JPH062697U

JPH062697U - 傾斜角可変の基準チップ搭載台

Info

Publication number: JPH062697U
Application number: JP4580292U
Authority: JP
Inventors: 智彦小板橋; 信一松本; 正雄宇野
Original assignee: 日立電子エンジニアリング株式会社
Priority date: 1992-06-08
Filing date: 1992-06-08
Publication date: 1994-01-14

Abstract

(57)【要約】【目的】ＩＣチップの検査光学系の焦点調整用の基準
チップに対する、傾斜角可変の搭載台を提供する。【構成】試料台41と固定台42の上下２重構造を有し、
試料台41に基準チップ１に対する円形の吸着孔411 を設
け、固定台42に対して試料台41の４隅を、それぞれ皿ば
ね413 を介して弾性的に固定する４本の調整ボルト412a
……を設ける。さらに、固定台42に対して偏心し、かつ
回動自由に支持され、試料台41と固定台42の間の適当な
位置に介在し、ハンドル51の操作により、固定台42に対
する試料台41の傾斜角を変化できる金属球52を設けて構
成される。【効果】検査光学系に対する基準パターンの焦点合わ
せが正確になされる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、ＩＣチップの検査光学系に対する基準チップを搭載する、傾斜角可変の搭載台の構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】

ウエハに形成された半導体のＩＣチップは、その配線パターンがパターン検査装置により検査される。パターン検査装置の光学系は、基準パターンを有する基準チップにより予め焦点などが調整され、この調整のために基準チップ搭載台が使用されている。

【０００３】図２(a) により、従来の基準チップ搭載台と、これによる検査光学系の焦点調整方法の概要を説明する。図において、基準パターン11が形成された基準チップ１は搭載台２に搭載され、搭載台２の中央部に設けた円形の吸着孔21によりエア吸着される。吸着された基準チップ１に対して、検査光学系３の対物レンズ31が微小な距離に接近して基準パターン11を受像し、これが明瞭となるように焦点調整がなされる。上記において、対物レンズ31の焦点深度は非常に浅く、また基準パターンはサブミクロンの狭い幅であるために、基準チップ１に対する微小距離は、０．１μ ｍの高精度で調整されている。これに対して基準チップ１は、搭載台２に対して水平に正しく搭載されることが必要である。なぜなら、水平でないときは基準パターン11が部分的、または全面的に焦点ボケするからである。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

さて、基準チップ１に対するエア吸着は、円形の吸着孔21により行われるため、全面が一様に吸着されず、多少にかかわらず湾曲ないしは歪曲する。図２(b) は歪曲した基準チップ１の一例を示し、吸着孔21の付近は搭載台２の表面に密着しているが、これを離れると微小ではあるが浮き上がっている。この浮き上がり量は、大きいとき数μｍ以上に達して焦点ボケの原因となる。このような焦点ボケを防止するには、基本的には吸着方式を改良することが望ましいが、次善の策として、搭載台２の傾斜角を可変とする方法が有効であり、これにより、検査光学系の焦点ボケが実用上差し支えない程度に調整できることが確認されている。この考案は以上に鑑みてなされたもので、傾斜角可変の基準チップ搭載台を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

この考案は、傾斜角可変の基準チップ搭載台であって、試料台と固定台の上下２重構造を有する。試料台に基準チップに対する円形の吸着孔を設け、また固定台に対して試料台の４隅を、それぞれ皿ばねを介して弾性的に固定する４本の調整ボルトを設ける。さらに、固定台に対して偏心し、かつ回動自由に支持され、試料台と固定台の間の適当な位置に介在し、ハンドル操作により、固定台に対する試料台の傾斜角を変化できる金属球を設けて構成される。

【０００６】

【作用】

上記の上下２重構造で基準チップ搭載台は、上側の試料台に設けた円形の吸着孔により基準チップがエア吸着される。固定台に対して試料台の４隅は、それぞれ皿ばねを介して４本の調整ボルトにより弾性的に固定される。これに対して、金属球をハンドル操作すると、金属球は固定台に対して偏心しているため、試料台は上または下方に移動して傾斜角が変化する。焦点調整において、基準チップの歪曲により正しく調整できないときは、ハンドル操作により試料台の傾斜角を変化することにより、正しい焦点調整をなすことができる。

【０００７】

【実施例】

図１はこの考案の一実施例を示し、(a) は傾斜角可変の基準チップ搭載台の平面図、(b) は(a) のＡ−Ａに対する垂直断面図である。(a),(b) において、基準チップ搭載台４は、上側の試料台41と下側の固定台42よりなる。試料台41には、基準チップ１に対して従来と同様な円形の吸着孔411 を設ける。固定台42に対して、試料台41の４隅を皿ばね413 を介して４本の調整ボルト412a〜412dにより弾性的に固定する。ハンドル51と金属球52よりなる操作機構５を設け、金属球52を固定台42に対して偏心させて回動自由に支持し、試料台41との間の、図示の周辺部に介在させる。また、試料台41を固定台42に固定する固定ねじ43を設ける。

【０００８】上記の搭載台４の使用方法を説明すると、まず各調整ボルト412aなどにより、固定台42に対して試料台41を弾性的に固定すると、金属球52は両者に押圧されて安定する。この状態で検査光学系３の焦点調整を行い、もし、基準チップ１が歪曲しているために焦点調整が正しくできないときは、調整データを参照しながら、ハンドル51を矢印のように上下または左右に操作して傾斜角を適当に変化すると、基準チップ１の表面が対物レンズ31（図１(b) 参照）に対して正しく水平となる点があり、この点で固定ねじ43により試料台41を固定台42に固定する。以上により、基準パターン11に対して正確な焦点調整をなすことができる。

【０００９】

【考案の効果】

以上の説明のとおり、この考案による基準チップ搭載台においては、搭載された基準チップがエア吸着により歪曲しているときは、試料台の傾斜角を変化とすることにより、検査光学系に対する基準パターンの焦点合わせが正確になされるもので、ウエハのパターン検査の効率向上に寄与するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の一実施例を示し、(a) は傾斜角可
変の基準チップ搭載台の平面図、(b) は(a) のＡ−Ａに
対する垂直断面図である。

【図２】 (a) は、従来の基準チップ搭載台と、これに
よる検査光学系の焦点調整方法の概要の説明図、(b) は
歪曲した基準チップ１の一例を示す図てある。

【符号の説明】

１…基準チップ、11…基準パターン、２…従来の基準チ
ップ搭載台、21…吸着孔、３…検査光学系、31…対物レ
ンズ、４…この考案の基準チップ搭載台、41…試料台、
411 …吸着孔、412a,412b,412c,412d …調整ボルト、41
3 …皿ばね、42…固定台、43…固定ねじ５…操作機構、51…ハンドル、52…金属球。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】ウエハに形成されたＩＣチップのパター
ンを検査する検査光学系に対して、基準パターンを有す
る基準チップを搭載して円形の吸着孔によりエア吸着
し、前記検査光学系により該基準パターンを受像して焦
点調整を行う基準チップ搭載台において、試料台と固定
台の上下２重構造を有し、該試料台に前記基準チップに
対する円形の吸着孔と、該固定台に対して該試料台の４
隅を、それぞれ皿ばねを介して弾性的に固定する４本の
調整ボルトとをそれぞれ設け、該固定台に対して偏心
し、かつ回動自由に支持され、該試料台と該固定台の間
の適当な位置に介在し、ハンドル操作により、該固定台
に対する該試料台の傾斜角を変化できる金属球を設けて
構成されたことを特徴とする、傾斜角可変の基準チップ
搭載台。