板マークＢの検出
パルス。
系、31…光源、32a,32b …受光器、Ｍ…マスクマーク、
Ｍ1,Ｍ2,Ｍ3,Ｍ4 …マーク線、Ｂ…基板マーク、Ｂ1 Ｂ
2 …マーク線、Ｇ…ギャップ、ＣＣＤX …Ｘ方向のＣＣ
Ｄセンサ、ＣＣＤY …Ｙ方向のＣＣＤセンサ、ｐM …マ
スクマークＭの検出パルス、ｐB …基板マークＢの検出
パルス。
Claims (1)
- 【請求項１】 マスク板に設けた＃形のマスクマークに
対して、被露光のガラス基板に＋形の基板マークを設
け、該各マークの反射光をＣＣＤセンサにより受光し、
該ガラス基板を移動して前記＋形と＃形のそれぞれの中
心を位置合わせする露光装置において、前記ＣＣＤセン
サに対して前記マスク板とガラス基板とをともにステッ
プ移動し、前記＋形を構成し、塗料のプリントにより屈
曲した各マーク線と、該各マーク線にそれぞれ対応し、
前記＃形を構成する平行な２本のマーク線のいずれか一
方との間隔を、前記＋形の各マーク線の全範囲に亘っ
て、前記ＣＣＤセンサによりそれぞれ測定して平均値を
算出し、該平均値より前記＃形の中心に対する前記ガラ
ス基板の移動距離を求めて移動し、前記マスクマークに
対して前記屈曲したマーク線を有する基板マークを位置
合わせすることを特徴とする、ガラス基板の位置合わせ
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20185692A JPH0626816A (ja) | 1992-07-07 | 1992-07-07 | ガラス基板の位置合わせ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20185692A JPH0626816A (ja) | 1992-07-07 | 1992-07-07 | ガラス基板の位置合わせ方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0626816A true JPH0626816A (ja) | 1994-02-04 |
Family
ID=16448024
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20185692A Pending JPH0626816A (ja) | 1992-07-07 | 1992-07-07 | ガラス基板の位置合わせ方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0626816A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003104490A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-09 | Seiko Corp | 物品処理機械の位置調整装置とその位置調整方法 |
| JP2009115622A (ja) * | 2007-11-06 | 2009-05-28 | Ftm Engineering:Kk | 測定装置及び測定方法 |
| JP2009251290A (ja) * | 2008-04-07 | 2009-10-29 | V Technology Co Ltd | 露光装置 |
-
1992
- 1992-07-07 JP JP20185692A patent/JPH0626816A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003104490A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-09 | Seiko Corp | 物品処理機械の位置調整装置とその位置調整方法 |
| JP2009115622A (ja) * | 2007-11-06 | 2009-05-28 | Ftm Engineering:Kk | 測定装置及び測定方法 |
| JP2009251290A (ja) * | 2008-04-07 | 2009-10-29 | V Technology Co Ltd | 露光装置 |
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