JPH0628799U - 電子線照射装置における真空チャンバ用点検扉のヒンジ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 真空チャンバ点検扉の開閉によるシール用Ｏ
リングの損傷を防止すること。 【構成】 真空チャンバ１の点検口２を開閉する点検扉
３はヒンジ機構５によって取り付けられている。ヒンジ
機構の扉側ヒンジ６にはヒンジピン７が固定されてお
り、チャンバ側ヒンジ８に設けられたピン孔９’は長孔
に形成されている。点検扉を閉じる際には、点検扉のヒ
ンジ機構側部分が点検口から離れる方向に動くから、ヒ
ンジ機構に近いシール用Ｏリング１０の部分が点検扉で
局部的に押しつぶされることがなくなり、ボルト１２の
締め付けにより、Ｏリング全体を均等に押しつぶしシー
ルすることができる。Ｏリングの寿命が延び、シール機
能も良好になる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、エリアビーム型電子線照射装置における真空チャンバ点検扉のヒン ジに関する。

【０００２】

【従来の技術】

エリアビーム型電子線照射装置にあっては、照射室の上部に、全体として円筒 状をなし、電子ビーム発生部を収容する真空チャンバが設けられており、真空チ ャンバの下部に設けられた照射窓を通して照射室内に電子ビームが取り出され、 照射室内に搬送される被照射物に電子ビームが照射されるように構成されている 。電子ビーム発生部を収容する真空チャンバの端部には内部が点検できるように 点検扉が設けられている。

【０００３】 点検扉がボルトで真空チャンバの端部に閉塞固定される点検扉部の一例につい て、図３はその概略正面図、そして図４は図３のＡ−Ａ線における一部を断面で 示す構成図である。真空チャンバ１の端部に形成される点検口２を閉塞する点検 扉３は、真空チャンバの端部のフランジ部４にヒンジ機構５によって開閉できる ように取り付けられており、このヒンジ機構における扉側ヒンジ６にはヒンジピ ン７が固定されており、このヒンジピンはチャンバ側ヒンジ８の丸いピン孔９に 嵌合している。点検口２の周囲には真空シール用のＯリング１０が溝１１内に配 設されており、点検扉３を閉じ、例えば４本のボルト１２を挿通孔１３からフラ ンジ部４のボルトネジ孔１４に螺合して均等に締め付け、Ｏリングを押しつぶし て、点検口２をシール閉塞する。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

上述の従来技術によれば、点検扉３を閉じる際、Ｏリング１０のヒンジ機構４ に近い側の部分が常に先に押しつぶれることになり、Ｏリング全体を均等につぶ すことができず、ヒンジ機構に近い部分が局部的に損傷しやすい。また、点検扉 を閉扉位置にしたときに、扉は図４の状態になるから、ボルト１２の挿通孔１３ とボルトネジ孔１４の軸線が一致せず、ボルトが締めにくいという欠点をも有す る。

【０００５】 本考案は、真空シール用のＯリング１０を均等に押し付けてシールすることが でき、Ｏリングに局部的に無理な力が掛からないようにしたエリアビーム型電子 線照射装置における点検扉のヒンジ装置の提供を目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

かかる目的を達成するために、本考案は、電子線照射装置における真空チャン バの点検口を閉塞する点検扉のヒンジ装置において、ヒンジのピン孔が、その周 囲に真空シール用Ｏリングが設けられている点検口の開口面と垂直の方向に長孔 に形成されていることを特徴とするものである。

【０００７】

【作用】

ヒンジのピン孔が、点検口の開口面と垂直の方向に長孔になっているから、点 検扉を閉じるときに、点検扉のヒンジ機構取付部分が点検口から離れる方向に移 動することができ、Ｏリングに局部的に無理な力が加わらない。

【０００８】

【実施例】

本考案の一実施例について図面を参照して説明する。図１は点検扉部の一部を 断面で示す構成図であり、図３と同一符号は同等部分を示す。真空チャンバ１の 端部に形成される点検口２を閉塞する点検扉３は、真空チャンバの端部のフラン ジ部４にヒンジ機構５によって開閉できるように取り付けられている。このヒン ジ機構における扉側ヒンジ６にはヒンジピン７が固定されており、このヒンジピ ンはチャンバ側ヒンジ８のピン孔９’に嵌合している。このピン孔９’は、点検 口２の開口面２₁と垂直の方向Ｘにヒンジピン７が移動できるように長孔に形成 されており、Ｘ方向と直交するＹ方向にはヒンジピンが移動しないように余裕を 持たせずに形成されている。

【０００９】 点検扉３を閉める際には、ピン孔９’が長孔になっているから、図２（ａ）に 示すように、ヒンジピン７が点検口２から離れる方向に移動し、点検扉とＯリン グ１０との間に全体に余裕を有する状態で、点検扉を点検口の前面に位置させる ことができる。そこで各ボルト１２をボルトネジ孔１４に螺合し、均等に締める ことにより、図２（ｂ）に示すように、Ｏリング１０全体を均等に押しつぶして 点検口２を点検扉３で閉じることができる。

【００１０】 また、点検扉３を閉める際に、図２（ｃ）に示すようにヒンジピン７がピン長 孔９’に位置していても、点検扉３がＯリング１０のヒンジ機構に近い部分に当 ることにより、点検扉はＯリングの弾撥力を受けて、ヒンジピン７はピン長孔９ ’内を移動し、点検扉のヒンジ機構側部分が点検口２から逃げる方向に動いて、 点検扉は図２（ｄ）に示す閉扉位置に達する。そこで、点検扉３のヒンジ機構側 部分を押して図１の状態にするか、扉の反ヒンジ機構側部分を少し戻して、扉を 点検口２の開口面２₁と平行にすることにより、ボルトを容易にボルトネジ孔１ ４に螺合させることができ、Ｏリング１０全体を均等に押しつぶすことができる 。

【００１１】 なお、上述の実施例では、ヒンジ機構５におけるヒンジピン７は扉側ヒンジ６ に、ピン孔９’はチャンバ側ヒンジ８に設けているが、ヒンジピンをチャンバ側 ヒンジに、ピン孔を扉側ヒンジに設けてもよく、機能に変わりはない。

【００１２】

【考案の効果】

本考案は、以上説明したように構成したので、点検扉を閉じる際にＯリングを 局部的に継続して作用する無理な力によって押しつぶすことがないから、Ｏリン グが傷つきにくくなり、寿命が延びると共に、真空シール機能も良好になる。ま た、点検扉を、閉位置に移動させたときに、点検口の開口面に平行に位置させる ことができるから、締め付けボルトがボルトネジ孔に螺合しやすくなり、締め付 けも容易になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例について一部を断面で示す構
成図である。

【図２】実施例の動作説明図である。

【図３】エリアビーム型電子線照射装置の概略正面図で
ある。

【図４】従来の点検扉部の一部を断面で示す構成図であ
る。

【符号の説明】

1 真空チャンバ 2 点検口 2₁ 点検口の開口面 3 点検扉 6,8 ヒンジ 7 ヒンジピン 9' ピン孔 10 Ｏリング 12 ボルト

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子線照射装置における真空チャンバの
   点検口を閉塞する点検扉のヒンジ装置において、ヒンジ
   のピン孔が、その周囲に真空シール用Ｏリングが設けら
   れている点検口の開口面と垂直の方向に長孔に形成され
   ていることを特徴とする真空チャンバ用点検扉のヒンジ
   装置。