JPH06280876A - 静圧気体軸受装置 - Google Patents
静圧気体軸受装置Info
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- JPH06280876A JPH06280876A JP7161293A JP7161293A JPH06280876A JP H06280876 A JPH06280876 A JP H06280876A JP 7161293 A JP7161293 A JP 7161293A JP 7161293 A JP7161293 A JP 7161293A JP H06280876 A JPH06280876 A JP H06280876A
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 23
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims abstract description 20
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 この発明の目的は、組付性および加工性を向
上できる静圧気体軸受装置を提供することにある。 【構成】 この静圧気体軸受装置は、外周の一部にター
ビン翼7を設けた回転軸1と軸受体2を備える。軸受体
2はタービン翼用ノズル部材17と、その軸方向の両側
に位置し、回転軸6が挿入される軸受孔18eを有する
軸受用ノズル部材18とを含む。軸受用ノズル部材18
の内端面を段部18aの段差面18bとし、この段差面
18bと軸受体2の軸方向の外端面18cに開口する軸
方向の排気孔20を形成した。軸受体2の外周面に連通
する孔を少なくできる。排気孔20を平面に形成でき
る。
上できる静圧気体軸受装置を提供することにある。 【構成】 この静圧気体軸受装置は、外周の一部にター
ビン翼7を設けた回転軸1と軸受体2を備える。軸受体
2はタービン翼用ノズル部材17と、その軸方向の両側
に位置し、回転軸6が挿入される軸受孔18eを有する
軸受用ノズル部材18とを含む。軸受用ノズル部材18
の内端面を段部18aの段差面18bとし、この段差面
18bと軸受体2の軸方向の外端面18cに開口する軸
方向の排気孔20を形成した。軸受体2の外周面に連通
する孔を少なくできる。排気孔20を平面に形成でき
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、組付性に優れ、製作
が容易な静圧気体軸受装置に関する。
が容易な静圧気体軸受装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の静圧気体軸受装置として
は、図3に示すものがある。この軸受装置は、外周にタ
ービン翼31を設けた回転軸32と、上記回転軸32が
挿入される軸受体33とを有している。上記軸受体33
は、上記タービン翼31に対向するタービン翼用ノズル
35と、上記回転軸32にわずかな隙間を隔てて対向し
ている軸受用ノズル36とを有している。また、上記軸
受体33には、上記タービン翼用ノズル35の軸方向両
側に位置し、かつ、上記軸受用ノズル36に隣接し、径
方向に延びて外部に連通する排気孔37が形成されてい
る。
は、図3に示すものがある。この軸受装置は、外周にタ
ービン翼31を設けた回転軸32と、上記回転軸32が
挿入される軸受体33とを有している。上記軸受体33
は、上記タービン翼31に対向するタービン翼用ノズル
35と、上記回転軸32にわずかな隙間を隔てて対向し
ている軸受用ノズル36とを有している。また、上記軸
受体33には、上記タービン翼用ノズル35の軸方向両
側に位置し、かつ、上記軸受用ノズル36に隣接し、径
方向に延びて外部に連通する排気孔37が形成されてい
る。
【0003】上記静圧気体軸受装置は、タービン翼用ノ
ズル35のノズル孔35aからタービン翼31に気体を
吹き付けて、回転軸32を回転させる。また、軸受用ノ
ズル36のノズル孔36aから回転軸32の軸部に気体
を吹き付けて、回転軸32を径方向に支持する。そし
て、上記タービン翼用ノズル35および上記軸受用ノズ
ル36が吹き出す気体は、上記排気孔37から外部に排
気される。
ズル35のノズル孔35aからタービン翼31に気体を
吹き付けて、回転軸32を回転させる。また、軸受用ノ
ズル36のノズル孔36aから回転軸32の軸部に気体
を吹き付けて、回転軸32を径方向に支持する。そし
て、上記タービン翼用ノズル35および上記軸受用ノズ
ル36が吹き出す気体は、上記排気孔37から外部に排
気される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記静圧気
体軸受装置は、一般に、軸受体33の外周面が取り付け
部になる。ところが、上記従来の静圧気体軸受装置は、
ノズル孔35a,36aだけでなく、排気孔37も径方
向に延びて軸受体33の外周面に開口しているので、軸
受体33の外周面には、塞いではならない孔が多く存在
し、組付性が悪いという問題がある。
体軸受装置は、一般に、軸受体33の外周面が取り付け
部になる。ところが、上記従来の静圧気体軸受装置は、
ノズル孔35a,36aだけでなく、排気孔37も径方
向に延びて軸受体33の外周面に開口しているので、軸
受体33の外周面には、塞いではならない孔が多く存在
し、組付性が悪いという問題がある。
【0005】また、上記静圧気体軸受装置は、一般に、
穴明け加工が難しい円筒面である軸受体33の外周面
に、多くの貫通孔を形成する必要があるので、加工性が
悪いという問題もある。
穴明け加工が難しい円筒面である軸受体33の外周面
に、多くの貫通孔を形成する必要があるので、加工性が
悪いという問題もある。
【0006】そこで、この発明の目的は、組付性に優
れ、製作が容易な静圧気体軸受装置を提供することにあ
る。
れ、製作が容易な静圧気体軸受装置を提供することにあ
る。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1に記載の発明の静圧気体軸受装置は、固定
部材の貫通穴に挿通された回転軸と、上記固定部材の内
周面に軸方向に離隔配置され、上記回転軸との間に微小
間隙を形成する軸受孔を有する複数の略円筒状軸受部材
とを備え、上記各軸受部材にそれぞれ上記軸受孔の内周
面に開口し上記回転軸に向けて気体を噴出する軸受用ノ
ズルを円周上複数個設けるとともに、各軸受部材間の空
間と外部空間との間に各空間を連通する排気手段を軸受
部材側に設けてなることを特徴としている。また、請求
項2に記載の発明は、請求項1に記載の静圧気体軸受装
置において、上記排気手段を軸受部材に形成した軸方向
貫通孔により構成したことを特徴としている。また、請
求項3に記載の発明は、請求項2に記載の静圧気体軸受
装置において、上記軸方向貫通孔を上記軸受用ノズル間
に形成した事を特徴としている。
め、請求項1に記載の発明の静圧気体軸受装置は、固定
部材の貫通穴に挿通された回転軸と、上記固定部材の内
周面に軸方向に離隔配置され、上記回転軸との間に微小
間隙を形成する軸受孔を有する複数の略円筒状軸受部材
とを備え、上記各軸受部材にそれぞれ上記軸受孔の内周
面に開口し上記回転軸に向けて気体を噴出する軸受用ノ
ズルを円周上複数個設けるとともに、各軸受部材間の空
間と外部空間との間に各空間を連通する排気手段を軸受
部材側に設けてなることを特徴としている。また、請求
項2に記載の発明は、請求項1に記載の静圧気体軸受装
置において、上記排気手段を軸受部材に形成した軸方向
貫通孔により構成したことを特徴としている。また、請
求項3に記載の発明は、請求項2に記載の静圧気体軸受
装置において、上記軸方向貫通孔を上記軸受用ノズル間
に形成した事を特徴としている。
【0008】
【作用】上記構成の静圧気体軸受装置は、上記軸受用ノ
ズルから回転軸の外周面に気体を噴出して、上記回転軸
を径方向に支持する。そして、複数の軸受部材の軸受用
ノズルから噴出した気体は、排気手段として上記軸受部
材の軸方向に設けられた軸受孔から外部へ排気される。
ズルから回転軸の外周面に気体を噴出して、上記回転軸
を径方向に支持する。そして、複数の軸受部材の軸受用
ノズルから噴出した気体は、排気手段として上記軸受部
材の軸方向に設けられた軸受孔から外部へ排気される。
【0009】このように、上記静圧気体軸受装置は、排
気手段として上記軸受部材に、軸方向に貫通する貫通孔
を形成したので、貫通孔が径方向に貫通する従来例に比
べて、軸部材の外周面に開口する孔が少なくなる。した
がって、軸受部材の外周面の塞いではならない孔を、従
来例に比べて少なくでき、組付性の制約を少なくするこ
とができる。
気手段として上記軸受部材に、軸方向に貫通する貫通孔
を形成したので、貫通孔が径方向に貫通する従来例に比
べて、軸部材の外周面に開口する孔が少なくなる。した
がって、軸受部材の外周面の塞いではならない孔を、従
来例に比べて少なくでき、組付性の制約を少なくするこ
とができる。
【0010】また、貫通孔が軸方向に延びて軸受部材を
貫通するので、一般に平面である軸受部材の軸方向の外
端面に穴明け加工することによって、上記貫通孔を形成
することができ、貫通孔を曲面である外周面に形成しな
ければならない従来例に比べて加工性が向上する。
貫通するので、一般に平面である軸受部材の軸方向の外
端面に穴明け加工することによって、上記貫通孔を形成
することができ、貫通孔を曲面である外周面に形成しな
ければならない従来例に比べて加工性が向上する。
【0011】
【実施例】以下、この発明を図示の実施例により詳細に
説明する。
説明する。
【0012】図1に、この発明の静圧気体軸受装置の実
施例を示す。図1に示すように、この実施例は、回転軸
1と軸受体2を有している。上記回転軸1は、鍔部3,
3に挟まれたタービン部5と、このタービン部5から軸
方向両側に延びる軸部6を含んでいる。上記タービン部
5の外周には、複数のタービン翼7,7…が設けられて
いる。
施例を示す。図1に示すように、この実施例は、回転軸
1と軸受体2を有している。上記回転軸1は、鍔部3,
3に挟まれたタービン部5と、このタービン部5から軸
方向両側に延びる軸部6を含んでいる。上記タービン部
5の外周には、複数のタービン翼7,7…が設けられて
いる。
【0013】上記軸受体2は、ハウジング10と、その
ハウジング10内に挿入されたタービン翼用ノズル部材
17と、そのタービン翼用ノズル部材17の両側に位置
するようにハウジング10に嵌合された軸受部材として
の軸受用ノズル部材18とからなる。タービン翼用ノズ
ル部材17は軸受体2と別体でもよい。このハウジング
10には、径方向に貫通する給気孔10a,10aおよ
び10bが形成されている。また、上記タービン翼用ノ
ズル部材17は、ハウジング10の給気孔10bに連通
するタービン翼用ノズル11を含んでいる。上記タービ
ン翼用ノズル部材17と、上記ハウジング10の内周面
8との間にOリング13,13を介設して、給気孔10
bからノズル11への空気が外に漏れないようにしてい
る。また、このタービン翼用ノズル11は、気体吹出口
11aを有する。
ハウジング10内に挿入されたタービン翼用ノズル部材
17と、そのタービン翼用ノズル部材17の両側に位置
するようにハウジング10に嵌合された軸受部材として
の軸受用ノズル部材18とからなる。タービン翼用ノズ
ル部材17は軸受体2と別体でもよい。このハウジング
10には、径方向に貫通する給気孔10a,10aおよ
び10bが形成されている。また、上記タービン翼用ノ
ズル部材17は、ハウジング10の給気孔10bに連通
するタービン翼用ノズル11を含んでいる。上記タービ
ン翼用ノズル部材17と、上記ハウジング10の内周面
8との間にOリング13,13を介設して、給気孔10
bからノズル11への空気が外に漏れないようにしてい
る。また、このタービン翼用ノズル11は、気体吹出口
11aを有する。
【0014】また、上記軸受用ノズル部材18,18
は、上記タービン翼用ノズル部材17の軸方向両側に隣
接すると共に、上記回転軸1の軸部6に僅かの隙間tを
隔てて対向している。
は、上記タービン翼用ノズル部材17の軸方向両側に隣
接すると共に、上記回転軸1の軸部6に僅かの隙間tを
隔てて対向している。
【0015】上記軸受用ノズル部材18は略円筒形をし
ており、中心の孔が軸受孔18eとなっている。
ており、中心の孔が軸受孔18eとなっている。
【0016】さらに、上記軸受用ノズル部材18は、ハ
ウジング10の給気孔10aに連通する軸受用ノズル1
2を有する。この軸受用ノズル12は周方向に複数個均
等配置されており、上記軸受孔18eに開口した気体吹
出口12aを有する。上記軸受用ノズル部材18,18
と、上記ハウジング10の内周面8との間にOリング1
5,15を介設して、給気孔10aから軸受用ノズル1
2への空気が外に漏れないようにしている。
ウジング10の給気孔10aに連通する軸受用ノズル1
2を有する。この軸受用ノズル12は周方向に複数個均
等配置されており、上記軸受孔18eに開口した気体吹
出口12aを有する。上記軸受用ノズル部材18,18
と、上記ハウジング10の内周面8との間にOリング1
5,15を介設して、給気孔10aから軸受用ノズル1
2への空気が外に漏れないようにしている。
【0017】上記軸受用ノズル部材18は、その軸方向
内端部が段部18aを形成している。そして、上記軸受
用ノズル部材18は、上記段部18aの段差面18b
と、軸方向の外端面18cとに開口する軸方向に延びる
排気孔20を有する。排気孔20は少なくとも1箇所,
軸受用ノズル12間に設けられる。排気孔20によりタ
ービン翼用ノズル11が存在する軸受用ノズル部材1
8,18の間の空間と外部とが連通することになる。本
実施例では、排気孔20を両方の軸受用ノズル部材1
8,18に設けたが、排気性能に問題がなければ、いず
れか一方の軸受用ノズル部材18にのみ、排気孔20を
設けるようにしてもよい。
内端部が段部18aを形成している。そして、上記軸受
用ノズル部材18は、上記段部18aの段差面18b
と、軸方向の外端面18cとに開口する軸方向に延びる
排気孔20を有する。排気孔20は少なくとも1箇所,
軸受用ノズル12間に設けられる。排気孔20によりタ
ービン翼用ノズル11が存在する軸受用ノズル部材1
8,18の間の空間と外部とが連通することになる。本
実施例では、排気孔20を両方の軸受用ノズル部材1
8,18に設けたが、排気性能に問題がなければ、いず
れか一方の軸受用ノズル部材18にのみ、排気孔20を
設けるようにしてもよい。
【0018】上記構成の静圧気体軸受装置は、上記ター
ビン翼用ノズル11が、上記ハウジング10の給気孔1
0bから供給された空気を気体吹出口11aからタービ
ン翼7に向かって吹き出して、回転軸1を回転させる。
ビン翼用ノズル11が、上記ハウジング10の給気孔1
0bから供給された空気を気体吹出口11aからタービ
ン翼7に向かって吹き出して、回転軸1を回転させる。
【0019】また、上記軸受用ノズル12は、上記ハウ
ジング10の給気孔10aから供給された気体を、気体
吹出口12aから軸部6に向けて吹き出して、回転軸1
を静圧によって径方向に支持する。また、上記軸受用ノ
ズル12のノズル孔12aから吹き出した空気は、上記
軸部6に沿って流れ、上記鍔部3に静圧を与え、回転軸
1を軸方向に支持する。
ジング10の給気孔10aから供給された気体を、気体
吹出口12aから軸部6に向けて吹き出して、回転軸1
を静圧によって径方向に支持する。また、上記軸受用ノ
ズル12のノズル孔12aから吹き出した空気は、上記
軸部6に沿って流れ、上記鍔部3に静圧を与え、回転軸
1を軸方向に支持する。
【0020】上記タービン翼用ノズル11から吹き出し
た空気および、上記軸受用ノズル12から吹き出した空
気は、上記軸受用ノズル部材18を貫通する排気孔20
から外部に排気される。
た空気および、上記軸受用ノズル12から吹き出した空
気は、上記軸受用ノズル部材18を貫通する排気孔20
から外部に排気される。
【0021】上記静圧気体軸受装置は、上記軸受用ノズ
ル部材18に、段差面18bから軸方向に延びて軸方向
の外端面18cに開口する排気孔20を形成したので、
排気孔が径方向に貫通する従来例に比べて、ハウジング
10に排気孔を設ける必要がなく、ハウジング10の外
周面に開口する孔を少なくできる。したがって、軸受体
2の外周面の塞いではならない孔を、従来例に比べて少
なくでき、また、排気孔20とハウジング10に設けた
排気孔との位置合わせの必要性がなくなる。したがっ
て、上記実施例によれば、組付性の制約を少なくするこ
とができ、組付性を向上できる。
ル部材18に、段差面18bから軸方向に延びて軸方向
の外端面18cに開口する排気孔20を形成したので、
排気孔が径方向に貫通する従来例に比べて、ハウジング
10に排気孔を設ける必要がなく、ハウジング10の外
周面に開口する孔を少なくできる。したがって、軸受体
2の外周面の塞いではならない孔を、従来例に比べて少
なくでき、また、排気孔20とハウジング10に設けた
排気孔との位置合わせの必要性がなくなる。したがっ
て、上記実施例によれば、組付性の制約を少なくするこ
とができ、組付性を向上できる。
【0022】また、ハウジング10の内周面8に貫通す
る孔を従来例に比べて少なくできるので、ハウジング1
0にタービン翼用ノズル部材17および軸受用ノズル部
材18,18を挿入するときに、Oリング13,15がハ
ウジング10の内周面8に貫通する孔の縁で損傷する確
率を小さくすることができる。
る孔を従来例に比べて少なくできるので、ハウジング1
0にタービン翼用ノズル部材17および軸受用ノズル部
材18,18を挿入するときに、Oリング13,15がハ
ウジング10の内周面8に貫通する孔の縁で損傷する確
率を小さくすることができる。
【0023】また、上記排気孔20が軸方向に延びて軸
受用ノズル部材18を貫通するので、平面である軸受用
ノズル部材18の端面18b,cに穴明け加工すること
によって、上記排気孔20を形成することができる。即
ち、上記実施例によれば、排気孔20を平面に形成でき
るので、排気孔を軸受体に径方向に貫通させて排気孔を
曲面に形成しなければならない従来例に比べて、加工性
を向上できる。また、排気孔20を平面に形成できるの
で、孔加工時のバリ取りが容易になる。
受用ノズル部材18を貫通するので、平面である軸受用
ノズル部材18の端面18b,cに穴明け加工すること
によって、上記排気孔20を形成することができる。即
ち、上記実施例によれば、排気孔20を平面に形成でき
るので、排気孔を軸受体に径方向に貫通させて排気孔を
曲面に形成しなければならない従来例に比べて、加工性
を向上できる。また、排気孔20を平面に形成できるの
で、孔加工時のバリ取りが容易になる。
【0024】尚、上記実施例では、タービン部5とター
ビン翼7と鍔部3とを、軸部6と一体に設けたが、図2
に示すように、上記タービン部5とタービン翼7と鍔部
3とを一体成形の樹脂製部材にし、かつ軸部6と別体に
して、この樹脂製部材を軸部6に圧入もしくは接着固定
するようにしてもよい。この場合には、タービン部5の
両側の軸部6,6を一回で連続加工することができ、軸
部6,6の同芯度を向上させることができる。また、複
雑な形状のタービン翼7を樹脂成形によって形成できる
ので、タービン翼7の加工が容易になって、コストダウ
ンを計ることができる。また、上記タービン部5,ター
ビン翼7等が樹脂製であるので、軽量化が可能になり、
重心のアンバランスを小さくできる。
ビン翼7と鍔部3とを、軸部6と一体に設けたが、図2
に示すように、上記タービン部5とタービン翼7と鍔部
3とを一体成形の樹脂製部材にし、かつ軸部6と別体に
して、この樹脂製部材を軸部6に圧入もしくは接着固定
するようにしてもよい。この場合には、タービン部5の
両側の軸部6,6を一回で連続加工することができ、軸
部6,6の同芯度を向上させることができる。また、複
雑な形状のタービン翼7を樹脂成形によって形成できる
ので、タービン翼7の加工が容易になって、コストダウ
ンを計ることができる。また、上記タービン部5,ター
ビン翼7等が樹脂製であるので、軽量化が可能になり、
重心のアンバランスを小さくできる。
【0025】また、上記実施例では、軸受体2を、別体
であるハウジング10とタービン翼用ノズル部材17と
軸受用ノズル部材18によって形成したが、これら3種
の構成物を一体物にしてもよい。さらにまた、上記実施
例ではタービン翼用ノズル部材17を軸受部材としての
軸受用ノズル部材18,18間に設けているが、これは
なくてもよく、上部空間が単に軸受用ノズル部材18,
18だけで構成されていてもよい。さらにまた、3個以
上の軸受用ノズル部材18を軸受体2内の軸方向に離隔
配置した場合には、すべての軸受用ノズル部材18に排
気孔20を設けるか、または、両端に位置する軸受用ノ
ズル部材18のどちらか一方を除く全ての軸受用ノズル
部材18に排気孔20を設けて、各軸受用部材18間の
空間と外部を連通してもよい。
であるハウジング10とタービン翼用ノズル部材17と
軸受用ノズル部材18によって形成したが、これら3種
の構成物を一体物にしてもよい。さらにまた、上記実施
例ではタービン翼用ノズル部材17を軸受部材としての
軸受用ノズル部材18,18間に設けているが、これは
なくてもよく、上部空間が単に軸受用ノズル部材18,
18だけで構成されていてもよい。さらにまた、3個以
上の軸受用ノズル部材18を軸受体2内の軸方向に離隔
配置した場合には、すべての軸受用ノズル部材18に排
気孔20を設けるか、または、両端に位置する軸受用ノ
ズル部材18のどちらか一方を除く全ての軸受用ノズル
部材18に排気孔20を設けて、各軸受用部材18間の
空間と外部を連通してもよい。
【0026】
【発明の効果】以上より明らかなように、この発明の静
圧気体軸受装置は、回転軸との間に微小空間を形成する
軸受孔を有する複数の略円筒状軸受部材に、上記軸受孔
の内周面に開口し上記回転軸に向けて気体を噴出する軸
受用ノズルを円周上複数個設けるとともに、各軸受部材
間の空間と外部空間との間に各空間を連通する排気手段
を設けたので、排気手段としての貫通孔が径方向に貫通
する従来例に比べて、軸受部材の外周面に開口する孔を
少なくできる。したがって、軸受部材の外周面の塞いで
はならない孔を、従来例に比べて少なくでき、組付性の
制約を少なくすることができる。したがって、本発明に
よれば、組付性を向上させることができる。
圧気体軸受装置は、回転軸との間に微小空間を形成する
軸受孔を有する複数の略円筒状軸受部材に、上記軸受孔
の内周面に開口し上記回転軸に向けて気体を噴出する軸
受用ノズルを円周上複数個設けるとともに、各軸受部材
間の空間と外部空間との間に各空間を連通する排気手段
を設けたので、排気手段としての貫通孔が径方向に貫通
する従来例に比べて、軸受部材の外周面に開口する孔を
少なくできる。したがって、軸受部材の外周面の塞いで
はならない孔を、従来例に比べて少なくでき、組付性の
制約を少なくすることができる。したがって、本発明に
よれば、組付性を向上させることができる。
【0027】また、上記排気手段を、上記軸受部材に形
成した軸方向貫通孔により構成した場合には、貫通孔が
軸方向に延びて軸受部材を貫通するので、一般に平面で
ある軸受部材の軸方向の外端面に穴明け加工することに
よって、貫通孔を形成することができ、貫通孔を曲面に
形成しなければならない従来例に比べて加工性を向上さ
せることができる。
成した軸方向貫通孔により構成した場合には、貫通孔が
軸方向に延びて軸受部材を貫通するので、一般に平面で
ある軸受部材の軸方向の外端面に穴明け加工することに
よって、貫通孔を形成することができ、貫通孔を曲面に
形成しなければならない従来例に比べて加工性を向上さ
せることができる。
【図1】 この発明の静圧気体軸受装置の実施例の半断
面図である。
面図である。
【図2】 上記実施例の変形例の断面図である。
【図3】 従来の静圧気体軸受装置の半断面図である。
1…回転軸、2…軸受体、3…鍔部、5…タービン部、
6…軸部 7…タービン翼、8…内周面、10…ハウジング、10
a,10b…給気孔、11…タービン翼用ノズル、11
a…ノズル孔、12…軸受用ノズル、12a…ノズル
孔、20…排気孔、17…タービン翼用ノズル部材、1
8…軸受用ノズル部材、18a…段部、18b…段差
面、18c…外端面、18e…軸受孔、13,15…O
リング。
6…軸部 7…タービン翼、8…内周面、10…ハウジング、10
a,10b…給気孔、11…タービン翼用ノズル、11
a…ノズル孔、12…軸受用ノズル、12a…ノズル
孔、20…排気孔、17…タービン翼用ノズル部材、1
8…軸受用ノズル部材、18a…段部、18b…段差
面、18c…外端面、18e…軸受孔、13,15…O
リング。
Claims (3)
- 【請求項1】 固定部材の貫通穴に挿通された回転軸
と、 上記固定部材の内周面に軸方向に離隔配置され、上記回
転軸との間に微小間隙を形成する軸受孔を有する複数の
略円筒状軸受部材とを備え、 上記各軸受部材にそれぞれ上記軸受孔の内周面に開口し
上記回転軸に向けて気体を噴出する軸受用ノズルを円周
上複数個設けるとともに、各軸受部材間の空間と外部空
間との間に各空間を連通する排気手段を軸受部材側に設
けてなることを特徴とする静圧気体軸受装置。 - 【請求項2】 請求項1に記載の静圧気体軸受装置にお
いて、 上記排気手段を軸受部材に形成した軸方向貫通孔により
構成したことを特徴とする静圧気体軸受装置。 - 【請求項3】 請求項2に記載の静圧気体軸受装置にお
いて、 上記軸方向貫通孔を上記軸受用ノズル間に形成したこと
を特徴とする静圧気体軸受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7161293A JPH06280876A (ja) | 1993-03-30 | 1993-03-30 | 静圧気体軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7161293A JPH06280876A (ja) | 1993-03-30 | 1993-03-30 | 静圧気体軸受装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06280876A true JPH06280876A (ja) | 1994-10-07 |
Family
ID=13465651
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7161293A Pending JPH06280876A (ja) | 1993-03-30 | 1993-03-30 | 静圧気体軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06280876A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19543175A1 (de) * | 1994-11-29 | 1997-05-22 | Gerhard Dipl Ing Wanger | Spindel zur aerostatischen Lagerung eines schnelldrehenden Werkzeugs |
| CN102011800A (zh) * | 2010-05-26 | 2011-04-13 | 广州中国科学院工业技术研究院 | 无源静压高速主轴支承结构及其运行方法 |
| US20120301060A1 (en) * | 2010-01-22 | 2012-11-29 | Shoji Uchimura | Static-pressure bearing apparatus and stage comprising static-pressure bearing apparatus |
-
1993
- 1993-03-30 JP JP7161293A patent/JPH06280876A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19543175A1 (de) * | 1994-11-29 | 1997-05-22 | Gerhard Dipl Ing Wanger | Spindel zur aerostatischen Lagerung eines schnelldrehenden Werkzeugs |
| DE19543175B4 (de) * | 1994-11-29 | 2005-08-04 | Wanger, Gerhard, Dipl.-Ing. | Spindel zur aerostatischen Lagerung eines schnelldrehenden Werkzeugs |
| US20120301060A1 (en) * | 2010-01-22 | 2012-11-29 | Shoji Uchimura | Static-pressure bearing apparatus and stage comprising static-pressure bearing apparatus |
| US8608382B2 (en) * | 2010-01-22 | 2013-12-17 | Sintokogio Ltd. | Static-pressure bearing apparatus and stage comprising static-pressure bearing apparatus |
| CN102011800A (zh) * | 2010-05-26 | 2011-04-13 | 广州中国科学院工业技术研究院 | 无源静压高速主轴支承结构及其运行方法 |
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