JPH06296050A - レーザ発振器の冷却装置 - Google Patents
レーザ発振器の冷却装置Info
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- JPH06296050A JPH06296050A JP5080699A JP8069993A JPH06296050A JP H06296050 A JPH06296050 A JP H06296050A JP 5080699 A JP5080699 A JP 5080699A JP 8069993 A JP8069993 A JP 8069993A JP H06296050 A JPH06296050 A JP H06296050A
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- cooling
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 気泡混入によるレーザ出力低下を招くことが
なく、かつ冷却能力の優れた冷却装置を得る。 【構成】 冷却水タンク８の上部に冷却水注入口１２を
有するベローズキャップ１９を取りつけることにより、
装置内部の気泡除去と冷却液の体積膨張を吸収できるよ
うにした。さらに、冷却水タンク８にヒートパイプを取
りつけることにより、冷却水からの熱を効率良く輸送で
きるようにした。 【効果】 気泡混入によるレーザ出力低下を招くことが
なく、かつ冷却能力に優れたレーザ発振器の冷却装置を
得ることができる。
なく、かつ冷却能力の優れた冷却装置を得る。 【構成】 冷却水タンク８の上部に冷却水注入口１２を
有するベローズキャップ１９を取りつけることにより、
装置内部の気泡除去と冷却液の体積膨張を吸収できるよ
うにした。さらに、冷却水タンク８にヒートパイプを取
りつけることにより、冷却水からの熱を効率良く輸送で
きるようにした。 【効果】 気泡混入によるレーザ出力低下を招くことが
なく、かつ冷却能力に優れたレーザ発振器の冷却装置を
得ることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、発熱部からの熱を輸
送する冷却液循環器と、熱を外部へ放出する放熱器を備
えたレーザ発振器の冷却装置に関するものである。
送する冷却液循環器と、熱を外部へ放出する放熱器を備
えたレーザ発振器の冷却装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図８、図９は従来のレーザ発振器の冷却
装置を示す図であり、図８は従来装置の全体構成図、図
９（ａ）は従来装置の姿勢９０゜変化時の冷却水タンク
内の冷却水状態を示す図、図９（ｂ）は従来装置の姿勢
４５゜変化時の冷却水タンク内の冷却水状態を示す図で
あり、図において、１は高電圧回路に電極２を介して接
続されたフラッシュランプ、３は上記フラッシュランプ
１に近接して平行に配されたＹＡＧロッド、４は上記フ
ラッシュランプ１、ＹＡＧロッド３、反射筒４をその内
部にアセンブリするキャビティであり、レーザ発振器６
は以上により構成されている。７は上記レーザ発振器６
に冷却水を送り込むポンプ、８は上記レーザ発振器６及
びポンプ７と冷却配管９により接続され、その下部にタ
ンク冷却水出口１０、その上部にタンク冷却水入口１１
を有する円筒状の冷却水タンク、１２は上記冷却水タン
ク８の上面カバー１３に配された冷却水注入口、１４は
上記冷却水タンク８の円筒面周囲に取り付けられた放熱
フィンであり、放熱表面積をかせぐ為に例えばコルゲー
トフィンを２段、３段に積み重ねた構造となっている。
１５は上記冷却水タンク８の底面に配され、上記放熱フ
ィン１４に冷却風を送る冷却ファン、１６は上記冷却フ
ァン１５と放熱フィン１４を囲むエアーダクト、１７は
冷却系全体に充填され上記タンク冷却水入口１１と上記
上面カバー１３の中ほどに水位を持つ冷却水、１８は上
記冷却水タンク８内の空気層である。
装置を示す図であり、図８は従来装置の全体構成図、図
９（ａ）は従来装置の姿勢９０゜変化時の冷却水タンク
内の冷却水状態を示す図、図９（ｂ）は従来装置の姿勢
４５゜変化時の冷却水タンク内の冷却水状態を示す図で
あり、図において、１は高電圧回路に電極２を介して接
続されたフラッシュランプ、３は上記フラッシュランプ
１に近接して平行に配されたＹＡＧロッド、４は上記フ
ラッシュランプ１、ＹＡＧロッド３、反射筒４をその内
部にアセンブリするキャビティであり、レーザ発振器６
は以上により構成されている。７は上記レーザ発振器６
に冷却水を送り込むポンプ、８は上記レーザ発振器６及
びポンプ７と冷却配管９により接続され、その下部にタ
ンク冷却水出口１０、その上部にタンク冷却水入口１１
を有する円筒状の冷却水タンク、１２は上記冷却水タン
ク８の上面カバー１３に配された冷却水注入口、１４は
上記冷却水タンク８の円筒面周囲に取り付けられた放熱
フィンであり、放熱表面積をかせぐ為に例えばコルゲー
トフィンを２段、３段に積み重ねた構造となっている。
１５は上記冷却水タンク８の底面に配され、上記放熱フ
ィン１４に冷却風を送る冷却ファン、１６は上記冷却フ
ァン１５と放熱フィン１４を囲むエアーダクト、１７は
冷却系全体に充填され上記タンク冷却水入口１１と上記
上面カバー１３の中ほどに水位を持つ冷却水、１８は上
記冷却水タンク８内の空気層である。
【０００３】従来のレーザ発振器の冷却装置は上記のよ
うに構成されており、まず高電圧回路に接続された上記
フラッシュランプ１が発光し上記反射筒４を介して上記
ＹＡＧロッド３に集光される。上記ＹＡＧロッド３にお
いて集光されたエネルギーがある一定状態に達すると、
ＹＡＧロッドの端面からパルス状にレーザ光が発振され
る。以上がレーザ発振の基本動作であり、レーザ発振が
繰り返されると上記キャビティ５の内部では集中的に大
量の熱が発生しその発熱密度から直接液冷にて放熱シス
テムを形成する必要が生じる。本構造において、上記フ
ラッシュランプ１、ＹＡＧロッド３、反射筒からの熱は
上記ポンプ７によって循環されている冷却水１７により
上記レーザ発振器６より運び出され、上記ポンプ７、タ
ンク冷却水入口１１を通って上記冷却水タンク８内に達
する。図中の矢印は冷却水の流れ方向を示す。上記冷却
水タンク８の円筒面周囲には多くの放熱面積を有する放
熱フィン１４が配されており、上記冷却水１７からの熱
は上記冷却水タンク８の壁面を通って上記放熱フィン１
４に伝導され、上記冷却ファン１５からの冷却風により
外部へ放熱される。図中矢印は冷却風の方向を示す。熱
放散されて温度が低くなった上記冷却水１７は上記タン
ク冷却水出口１０より上記冷却配管９を通って上記キャ
ビティ５内に送り込まれることで冷却システムを形成し
ている。また、上記冷却水１７の液体膨張を本装置内で
吸収する必要があり、この為に上記冷却水タンク８の内
部には一定量の空気層１８を確保する構造となってい
る。ところで、レーザ発振器のレーザ出力効率低下の一
因として上記キャビティ５内に気泡が残留することが挙
げられる。これは、特に上記フラッシュランプ１、ＹＡ
Ｇロッド３、反射筒４の周囲に気泡が付着した場合、レ
ーザ光の透過率が低下し、ＹＡＧロッド３に集められる
光エネルギーが少なくなること、及び気泡付着が原因と
なってＹＡＧロッド３自身の冷却効率が低下して温度上
昇を起こすこと、以上の２点よりレーザ出力の低下をき
たすことになる。この為、レーザ発振器の冷却システム
はキャビティへの気泡混入を防ぐ構造となっていること
と熱交換効率が良いことが重要であり、例えば図９
（ａ），（ｂ）に示すようにレーザ測距装置全体姿勢が
変化し、冷却水タンクの角度が変化した際も、上記空気
層１８は上記タンク冷却水入口１１及びタンク冷却水出
口１０の先端部分より上方に位置するようになってお
り、姿勢変化があっても気泡が上記キャビティ５内に戻
ってゆかない構造となっている。尚、上記冷却水タンク
８の上方には上面カバー１３があり、ここに備えられた
冷却水注入口１２より冷却水１７を注入する構造となっ
ている。
うに構成されており、まず高電圧回路に接続された上記
フラッシュランプ１が発光し上記反射筒４を介して上記
ＹＡＧロッド３に集光される。上記ＹＡＧロッド３にお
いて集光されたエネルギーがある一定状態に達すると、
ＹＡＧロッドの端面からパルス状にレーザ光が発振され
る。以上がレーザ発振の基本動作であり、レーザ発振が
繰り返されると上記キャビティ５の内部では集中的に大
量の熱が発生しその発熱密度から直接液冷にて放熱シス
テムを形成する必要が生じる。本構造において、上記フ
ラッシュランプ１、ＹＡＧロッド３、反射筒からの熱は
上記ポンプ７によって循環されている冷却水１７により
上記レーザ発振器６より運び出され、上記ポンプ７、タ
ンク冷却水入口１１を通って上記冷却水タンク８内に達
する。図中の矢印は冷却水の流れ方向を示す。上記冷却
水タンク８の円筒面周囲には多くの放熱面積を有する放
熱フィン１４が配されており、上記冷却水１７からの熱
は上記冷却水タンク８の壁面を通って上記放熱フィン１
４に伝導され、上記冷却ファン１５からの冷却風により
外部へ放熱される。図中矢印は冷却風の方向を示す。熱
放散されて温度が低くなった上記冷却水１７は上記タン
ク冷却水出口１０より上記冷却配管９を通って上記キャ
ビティ５内に送り込まれることで冷却システムを形成し
ている。また、上記冷却水１７の液体膨張を本装置内で
吸収する必要があり、この為に上記冷却水タンク８の内
部には一定量の空気層１８を確保する構造となってい
る。ところで、レーザ発振器のレーザ出力効率低下の一
因として上記キャビティ５内に気泡が残留することが挙
げられる。これは、特に上記フラッシュランプ１、ＹＡ
Ｇロッド３、反射筒４の周囲に気泡が付着した場合、レ
ーザ光の透過率が低下し、ＹＡＧロッド３に集められる
光エネルギーが少なくなること、及び気泡付着が原因と
なってＹＡＧロッド３自身の冷却効率が低下して温度上
昇を起こすこと、以上の２点よりレーザ出力の低下をき
たすことになる。この為、レーザ発振器の冷却システム
はキャビティへの気泡混入を防ぐ構造となっていること
と熱交換効率が良いことが重要であり、例えば図９
（ａ），（ｂ）に示すようにレーザ測距装置全体姿勢が
変化し、冷却水タンクの角度が変化した際も、上記空気
層１８は上記タンク冷却水入口１１及びタンク冷却水出
口１０の先端部分より上方に位置するようになってお
り、姿勢変化があっても気泡が上記キャビティ５内に戻
ってゆかない構造となっている。尚、上記冷却水タンク
８の上方には上面カバー１３があり、ここに備えられた
冷却水注入口１２より冷却水１７を注入する構造となっ
ている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のレーザ発振器の
冷却装置は以上のように構成されているので、レーザ測
距装置全体のゆるやかな姿勢変化に対しては気泡混入を
防止できるものの、急激な姿勢変化や車両に搭載し振動
外力が加わった場合には空気層が冷却水の中に混入する
状態が起きる。そのため、気泡が混入した冷却水がキャ
ビティに送り込まれＹＡＧロッド等に気泡が付着するこ
ととなり、結果的にレーザ出力の低下を引き起こすとい
う課題があった。また、冷却水タンクの周囲に取り付け
られた放熱フィンは、例えばコルゲートフィンが２段、
３段に積み重ねられた構造になっていることから、きわ
めて通風抵抗が大きい。さらに、外側のコルゲートフィ
ンになるほど伝熱抵抗が大きくなりフィン効率が低下す
る。よって全体として冷却水タンクの冷却能力が低いと
いう課題があった。
冷却装置は以上のように構成されているので、レーザ測
距装置全体のゆるやかな姿勢変化に対しては気泡混入を
防止できるものの、急激な姿勢変化や車両に搭載し振動
外力が加わった場合には空気層が冷却水の中に混入する
状態が起きる。そのため、気泡が混入した冷却水がキャ
ビティに送り込まれＹＡＧロッド等に気泡が付着するこ
ととなり、結果的にレーザ出力の低下を引き起こすとい
う課題があった。また、冷却水タンクの周囲に取り付け
られた放熱フィンは、例えばコルゲートフィンが２段、
３段に積み重ねられた構造になっていることから、きわ
めて通風抵抗が大きい。さらに、外側のコルゲートフィ
ンになるほど伝熱抵抗が大きくなりフィン効率が低下す
る。よって全体として冷却水タンクの冷却能力が低いと
いう課題があった。
【０００５】この発明は、かかる課題を解決するために
なされたもので、気泡混入によるレーザ出力の低下を招
くことのない、かつ冷却能力の優れたレーザ発振器の冷
却装置を提案するものである。
なされたもので、気泡混入によるレーザ出力の低下を招
くことのない、かつ冷却能力の優れたレーザ発振器の冷
却装置を提案するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係るレーザ発振
器の冷却装置の第１の実施例においては、冷却水タンク
の上部に冷却水注入口を有するベローズキャップ、ベロ
ーズキャップを伸長させるためのベローズホルダ及びベ
ローズストッパを取り付け、さらに冷却水タンクの周囲
にヒートパイプを取り付けたものである。
器の冷却装置の第１の実施例においては、冷却水タンク
の上部に冷却水注入口を有するベローズキャップ、ベロ
ーズキャップを伸長させるためのベローズホルダ及びベ
ローズストッパを取り付け、さらに冷却水タンクの周囲
にヒートパイプを取り付けたものである。
【０００７】また、本発明に係るレーザ発振器の冷却装
置の第２の実施例においては、ベローズホルダの上部下
面のベローズホルダと当接する位置に圧力異常検知スイ
ッチを取り付けたものである。
置の第２の実施例においては、ベローズホルダの上部下
面のベローズホルダと当接する位置に圧力異常検知スイ
ッチを取り付けたものである。
【０００８】また、本発明に係るレーザ発振器の冷却装
置の第３の実施例においては、冷却水タンクの上部に円
錐形状を有するベローズキャップを取り付けたものであ
る。
置の第３の実施例においては、冷却水タンクの上部に円
錐形状を有するベローズキャップを取り付けたものであ
る。
【０００９】さらに、本発明に係るレーザ発振器の冷却
装置の第４の実施例においては、冷却水タンクの上部と
下部をそれぞれ開口し、その上部に冷却水注入口を有
し、かつ円錐形状を有するベローズキャップを取り付
け、その下部に冷却水排出口を有し、かつ円錐形状を有
するベローズキャップを取り付けたものである。
装置の第４の実施例においては、冷却水タンクの上部と
下部をそれぞれ開口し、その上部に冷却水注入口を有
し、かつ円錐形状を有するベローズキャップを取り付
け、その下部に冷却水排出口を有し、かつ円錐形状を有
するベローズキャップを取り付けたものである。
【００１０】そして、本発明に係るレーザ発振器の冷却
装置の第５の実施例においては、冷却水タンク内に液体
膨張吸収タンクを備えたものである。
装置の第５の実施例においては、冷却水タンク内に液体
膨張吸収タンクを備えたものである。
【００１１】
【作用】この発明に係るレーザ発振器の冷却装置の第１
の実施例においては、冷却装置に冷却水を注入する際、
冷却系内部に残留している気泡を順次ベローズ内部に集
めた後、ベローズの伸縮を利用して冷却水注入口から気
泡を除去する。また冷却水の体積膨張はベローズにより
吸収される。さらに、冷却水タンクに取り付けられてい
るヒートパイプが冷却水からの熱を効率良く冷却水タン
クの外部まで運ぶ。
の実施例においては、冷却装置に冷却水を注入する際、
冷却系内部に残留している気泡を順次ベローズ内部に集
めた後、ベローズの伸縮を利用して冷却水注入口から気
泡を除去する。また冷却水の体積膨張はベローズにより
吸収される。さらに、冷却水タンクに取り付けられてい
るヒートパイプが冷却水からの熱を効率良く冷却水タン
クの外部まで運ぶ。
【００１２】また、この発明に係るレーザ発振器の冷却
装置の第２の実施例においては、冷却系内の圧力が異常
に高くなるとベローズキャップが伸長し、ベローズホル
ダ下面に取り付けられている圧力異常検知スイッチに接
触することにより冷却系内の圧力異常を知らせる。
装置の第２の実施例においては、冷却系内の圧力が異常
に高くなるとベローズキャップが伸長し、ベローズホル
ダ下面に取り付けられている圧力異常検知スイッチに接
触することにより冷却系内の圧力異常を知らせる。
【００１３】また、この発明に係るレーザ発振器の冷却
装置の第３の実施例においては、冷却水タンクに取り付
けられた円錐形状を有するベローズキャップが、冷却水
との固定部側に冷却水量が多く、ベローズ先端側に近づ
くにしたがい冷却水量が少ないという構造を有している
ため、水平方向に振動外力等が加わった時のベローズ部
分の横ゆれ量が小さい。
装置の第３の実施例においては、冷却水タンクに取り付
けられた円錐形状を有するベローズキャップが、冷却水
との固定部側に冷却水量が多く、ベローズ先端側に近づ
くにしたがい冷却水量が少ないという構造を有している
ため、水平方向に振動外力等が加わった時のベローズ部
分の横ゆれ量が小さい。
【００１４】また、この発明に係るレーザ発振器の冷却
装置の第４、第５の実施例においては、冷却水タンクの
上部と下部にベローズキャップが取り付けられているこ
と、及び冷却水タンク内に液体膨張吸収タンクが備えら
れていることにより、液体の体積膨張吸収量を大きくす
る。
装置の第４、第５の実施例においては、冷却水タンクの
上部と下部にベローズキャップが取り付けられているこ
と、及び冷却水タンク内に液体膨張吸収タンクが備えら
れていることにより、液体の体積膨張吸収量を大きくす
る。
【００１５】
実施例１．図１、図２、図３はこの発明に係るレーザ発
振器の冷却装置の第１の実施例を示すものであり、図１
は装置の全体構成図、図２はベローズキャップ伸長時を
示す図、図３はベローズホルダ上面図であり、１〜２，
１４〜１８は上記従来装置と全く同一のものである。１
９は上記冷却水タンク８の上部に取り付けられたベロー
ズキャップ、２０は上記ベローズキャップ１９の中央シ
ャフト２１に係合するシャフト用穴２２とベローズキャ
ップ１９の伸縮量を制限する高さ寸法を有するベローズ
ホルダ、２４は上記冷却水タンク８の内部に蒸発部、外
部に凝縮部を有するように冷却水タンク円筒面に取り付
けられたヒートパイプ、２５は上記ベローズキャップ１
９と上記ベローズホルダ２０の間に挿入するベローズス
トッパであり、ベローズホルダ２０上に固定されてい
る。尚、上記従来装置において上記上面カバーに設けら
れていた上記冷却水注入口１２は上記ベローズキャップ
１９の上端の中央シャフト２１に設けられている。ま
た、上記従来装置において上記冷却水タンク８の周囲に
取り付けられていた放熱フィン１４は上記ヒートパイプ
２４の凝縮部周辺に取り付けられている。
振器の冷却装置の第１の実施例を示すものであり、図１
は装置の全体構成図、図２はベローズキャップ伸長時を
示す図、図３はベローズホルダ上面図であり、１〜２，
１４〜１８は上記従来装置と全く同一のものである。１
９は上記冷却水タンク８の上部に取り付けられたベロー
ズキャップ、２０は上記ベローズキャップ１９の中央シ
ャフト２１に係合するシャフト用穴２２とベローズキャ
ップ１９の伸縮量を制限する高さ寸法を有するベローズ
ホルダ、２４は上記冷却水タンク８の内部に蒸発部、外
部に凝縮部を有するように冷却水タンク円筒面に取り付
けられたヒートパイプ、２５は上記ベローズキャップ１
９と上記ベローズホルダ２０の間に挿入するベローズス
トッパであり、ベローズホルダ２０上に固定されてい
る。尚、上記従来装置において上記上面カバーに設けら
れていた上記冷却水注入口１２は上記ベローズキャップ
１９の上端の中央シャフト２１に設けられている。ま
た、上記従来装置において上記冷却水タンク８の周囲に
取り付けられていた放熱フィン１４は上記ヒートパイプ
２４の凝縮部周辺に取り付けられている。
【００１６】上記のように構成されたレーザ発振器の冷
却装置においては、まず、図２、図３に示すように上記
ベローズキャップ１９の中央シャフト２１の先端を引張
り上げた状態で、上記ベローズホルダ２０との間に上記
ベローズストッパ２５を挿入する。この時、上記ベロー
ズキャップ１９のベローズの伸長分だけ内部の容積が増
えた状態となっている。そして、上記冷却水注入口１２
から冷却水１７を装置内に注入した後、上記冷却水注入
口１２のキャップを閉じた状態で上記ポンプ７を作動さ
せる。すると、上記キャビティ５の内部や上記ポンプ７
や上記冷却配管９等の各部に残留していた気泡は、上記
タンク冷却水入口１１から冷却水タンク８内に入り、し
だいに図２に示すように上記ベローズキャップ１９内の
上部の冷却水注入口１２付近に空気層となって集められ
る。装置内各所の気泡が除去され、上記ベローズキャッ
プ１９内の上部に集まり終わった時点で、上記ポンプ７
を停止させる。上記冷却水注入口１２のキャップを外し
た後、上記ベローズストッパ２５の挿入状態を解除する
と、上記ベローズキャップ１９は自由高さ寸法まで戻
る。このことにより、装置の内容積はベローズが縮んだ
分だけ減ることになり、上記冷却水注入口１２付近に集
まっていた空気層は上記冷却水注入口１２より外部へ排
出され、装置内の空気層は完全に除去されることとな
る。また、装置内の冷却水の液体体積膨張分は、上記ベ
ローズキャップ２２が伸長することにより吸収する。ま
た、上記冷却水タンク８に取り付けられた上記ヒートパ
イプ２４の蒸発部は上記冷却水１７から熱をうばい、上
記冷却水タンク８の外周にある凝縮部まで効率良く熱を
輸送し、最後に放熱フィン１４から冷却空気によって外
部空間に放出される。
却装置においては、まず、図２、図３に示すように上記
ベローズキャップ１９の中央シャフト２１の先端を引張
り上げた状態で、上記ベローズホルダ２０との間に上記
ベローズストッパ２５を挿入する。この時、上記ベロー
ズキャップ１９のベローズの伸長分だけ内部の容積が増
えた状態となっている。そして、上記冷却水注入口１２
から冷却水１７を装置内に注入した後、上記冷却水注入
口１２のキャップを閉じた状態で上記ポンプ７を作動さ
せる。すると、上記キャビティ５の内部や上記ポンプ７
や上記冷却配管９等の各部に残留していた気泡は、上記
タンク冷却水入口１１から冷却水タンク８内に入り、し
だいに図２に示すように上記ベローズキャップ１９内の
上部の冷却水注入口１２付近に空気層となって集められ
る。装置内各所の気泡が除去され、上記ベローズキャッ
プ１９内の上部に集まり終わった時点で、上記ポンプ７
を停止させる。上記冷却水注入口１２のキャップを外し
た後、上記ベローズストッパ２５の挿入状態を解除する
と、上記ベローズキャップ１９は自由高さ寸法まで戻
る。このことにより、装置の内容積はベローズが縮んだ
分だけ減ることになり、上記冷却水注入口１２付近に集
まっていた空気層は上記冷却水注入口１２より外部へ排
出され、装置内の空気層は完全に除去されることとな
る。また、装置内の冷却水の液体体積膨張分は、上記ベ
ローズキャップ２２が伸長することにより吸収する。ま
た、上記冷却水タンク８に取り付けられた上記ヒートパ
イプ２４の蒸発部は上記冷却水１７から熱をうばい、上
記冷却水タンク８の外周にある凝縮部まで効率良く熱を
輸送し、最後に放熱フィン１４から冷却空気によって外
部空間に放出される。
【００１７】実施例２．図４は上記実施例１をさらに改
善した第２の実施例を示すものであり、上記ベローズホ
ルダ２０の上部下面のベローズキャップ上面部と当接す
る位置に圧力異常検知スイッチ２６が取り付けられてい
る。このような実施態様によれば、装置内の圧力が異常
に高くなった時に上記ベローズキャップ１９が伸長し、
上記圧力異常検知スイッチ２６に接触する。これにより
装置内の圧力異常を知ることができる。
善した第２の実施例を示すものであり、上記ベローズホ
ルダ２０の上部下面のベローズキャップ上面部と当接す
る位置に圧力異常検知スイッチ２６が取り付けられてい
る。このような実施態様によれば、装置内の圧力が異常
に高くなった時に上記ベローズキャップ１９が伸長し、
上記圧力異常検知スイッチ２６に接触する。これにより
装置内の圧力異常を知ることができる。
【００１８】実施例３．図５は上記実施例１をさらに改
善した第３の実施例を示すものであり、上記冷却水タン
ク８の上部に冷却水注入口１２を有し、かつ円錐形状を
有するベローズキャップ１９を取り付けている。このよ
うな実施態様によれば、ベローズが円錐形状となってい
るため、冷却水タンク８との固定部側に冷却水量が多
く、ベローズ先端部に近づくにしたがって冷却水量が少
ないことから、水平方向に振動外力等が加わった時のベ
ローズキャップ１９の横ゆれ量が小さい。よって、冷却
水を含んだベローズキャップ１９の水平方向の耐振性が
向上する。
善した第３の実施例を示すものであり、上記冷却水タン
ク８の上部に冷却水注入口１２を有し、かつ円錐形状を
有するベローズキャップ１９を取り付けている。このよ
うな実施態様によれば、ベローズが円錐形状となってい
るため、冷却水タンク８との固定部側に冷却水量が多
く、ベローズ先端部に近づくにしたがって冷却水量が少
ないことから、水平方向に振動外力等が加わった時のベ
ローズキャップ１９の横ゆれ量が小さい。よって、冷却
水を含んだベローズキャップ１９の水平方向の耐振性が
向上する。
【００１９】実施例４．図６は上記実施例１をさらに改
善した第４の実施例を示すものであり、上記冷却水タン
ク８の開口した両端にそれぞれ上記冷却水注入口１２ま
たは冷却水排出口２７を有し、かつ円錐形状を有するベ
ローズキャップ１９が取り付けられている。このような
実施態様によれば液体の体積膨張吸収量を多く確保する
ことができる。
善した第４の実施例を示すものであり、上記冷却水タン
ク８の開口した両端にそれぞれ上記冷却水注入口１２ま
たは冷却水排出口２７を有し、かつ円錐形状を有するベ
ローズキャップ１９が取り付けられている。このような
実施態様によれば液体の体積膨張吸収量を多く確保する
ことができる。
【００２０】実施例５．図７は上記実施例１をさらに改
善した第５の実施例を示すものであり、上記冷却水タン
ク８の内部に液体膨張吸収タンク２８を備えている。こ
の液体膨張吸収タンク２８は例えば薄膜表皮の内部に空
気等の気体が密封されたものであり、このような実施態
様によれば実施例４と同様に液体の体積膨張吸収量を多
く確保することができる。
善した第５の実施例を示すものであり、上記冷却水タン
ク８の内部に液体膨張吸収タンク２８を備えている。こ
の液体膨張吸収タンク２８は例えば薄膜表皮の内部に空
気等の気体が密封されたものであり、このような実施態
様によれば実施例４と同様に液体の体積膨張吸収量を多
く確保することができる。
【００２１】
【発明の効果】この発明は、以上説明したように構成さ
れているので、以下に記載されるような効果がある。
れているので、以下に記載されるような効果がある。
【００２２】第１の実施例においては、冷却水タンクの
上部に冷却水注入口を有するベローズキャップを取り付
けることにより、ベローズの伸縮を利用して冷却系内部
の気泡除去ができるとともに、ベローズが冷却水の液体
体積膨張を吸収することにより、空気層を持たない装置
とすることができる。よって、気泡混入によるレーザ出
力の低下を招くことのない冷却装置を得ることができ
る。また、冷却水タンクに取り付けられているヒートパ
イプが冷却水から効率良く熱をうばうので冷却能力の優
れた冷却装置を得ることができる。
上部に冷却水注入口を有するベローズキャップを取り付
けることにより、ベローズの伸縮を利用して冷却系内部
の気泡除去ができるとともに、ベローズが冷却水の液体
体積膨張を吸収することにより、空気層を持たない装置
とすることができる。よって、気泡混入によるレーザ出
力の低下を招くことのない冷却装置を得ることができ
る。また、冷却水タンクに取り付けられているヒートパ
イプが冷却水から効率良く熱をうばうので冷却能力の優
れた冷却装置を得ることができる。
【００２３】また、第２の実施例においては、ベローズ
ホルダの下面に取り付けられた圧力異常検知スイッチが
装置内の圧力異常を知らせるので、例えばごみづまり等
により装置内部の圧力が高くなりすぎて、冷却水もれが
発生するようなトラブルを防止することができる。
ホルダの下面に取り付けられた圧力異常検知スイッチが
装置内の圧力異常を知らせるので、例えばごみづまり等
により装置内部の圧力が高くなりすぎて、冷却水もれが
発生するようなトラブルを防止することができる。
【００２４】また、第３の実施例においては、円錐形状
を有するベローズキャップを取り付けることにより、ベ
ローズキャップの水平方向の耐振性を向上させた装置を
得ることができる。
を有するベローズキャップを取り付けることにより、ベ
ローズキャップの水平方向の耐振性を向上させた装置を
得ることができる。
【００２５】さらに、第４の実施例においては、冷却水
タンクの上部に冷却水注入口を有する円錐形状のベロー
ズキャップを取り付け、一方、冷却水タンクの下部に
は、冷却水排出口を有する円錐形状のベローズキャップ
を取り付けることにより、冷却水の交換が容易に行える
とともに液体の体積膨張吸収量を多く確保することがで
きる。
タンクの上部に冷却水注入口を有する円錐形状のベロー
ズキャップを取り付け、一方、冷却水タンクの下部に
は、冷却水排出口を有する円錐形状のベローズキャップ
を取り付けることにより、冷却水の交換が容易に行える
とともに液体の体積膨張吸収量を多く確保することがで
きる。
【００２６】また、第５の実施例においては、冷却水タ
ンク内に液体膨張吸収タンクを備えることにより、上記
と同様、液体の体積膨張吸収量の多い装置を確保するこ
とができる。
ンク内に液体膨張吸収タンクを備えることにより、上記
と同様、液体の体積膨張吸収量の多い装置を確保するこ
とができる。
【図１】この発明の第１の実施例によるレーザ発振器の
冷却装置の全体構成図である。
冷却装置の全体構成図である。
【図２】この発明の第１の実施例によるレーザ発振器の
冷却装置のベローズキャップ伸長時を示す図である。
冷却装置のベローズキャップ伸長時を示す図である。
【図３】この発明の第１の実施例によるレーザ発振器の
冷却装置のベローズホルダ上面図である。
冷却装置のベローズホルダ上面図である。
【図４】この発明の第２の実施例によるレーザ発振器の
冷却装置を示す図である。
冷却装置を示す図である。
【図５】この発明の第３の実施例によるレーザ発振器の
冷却装置を示す図である。
冷却装置を示す図である。
【図６】この発明の第４の実施例によるレーザ発振器の
冷却装置を示す図である。
冷却装置を示す図である。
【図７】この発明の第５の実施例によるレーザ発振器の
冷却装置を示す図である。
冷却装置を示す図である。
【図８】従来のレーザ発振器の冷却装置の全体構成図で
ある。
ある。
【図９】従来のレーザ発振器における冷却装置の姿勢変
化時の冷却水状態を示す図である。
化時の冷却水状態を示す図である。
１ フラッシュランプ ２ 電極 ３ ＹＡＧロッド ４ 反射筒 ５ キャビティ ６ レーザ発振器 ７ ポンプ ８ 冷却水タンク ９ 冷却配管 １０ タンク冷却水出口 １１ タンク冷却水入口 １２ 冷却水注入口 １３ 上面カバー １４ 放熱フィン １５ 冷却ファン １６ エアーダクト １７ 冷却水 １８ 空気層 １９ ベローズキャップ ２０ ベローズホルダ ２１ 中央シャフト ２２ シャフト用穴 ２４ ヒートパイプ ２５ ベローズストッパ ２６ 圧力異常検知スイッチ ２７ 冷却水排出口 ２８ 液体膨張吸収タンク
Claims (5)
- 【請求項１】 高電圧回路に電極を介して接続されたフ
ラッシュランプと、上記フラッシュランプに近接して平
行に配されたＹＡＧロッドと、上記フラッシュランプと
ＹＡＧロッドの周囲を包むように配された反射筒と、上
記フラッシュランプ、ＹＡＧロッド、反射筒がその内部
に組み込まれているキャビティと、上記フラッシュラン
プ、ＹＡＧロッド、反射筒、キャビティより構成される
レーザ発振器と、上記レーザ発振器と冷却配管により接
続された冷却水タンクと、上記冷却水タンクに取り付け
られたヒートパイプと、上記ヒートパイプに取り付けら
れた放熱フィンと、上記冷却水タンクの上部に取り付け
られたベローズキャップと、上記ベローズキャップ上端
の中央シャフトに設けられた冷却水注入口と、上記ベロ
ーズキャップの中央シャフトに係合する穴とベローズキ
ャップの伸長量を制限する高さ寸法を有するベローズホ
ルダと、上記ベローズキャップとベローズホルダの間に
挿入するベローズストッパと、上記冷却水タンクの下部
に取り付けられた冷却ファンと、上記放熱フィンと冷却
ファンを囲むエアーダクトと、上記レーザ発振器及び冷
却水タンクと冷却配管により接続され冷却水タンクを経
由してレーザ発振器に冷却水を送り込むポンプにより構
成されたことを特徴とするレーザ発振器の冷却装置。 - 【請求項２】 ベローズホルダの上部下面のベローズキ
ャップと当接する位置に、圧力異常検知スイッチを取り
付けたことを特徴とする請求項１記載のレーザ発振器の
冷却装置。 - 【請求項３】 円錐形状を有するベローズキャップを取
り付けたことを特徴とする請求項１記載のレーザ発振器
の冷却装置。 - 【請求項４】 両端を開口した冷却水タンクの、上端側
に冷却水注入口を有し、かつ円錐形状を有するベローズ
キャップを取り付け、対向する下端側に冷却水排出口を
有しかつ円錐形状を有するベローズキャップを取り付け
たことを特徴とする請求項１記載のレーザ発振器の冷却
装置。 - 【請求項５】 冷却水タンク内に液体膨張吸収タンクを
備えたことを特徴とする請求項１記載のレーザ発振器の
冷却装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5080699A JPH06296050A (ja) | 1993-04-07 | 1993-04-07 | レーザ発振器の冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5080699A JPH06296050A (ja) | 1993-04-07 | 1993-04-07 | レーザ発振器の冷却装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06296050A true JPH06296050A (ja) | 1994-10-21 |
Family
ID=13725583
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5080699A Pending JPH06296050A (ja) | 1993-04-07 | 1993-04-07 | レーザ発振器の冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06296050A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113708198A (zh) * | 2021-09-09 | 2021-11-26 | 南通温亨制冷设备有限公司 | 一种多级循环式激光水冷机 |
| CN113745947A (zh) * | 2021-09-03 | 2021-12-03 | 南通温亨制冷设备有限公司 | 一种适用于恶劣环境下的两用激光水冷机 |
| CN118137269A (zh) * | 2024-03-12 | 2024-06-04 | 武汉锐斯精密制造有限公司 | 一种复合散热的激光器 |
-
1993
- 1993-04-07 JP JP5080699A patent/JPH06296050A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113745947A (zh) * | 2021-09-03 | 2021-12-03 | 南通温亨制冷设备有限公司 | 一种适用于恶劣环境下的两用激光水冷机 |
| CN113708198A (zh) * | 2021-09-09 | 2021-11-26 | 南通温亨制冷设备有限公司 | 一种多级循环式激光水冷机 |
| CN118137269A (zh) * | 2024-03-12 | 2024-06-04 | 武汉锐斯精密制造有限公司 | 一种复合散热的激光器 |
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