JPH02158152A - ペレット収納整列用治具 - Google Patents
ペレット収納整列用治具Info
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- JPH02158152A JPH02158152A JP63312563A JP31256388A JPH02158152A JP H02158152 A JPH02158152 A JP H02158152A JP 63312563 A JP63312563 A JP 63312563A JP 31256388 A JP31256388 A JP 31256388A JP H02158152 A JPH02158152 A JP H02158152A
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- Japan
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- hole
- pellet storage
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- pellets
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- H10P72/10—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP]
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- H10P72/70—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping
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- H10P72/741—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support the auxiliary support including a cavity for storing a finished or partly finished device during manufacturing or mounting, e.g. for an IC package or for a chip
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
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- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49998—Work holding
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- Feeding Of Articles To Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Processing And Handling Of Plastics And Other Materials For Molding In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、上面側にはペレット収納用凹部を、また前記
ペレット収納用凹部の底面と下面側との間には前記底面
側を真空排気用入口とし、前記下面側を真空排気用出口
とした第１の通孔をそれぞれ有してなり、前記ペレット
収納用凹部の底面上に配置されたペレットを前記第１の
通孔の真空排気用入口から出口に向けての真空排気によ
り当該・底面上に吸着する構成を備えたペレット収納整
列用治具に関する。
ペレット収納用凹部の底面と下面側との間には前記底面
側を真空排気用入口とし、前記下面側を真空排気用出口
とした第１の通孔をそれぞれ有してなり、前記ペレット
収納用凹部の底面上に配置されたペレットを前記第１の
通孔の真空排気用入口から出口に向けての真空排気によ
り当該・底面上に吸着する構成を備えたペレット収納整
列用治具に関する。
（従来の技術）
従来例のペレット収納整列用治具Ａとして、その要部拡
大断面図である第４図に示すように当該治具Ａの上面側
２にペレット収納用凹部４を複数備え、各ペレット収納
用凹部４の底面６と当該治具Ａの下面８側との間には底
面６側を真空排気用入口１０とし、下面８側を真空排気
用出口１２とした第１の通孔１４を有してなり、各ペレ
ット収納用凹部４の底面６のそれぞれ上に配置された各
ペレット１６を矢印！８に示すように真空排気用入口Ｉ
Ｏから出口１２に向けて真空排気することにより、各ペ
レット１６を対応する各ペレット収納用凹部４それぞれ
の当該底面Ｇ上に吸着するようにした構成のものがある
。
大断面図である第４図に示すように当該治具Ａの上面側
２にペレット収納用凹部４を複数備え、各ペレット収納
用凹部４の底面６と当該治具Ａの下面８側との間には底
面６側を真空排気用入口１０とし、下面８側を真空排気
用出口１２とした第１の通孔１４を有してなり、各ペレ
ット収納用凹部４の底面６のそれぞれ上に配置された各
ペレット１６を矢印！８に示すように真空排気用入口Ｉ
Ｏから出口１２に向けて真空排気することにより、各ペ
レット１６を対応する各ペレット収納用凹部４それぞれ
の当該底面Ｇ上に吸着するようにした構成のものがある
。
（発明が解決しようとする課題）
ところで、このようなペレット収納整列用治具Ａにおい
てペレット１６として本体ＩＢａとバンプ１６ｂとから
なる例えばダイオードのペレットのようなものをそのペ
レット収納用凹部４内に収納整列させる場合にあっては
、その本体ｌｅａが第４図のように底面６側に面してい
る状態で収納整列させることが正しい収納整列状態であ
る場合では、従来例では真空排気しながらペレット１６
が第５図のようにバンプ１６ｂが底面６側に面しないよ
うにペレット収納整列用治具Ａを振動させるなどして第
４図のように本体１６ａが底面６側に面するようにして
いた。
てペレット１６として本体ＩＢａとバンプ１６ｂとから
なる例えばダイオードのペレットのようなものをそのペ
レット収納用凹部４内に収納整列させる場合にあっては
、その本体ｌｅａが第４図のように底面６側に面してい
る状態で収納整列させることが正しい収納整列状態であ
る場合では、従来例では真空排気しながらペレット１６
が第５図のようにバンプ１６ｂが底面６側に面しないよ
うにペレット収納整列用治具Ａを振動させるなどして第
４図のように本体１６ａが底面６側に面するようにして
いた。
ところが、上記ペレット１６にあっては、バンプ１６ｂ
が第５図のように第１の通孔１４を閉塞するような構造
であったから、バンプ１６ｂが同じく第５図のように底
面６側に而した状態であるときに真空排気すると、その
状態でペレットがその底面６に吸着されてしまい、その
本体１６ａが底面６側に吸着されないまま、つまりペレ
ット１６がペレット収納用凹部４内に不正に整列された
状態で収納整列されてしまうという不都合があった。
が第５図のように第１の通孔１４を閉塞するような構造
であったから、バンプ１６ｂが同じく第５図のように底
面６側に而した状態であるときに真空排気すると、その
状態でペレットがその底面６に吸着されてしまい、その
本体１６ａが底面６側に吸着されないまま、つまりペレ
ット１６がペレット収納用凹部４内に不正に整列された
状態で収納整列されてしまうという不都合があった。
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、バ
ンプのような形状を備えたペレットに対しても真空排気
しながら正しくペレット収納用凹部内に収納整列させる
ことができるペレット収納整列用治具を提供することを
目的としている。
ンプのような形状を備えたペレットに対しても真空排気
しながら正しくペレット収納用凹部内に収納整列させる
ことができるペレット収納整列用治具を提供することを
目的としている。
（課題を解決するための手段）
このような目的を達成するために、本発明のペレット収
納整列用治具においては、冒頭に記載したペレット整列
用治具において、ペレット収納用四部の底面側に、前記
第！の通孔の口径よりも小さい口径でかつ互いに独立し
た形状の第２の通孔を複数有するマイクロメツシュを具
備したことを特徴としている。
納整列用治具においては、冒頭に記載したペレット整列
用治具において、ペレット収納用四部の底面側に、前記
第！の通孔の口径よりも小さい口径でかつ互いに独立し
た形状の第２の通孔を複数有するマイクロメツシュを具
備したことを特徴としている。
（作用）
ペレット収納用凹部の底面側に設けたマイクロメツシュ
が有する第２の通孔の口径が第！の通孔のそれよりも小
さいことから、当該ペレット収納整列用治具を振動させ
つつ、第１の通孔を介して真空排気した場合に、ペレッ
トのバンプのようなものがペレット収納用凹部の底面に
位置しているため、そのバンプのようなもので第２の通
孔の１個または複数個が閉塞されていたとしても、第２
の通孔の残りが第１の通孔とは連通状態にあるために、
当該ペレットはペレット収納用四部の底面に吸着されな
い。したがって、ペレット収納整列用治具の振動を継続
させると、最終的にはペレットは本体側がペレット収納
用四部の底面側に向いた状態に正しく整列させられるこ
ととなる。
が有する第２の通孔の口径が第！の通孔のそれよりも小
さいことから、当該ペレット収納整列用治具を振動させ
つつ、第１の通孔を介して真空排気した場合に、ペレッ
トのバンプのようなものがペレット収納用凹部の底面に
位置しているため、そのバンプのようなもので第２の通
孔の１個または複数個が閉塞されていたとしても、第２
の通孔の残りが第１の通孔とは連通状態にあるために、
当該ペレットはペレット収納用四部の底面に吸着されな
い。したがって、ペレット収納整列用治具の振動を継続
させると、最終的にはペレットは本体側がペレット収納
用四部の底面側に向いた状態に正しく整列させられるこ
ととなる。
（実施例）
以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する
。第１図は本発明の実施例に係るペレット収納整列用治
具の側面断面図であり、従来例に係る第４図および第５
図と対応する部分には同一の符号を付している。
。第１図は本発明の実施例に係るペレット収納整列用治
具の側面断面図であり、従来例に係る第４図および第５
図と対応する部分には同一の符号を付している。
第１図において、２は当該ペレット収納整列用治具Ｂの
上面、４・・・はその上面２側のペレット収納用凹部、
６・・・はペレット収納用凹部４の底面、８は当該ペレ
ット収納整列用治具Ｂの下面、１０・・・は第１の通孔
１４・・・の真空排気用入口、１２・・・は同じく第１
の通孔１４・・・の真空排気用出口である。本実施例に
おける上記構成は従来例と同様である。
上面、４・・・はその上面２側のペレット収納用凹部、
６・・・はペレット収納用凹部４の底面、８は当該ペレ
ット収納整列用治具Ｂの下面、１０・・・は第１の通孔
１４・・・の真空排気用入口、１２・・・は同じく第１
の通孔１４・・・の真空排気用出口である。本実施例に
おける上記構成は従来例と同様である。
本実施例において、従来例と異なる構成は次の通りであ
る。
る。
すなわち、本実施例のペレット収納整列用治具Ｂにあっ
ては、ペレット収納用口ｆ！ＰＪ４・・・それぞれの底
面６・・・側に、第１の通孔１４・・・の口径よりも小
さい口径でかつ互いに独立した形状の第２の通孔１８・
・・を複数有するマイクロメツシュ２０を具備したこと
を特徴としている。
ては、ペレット収納用口ｆ！ＰＪ４・・・それぞれの底
面６・・・側に、第１の通孔１４・・・の口径よりも小
さい口径でかつ互いに独立した形状の第２の通孔１８・
・・を複数有するマイクロメツシュ２０を具備したこと
を特徴としている。
つぎに、本実施例のペレット収納整列用治具Ｂの作用を
それぞれ第１図の要部の部分拡大図である第２図および
第３図を参照して説明する。
それぞれ第１図の要部の部分拡大図である第２図および
第３図を参照して説明する。
まず、ペレット収納整列用治具Ｂを振動させることで第
２図のようにペレット１６の本体１６ａがペレット収納
用凹部４の底面６側に面している場合では、その本体１
６ａはマイクロメツシュ２０を介して第１の通孔１４を
閉塞しているので、矢印２２方向に第１の通孔１４内を
真空排気すると、そのペレットＩ６はペレット収納用凹
部４内に吸着保持されることとなる。
２図のようにペレット１６の本体１６ａがペレット収納
用凹部４の底面６側に面している場合では、その本体１
６ａはマイクロメツシュ２０を介して第１の通孔１４を
閉塞しているので、矢印２２方向に第１の通孔１４内を
真空排気すると、そのペレットＩ６はペレット収納用凹
部４内に吸着保持されることとなる。
また、ペレット収納整列用治具Ｂを振動させることで第
３図のようにペレット１６のバンプ１６ｂがペレット収
納用凹部４の底面６側に而している場合では、第２の通
孔１８・・・の一部はそのバンプ１６ｂで閉塞されても
残りの第２の通孔１８・・・が閉塞されず、また、第１
の通孔１４もそのバンプ１６ｂで閉塞されない。したが
って、第１の通孔１４を真空排気しようしても矢印２４
に示すような経路、つまり、ペレット収納用凹部４、マ
イクロメツシュ２０の第２の通孔１８・・・を介する経
路が連通状態にあるために、第１の通孔１４内は真空排
気されず、したがって、ペレット！６はペレット収納用
凹部４の底面６に吸着されないので、さらにペレット収
納整列用治具Ｂを振動すると、最終的にはペレット！６
は第３図の状態から第２図の状態に反転する。したがっ
て、ペレット１６はペレット収納用凹部４内において正
しい収納状態に整列させられることとなる。
３図のようにペレット１６のバンプ１６ｂがペレット収
納用凹部４の底面６側に而している場合では、第２の通
孔１８・・・の一部はそのバンプ１６ｂで閉塞されても
残りの第２の通孔１８・・・が閉塞されず、また、第１
の通孔１４もそのバンプ１６ｂで閉塞されない。したが
って、第１の通孔１４を真空排気しようしても矢印２４
に示すような経路、つまり、ペレット収納用凹部４、マ
イクロメツシュ２０の第２の通孔１８・・・を介する経
路が連通状態にあるために、第１の通孔１４内は真空排
気されず、したがって、ペレット！６はペレット収納用
凹部４の底面６に吸着されないので、さらにペレット収
納整列用治具Ｂを振動すると、最終的にはペレット！６
は第３図の状態から第２図の状態に反転する。したがっ
て、ペレット１６はペレット収納用凹部４内において正
しい収納状態に整列させられることとなる。
（発明の効果）
以上説明したことから明らかなように本発明によれば、
ペレット収納用四部の底面側に第１の通孔の口径よりも
小さな口径の第２の通孔を複数有するマイクロメツシュ
を設けたことから、当該ペレット収納整列用治具を振動
させつつ、第１の通孔を介して真空排気した場合に、ペ
レットのバンプのようなものがペレット収納用凹部の底
面に位置しているため、そのバンプのようなもので第２
の通孔の１個または複数個が閉塞されていたとしても、
第２の通孔の残りが第１の通孔と連通状態にあるために
、当該ペレットはペレット収納用凹部の底面に吸着され
ない。したがって、ペレット収納整列用治具の振動を継
続させると、最終的にはペレットは本体側がペレット収
納用凹部の底面側に向いた状態に正しく整列させられる
こととなる。
ペレット収納用四部の底面側に第１の通孔の口径よりも
小さな口径の第２の通孔を複数有するマイクロメツシュ
を設けたことから、当該ペレット収納整列用治具を振動
させつつ、第１の通孔を介して真空排気した場合に、ペ
レットのバンプのようなものがペレット収納用凹部の底
面に位置しているため、そのバンプのようなもので第２
の通孔の１個または複数個が閉塞されていたとしても、
第２の通孔の残りが第１の通孔と連通状態にあるために
、当該ペレットはペレット収納用凹部の底面に吸着され
ない。したがって、ペレット収納整列用治具の振動を継
続させると、最終的にはペレットは本体側がペレット収
納用凹部の底面側に向いた状態に正しく整列させられる
こととなる。
したがって、本発明ではバンプのような形状を備えたペ
レットに対しても真空排気しながら正しくペレット収納
用凹部内に収納整列させることができるペレット収納整
列用治具を提供することができる。
レットに対しても真空排気しながら正しくペレット収納
用凹部内に収納整列させることができるペレット収納整
列用治具を提供することができる。
第１図ないし第３図は本発明の実施例に係り、第１図は
同実施例に係るペレット収納整列用治具の断面図、第２
図および第３図は第１図のペレット収納整列用治具の作
用説明に供する第１図の要部の部分拡大図である。 第４図および第５図は従来例に係るペレット収納整列用
治具の作用説明に供する要部の部分拡大図である。 Ｂ・・・ペレット収納整列用治具、２・・・上面、４・
・・ペレット収納用凹部、６・・・ペレット収納用四部
の底面、８・・・下面、ＩＯ・・・真空排気用入口、Ｉ
２・・・真空排気用出口、１４・・・第１の通孔、Ｉ６
・・・ペレット、１６ａ・・・本体、１６ｂ・・・バン
プ、１８・・・第２の通孔、２０・・・マイクロメツシ
ュ。
同実施例に係るペレット収納整列用治具の断面図、第２
図および第３図は第１図のペレット収納整列用治具の作
用説明に供する第１図の要部の部分拡大図である。 第４図および第５図は従来例に係るペレット収納整列用
治具の作用説明に供する要部の部分拡大図である。 Ｂ・・・ペレット収納整列用治具、２・・・上面、４・
・・ペレット収納用凹部、６・・・ペレット収納用四部
の底面、８・・・下面、ＩＯ・・・真空排気用入口、Ｉ
２・・・真空排気用出口、１４・・・第１の通孔、Ｉ６
・・・ペレット、１６ａ・・・本体、１６ｂ・・・バン
プ、１８・・・第２の通孔、２０・・・マイクロメツシ
ュ。
Claims (1)
- （１）上面側にはペレット収納用凹部を、また前記ペレ
ット収納用凹部の底面と下面側との間には前記底面側を
真空排気用入口とし、前記下面側を真空排気用出口とし
た第１の通孔をそれぞれ有してなり、前記ペレット収納
用凹部の底面上に配置されたペレットを前記第１の通孔
の真空排気用入口から出口に向けての真空排気により当
該底面上に吸着する構成を備えたペレット収納整列用治
具において、 前記ペレット収納用凹部の底面側に、前記第１の通孔の
口径よりも小さい口径でかつ互いに独立した形状の第２
の通孔を複数有するマイクロメッシュを具備したことを
特徴とするペレット収納整列用治具。
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63312563A JPH02158152A (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 | ペレット収納整列用治具 |
| KR1019890018192A KR930008524B1 (ko) | 1988-12-09 | 1989-12-08 | 펠릿 수용 정렬 지그 및 그 제작방법과 이에 사용되는 펠릿 설치방법 |
| US07/447,826 US4989845A (en) | 1988-12-09 | 1989-12-08 | Pellet accommodating and aligning jig |
| MYPI89001733A MY105756A (en) | 1988-12-09 | 1989-12-09 | Pellect accommodating and aligning jig. |
| EP89312910A EP0373004B1 (en) | 1988-12-09 | 1989-12-11 | A pellet accommodating and aligning jig |
| DE8989312910T DE68903327T2 (de) | 1988-12-09 | 1989-12-11 | Rahmen zum aufnehmen und ausrichten von plaettchen. |
| US07/618,306 US5095608A (en) | 1988-12-09 | 1990-11-21 | Pellet accommodation and aligning jig |
| SG118893A SG118893G (en) | 1988-12-09 | 1993-10-28 | A pellet accommodating and aligning jig. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63312563A JPH02158152A (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 | ペレット収納整列用治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02158152A true JPH02158152A (ja) | 1990-06-18 |
Family
ID=18030718
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63312563A Pending JPH02158152A (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 | ペレット収納整列用治具 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US4989845A (ja) |
| EP (1) | EP0373004B1 (ja) |
| JP (1) | JPH02158152A (ja) |
| KR (1) | KR930008524B1 (ja) |
| DE (1) | DE68903327T2 (ja) |
| MY (1) | MY105756A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5327623A (en) * | 1991-01-31 | 1994-07-12 | Noel Charles E | Semi-automated button closing machine |
| US6325272B1 (en) | 1998-10-09 | 2001-12-04 | Robotic Vision Systems, Inc. | Apparatus and method for filling a ball grid array |
| US6063196A (en) * | 1998-10-30 | 2000-05-16 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor processing chamber calibration tool |
| JP4629007B2 (ja) * | 2006-08-08 | 2011-02-09 | 株式会社日本設計工業 | 薄板状材料搬送用エアテーブル及び薄板状材料搬送装置 |
| JP6605946B2 (ja) * | 2015-12-24 | 2019-11-13 | 株式会社ディスコ | チップ収容トレイからチップをピックアップする方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6022334A (ja) * | 1983-07-12 | 1985-02-04 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | 集積回路チップの収容容器 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3736651A (en) * | 1971-08-31 | 1973-06-05 | Ibm | Automatic pin insertion and bonding to a metallized pad on a substrate surface |
| US3949295A (en) * | 1974-03-20 | 1976-04-06 | Western Electric Company, Inc. | Apparatus for retaining articles in an array for testing |
| US4301999A (en) * | 1979-09-10 | 1981-11-24 | Camsco, Inc. | Vacuum hold-down table for an automatically controlled system for working on sheet material |
| AT369890B (de) * | 1981-07-27 | 1983-02-10 | Voest Alpine Ag | Vorrichtung zum beschicken von wanderrosten mit gruenpellets |
-
1988
- 1988-12-09 JP JP63312563A patent/JPH02158152A/ja active Pending
-
1989
- 1989-12-08 KR KR1019890018192A patent/KR930008524B1/ko not_active Expired - Fee Related
- 1989-12-08 US US07/447,826 patent/US4989845A/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-12-09 MY MYPI89001733A patent/MY105756A/en unknown
- 1989-12-11 DE DE8989312910T patent/DE68903327T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-12-11 EP EP89312910A patent/EP0373004B1/en not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-11-21 US US07/618,306 patent/US5095608A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6022334A (ja) * | 1983-07-12 | 1985-02-04 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | 集積回路チップの収容容器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4989845A (en) | 1991-02-05 |
| DE68903327T2 (de) | 1993-03-04 |
| KR930008524B1 (ko) | 1993-09-09 |
| US5095608A (en) | 1992-03-17 |
| EP0373004B1 (en) | 1992-10-28 |
| EP0373004A3 (en) | 1991-06-19 |
| KR900010023A (ko) | 1990-07-06 |
| MY105756A (en) | 1995-01-30 |
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