JPH0627650Y2 - 基板の搬出入処理装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案は半導体ウエハ等の基板を真空チャンバへ搬入
し、該真空チャンバで処理された基板を該真空チャンバ
から搬出するに好適な搬出入処理装置に関する。

〈従来の技術〉 従来真空チャンバ内に基板を搬入し、且つ真空チャンバ
内で処理された基板を搬出する為の装置としては、第７
図に示すものが用いられている。この処理装置は真空チ
ャンバ６と基板取付，取出兼用ロボット７と、他の基板
取付，取出兼用ロボット８から成る。

すなわち真空チャンバ６は、一対の扉61,62が開閉自在
に設けられ、その何れ側からも基板取付台車60が搬出入
可能な構造となっている。

一方基板取付，取出兼用ロボット７と真空チャンバ６内
及び他の基板取付，取出兼用ロボット８には、基板取付
台車60を走行させる為のレール63,64,65が夫々敷設され
ている。

よって基板取付台車60は、レール63,64,65を往復移動す
る。斯かる処理装置は第10図に示す処理フローによって
処理作業が行われる。すなわち前もって基板取付，取出
兼用ロボット７により基板が取付けられた基板取付台車
60aは、開状態の扉61からレール63,64を介し真空チャン
バ６内に搬入される。そして扉61が閉じられて真空チャ
ンバ６内が真空引きされるとともに、基板取付台車60a
上の各基板に対して蒸着やリーク等の処理が行われる。
そして当該処理が終了すると第８図に示す如く、扉62が
開き基板取付台車60aはレール64から同65へ走行する。

一方取付基板台車60bは先行する基板取付台車60aが真空
チャンバ６内に搬入されると、レール63上において基板
取付，取出兼用ロボット７により所定の基板が取付けら
れる。そして上述の如く、先行する基板取付台車60aが
真空チャンバ６から搬出されると同時に、扉61が開いて
レール63,64を介して当該基板取付台車60bが真空チャン
バ６内に搬入される。そして扉61及び62が閉じて、当該
基板取付台車60b上の各ウエハに対して上述の各処理が
施される。又斯かる間に上記の如く搬出された基板取付
台車60a上の処理済基板は、第９図に示す如く基板取
付，取出兼用ロボット８により取出される。そして処理
済基板が取出された基板取付台車60aに未処理の基板が
取付けられる。次いで基板取付台車60b上の各基板の処
理が終了すると、扉61が開となってレール64から基板取
付台車60bがレール63上を走行し、基板取付，取出兼用
ロボット７により処理済基板が取出される。又当該基板
取付台車60bが真空チャンバ６から搬出されると、未処
理の基板を取付けた基板取付台車60aが再び真空チャン
バ６内に搬入される。以上の様に真空チャンバ６の両側
に夫々基板取付、取出兼用ロボット７，８を設け、又二
つの基板取付台車60a,60bを用いることにより、未処理
の基板取付と処理済の基板取出を行う。

すなわち当該処理装置では、基板の取付−真空チャンバ
内処理−基板の取出を１工程とし、この２工程を１サイ
クルとする真空処理を行っている。

〈考案が解決しようとする課題〉 上記の処理装置においては、真空チャンバの両側に基板
を取付，取出兼用のロボットを夫々設けて、基板取付け
−真空処理−基板取出を１工程とする為、基板の取出と
取付作業を同時に行うことができず、処理工程を短縮す
ることが不可能であった。

〈課題を解決するための手段〉 本考案は上記の課題を解決する為に成されたもので、真
空取付台車を出入自在に形成した真空チャンバと、搬出
入軌道を介して該真空チャンバへ基板取付台車を搬入
し、同軌道を介して搬出した基板取付台車を載置する回
転テーブルと、この回転テーブル上の基板取付台車に対
して基板を取付ける為の専用ロボットと、真空チャンバ
から搬出した基板取付台車から基板を取出す取出専用の
ロボットとを回転テーブルの周囲で、しかも真空チャン
バに対して夫々略120゜を成す位置に配置したものであ
り、更に回転テーブル上にテーブル回転軸を中心にして
三つの搬出入軌道の均等間隔に配置したものである。

〈作用〉 真空チャンバと基板取出専用ロボットと、基板取付専用
ロボットとは夫々略120゜を成す位置に配置されている。

一方回転テーブルは、テーブル回転軸を中心に均等間隔
に配置された三つの搬出入軌道を設けたものから成る。

よって当該搬出入軌道は回転テーブルのテーブル回転軸
を中心に夫々略120゜の配置間隔となり、当該回転テーブ
ルがテーブル回転軸を中心に回転して１つの軌道が真空
チャンバに対向すれば、他の軌道も基板取出専用ロボッ
ト及び基板取出専用ロボットに夫々対向した状態とな
る。しかも三基の基板取付台車を用いることで真空チャ
ンバ内での処理と、基板取付専用ロボットによる取付作
業と、基板取出専用ロボットによる基板取出作業とが略
同時に行うことができる。

〈実施例〉 次に本考案の基板の搬出入処理装置を詳細に説明する。

第１図は当該処理装置の構成概略図である。すなわち当
該装置は真空チャンバ１と回転テーブル２と三基の基板
取付台車3A,3B,3Cと基板取付専用ロボット４と、基板取
出専用ロボット５から成る。

上記真空チャンバ１は扉11が開閉可能に形成され、又こ
の真空チャンバ１内には軌道12が敷設されている。一方
当該真空チャンバ１と略120゜を成す位置には基板取付専
用ロボット４が配置される。この基板取付専用ロボット
４は、例えば三節構造のアーム4aと、その先端に設けら
れたハンド部4bから成り、図示しない制御機構によって
アーム4aが回動し、又ハンド部4bが基板をハンドして基
板取付台車に取付ける。同様に真空チャンバ１と略120゜
を成す位置に基板取出専用ロボット５が配置されてい
る。この基板取出専用ロボット５も、例えば三節構造の
アーム5aと、その先端に設けたハンド部5bから成り、図
示しない制御機構によってアーム4aが回動し、ハンド部
5bにて処理済の基板を取出す。しかもこれ等基板取付専
用ロボット４と基板取出専用ロボット５は、夫々回転テ
ーブル２の周囲に配置されている。

一方回転テーブル２は、テーブル回転軸Ｏを中心に所定
方向に回転するもので、このテーブル回転軸Ｏを中心に
して均等間隔に三つの搬出入軌道21,22,23が設けられて
いる。すなわち各軌道21と22及び22と23,23と21は夫々
略120゜を成す状態に設けられている。よって搬出入軌道
21が真空チャンバ１内の軌道12と連続する状態に配置す
れば、他の搬出入軌道22は基板取出専用ロボット５に、
又搬出入軌道23は基板取付専用ロボット４に夫々対向し
た状態となる。更にこれ等各搬出入軌道21,22,23には、
基板取付台車3A,3B,3Cが夫々を走行自在に載置されてい
る。

斯かる構成の処理装置を用いた真空処理を次に説明す
る。

この真空処理装置における処理フローを第６図に示す。

第１図に示す如く軌道21から真空チャンバ１内に基板取
付台車3Aが搬入されると、扉11が閉じてチャンバ内の真
空引き処理が行われる。次いで基板取付台車3A上の未処
理基板に対し蒸着やリークが施される。これ等真空処理
が終了すると、扉11が開き基板取付台車3Aはその軌道12
から回転テーブル２上の搬出入軌道21へ走行する（第２
図参照）。斯かる際に軌道23上の基板取付台車3Bにおい
て基板取付専用ロボット４によって未処理基板が取付け
られる。

一方基板取付台車3Aよりも先行して真空チャンバ内に搬
入された基板取付台車3Cは、基板取出専用ロボット５に
よって処理済基板が取出される。

次いで第３図に示す様に、回転テーブル２がテーブル回
転軸Ｏを中心に略120゜回転する。すると基板取付台車3B
が真空チャンバ１に対向した状態となり、この基板取付
台車3Bが真空チャンバ１内に搬入されて上述と同様に真
空処理が行われる。この真空処理が行われている間に、
前記の基板取付台車3Aは基板取出専用ロボット５に対向
した状態となり、該ロボット５によって処理済の基板が
取出される。

一方他の基板取出台車3Cは基板取出専用ロボット４に対
向しており、この基板取付台車3Cに対して基板取付専用
ロボット４が未処理基板を取付ける。そして真空チャン
バ１内における基板取付台車3Bに対しての真空処理が終
了すると、扉11が開いて基板取付台車3Bは軌道12から軌
道23へ走行し、回転テーブル２上に載置される。同様に
して他の基板取付台車3Cも真空処理が行われ、この真空
処理の間に基板取付台車3Bからは処理済の基板が基板取
出専用ロボット５により取出される。又基板取付台車3A
は、基板取付専用ロボット４によって未処理基板が取付
けられる。以上の様な各工程が順次繰返されて未処理基
板の取付及び真空処理済基板の取出が行われる。

尚、本考案の装置は単に真空蒸着装置に限らず、スパッ
タリング装置や真空加熱装置にも応用できることは言う
までもない。

〈考案の効果〉 上述の如く本考案の搬出入処理装置では、一の基板取付
台車が真空チャンバ内に搬入している間に、他の基板取
付台車は基板取出専用ロボット及び基板取付専用ロボッ
トによって夫々処理済基板の取出と未処理基板の取出が
行われる。すなわち未処理基板の取付と処理済基板の取
出が真空処理の工程時間内で行うことができる為、未処
理基板の取付−真空処理−処理済基板の取出のサイクル
に要する時間が大幅に減縮される。その為所謂サイクル
タイムの減縮化が可能となって、真空処理作業工程の合
理化を著しく推進させ得る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の搬出入処理装置を示す構成概略図、 第２図乃至第５図は、その処理工程を説明する図、 第６図は、本装置による処理のフロー、 第７図は、従来の基板の処理装置を示す図、 第８図及び第９図は、従来の処理工程を説明する図、 第10図は、従来の処理フローである。 尚、図中１は真空チャンバ，11は扉，12は軌道，２は回
転テーブル，21,22,23は搬出入軌道，４は基板取付専用
ロボット，５は基板取出専用ロボット，Ｏはテーブル回
転軸である。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】基板取付台車を出入自在に形成した真空チ
   ャンバと、 搬出入軌道を介して該真空チャンバへ基板取付台車を搬
   入し、同軌道を介して搬出した基板取付台車を載置する
   回転テーブルと、 該回転テーブル上の基板取付台車に対して基板を取付け
   る取付専用ロボットと、真空チャンバから搬出した基板
   取付台車から基板を取出す取出専用ロボットとを前記回
   転テーブルの周囲で且つ該真空チャンバに対して夫々略
   120゜の位置に配置したものから成り、 前記回転テーブル上にはテーブル回転軸を中心にして均
   等間隔に配置された三つの搬出入軌道を設けたことを特
   徴とする基板の搬出入処理装置。