JPH0629142U

JPH0629142U - ウェーハ吸着治具

Info

Publication number: JPH0629142U
Application number: JP069779U
Authority: JP
Inventors: 資敬樺山
Original assignee: コマツ電子金属株式会社; 九州コマツ電子株式会社
Priority date: 1992-09-10
Filing date: 1992-09-10
Publication date: 1994-04-15

Abstract

(57)【要約】【目的】真空装置を必要とせず、任意の場所で随時使
用することができる安価なウェーハ吸着治具を提供す
る。【構成】軸１の下端に設けた突起部１ｂに、弾性材料
からなる吸着パッド２を嵌着する。軸１の中心には、突
起部１ｂの端面から軸１の長さの途中に至る縦穴１ｃが
穿設され、この縦穴１ｃの端末部付近において縦穴１ｃ
と直交する横穴１ｄが軸１の外周に開口している。軸１
を手で持ち、蛇腹部２ｂの下端開口部がウェーハ３から
はみ出さないようにウェーハ３上に置き、横穴１ｄを塞
がないようにしてウェーハ３に押しつける。蛇腹部２ｂ
内の空気が縦穴１ｃを経て横穴１ｄから排出された後、
横穴１ｄの開口部を指で塞ぐと、ウェーハ３は吸着治具
に吸着される。また、横穴１ｄの開口部から指を離す
と、横穴１ｄから縦穴１ｃを経て蛇腹部２ｂ内に空気が
流入し、ウェーハ３を押圧するので、ウェーハ３は吸着
治具から離れる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ウェーハ吸着治具に関する。

【０００２】

【従来の技術】

半導体素子の基板となるＳｉ、ＧａＡｓ等のウェーハを製造中、たとえばラッピング工程において、ラッピングが完了した前記ウェーハをラップ定盤から１枚ずつ剥がして容器に収納する作業がある。このときウェーハは、ラッピング液の存在によってラップ定盤に密着しており、指先の力では容易に剥がすことができないので、ウェーハ吸着治具を用いて剥がしている。従来から用いられているウェーハ吸着治具は、真空吸着式である。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

上記の真空吸着式ウェーハ吸着治具は、ゴムホースを介して真空発生機に連結されているので、ゴムホースの取扱いが煩わしく、作業動作範囲が制限を受けるとともに、真空発生機を駆動する動力源が必要である。本考案は上記従来の問題点に着目し、真空発生機や動力源を必要とせず、任意の場所で随時使用することができる安価なウェーハ吸着治具を提供することを目的としている。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するため、本考案に係るウェーハ吸着治具は、ウェーハに当接する吸着口を備えた伸縮自在の吸着パッドと、前記吸着口の開口面に対して垂直に吸着パッドに連結した軸とからなり、この軸の内部に、一端が前記吸着口に開口し、他端が前記軸の長さの途中に至る縦穴と、一端が前記縦穴に通じ、他端が軸外周に開口する横穴とを設ける構成とし、このような構成において、一端が軸の縦穴に通じ、他端が軸外周に開口する横穴に、前記横穴内を摺動するバルブを設け、このバルブを横穴内に押し込むことにより、バルブ内に穿設した空気抜き穴を介して前記縦穴が外部に連通し、前記バルブが押し戻されたとき、前記空気抜き穴と縦穴との連通が遮断される構成としてもよく、または、ウェーハに当接する吸着口を備えた伸縮自在の吸着パッドと、前記吸着口の開口面に対して垂直に吸着パッドに連結した軸とからなり、この軸の内部に、一端が前記吸着口に開口し、他端が前記軸の上端に開口する縦穴を設けてもよい。更に、一端が吸着口に開口し、他端が軸の上端に開口する縦穴の上端部分に、前記縦穴内を摺動するバルブを設け、このバルブを縦穴内に押し込むことにより、バルブ内に穿設した空気抜き穴を介して前記縦穴が外部に連通し、前記バルブが押し戻されたとき、前記空気抜き穴と縦穴との連通が遮断される構成としてもよい。

【０００５】

【作用】

上記構成によれば、伸縮自在の吸着パッドに軸を連結してウェーハ吸着治具とし、前記吸着パッドの吸着口から前記軸の外周または軸の上端に至る穴を軸の内部に設けたので、吸着パッドの吸着口をウェーハに当てて押しつけると、吸着パッドが圧縮され、吸着パッド内の空気は前記穴を介して外部に排出される。この状態で、軸の外周または上端に設けられた前記穴の開口部を指で塞ぐと、ウェーハをウェーハ吸着治具に吸着させることができる。また、前記穴の開口部を指で塞ぐ代わりにこの穴の開口部付近に穴内を摺動するバルブを設け、このバルブを穴内に押し込むと前記穴がバルブ内に穿設した空気抜き穴を介して外部に連通し、前記バルブが押し戻されると前記穴とバルブ内に穿設した空気抜き穴との連通が遮断される構成としたウェーハ吸着治具の場合は、前記バルブを指で押し込んだまま吸着パッドの吸着口をウェーハに当てて押しつけることにより、吸着パッド内の空気が外部に排出される。この状態でバルブから指を離すと、バルブが押し戻されて軸とバルブとの空気穴の連通が遮断され、ウェーハをウェーハ吸着治具に吸着させることができる。ウェーハ吸着治具からウェーハを解放する場合は、穴の開口部から指を離すか、バルブを指で押し込めばよい。

【０００６】

【実施例】

以下に本考案に係るウェーハ吸着治具の実施例について、図面を参照して説明する。図１は本考案の請求項１における第１実施例のウェーハ吸着治具の断面図で、この治具は比較的小径のウェーハの取扱いに適している。軸１はプラスチックたとえばポリプロピレン製の丸棒または丸棒を持ちやすい形状に加工したもので、下端には外周に段差１ａを備えた突起部１ｂが設けられている。前記軸１の中心線上には、突起部１ｂの端面から軸１の長さの途中に至る縦穴１ｃが穿設され、この縦穴１ｃの端末部付近において縦穴１ｃと直交する横穴１ｄが軸１の外周に開口している。吸着パッド２はゴム等の弾性材料からなり、ボス部２ａと蛇腹部２ｂとによって構成され、前記ボス部２ａは軸１の突起部１ｂに嵌着されている。前記蛇腹部２ｂの下端開口部の外径は、吸着するウェーハ３の直径の６５〜７５％が望ましい。

【０００７】次に、本ウェーハ吸着治具の使用方法について説明する。たとえばラッピングが完了したウェーハをラップ定盤から剥がして容器に収納する場合、本ウェーハ吸着治具の軸１を手で持ち、蛇腹部２ｂの下端開口部がウェーハ３からはみ出さないようにウェーハ３上に置き、横穴１ｄを塞がないようにしてウェーハ３に押しつける。これにより蛇腹部２ｂが圧縮され、蛇腹部２ｂ内の空気は縦穴１ｃを経て横穴１ｄから排出される。この状態で横穴１ｄの開口部を指で塞ぐと、ウェーハはウェーハ吸着治具に吸着されるので、ラップ定盤からウェーハ３を剥がすことができる。そして所定の収納容器等の位置まで前記ウェーハを運んだ後、横穴１ｄの開口部から指を離すと、横穴１ｄから縦穴１ｃを経て蛇腹部２ｂ内に空気が流入し、ウェーハ３を押圧するので、ウェーハ３は吸着治具から離れる。

【０００８】図２は請求項１における第２実施例のウェーハ吸着治具の断面図で、この治具は比較的大径のウェーハに対して使用するものである。吸着パッド４はゴム等の弾性材料からなり、ボス部４ａの強度を上げるため、ボス部４ａの中に金属あるいは硬質のプラスチックからなる円板４ｂが包み込まれ、ボス部４ａの下端に蛇腹部４ｃが形成されている。また、前記円板４ｂとプラスチック製の軸５とはネジ５ａによって連結され、軸５には上記第１実施例と同じく縦穴５ｂと横穴５ｃとが設けられている。前記蛇腹部４ｃの下端開口部の外径は、第１実施例と同じく吸着するウェーハ６の直径の６５〜７５％が望ましい。なお、本ウェーハ吸着治具の使用方法は上記第１実施例と同じである。

【０００９】図３は請求項２のウェーハ吸着治具の断面図で、図４は図３のＡ−Ａ断面を示す。軸７の下端には外周に段差７ａを備えた突起部７ｂが設けられ、この突起部７ｂに吸着パッド２が嵌着されている。軸７の軸心には、前記突起部７ｂの端面から軸７の長さの途中に至る縦穴７ｃが穿設されている。この縦穴７ｃの端末部付近において軸７の外周の一部が平面に削り込まれ、この部分に縦穴７ｃと直交する横穴７ｄが穿設されている。前記横穴７ｄ内を摺動するバルブ８の軸心には空気抜き穴８ａが設けられ、この空気抜き穴８ａの両端にはバルブ８の外周に開口する空気抜き穴がそれぞれ設けられている。また、バルブ８の一端には押圧部８ｂが螺着され、軸７からのバルブ８の脱落を防止するストッパ９と前記押圧部８ｂとの間にコイルスプリング１０が装着されている。前記押圧部８ｂを指で押すと、コイルスプリング１０を圧縮しつつバルブ８が横穴７ｄ内を摺動し、前記空気抜き穴８ａの一端に設けられた空気抜き穴８ｃが縦穴７ｃに連通する。そして、押圧部８ｂから指を離すとコイルスプリング１０の張力により、バルブ８はストッパ９に当接する位置まで戻り、縦穴７ｃと空気抜き穴８ｃとの連通が断たれる。

【００１０】このウェーハ吸着治具を用いてウェーハを吸着する場合、ウェーハ吸着治具の軸７を手で持ち、蛇腹部２ｂの下端開口部がウェーハ３からはみ出さないようにウェーハ３上に置き、バルブ８の押圧部８ｂを指で押しながら本吸着治具をウェーハ３に押しつける。これにより蛇腹部２ｂが圧縮され、蛇腹部２ｂ内の空気は縦穴７ｃを経てバルブ８の空気抜き穴８ｃに入り、空気抜き穴８ａの他端に設けられた空気抜き穴から外部に排出される。この状態で押圧部８ｂから指を離すと、ウェーハはウェーハ吸着治具に吸着される。そして所望の位置までウェーハ３を運んだ後、再度押圧部８ｂを指で押すと、前記と逆の経路で蛇腹部２ｂ内に空気が流入し、ウェーハ３を押圧するので、ウェーハ３は吸着治具から離れる。

【００１１】図５は、請求項３のウェーハ吸着治具の断面図である。このウェーハ吸着治具においては、請求項１のウェーハ吸着治具の軸に設けられた横穴が廃止され、縦穴１１ａは軸１１の軸心に沿って貫通している。ウェーハを吸着する場合、本治具の軸１１上部を手で持ち、蛇腹部２ｂの下端開口部がウェーハ３からはみ出さないようにウェーハ３上に置き、軸１１の上端面にある縦穴１１ａの開口部を塞がないようにしてウェーハ３に押しつける。蛇腹部２ｂ内の空気を縦穴１１ａから排出した後、前記軸１１上端面の開口部を指で塞ぐと、ウェーハはウェーハ吸着治具に吸着される。

【００１２】図６は、請求項４のウェーハ吸着治具の軸上端部分の断面図である。このウェーハ吸着治具は、請求項３のウェーハ吸着治具の縦穴上端にバルブを組み込んだもので、縦穴１１ａの上端に設けられた穴１１ｂ内を摺動するバルブ１２の軸心には空気抜き穴１２ａが設けられ、この空気抜き穴１２ａの両端にはバルブ１２の外周に開口する空気抜き穴がそれぞれ設けられている。また、バルブ１２の一端には押圧部１２ｂが螺着され、軸１１からのバルブ１２の脱落を防止するストッパ１３と前記押圧部１２ｂとの間にコイルスプリング１０が装着されている。バルブ１２の下端が縦穴１１ａと穴１１ｂとの間に設けられた穴１１ｃの底面に当接するまで前記押圧部１２ｂを指で押すと、前記空気抜き穴１２ａの一端に設けられた空気抜き穴１２ｄが、穴１１ｃおよび穴１１ｃの底面に設けられた溝を介して縦穴１１ａに連通する。そして、押圧部１２ｂから指を離すとコイルスプリング１０の張力により、バルブ１２はストッパ１３の下面に当接する位置まで戻り、縦穴１１ａと空気抜き穴１２ｄとの連通は断たれる。

【００１３】

【考案の効果】

以上説明したように本考案によれば、伸縮自在の吸着パッドと、この吸着パッド内に空気を出入させる通路を備えた軸とによってウェーハ吸着治具を構成し、ウェーハに吸着治具を押しつけた後、前記通路を遮断してウェーハを吸着することにしたので、極めて簡単で安価な構造のウェーハ吸着治具を得ることができる。本吸着治具は真空発生機を使用せず、動力源やゴムホースを必要としないため、任意の場所で随時使用することができる。また、本吸着治具の空気通路端部にバルブを設けて空気通路の開閉を行うと、ウェーハ吸着中絶えず空気通路の開口部を指で塞いでいる必要がないので、ウェーハの取扱いが一段と容易になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】請求項１における第１実施例のウェーハ吸着治
具の断面図である。

【図２】請求項１における第２実施例のウェーハ吸着治
具の断面図である。

【図３】請求項２のウェーハ吸着治具の断面図である。

【図４】図３のＡ−Ａ断面図である。

【図５】請求項３のウェーハ吸着治具の断面図である。

【図６】請求項４のウェーハ吸着治具の軸上端部分の断
面図である。

【符号の説明】

１，５，７，１１軸１ｃ，５ｂ，７ｃ，１１ａ縦穴１ｄ，５ｃ，７ｄ横穴２，４吸着パッド３，６ウェーハ８，１２バルブ８ａ，８ｃ，１２ａ，１２ｄ空気抜き穴

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】ウェーハに当接する吸着口を備えた伸縮
自在の吸着パッドと、前記吸着口の開口面に対して垂直
に吸着パッドに連結した軸とからなり、この軸の内部
に、一端が前記吸着口に開口し、他端が前記軸の長さの
途中に至る縦穴と、一端が前記縦穴に通じ、他端が軸外
周に開口する横穴とを設けたことを特徴とするウェーハ
吸着治具。
【請求項２】一端が軸の縦穴に通じ、他端が軸外周に
開口する横穴に、前記横穴内を摺動するバルブを設け、
このバルブを横穴内に押し込むことにより、バルブ内に
穿設した空気抜き穴を介して前記縦穴が外部に連通し、
前記バルブが押し戻されたとき、前記空気抜き穴と縦穴
との連通が遮断される構成としたことを特徴とする請求
項１のウェーハ吸着治具。
【請求項３】ウェーハに当接する吸着口を備えた伸縮
自在の吸着パッドと、前記吸着口の開口面に対して垂直
に吸着パッドに連結した軸とからなり、この軸の内部
に、一端が前記吸着口に開口し、他端が前記軸の上端に
開口する縦穴を設けたことを特徴とするウェーハ吸着治
具。
【請求項４】一端が吸着口に開口し、他端が軸の上端
に開口する縦穴の上端部分に、前記縦穴内を摺動するバ
ルブを設け、このバルブを縦穴内に押し込むことによ
り、バルブ内に穿設した空気抜き穴を介して前記縦穴が
外部に連通し、前記バルブが押し戻されたとき、前記空
気抜き穴と縦穴との連通が遮断される構成としたことを
特徴とする請求項３のウェーハ吸着治具。