JPH06273132A - パタ−ンの検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 フィルムキャリア等に形成されたパタ−ンを
自動的に検査する方法を提供すること。 【構成】 被測定パタ−ンの良品をマスタパタ−ンとし
た濃淡ヒストグラムからこれを二値化処理してマスタパ
タ−ンのエッジデ−タから最小二乗法により直線の集合
に変換し，互いに対向して位置する両直線間の中心線Ｌ
_M と幅Ｗを求めて基準となるマスタパタ−ンを作成す
る。このマスタパタ−ンと被測定パタ−ンとを位置合わ
せし，検査範囲を設定するとともに，その周辺を一定方
向に検査して被測定パタ−ンのエッジデ−タを抽出し，
この情報をマスタパタ−ンの直線にそれぞれ対応付けし
て誤差を検出して良品，不良品の判定をすること 【効果】 パタ−ンの検査を自動的に行うことが出来
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は，フィルムキャリア等
にエッチングにより形成されたパタ−ンを自動的に検査
する方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来，ＩＣ，ＬＳＩの実装に用いられる
フィルムキャリアは，厚さ７５〜１２５μｍ程度のポリ
イミドフィルムの上に，銅箔を接着剤で貼り付け，両面
にフォトレジストを塗布し，マスク露光，現像，エッチ
ングを行ってリ−ドのパタ−ンを形成している。

【０００３】このようにしてパタ−ンを形成後，フォト
レジストが除去され，リ−ドの表面にＳｎ，Ａｕ，半田
メッキ処理を行ってフィルムキャリア工程が終了する。
この工程終了後，顕微鏡を用いて人間により目視でパタ
−ンの検査が行われている。

【０００４】

【発明が解決しようとする問題点】このように，微細な
パタ−ンを目視で検査するには，熟練を要するととも
に，目を酷使する結果となる等の問題があった。一方，
目視検査に代わるものとして，パタ−ンをＴＶカメラで
撮像し，基準パタ−ンとして被測定パタ−ンとの一致率
をもとにして検査を行うパタ−ンマッチング手法による
ことも考えられる。しかしながら，一致率は下式で表さ
れるように，画素単位の計測であり，フィルムキャリア
のような微細なパタ−ンの検査には不向きである。 一致率＝｛（全体の画素−一致していない画素）／（全
体の画素）｝×１００％ 又，同一形状のリ−ドが連続するようなパタ−ンの場合
には，リ−ドが１本分ずれて位置合わせしてしまう場合
もあり，同一形状のパタ−ンの繰り返しの場合には問題
があった。

【０００５】

【問題点を解決するための手段】この発明は，被測定パ
タ−ンの良品をマスタパタ−ンとし，その濃淡画像を画
像メモリに記憶し，この画像メモリに記憶されたマスタ
パタ−ンの濃淡ヒストグラムからこれを二値化処理して
マスタパタ−ンのエッジデ−タを求め，このエッジデ−
タから最小二乗法によりマスタパタ−ンを直線の集合に
変換し，これらの直線から互いに対向して位置する両直
線間の中心線Ｌ_M を求めてマスタパタ−ン情報として登
録するとともに，この中心線に直角に交わる線と両直線
とが交わる点までの長さから互いに対向する直線の幅Ｗ
を求めてマスタパタ−ン情報として登録することによ
り，被測定パタ−ンと比較するための基準となるマスタ
パタ−ンを作成するようにしたものである。

【０００６】又，この発明は，被測定パタ−ンを画像メ
モリに記憶し，マスタパタ−ンと被測定パタ−ンとを位
置合わせするとともに，設定された検査範囲の周辺のい
づれかに，被測定パタ−ンのエッジデ−タが存在し，設
定された検査範囲の周辺を一定方向に検査して被測定パ
タ−ンのエッジデ−タを抽出し，マスタパタ−ンの互い
に隣接する直線が持つ角度を２等分する直線を算出し，
この直線によりマスタパタ−ンを各直線にそれぞれ対応
する領域に分割し，この各領域内に存在する被測定パタ
−ンのエッジデ−タをマスタパタ−ンの直線にそれぞれ
対応付けし，それぞれ対応付けされた被測定パタ−ンの
エッジデ−タとマスタパタ−ンのエッジデ−タとの誤差
を検出するようにしたものである。

【０００７】

【作用】良品と判定されている被測定パタ−ンをマスタ
パタ−ンとし，その濃淡画像を画像メモリに記憶すると
ともに，この画像メモリに記憶されたマスタパタ−ンの
濃淡ヒストグラムから，これを二値化処理して，マスタ
パタ−ンのエッジデ−タを求め，このエッジデ−タから
最小二乗法により直線化して登録するとともに，互いに
対向位置する両直線の中心線Ｌ_M と幅Ｗとを求めてこれ
をマスタパタ−ン情報として登録し，これを基準パタ−
ンとする。被測定パタ−ンのエッジデ−タは，マスタパ
タ−ンの各直線に対応付けされ，両者が比較照合され，
誤差が検査され，良品，不良品の判定がなされる。

【０００８】

【発明の実施例】この発明の実施例を，図１〜図１８に
基づいて詳細に説明する。図１はこの発明の実施例を示
すもので，マスタパタ−ンＭの処理フロ−，図２は被測
定パタ−ンｍとマスタパタ−ンＭとの対応付けするため
の処理フロ−，図３はこの発明のパタ−ン検査装置の基
本動作図，図４はこの発明のシステム構成図，図５〜図
１８は，この発明によるパタ−ンの検査方法を説明する
ための説明図である。

【０００９】まず，具体的なパタ−ン検査装置につい
て，図３に示す基本動作図および図４に示すシステム構
成図に基づいて説明する。なお，この実施例では，被測
定パタ−ンｍとしてＴＡＢテ−プのパタ−ンを例にと
り，そのパタ−ンを検査する場合について説明する。

【００１０】図３において，この発明によるパタ−ン検
査装置は，リ−ルに巻かれているＴＡＢテ−プ（図示せ
ず）のフィルムを送り出す巻出し部１，定寸送り，位置
決め部２，良品不良品を判定処理する検出部３，判定処
理が終了したテ−プを次に切断工程に送る定寸送り・位
置決め部４，不良品のテ−プを切断する打ち抜き部５，
再度リ−ルにテ−プを巻取るための巻取り部６とにより
構成されている。

【００１１】図４は，システム構成図を示すもので，シ
ステム制御部７はこのシステム全体を制御し，メニュ−
や結果を表示するカラ−ＣＲＴ８，品種の設定，登録，
操作メニュ−の選択を行うキ−ボ−ド９，シ−ケンサ部
１０，プリンタ１１，画像メモリ１２，ＣＰＵ（計測ユ
ニット）１３，信号セレクタ１４等が制御されている。

【００１２】シ−ケンサ部１０は，システム制御部７の
制御のもとに，操作スイッチ・表示ランプ１５，テ−プ
ランナ部１６，テ−プパンチャ部１７，Ｘ−Ｙテ−ブル
１８等を制御している。１９はフロッピ−ディスクであ
る。

【００１３】ドライバ２０によりＸ方向のモ−タ２１，
シ−ケンサ部１０を介してテ−ブルコントロ−ラ（３
軸）２２とＹ−Ｓ−Ｐドライバ２３とによりＹ方向のモ
−タ２４およびスパン軸用モ−タ２５が制御されて，Ｘ
−Ｙテ−ブル１８は，それぞれＸ方向，Ｙ方向およびス
パン軸方向に駆動制御される。従って，ＴＡＢテ−プ
は，Ｘ−Ｙテ−ブル１８上のカメラ２６，２７で撮像さ
れ，その画像はＡ／Ｄ変換器２８によりデジタル変換さ
れ，画像メモリ１２に画素単位で記憶される。検出部３
は，カメラ２６，２７とこの移動機構部分，Ｘ−Ｙテ−
ブル１８，ＣＰＵ１３，Ａ／Ｄ変換器２８，画像メモリ
１２により構成されている。

【００１４】次に，作用動作について説明する。リ−ル
に巻き取られているＴＡＢテ−プは，シ−ケンサ部１０
の制御のもとに，テ−プランナ部１６に１コマづつＸ−
Ｙテ−ブル１８上のカメラ２６，２７の所定位置に送り
出され位置決めされる。Ｘ−Ｙテ−ブル１８はＹおよび
Ｘ軸方向の駆動モ−タ２４，２１および３軸方向を制御
するテ−ブルコントロ−ラ２２とにより，それぞれ位置
決めされる。

【００１５】所定位置に位置決めされた１コマのＴＡＢ
テ−プのパタ−ンは，２台のカメラ２６，２７により撮
像され，その濃淡画像はＡ／Ｄ変換器２８によりデジタ
ル信号に変換され，画素単位で画像メモリ１２に記憶さ
れる。一方，画像メモリ１２には，検査の開始に当たっ
て，良品と判定されたＴＡＢテ−プのマスタパタ−ン情
報が作成され記憶される。このマスタパタ−ンＭとＴＡ
Ｂパタ−ン（被測定パタ−ンｍ）とが検出部３におい
て，後述するような方法で比較され，良品，不良品の判
定処理がなされる。

【００１６】このようにして，各コマ毎に良品，不良品
の判定処理がなされたＴＡＢテ−プは，順次各コマ毎に
テ−プパンチャ部１７に送り込まれ，不良品が打ち抜か
れた後，巻取り部６において，再度リ−ルに巻き取ら
れ，検査が終了する。

【００１７】次に，検出部３においてＴＡＢパタ−ンが
良品，不良品と判定処理されるためのＴＡＢパタ−ンの
検査方法について，図１，図２に基づいて説明する。検
査に先立って，良品と判定されているＴＡＢテ−プか
ら，基準となるマスタパタ−ンＭを作成して，マスタパ
タ−ン情報として画像メモリ１２に登録しておかねばな
らない。

【００１８】以下，マスタパタ−ンＭの作成方法につい
て，図１に基づいて説明する。白黒のカメラ２６，２７
で撮像され，良品と判定されたＴＡＢテ−プのパタ−ン
の濃淡画像は，図５にそのパタ−ンの一部を示し，図
６，図７にその拡大図が示されているように，一旦画像
メモリ１２に登録される（ステップ４０）。図５，図６
に示すように，濃淡画像が白→黒，黒→白と変化してい
る点の中点において，しきい値Ｓ_L と交叉するものと仮
定して，エッジ座標（エッジデ−タ）が抽出される（ス
テップ４１）。

【００１９】マスタパタ−ンＭのエッジデ−タの抽出
は，全体画像の濃淡ヒストグラムから二値化処理し，し
きい値Ｓ_L の両隣の白，黒の画素において比例配分でし
きい値Ｓ_L をよぎるＸ又はＹ座標値（以下，エッジデ−
タと記す）Ｎ₁ （４．５，２），Ｎ₂ （５，２．５），
Ｎ₃ （５．５，３）・・・・が求められる（ステップ４
１）。

【００２０】次に，図８に示すように，このようにして
求められた点の集合であるマスタパタ−ンＭの各エッジ
デ−タＮ₁ ，Ｎ₂ ，Ｎ₃ ・・・は最小二乗法により直線
Ａ₁，Ａ₂ ，Ａ₃ ・・として直線化される（ステップ４
２）。なお，この場合，各エッジデ−タＮ₁ ，Ｎ₂ ，Ｎ
₃ ・・・から直線Ａ₁ ，Ａ₂，Ａ₃ ・・・に垂線を下
し，それぞれ各エッジデ−タＮ₁ ，Ｎ₂ ，Ｎ₃ ・・・か
ら直線Ａ₁ ．Ａ₂ ・・までの距離ΔＮ₁ ，ΔＮ₂ ，ΔＮ
₃ ・・・が，０．３画素以下の場合には，直線化可能な
エッジデ−タとして直線Ａ₁ ，Ａ₂ ・・・に含められ
る。このようにして，点の集合として抽出されているマ
スタパタ−ンＭのエッジデ−タＮ₁ ，Ｎ₂ ，Ｎ₃ ・・・
を直線化して，最終的にはマスタパタ−ンＭは直線Ａ
₁ ，Ａ₂ ，Ａ₃ ・・の集合に変換される（ステップ４
２）。

【００２１】次に，マスタパタ−ンＭの幅Ｗが求められ
る。図９に示すように，互いに対向する直線Ａ₁ と直線
Ａ_n ，直線Ａ₂ と直線Ａ_n-1 ・・・から中心線Ｌ_M を求
め，この中心線デ−タは，マスタパタ−ン情報として登
録される（ステップ４３）。なお，この情報は，被測定
パタ−ンｍを検査する場合に，リ−ドの方向性を調べる
のに使用される。

【００２２】求められた中心線Ｌ_M に垂直な直線Ｈ_M を
引いた時，この直線Ｈ_M が直線Ａ₁とＡ_N ，Ａ₂ とＡ_N-1
・・・と交叉する点までの幅がマスタパタ−ンＭの幅
Ｗと等しくなる。即ち，中心線Ｌ_M は両直線Ａ₁ とＡ
_n-1 との距離を直径とする内接円の中心の軌跡となると
ともに，直径がマスタパタ−ンＭの幅Ｗとなる（ステッ
プ４４）。このようにして順次求められたマスタパタ−
ンＭの直線Ａ₁ ，Ａ₂ ，Ａ₃ ・・・，中心線Ｌ_M は，マ
スタパタ−ン情報として登録されて，基準となるマスタ
パタ−ンＭが作成される（ステップ４５）。

【００２３】次に，実際にＴＡＢテ−プの被測定パタ−
ンｍが，図２に示す手順で検査される。ＴＡＢテ−プは
リ−ルに巻き取られており，巻出し部１から，１コマず
つ送り出され，カメラ２６，２７により被測定パタ−ン
ｍが撮像される。この時，撮像された画像は，図５に示
すような濃淡画像となり，Ａ／Ｄ変換器２８でデジタル
化されて，画像メモリ１２に一旦記憶される。画像メモ
リ１２に記憶さているマスタパタ−ンＭとこの被測定パ
タ−ンｍとは，検出部３のＣＰＵ１３に読み出され，位
置合わした後，比較，照合されて，被測定パタ−ンｍが
検査される（ステップ４６）。

【００２４】ここで，被測定パタ−ンｍをマスタパタ−
ンＭと比較，照合して検査する場合の前提条件を，図１
０に基づいて説明する。 （１）マスタパタ−ンＭおよび被測定パタ−ンｍのエッ
ジデ−タｎ₁ ，ｎ₂ ，ｎ₃ ・・・は，例えば，検査範囲
を設定する一つの手法として，ウインド３０によってマ
スクされ，ウインド３０の中のパタ−ンのみが検査の対
象となる（ステップ４７）。 （２）ウインド３０によって一部分切り出された被測定
パタ−ンｍは，図１０に示すように，必ずウインド３０
の４辺のいづれかに接しており，パタ−ン３１で示され
る形状のパタ−ン部分は，エッジデ−タとしては認識し
ない。 （３）検査は，必ず出発点Ｓからウインド３０の４辺を
一定方向に回って進められ，最後に出発点Ｓに戻り，画
面の検査が完了する。

【００２５】このような前提条件のもとに，以下の手順
で被測定パタ−ンｍの検査が行われる。図１１は，検査
時の状態を示すもので，マスタパタ−ンＭのエッジデ−
タは最小二乗法により直線化されて，直線Ａ₁ ，Ａ₂ ，
Ａ₃ ・・・で示されており，抽出された被測定パタ−ン
ｍのエッジデ−タｎ₁ ，ｎ₂ ，ｎ₃ ・・・が黒丸で示さ
れている（４８）。

【００２６】そこで，まず，被測定パタ−ンｍのエッジ
デ−タｎ₁ ，ｎ₂ ，ｎ₃ ・・・が，マスタパタ−ンＭの
どの直線と対応するかの対応付けが行われなければなら
ない。この対応付けを行うために，図１１，図１２に示
すように，マスタパタ−ンＭの互いに隣接する直線Ａ₁
と直線Ａ₂ ，直線Ａ₂ と直線Ａ₃ ・・・が持つ角度ａ，
ｂ・・・をそれぞれ２等分する直線Ａ₂'，Ａ₃'・・・を
算出する。

【００２７】従って，マスタパタ−ンＭは，この直線Ａ
₂'，Ａ₃'・・・で区分され，各直線Ａ₁ ，Ａ₂ ，Ａ₃ ・
・に対応する領域（以下，領域Ａ₁ ，Ａ₂ ，Ａ₃ ・・・
と記す）に分割されることになるので，被測定パタ−ン
ｍのエッジデ−タｎ₁ ，ｎ₂，ｎ₃ ・・・は，すべて領
域Ａ₁ ，Ａ₂ ，Ａ₃ ・・・に対応付けされる（４９）。

【００２８】次に，マスタパタ−ンＭと被測定パタ−ン
ｍとの誤差量（ずれ）Δｄが測定されなければならな
い。このためには，図１３に示すように，被測定パタ−
ンｍのエッジデ−タｎ₁ ，ｎ₂ ，ｎ₃ ・・・から直線Ａ
₁ ，Ａ₂ ・・・にそれぞれ垂線ｈ₁ ，ｈ₂ ，ｈ₃ ・・・
を降ろし，この垂線ｈ₁ ，ｈ₂ ，ｈ₃ ・・・が，それぞ
れ直線Ａ₁ ，Ａ₂ ・・・と交叉する距離Δｄ（Δｄ₁ ，
Δｄ₂ ・・・）を求めると，この距離Δｄが誤差量，即
ち，マスタパタ−ンＭと被測定パタ−ンｍとのずれ量と
なる（５０）。

【００２９】次に，実際に各種の検査をする場合につい
て説明する（５１）。 （１）．断線の検査 図１１に示すように，マスタパタ−ンＭのエッジデ−タ
は，直線Ａ₁ ，Ａ₂ ・・・に変換されているとともに，
領域Ａ₁ ，Ａ₂ ・・・に区分されている。一方，被測定
パタ−ンｍの境界座標を示すエッジデ−タｎ₁ ，ｎ₂ ，
ｎ₃ ・・・には，ラベリングが付されており，連続的な
エッジデ−タｎ₁ ，ｎ₂ ，ｎ₃ ・・・の集合として抽出
される。

【００３０】この抽出された被測定パタ−ンｍの各エッ
ジデ−タｎ₁ ，ｎ₂ ，ｎ₃ ・・・（黒丸で示されてい
る）は，マスタパタ−ンＭのどの直線にそれぞれ対応す
るかを領域Ａ₁ ，Ａ₂ ・・・に分けて対応付けされ分類
される。

【００３１】そこで，断線であるか否かの判定は，図１
４に示すように，被測定パタ−ンｍのエッジデ−タｎ
₁ ，ｎ₂ ・・・ｎ₉ をマスタパタ−ン情報としてマスタ
パタ−ンＭの作成時に登録されている各領域Ａ₁ ，Ａ₂
・・・Ａ₇ に対応付けする。この場合，マスタパタ−ン
Ｍの領域Ａ₁ ，Ａ₂ ・・・Ａ₇ に，それぞれ対応付けさ
れる被測定パタ−ンｍのエッジデ−タｎ₁ ，ｎ₂ ，ｎ₃
・・・は，以下のようである。

【００３２】 領域Ａ₁ ・・・エッジデ−タ ｎ₁ ，ｎ₂ ，ｎ₃ 領域Ａ₂ ・・・エッジデ−タ ｎ₄ ，ｎ₅ 領域Ａ₃ ・・・エッジデ−タ ０ 領域Ａ₄ ・・・エッジデ−タ ０ 領域Ａ₅ ・・・エッジデ−タ ０ 領域Ａ₆ ・・・エッジデ−タ ｎ₆ ，ｎ₇ 領域Ａ₇ ・・・エッジデ−タ ｎ₈ ，ｎ₉

【００３３】この結果から明らかであるように，マスタ
パタ−ンＭの領域Ａ₃ ，Ａ₄ ，Ａ₅に対応する被測定パ
タ−ンｍのエッジデ−タが存在しないため，このような
場合は断線と判定される。

【００３４】（２）．短絡（ショ−ト）の検査 図１５は，短絡の検査時の状態を示すもので，図示のよ
うに，マスタパタ−ンＭのリ−ドと被測定パタ−ンｍの
リ−ドとが，それぞれウインド３０と接しているリ−ド
位置，およびリ−ド位置’，’とすると，被測
定パタ−ンｍのエッジデ−タが他の箇所でマスタパタ−
ンＭの他のリ−ドと接していた場合には，短絡と判定さ
れなければならない。

【００３５】従って，このように，短絡と判定するため
に，まず，被測定パタ−ンｍのリ−ド毎にエッジデ−タ
が抽出され，図１６に示すように，各エッジデ−タは，
ａ，ｂ，ｃ，ｄ・・・ｓ，ｔ，ｕとラベリングされる。

【００３６】被測定パタ−ンｍに短絡がある場合には，
ラベリングされたリ−ドパタ−ン’のエッジデ−タ
は，ａ，ｂ，ｃ，ｊ，ｋ，ｌ，ｍ，ｎ，ｏ，ｐ，ｑ，
ｒ，ｓ，ｔ，ｕ，ｄ，ｅ，ｆ，ｇ，ｈ，ｉ，ａとなり，
リ−ドパタ−ン’のエッジデ−タｊ，ｋ，ｌ，ｍ，
ｎ，ｏ，ｐ，ｑ，ｒ，ｓ，ｔ，ｕが抽出される。しか
し，このようなエッジデ−タｊ，ｋ，ｌ，ｍ，ｎ，ｏ，
ｐ，ｑ，ｒ，ｓ，ｔ，ｕは，マスタパタ−ンＭのリ−ド
パタ−ンのエッジデ−タとしては，登録されていない
ので，この場合には，被測定パタ−ンｍのリ−ドパタ−
ン’とリ−ドパタ−ン’とは短絡していると判定さ
れる。

【００３７】（３）．パタ−ンの幅の検査 図１７は，細りの検査時の状態を示すもので，図１３に
示すように，被測定パタ−ンｍのエッジデ−タｎ₁ ，ｎ
₂ ，ｎ₃ ・・・から，マスタパタ−ンＭの直線Ａ₁ ，Ａ
₂ ・・・に垂線を下し，この垂線までの長さΔｄ（誤差
量）（Δｄ₁ ，Δｄ₂ ・・・）を求め，この誤差量Δｄ
が小さい場合には，そのまま良品として判定される。

【００３８】誤差量Δｄが大きいエッジデ−タに対して
は，マスタパタ−ンＭの中心線Ｌ_Mに対して垂線を下ろ
して，その距離を求め，互いに対向する被測定パタ−ン
ｍのエッジデ−タの幅ｗ（ｗ₁ ，ｗ₂ ・・）を求める。
この実施例の場合には，マスタパタ−ンＭの幅Ｗとした
時，被測定パタ−ンの幅ｗが （２／３）Ｗ＜ｗ＜（４／３）Ｗ の範囲内に入っているか否かを見て，この範囲内に入っ
ている場合には，良品と判定され，範囲外の場合には細
りあるいは太りとして不良品と判定される。但し，一般
には，判定係数をＡおよびＢ（但し，Ａ〈Ｂ）とした
時，この幅ｗと前記マスタパタ−ンの幅Ｗとが， ＡＷ＜ｗ＜ＢＷ となる時，良品と判定し，幅ｗがこの範囲外にある時を
パタ−ンの幅不適として不良品と判定される。

【００３９】（４）．位置ずれ（曲がり）の検査 図１８は，位置ずれの検査時の状態を示すもので，マス
タパタ−ンＭの直線Ａ₁ ，Ａ₂ ・・・からそれぞれ対応
付けられている被測定パタ−ンｍのエッジデ−タが大き
くずれたデ−タに対してのみ，被測定パタ−ンｍのエッ
ジデ−タから，マスタパタ−ンＭの直線Ａ₁ ，Ａ₂ ・・
・に垂線を下し，この垂線までの長さ（誤差量）Δｄ
₁ ，Δｄ₂ ，Δｄ₃ ，・・・Δｄ_n を求める。

【００４０】マスタパタ−ンＭのリ−ド幅Ｗとした時，
この誤差量Δｄ_n がΔｄ_n ＞（１／２）Ｗの時のみ，位
置ずれと判定されて不良品と判定され，その他の場合に
は，即ち，誤差量Δｄ_n がリ−ド幅Ｗ／２より小さい場
合には，良品と判定され，誤差量Δｄ_n は測定されな
い。

【００４１】なお，被測定パタ−ンｍが同一形状のリ−
ドパタ−ンの繰り返しとして形成されている場合には，
マスタパタ−ンＭと被測定パタ−ンｍとが１本分リ−ド
パタ−ンがずれた状態で位置合わせされる場合がある
が，この場合には，位置ずれとの判定結果はでないが，
検査の最終段階では被測定パタ−ンｍの最終リ−ドパタ
−ンに対応するマスタパタ−ンＭのエッジデ−タが存在
しないことになり，不良品と判定されることになるか
ら，最終的にはチェックすることが出来る。

【００４２】

【発明の効果】この発明は，被測定パタ−ンの良品をマ
スタパタ−ンの濃淡画像として画像メモリに記憶し，こ
の画像メモリに記憶されたマスタパタ−ンの濃淡ヒスト
グラムから二値化処理してマスタパタ−ンのエッジデ−
タを求め，このエッジデ−タから最小二乗法によりマス
タパタ−ンを直線の集合に変換し，これらの直線から互
いに対向する直線間の中心線Ｌ_M を求めてマスタパタ−
ン情報として登録し，この中心線に直角に交わる線の長
さから互いに対向する直線の幅Ｗを求めてマスタパタ−
ン情報として登録することにより，被測定パタ−ンと比
較するための基準となるマスタパタ−ンを作成するよう
にしたので，被測定パタ−ンがいかなる形状のものでも
適用できる。

【００４３】又，この発明は，被測定パタ−ンを画像メ
モリに記憶し，マスタパタ−ンと被測定パタ−ンとを位
置合わせするとともに，検査範囲を設定し，この検査範
囲の周辺に，被測定パタ−ンのエッジデ−タが存在し，
検査範囲の周辺を一定方向に検査して被測定パタ−ンの
エッジデ−タを抽出し，マスタパタ−ンの互いに隣接す
る直線が持つ角度を２等分する直線を算出し，この直線
によりマスタパタ−ンを各直線にそれぞれ対応する領域
に分割し，この各領域内に存在する被測定パタ−ンのエ
ッジデ−タをマスタパタ−ンの直線にそれぞれ対応付け
し，それぞれ対応付けされた被測定パタ−ンのエッジデ
−タとマスタパタ−ンのエッジデ−タとの誤差を検出す
るようにしたので，従来，人間により目視で行われてい
た被測定パタ−ンの検査を自動的に行うことが出来る。
従って，人件費の大幅な節約になる。その上，検査する
人の個人差による不正確さを無くすことが出来るので，
正確な検査結果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例を示すもので，マスタパタ−
ンの処理フロ−である。

【図２】この発明の実施例を示すもので，マスタパタ−
ンと被測定パタ−ンとの対応付けを処理する処理フロ−
である。

【図３】この発明の実施例を示すパタ−ン検査装置の基
本動作図である。

【図４】この発明の実施例を示すシステム構成図であ
る。

【図５】この発明の実施例を示すもので，被測定パタ−
ンの一部である。

【図６】この発明の実施例を示すもので，マスタパタ−
ンのエッジデ−タを求めるための説明図で，図５の拡大
図である。

【図７】この発明の実施例を示すもので，図６の拡大図
である。

【図８】この発明の実施例を示すもので，マスタパタ−
ンを直線化するための説明図である。

【図９】この発明の実施例を示すもので，マスタパタ−
ンの幅Ｗを求めるための説明図である。

【図１０】この発明の実施例を示すもので，ウインドに
表示された被測定パタ−ンである。

【図１１】この発明の実施例を示すもので，マスタパタ
−ンの直線と被測定パタ−ンのエッジデ−タとの関係を
示す図である。

【図１２】この発明の実施例を示すもので，マスタパタ
−ンの領域を区分するための説明図である。

【図１３】この発明の実施例を示すもので，ずれ（誤差
量）を求めるための説明図である。

【図１４】この発明の実施例を示すもので，断線の検査
の説明図である。

【図１５】この発明の実施例を示すもので，短絡の検査
の説明図である。

【図１６】この発明の実施例を示すもので，短絡の検査
の説明図である。

【図１７】この発明の実施例を示すもので，パタ−ン幅
の検査の説明図である。

【図１８】この発明の実施例を示すもので，位置ずれ
（曲がり）の検査の説明図である。

【符号の説明】

Ｍ マスタパタ−ン Ａ₁ ，Ａ₂ ・・・マスタパタ−ンＭの直線 Ｎ₁ ，Ｎ₂ ・・・マスタパタ−ンのエッジデ−タ Ｈ_M マスタパタ−ンの直線 Ｌ_M マスタパタ−ンの中心線 Ｗ マスタパタ−ンの幅 Δｄ 誤差量（ずれ） ｍ 被測定パタ−ン ｎ₁ ，ｎ₂ ・・・被測定パタ−ンのエッジデ−タ １２ 画像メモリ ３０ ウインド

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測定パタ−ンの良品をマスタパタ−ン
   の濃淡画像として画像メモリに記憶し，この画像メモリ
   に記憶された前記マスタパタ−ンの濃淡ヒストグラムか
   らこれを二値化処理して前記マスタパタ−ンのエッジデ
   −タを求め，このエッジデ−タから最小二乗法により前
   記マスタパタ−ンを直線の集合に変換し，これらの直線
   から互いに対向して位置する両直線の中心線Ｌ_M を求め
   て前記マスタパタ−ン情報として登録し，この中心線Ｌ
   _M に直角に交わる線と前記両直線とが交わる点までの長
   さから前記互いに対向する直線の幅Ｗを求めて前記マス
   タパタ−ン情報として登録することにより，被測定パタ
   −ンと比較するための基準となる前記マスタパタ−ンを
   作成することを特徴とするパタ−ンの検査方法。
2. 【請求項２】 被測定パタ−ンを画像メモリに記憶し，
   前記マスタパタ−ンと前記被測定パタ−ンとを位置合わ
   せするとともに，検査範囲を設定し，この検査範囲の周
   辺に，前記被測定パタ−ンのエッジデ−タが存在し，前
   記検査範囲の周辺を一定方向に検査して前記被測定パタ
   −ンのエッジデ−タを抽出し，前記マスタパタ−ンの互
   いに隣接する直線が持つ角度を２等分する直線を算出
   し，この直線により前記マスタパタ−ンを前記各直線に
   それぞれ対応する領域に分割し，この各領域内に存在す
   る被測定パタ−ンのエッジデ−タを前記マスタパタ−ン
   の直線にそれぞれ対応付けし，それぞれ対応付けされた
   前記被測定パタ−ンのエッジデ−タと前記マスタパタ−
   ンのエッジデ−タとの誤差を検出して良品，不良品の判
   定をすることを特徴とする請求項１に記載のパタ−ンの
   検査方法。
3. 【請求項３】 前記被測定パタ−ンのエッジデ−タから
   前記対応付けされた前記マスタパタ−ンの直線へ垂線を
   降ろし，この垂線までの長さΔｄを誤差量とすることを
   特徴とする請求項２に記載のパタ−ンの検査方法。
4. 【請求項４】 前記マスタパタ−ンの直線に対応付けさ
   れるべき前記被測定パタ−ンのエッジデ−タが存在しな
   い時，前記被測定パタ−ンの断線として不良品と判定す
   ることを特徴とする請求項２および請求項３にそれぞれ
   記載のパタ−ンの検査方法。
5. 【請求項５】 ラベリングされた被測定パタ−ンのエッ
   ジデ−タが不連続となった時．この被測定パタ−ンは短
   絡として不良品と判定することを特徴とする請求項に記
   載のパタ−ンの検査方法。
6. 【請求項６】 前記誤差量Δｄが大の時，前記マスタパ
   タ−ンの中心線Ｌ_Mに前記被測定パタ−ンの互いに対向
   するエッジデ−タから垂線を降ろし，この互いに対向す
   るエッジデ−タから前記中心線Ｌ_M までの距離を求める
   ことにより，前記エッジデ−タの幅ｗを求め，判定係数
   をＡおよびＢ（但し，Ａ〈Ｂ）とした時，この幅ｗと前
   記マスタパタ−ンの幅Ｗとが， ＡＷ＜ｗ＜ＢＷ となる時，良品と判定し，前記幅ｗが前記範囲外にある
   時，前記パタ−ンの幅不適として不良品と判定すること
   を特徴とする請求項２および請求項３にそれぞれ記載の
   パタ−ンの検査方法。
7. 【請求項７】 前記誤差量Δｄが，前記マスタパタ−ン
   の幅Ｗの１／Ｎ以上（但し，Ｎ＝１，２，３・・・）の
   ずれ量の時，曲がりあるいは位置ずれとして不良品と判
   定することを特徴とする請求項２および請求項３にそれ
   ぞれ記載のパタ−ンの検査方法。