JPH06298539A - ガラス材の接着方法 - Google Patents

ガラス材の接着方法

Info

Publication number
JPH06298539A
JPH06298539A JP8331793A JP8331793A JPH06298539A JP H06298539 A JPH06298539 A JP H06298539A JP 8331793 A JP8331793 A JP 8331793A JP 8331793 A JP8331793 A JP 8331793A JP H06298539 A JPH06298539 A JP H06298539A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bonding
temperature
water
glass materials
glass
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8331793A
Other languages
English (en)
Inventor
Masahiko Koide
正彦 小出
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Naoetsu Electronics Co Ltd
Original Assignee
Naoetsu Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Naoetsu Electronics Co Ltd filed Critical Naoetsu Electronics Co Ltd
Priority to JP8331793A priority Critical patent/JPH06298539A/ja
Publication of JPH06298539A publication Critical patent/JPH06298539A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Joining Of Glass To Other Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 接着材を使用せずにガラス材同士を接着せ
しめる接着方法を提供し、透明度の低下しない接着を実
現することを目的とする。 【構成】 ガラス材同士の接着面を研磨して鏡面仕上
げした後、洗浄水により洗浄し、濡れたガラス材同士を
密着させた後、40〜90゜Cの温度で乾燥させ、10
0〜150゜Cの温度で予備加熱した後、400゜C以
上の温度で加熱処理するものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、接着剤を使用するこ
となく、石英ガラス等のガラス材を接着せしめるガラス
材の接着方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、石英ガラス等からなるガラス材同
士を接着する方法としては接着剤を使用する方法が知ら
れている。接着材を使用してガラス材同士を接着するに
は、乳ばちで接着剤を粉砕し、この接着剤をガラス材同
士の接着面に挟み、700℃以上の温度で加熱すること
により接着面の接着剤を溶解させてガラス材同士を接着
している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、接着
材を使用せずにガラス材同士を接着せしめる接着方法を
提供し、接着面の透明度が低下しない接着を実現するこ
とにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記した課題を解決する
ために本発明のガラス材の接着方法は、ガラス材同士の
接着面を研磨して鏡面仕上げした後、洗浄水により洗浄
し、洗浄水により濡れたガラス材の接着面同士を密着さ
せた後、40〜90゜Cの温度で乾燥させ、100〜1
50゜Cの温度で予備加熱した後、400゜C以上の温
度で加熱処理するものである。上記洗浄水中にアルカリ
金属塩を30mg/l 以上含ませるとよい。
【0005】
【作用】本発明の接着方法による正確な接着メカニズム
はまだ解明されていない。しかし、鏡面仕上げしたガラ
ス材の接着面同士が一定の条件下で接着する実験結果か
ら、水道水や純粋等の洗浄水に含まれる成分や不純物、
及び添加薬品が加熱されることにより接着面に接着媒介
となる微薄な接着膜を作り、この接着膜を介してガラス
材の接着面同士が接着するものと考えられる。
【0006】
【発明の効果】本発明は以上説明したように、接着材を
使用せずに鏡面仕上げしたガラス材同士を特定成分の洗
浄水を介して密着させ、乾燥、加熱して接着するもので
あるから、接着面の透明度を低下させることなく接着す
ることができ、透明度が重視される目的にも使用するこ
とができる。例えば、簡単な構造の光学部品を複数個接
着して複雑な光学素子を構成することも可能となり、実
質的な効果は大きい。また、接着材を介した接着ではな
いので接着膜の劣化がなく耐久性も向上する。さらに石
英ガラス以外のガラス材にも使用することができる。
【0007】
【実施例】以下、本発明の一実施を図面に基づいて説明
する。本発明の接着方法は石英ガラスの接着の他にソー
ダガラスやカリウムガラスの接着を行なうことができる
が、以下の説明は石英板同士を接着する場合について説
明する。
【0008】本願発明の接着方法は石英板の接着面を鏡
面仕上げする鏡面仕上げ工程、石英板を洗浄水で洗浄す
る洗浄工程、洗浄した石英板の接着面同士を密着させて
加温乾燥する乾燥工程、密着する石英板を加熱する加熱
工程からなる。
【0009】鏡面仕上げ工程においては、接着する石英
板の接着面をポリシング研磨し、例えば100オングス
トローム程度に鏡面仕上げする。また接着面のうねりも
配慮すべきであり、凹凸各々0.5μm 以下の精度に維
持する必要がある。
【0010】洗浄工程では、水道水や純水、若しくはこ
れらの水に添加薬品を加えてなる洗浄水を使用して鏡面
仕上げした石英板を洗浄し、石英板に添着する不純物を
洗い流すと同時に、石英板の表面に洗浄水が添着した状
態とする。上記洗浄水の成分は接着結果を左右する重要
な要素となる。接着テストに使用した洗浄水の成分と接
着結果を表1にまとめた。また、水道水と純水の成分は
表2に示す通りである。
【0011】
【表1】
【0012】
【表2】 洗浄水により洗浄した石英板は濡れた状態のまま接着面
同士を貼り合わせて密着させる。そして貼り合わせた石
英板の表面をよく拭き、接着面内の水は30分程度自然
乾燥させる。
【0013】乾燥工程は、2段階に分けて行なわれる。
まず、ホットプレートにより貼り合わせた状態の石英板
を60℃にて1時間乾燥させ、その後、120℃にて1
20分乾燥させる。乾燥工程は上記したように温度と加
温時間を調節しながら段階的に行なうのが好ましい。上
記したように石英板の乾燥を60゜・60分と120゜
C・120分とに分けて乾燥させる理由は次ぎの通りで
ある。上記した接着方法は2枚のガラスを水で張り付
け、その後、後述するように600゜Cで加熱して接着
する。600゜Cで加熱する前に十分脱水処理しない
と、600゜Cに加熱していく途中で水が水蒸気とな
る。この水蒸気圧で張り合わせた2枚のガラスが接着す
る前に剥されてしまう。60゜C・60分と120゜C
・120分加熱は、脱水処理作業にあたるものであり、
経験と数多くの試験を繰り返すことによって得た。その
理由は 1. ヒーターで加熱しても殆ど沸騰しない60゜Cで
水の大半を蒸発させる。 2. 接着面に残っている水に伝わる温度が100゜C
を超え、且つ100゜Cよりあまり高く成らない温度と
して120゜Cで加熱したが、ワークの厚さや熱伝導
率、使用するヒーターにより温度は変化してもよい。た
だしあまり高いと脱水中に剥がれてしまう。予備加熱温
度が150゜C以上で脱水すると剥がれることが多くな
る。
【0014】加熱工程は、上記したように乾燥した石英
板を比較的高温で加熱することにより接着させる工程で
あり、電気炉内で常温から600℃まで一定の温度上昇
率で徐々に加熱し、そのまま所定時間加熱する。加熱工
程を終了した石英板は電気炉内で自然冷却させる。尚、
加熱時の温度上昇率は温度制御装置を使用して1分当り
5℃に制御する。加熱温度と加熱時間は前記した洗浄水
の成分と共に接着結果を左右する重要な要因である。条
件別のテスト結果を表3にまとめた。
【0015】
【表3】 上記した工程で接着された石英板は、接着面の透明度が
非常に高く、貼り合わせた石英板があたかも一枚の石英
でできているように見える。本願の接着方法において
は、接着したガラス材接着面の透明度を高く維持し、複
数のガラス材を一枚もののガラス材と同様に接着するこ
とができるので、光学用部品の接着等に広く応用するこ
とが可能である。
【0016】本願出願人は、本発明の接着方法を完成す
るにあたって表4、表5、にて示すように多くの実験を
重ねた結果、石英ガラスの接着条件を明確にすることが
できた。
【0017】
【表4】
【0018】
【表5】
【0019】以下、実験により得られた接着条件の要点
を列記する。
【0020】1)加熱条件 1-1.本願の接着方法は加熱による接着を行なうため、石
英が形状変形を起こさず、しかも接着面がムラなく接着
し得る加熱温度と加熱時間の組み合せ条件を知る必要が
ある。テストの結果、温度条件は少なくとも400℃で
30分必要であることが分かった。尚、600℃以上で
は30分間の加熱を行なうと全面接着が得られた。
【0021】1-2.条件設定を幅広く変えてテストを行な
った結果、180℃・2時間と云う低温でも部分的な接
着ができることを確認することができた。
【0022】2)洗浄水の条件 2-1.石英は水道水で接着できる。水道水の水質分析結果
は表2に示す。
【0023】2-2.HCl,HNO3 等を純水に入れても
接着しない。
【0024】2-3.ナトリウムを含む試薬は接着できる。
これは接着面にメタけい酸ナトリウムが出来た為と考え
られる。ただし、純水に対しメタけい酸ナトリウムの量
が必要以上含まれると接着できない。
【0025】2-4.純水に対してCaCl2 やMgCl2
を添加することで一部接着する。これはCaやMgの影
響か、テスト中に不純物が混入したものと考えられる。
【0026】また、20ミリ角の石英ブロックを水道水
で接着した処、中心部の直径10ミリの範囲だけが接着
されていた。ブロックの接着面を測定した処、表面に凸
2,5μm のうねりがあり、凸部の外周に隙間が生じて
接着しなかったものと考えられる。このことから、接着
面のうねりは0.5μm 以下の精度が必要と考えられ
る。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ガラス材同士の接着面を研磨して鏡面
    仕上げした後、洗浄水により洗浄し、洗浄水により濡れ
    たガラス材の接着面同士を密着させた後、40〜90゜
    Cの温度で乾燥させ、100〜150゜Cの温度で予備
    加熱した後、400゜C以上の温度で加熱処理すること
    を特徴とするガラス材の接着方法。
  2. 【請求項2】 洗浄水中にアルカリ金属塩を30mg/
    l 以上含ませたことを特徴とする請求項1記載のガラス
    材の接着方法。
JP8331793A 1993-04-09 1993-04-09 ガラス材の接着方法 Pending JPH06298539A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8331793A JPH06298539A (ja) 1993-04-09 1993-04-09 ガラス材の接着方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8331793A JPH06298539A (ja) 1993-04-09 1993-04-09 ガラス材の接着方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06298539A true JPH06298539A (ja) 1994-10-25

Family

ID=13799054

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8331793A Pending JPH06298539A (ja) 1993-04-09 1993-04-09 ガラス材の接着方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06298539A (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006111185A1 (en) * 2005-04-16 2006-10-26 Carl Zeiss Smt Ag Method for connecting two elements and optical component
JP2010276940A (ja) * 2009-05-29 2010-12-09 Fujifilm Corp ガラス基材の接合方法、及びガラス接合体
EP2298562A2 (en) 2009-09-16 2011-03-23 Seiko Instruments Inc. Thermal head and printer
JP2011113952A (ja) * 2009-11-30 2011-06-09 Kyocera Kinseki Corp 光照射窓
JP2016179924A (ja) * 2015-03-24 2016-10-13 東ソー株式会社 石英ガラスの接合方法
CN109311742A (zh) * 2016-06-07 2019-02-05 康宁股份有限公司 生产层压玻璃制品的方法

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006111185A1 (en) * 2005-04-16 2006-10-26 Carl Zeiss Smt Ag Method for connecting two elements and optical component
JP2010276940A (ja) * 2009-05-29 2010-12-09 Fujifilm Corp ガラス基材の接合方法、及びガラス接合体
EP2298562A2 (en) 2009-09-16 2011-03-23 Seiko Instruments Inc. Thermal head and printer
JP2011062894A (ja) * 2009-09-16 2011-03-31 Seiko Instruments Inc サーマルヘッドおよびプリンタ
JP2011113952A (ja) * 2009-11-30 2011-06-09 Kyocera Kinseki Corp 光照射窓
JP2016179924A (ja) * 2015-03-24 2016-10-13 東ソー株式会社 石英ガラスの接合方法
CN109311742A (zh) * 2016-06-07 2019-02-05 康宁股份有限公司 生产层压玻璃制品的方法
JP2019522614A (ja) * 2016-06-07 2019-08-15 コーニング インコーポレイテッド 積層ガラス物品を製造する方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI358084B (en) Process and equipment for bonding by molecular adh
TW200302862A (en) Direct bonding of articles containing silicon
TWI757257B (zh) 玻璃物件以及黏合玻璃片與載體之方法
JPS62216352A (ja) 半導体装置の製造方法
JPH09132428A (ja) 調理器具用トッププレート
JP3806151B2 (ja) 第1物体の第2物体への結合方法
JPH10501101A (ja) エレクトロニクスもしくはオプトエレクトロニクス半導体構成部材のための半製品
JPS62122148A (ja) 半導体基板
TW200406363A (en) Direct bonding methods using lithium
JP2006257394A (ja) 部材の低温接合方法およびその方法によって生産された製品
JP2573359B2 (ja) 2つの物体の結合方法
KR100523940B1 (ko) 기계적 연마 공정을 통한 유리 기판의 직접 접합 방법
CN109678107B (zh) 一种粘接单晶硅和蓝宝石的方法
RU2477342C2 (ru) Способ соединения деталей из тугоплавких оксидов
JP2003054971A (ja) 石英ガラスの接合方法
TW546263B (en) Treatment of vitreous material
US1157569A (en) Process of plating or decorating chinaware or glassware.
JPS63107842A (ja) 光学用ガラス基材の製造方法
JPH11151666A (ja) バックパッド及びその表面凹凸矯正方法
JPH046130A (ja) 電子部品用基板の製造方法
CN108431288A (zh) 在真空涂覆工艺中利用范德华力夹持盖板基材的方法和设备
JP2003112949A5 (ja)
JP4378457B2 (ja) ガラス基板の接合方法および装置
JPS61232661A (ja) シリコン結晶体の接合方法
JPH0722207B2 (ja) 焦電素子製造方法及び同法で製せられた焦電素子