JPH0628727A - 光磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
光磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPH0628727A JPH0628727A JP4185040A JP18504092A JPH0628727A JP H0628727 A JPH0628727 A JP H0628727A JP 4185040 A JP4185040 A JP 4185040A JP 18504092 A JP18504092 A JP 18504092A JP H0628727 A JPH0628727 A JP H0628727A
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- Japan
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- substrate
- composite target
- rod
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/14—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates
- H01F41/18—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates by cathode sputtering
- H01F41/183—Sputtering targets therefor
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10582—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 成膜が極めて簡便であるとともに、成膜制御
が確実にでき、しかも生産性に優れた光磁気記録媒体の
製造方法を提供する。 【構成】 基板上に少なくとも２種以上の薄膜を交互に
数回積層してなる記録膜を備える光磁気記録媒体の製造
方法において、積層される層数および積層される材料に
応じて、少なくとも２種以上の棒状ターゲットを隣設さ
せて積層される層数だけ組み合わせ形成した複合ターゲ
ットを準備し、基板を棒状ターゲットとほぼ直交方向に
相対移動させながら、該基板の上に、複合ターゲットに
配置された棒状ターゲットの組成に応じたスパッタ成膜
を行うことによって多層の記録膜を形成させる工程を含
むように構成する。
が確実にでき、しかも生産性に優れた光磁気記録媒体の
製造方法を提供する。 【構成】 基板上に少なくとも２種以上の薄膜を交互に
数回積層してなる記録膜を備える光磁気記録媒体の製造
方法において、積層される層数および積層される材料に
応じて、少なくとも２種以上の棒状ターゲットを隣設さ
せて積層される層数だけ組み合わせ形成した複合ターゲ
ットを準備し、基板を棒状ターゲットとほぼ直交方向に
相対移動させながら、該基板の上に、複合ターゲットに
配置された棒状ターゲットの組成に応じたスパッタ成膜
を行うことによって多層の記録膜を形成させる工程を含
むように構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光磁気記録媒体の製造方
法、特に、２種以上の薄膜を交互に数回積層してなる記
録膜を備える光磁気記録媒体の製造方法に関する。
法、特に、２種以上の薄膜を交互に数回積層してなる記
録膜を備える光磁気記録媒体の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近時、光磁気記録媒体の新しい記録膜と
して、Ｐｔ／Ｃｏ等で代表される多層膜などが提案され
ている。このような多層膜は、数オングストローム〜数
十オングストロームの厚さ周期で、数層〜２０層程度積
層されている。
して、Ｐｔ／Ｃｏ等で代表される多層膜などが提案され
ている。このような多層膜は、数オングストローム〜数
十オングストロームの厚さ周期で、数層〜２０層程度積
層されている。
【０００３】このような多層膜を成膜するには、真空蒸
着法やスパッタリングが用いられる。多層にするための
従来のスパッタ装置および基板、ターゲットの関係を図
４に基づいて説明する。
着法やスパッタリングが用いられる。多層にするための
従来のスパッタ装置および基板、ターゲットの関係を図
４に基づいて説明する。
【０００４】図４には、従来の多層膜成膜のためのスパ
ッタ装置の概念図が示される。この図において、ディス
ク状の基板ホルダ５１の所定位置には、基板６１が設置
されるようになっており、また、基板ホルダ５１の下方
には、遮蔽板５５を境として、２つのターゲット５７，
５９がそれぞれ配置される。ターゲット５７および５９
の組成は、例えば、それぞれＰｔおよびＣｏとされる。
ッタ装置の概念図が示される。この図において、ディス
ク状の基板ホルダ５１の所定位置には、基板６１が設置
されるようになっており、また、基板ホルダ５１の下方
には、遮蔽板５５を境として、２つのターゲット５７，
５９がそれぞれ配置される。ターゲット５７および５９
の組成は、例えば、それぞれＰｔおよびＣｏとされる。
【０００５】ディスク状の基板ホルダ５１は、その中心
軸を中心として回転可能になっており、従って、基板６
１は基板ホルダ５１の中心軸のまわりを公転できるよう
になっている。また、基板６１は、成膜が均一になされ
るように基板の中心を自転軸として回転できるようにな
っている。
軸を中心として回転可能になっており、従って、基板６
１は基板ホルダ５１の中心軸のまわりを公転できるよう
になっている。また、基板６１は、成膜が均一になされ
るように基板の中心を自転軸として回転できるようにな
っている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の装置を用いた成膜方法では、制御が複雑にな
るばかりか生産性もあがらないという問題が生じてい
た。
うな従来の装置を用いた成膜方法では、制御が複雑にな
るばかりか生産性もあがらないという問題が生じてい
た。
【０００７】本発明はこのような実情のもとに創案され
たものであって、その目的は、多層膜の成膜が簡便であ
り、成膜制御が確実にでき、しかも生産性に優れる記録
膜を備える光磁気記録媒体の製造方法を提供することに
ある。
たものであって、その目的は、多層膜の成膜が簡便であ
り、成膜制御が確実にでき、しかも生産性に優れる記録
膜を備える光磁気記録媒体の製造方法を提供することに
ある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るために、本発明は、基板上に少なくとも２種以上の薄
膜を交互に数回積層してなる記録膜を備える光磁気記録
媒体の製造方法において、積層される層数および積層さ
れる材料に応じて、少なくとも２種以上の棒状ターゲッ
トを隣設させて積層される層数だけ組み合わせ形成した
複合ターゲットを準備し、基板を棒状ターゲットとほぼ
直交方向に相対移動させながら、該基板の上に、複合タ
ーゲットに配置された棒状ターゲットの組成に応じたス
パッタ成膜を行うことによって多層の記録膜を形成させ
る工程を含むことを特徴とする光磁気記録媒体の製造方
法。
るために、本発明は、基板上に少なくとも２種以上の薄
膜を交互に数回積層してなる記録膜を備える光磁気記録
媒体の製造方法において、積層される層数および積層さ
れる材料に応じて、少なくとも２種以上の棒状ターゲッ
トを隣設させて積層される層数だけ組み合わせ形成した
複合ターゲットを準備し、基板を棒状ターゲットとほぼ
直交方向に相対移動させながら、該基板の上に、複合タ
ーゲットに配置された棒状ターゲットの組成に応じたス
パッタ成膜を行うことによって多層の記録膜を形成させ
る工程を含むことを特徴とする光磁気記録媒体の製造方
法。
【０００９】
【作用】本発明では少なくとも２種以上の棒状ターゲッ
トを隣設させて積層される層数だけ組み合わせて形成し
た複合ターゲットを準備し、基板を棒状ターゲットとほ
ぼ直交方向に相対移動させながら、複合ターゲットに配
置された棒状ターゲットの組成に応じたスパッタ成膜を
基板の上に行うことによって多層の記録膜を形成させて
いるので、基板の相対移動につれて、順次、棒状ターゲ
ットの組成に応じた所定の薄膜が形成され、最終的に所
定の多層構成の記録膜をなす。
トを隣設させて積層される層数だけ組み合わせて形成し
た複合ターゲットを準備し、基板を棒状ターゲットとほ
ぼ直交方向に相対移動させながら、複合ターゲットに配
置された棒状ターゲットの組成に応じたスパッタ成膜を
基板の上に行うことによって多層の記録膜を形成させて
いるので、基板の相対移動につれて、順次、棒状ターゲ
ットの組成に応じた所定の薄膜が形成され、最終的に所
定の多層構成の記録膜をなす。
【００１０】
【実施例】本発明の光磁気記録媒体の製造方法を図１乃
至図３に基づいて説明する。図１は、本発明の光磁気記
録媒体の製造方法の要部である基板への記録膜の形成状
態を模式的に示した概略斜視図であり、複合ターゲット
１０の上に、基板２５を載置する移動トレイ２０が描か
れている。図２および図３はそれぞれ、本発明に用いる
複合ターゲット１０の概略側面図および側面の一部を拡
大した図面である。
至図３に基づいて説明する。図１は、本発明の光磁気記
録媒体の製造方法の要部である基板への記録膜の形成状
態を模式的に示した概略斜視図であり、複合ターゲット
１０の上に、基板２５を載置する移動トレイ２０が描か
れている。図２および図３はそれぞれ、本発明に用いる
複合ターゲット１０の概略側面図および側面の一部を拡
大した図面である。
【００１１】本発明に用いられる複合ターゲット１０に
ついて説明する。複合ターゲット１０は、成膜結果物と
しての多層記録膜に対応して、少なくとも２種以上の棒
状ターゲット１３，１５を交互に隣設させて組み合わせ
て、形成される。本実施例では、成膜結果物としての多
層記録膜組成をＰｔ／Ｃｏの積層体に想定しているの
で、例えば、棒状ターゲット１３はＰｔ材料、棒状ター
ゲット１５はＣｏ材料から形成される。このような各棒
状ターゲット１３，１５の上部の表面積は、製作しよう
とする記録膜ＰｔとＣｏの膜厚に応じて設定される。す
なわち、逆に言えば、積層される記録膜のＰｔとＣｏの
膜厚比は、棒状ターゲット１３，１５の上部の表面積比
で定められる。
ついて説明する。複合ターゲット１０は、成膜結果物と
しての多層記録膜に対応して、少なくとも２種以上の棒
状ターゲット１３，１５を交互に隣設させて組み合わせ
て、形成される。本実施例では、成膜結果物としての多
層記録膜組成をＰｔ／Ｃｏの積層体に想定しているの
で、例えば、棒状ターゲット１３はＰｔ材料、棒状ター
ゲット１５はＣｏ材料から形成される。このような各棒
状ターゲット１３，１５の上部の表面積は、製作しよう
とする記録膜ＰｔとＣｏの膜厚に応じて設定される。す
なわち、逆に言えば、積層される記録膜のＰｔとＣｏの
膜厚比は、棒状ターゲット１３，１５の上部の表面積比
で定められる。
【００１２】このような棒状ターゲット１３，１５は、
通常、バッキングプレート１１の上に固定して載置され
る。また、隣設する異種の棒状ターゲット１３，１５の
間には、スパッタされ飛散する材料組成同士の混合が生
じないように遮蔽板１７がターゲット上に５〜３０ｍｍ
程度の間隔をあけて立設されている。この遮蔽板１７
は、スパッタされ飛散される成分を受け止めるだけの強
度があれば特に材質は限定されないが、通常は、ステン
レス鋼、Ａｌ等の材質から形成され、その厚さは、０．
５〜２ｍｍ程度とされる。
通常、バッキングプレート１１の上に固定して載置され
る。また、隣設する異種の棒状ターゲット１３，１５の
間には、スパッタされ飛散する材料組成同士の混合が生
じないように遮蔽板１７がターゲット上に５〜３０ｍｍ
程度の間隔をあけて立設されている。この遮蔽板１７
は、スパッタされ飛散される成分を受け止めるだけの強
度があれば特に材質は限定されないが、通常は、ステン
レス鋼、Ａｌ等の材質から形成され、その厚さは、０．
５〜２ｍｍ程度とされる。
【００１３】また、隣設する異種の棒状ターゲット１
３，１５の間の端面１３ａ，１５ａ同士は、図３に示さ
れるように、傾斜を持った隙間Ｅを形成するように対向
して設けられる。バッキングプレート１１がスパッタさ
れないようにするためである。
３，１５の間の端面１３ａ，１５ａ同士は、図３に示さ
れるように、傾斜を持った隙間Ｅを形成するように対向
して設けられる。バッキングプレート１１がスパッタさ
れないようにするためである。
【００１４】一方、移動トレイ２０は、基板ホルダ２１
と基板２５を備えている。基板ホルダ２１は、基板２５
の複合ターゲット１０に対向する面が露出するように基
板２５を載置するようになっている。一般に、基板ホル
ダ２１には、生産性を高めるために複数の基板２５が載
置され、基板２５の自転は必要とされない。基板２５
は、光磁気記録媒体を構成する一部材であり、通常、ガ
ラス等の耐熱基板が用いられる。
と基板２５を備えている。基板ホルダ２１は、基板２５
の複合ターゲット１０に対向する面が露出するように基
板２５を載置するようになっている。一般に、基板ホル
ダ２１には、生産性を高めるために複数の基板２５が載
置され、基板２５の自転は必要とされない。基板２５
は、光磁気記録媒体を構成する一部材であり、通常、ガ
ラス等の耐熱基板が用いられる。
【００１５】このような移動トレイ２０は、前記複合タ
ーゲット１０とほぼ直交方向（矢印Ｈ方向）に移動させ
られ、これにより基板２５の上には、複合ターゲット１
０に配置された棒状ターゲット１３，１５の組成に応じ
たスパッタ膜が形成され、所定の多層の記録膜が形成さ
れる。
ーゲット１０とほぼ直交方向（矢印Ｈ方向）に移動させ
られ、これにより基板２５の上には、複合ターゲット１
０に配置された棒状ターゲット１３，１５の組成に応じ
たスパッタ膜が形成され、所定の多層の記録膜が形成さ
れる。
【００１６】なお、本実施例では、２種の薄膜を積層す
る場合を例にとって説明したが、もちろん３種以上の薄
膜を対象としてもよい。また、本実施例では、基板を移
動させる場合を例にとって説明したが、ターゲットを移
動させるようにしてもよい。
る場合を例にとって説明したが、もちろん３種以上の薄
膜を対象としてもよい。また、本実施例では、基板を移
動させる場合を例にとって説明したが、ターゲットを移
動させるようにしてもよい。
【００１７】
【発明の効果】本発明では少なくとも２種以上の棒状タ
ーゲットを隣設させて積層される層数だけ組み合わせ形
成した複合ターゲットを準備し、基板を棒状ターゲット
とほぼ直交方向に相対移動させながら、複合ターゲット
に配置された棒状ターゲットの組成に応じたスパッタ成
膜を行うことによって多層の記録膜を形成させている。
従って、成膜が極めて簡便であるとともに、成膜制御が
確実にでき、しかも生産性に優れた光磁気記録媒体の製
造方法が提供できる。
ーゲットを隣設させて積層される層数だけ組み合わせ形
成した複合ターゲットを準備し、基板を棒状ターゲット
とほぼ直交方向に相対移動させながら、複合ターゲット
に配置された棒状ターゲットの組成に応じたスパッタ成
膜を行うことによって多層の記録膜を形成させている。
従って、成膜が極めて簡便であるとともに、成膜制御が
確実にでき、しかも生産性に優れた光磁気記録媒体の製
造方法が提供できる。
【図１】本発明の光磁気記録媒体の製造方法の要部であ
る基板への記録膜の形成状態を模式的に示した概略斜視
図である。
る基板への記録膜の形成状態を模式的に示した概略斜視
図である。
【図２】本発明に用いる複合ターゲットの概略側面図で
ある。
ある。
【図３】本発明に用いる複合ターゲットの側面の一部を
拡大した図面である。
拡大した図面である。
【図４】従来の多層膜の成膜方法を説明するためのスパ
ッタ装置の要部を示す概略斜視図である。
ッタ装置の要部を示す概略斜視図である。
１０…複合ターゲット １１…バッキングプレート １３…棒状ターゲット １５…棒状ターゲット ２０…移動トレイ ２１…基板ホルダ ２５…基板
Claims (2)
- 【請求項１】 基板上に少なくとも２種以上の薄膜を交
互に数回積層してなる記録膜を備える光磁気記録媒体の
製造方法において、 積層される層数および積層される材料に応じて、少なく
とも２種以上の棒状ターゲットを隣設させて積層される
層数だけ組み合わせ形成した複合ターゲットを準備し、 基板を棒状ターゲットとほぼ直交方向に相対移動させな
がら、該基板の上に、複合ターゲットに配置された棒状
ターゲットの組成に応じたスパッタ成膜を行うことによ
って多層の記録膜を形成させる工程を含むことを特徴と
する光磁気記録媒体の製造方法。 - 【請求項２】隣設する異種の棒状ターゲット間には、ス
パッタされる材料組成の混合が生じないように遮蔽板が
ターゲット上に立設されていることを特徴とする請求項
１記載の光磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4185040A JPH0628727A (ja) | 1992-07-13 | 1992-07-13 | 光磁気記録媒体の製造方法 |
| DE19934323437 DE4323437A1 (de) | 1992-07-13 | 1993-07-13 | Verfahren zum Herstellen eines magnetooptischen Aufzeichnungsmediums |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4185040A JPH0628727A (ja) | 1992-07-13 | 1992-07-13 | 光磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0628727A true JPH0628727A (ja) | 1994-02-04 |
Family
ID=16163745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4185040A Pending JPH0628727A (ja) | 1992-07-13 | 1992-07-13 | 光磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0628727A (ja) |
| DE (1) | DE4323437A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002241941A (ja) * | 2001-02-19 | 2002-08-28 | Toyonobu Yoshida | 熱プラズマを用いた成膜装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19535994C2 (de) * | 1994-10-14 | 1998-07-16 | Sharp Kk | Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium und Herstellverfahren für dieses |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR920006924A (ko) * | 1990-09-29 | 1992-04-28 | 이헌조 | 광자기 기록매체의 제조방법 |
-
1992
- 1992-07-13 JP JP4185040A patent/JPH0628727A/ja active Pending
-
1993
- 1993-07-13 DE DE19934323437 patent/DE4323437A1/de not_active Ceased
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002241941A (ja) * | 2001-02-19 | 2002-08-28 | Toyonobu Yoshida | 熱プラズマを用いた成膜装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE4323437A1 (de) | 1994-01-20 |
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