JPH0629884Y2 - 電子線照射装置 - Google Patents
電子線照射装置Info
- Publication number
- JPH0629884Y2 JPH0629884Y2 JP1987108700U JP10870087U JPH0629884Y2 JP H0629884 Y2 JPH0629884 Y2 JP H0629884Y2 JP 1987108700 U JP1987108700 U JP 1987108700U JP 10870087 U JP10870087 U JP 10870087U JP H0629884 Y2 JPH0629884 Y2 JP H0629884Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- hole
- irradiation
- pipe
- nitrogen gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 title claims description 16
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 17
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
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- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この考案は電子線照射装置に関する。
（従来の技術） 電子線照射装置において、真空チェンバ内のカソードか
らの電子線を、照射チェンバ内を通過する被照射物に照
射する構成のものは、すでによく知られている。
らの電子線を、照射チェンバ内を通過する被照射物に照
射する構成のものは、すでによく知られている。
その具体的構成を第２図によって説明すると、１は真空
チェンバ、２はその内部に設置されてあるカソード、３
は照射チェンバ、４は被照射物、５はビームキャッチャ
である。被照射物４は矢印方向に沿って照射チェンバ３
内を移送される。そしてその移送の過程で、真空チェン
バ１からの電子線によって照射される。
チェンバ、２はその内部に設置されてあるカソード、３
は照射チェンバ、４は被照射物、５はビームキャッチャ
である。被照射物４は矢印方向に沿って照射チェンバ３
内を移送される。そしてその移送の過程で、真空チェン
バ１からの電子線によって照射される。
このような装置では、照射チェンバ内の電子線の照射領
域の近辺を、できるだけ不活性雰囲気となるように、真
空チェンバ１の照射窓部６の周囲に配置した窒素ガス吹
付ノズル７より、窒素ガスを照射窓部６の付近に向かっ
て吹き付けて、周囲の酸素ガスと置換するようにしてい
る。
域の近辺を、できるだけ不活性雰囲気となるように、真
空チェンバ１の照射窓部６の周囲に配置した窒素ガス吹
付ノズル７より、窒素ガスを照射窓部６の付近に向かっ
て吹き付けて、周囲の酸素ガスと置換するようにしてい
る。
しかしこのような構成によると、吹き付けられた窒素ガ
スが電子線によって加熱されるため、ガス温度が上昇す
るようになる。一般に被照射物４はその耐熱温度が低い
ので、ガス温度の上昇を防ぐ必要があり、そのために多
量の窒素ガスを供給しなければならない。
スが電子線によって加熱されるため、ガス温度が上昇す
るようになる。一般に被照射物４はその耐熱温度が低い
ので、ガス温度の上昇を防ぐ必要があり、そのために多
量の窒素ガスを供給しなければならない。
また照射窓部６ではその窓箔８を押えている押え枠９の
内面は、上方内部に向かって傾斜している構成となって
いるので、前記のように加熱された窒素ガスが窓箔８の
近辺に滞留し易くなり、これがため窓箔８およびその付
近の各部材に熱劣化が生じ、寿命が著しく短くなること
がある。
内面は、上方内部に向かって傾斜している構成となって
いるので、前記のように加熱された窒素ガスが窓箔８の
近辺に滞留し易くなり、これがため窓箔８およびその付
近の各部材に熱劣化が生じ、寿命が著しく短くなること
がある。
（考案が解決しようとする問題点） この考案は酸素ガスとの置換のために供給する窒素ガス
の供給量を少なくするとともに、窓箔の温度上昇を抑制
することを目的とする。
の供給量を少なくするとともに、窓箔の温度上昇を抑制
することを目的とする。
（問題点を解決するための手段） この考案は真空チェンバの照射窓を構成している窓箔の
押え枠の内部より、窓箔またはその近辺に向けて窒素ガ
スを吹き付ける構成を備えたことを特徴とする。
押え枠の内部より、窓箔またはその近辺に向けて窒素ガ
スを吹き付ける構成を備えたことを特徴とする。
（実施例） この考案の実施例を第１図によって説明する。同図にお
いて１０は押え枠９の外周にロー付けされてあるパイプ
で、ここには外部より窒素ガスが送られてくるものとす
る。パイプ１０には孔１１が形成されてあって、これが
押え枠９の内部にこれを横切る方向に延びる貫通孔１２
と連通している。この貫通孔１２は押え枠９の内面にお
いて開口している。
いて１０は押え枠９の外周にロー付けされてあるパイプ
で、ここには外部より窒素ガスが送られてくるものとす
る。パイプ１０には孔１１が形成されてあって、これが
押え枠９の内部にこれを横切る方向に延びる貫通孔１２
と連通している。この貫通孔１２は押え枠９の内面にお
いて開口している。
１３は窓箔８の真空側の内面を支持している桟である。
これは真空チェンバ１の内部が真空になることによっ
て、窓箔８が内側に向かって吸引されて変形するのを防
止するとともに、冷却フインを兼ねたものである。
これは真空チェンバ１の内部が真空になることによっ
て、窓箔８が内側に向かって吸引されて変形するのを防
止するとともに、冷却フインを兼ねたものである。
以上の構成においてパイプ１０より孔１１を介して貫通
孔１２に窒素ガスを供給すると、その窒素ガスは窓箔８
の大気側の表面すなわち下面付近に向かって吹き付けら
れるようになる。この吹き付けによって窓箔８の下面付
近の酸素ガス、あるいは加熱された窒素ガスは、供給さ
れてきた新しい窒素ガスと効率よく置換される。しかも
この吹き付けによって窓箔８およびその付近は、確実に
冷却されるようになる。
孔１２に窒素ガスを供給すると、その窒素ガスは窓箔８
の大気側の表面すなわち下面付近に向かって吹き付けら
れるようになる。この吹き付けによって窓箔８の下面付
近の酸素ガス、あるいは加熱された窒素ガスは、供給さ
れてきた新しい窒素ガスと効率よく置換される。しかも
この吹き付けによって窓箔８およびその付近は、確実に
冷却されるようになる。
この考案では特にパイプ１０を押え枠９の外周に設置す
るようにしている。もしパイプ１０を押え枠９の内周に
設置したとすると、その内周は電子線照射領域内であ
り、そのため内周に設置されたパイプには電子線が照射
されるようになり、そのため電子線の損失が大きくな
り、またパイプも損傷されるようになる。
るようにしている。もしパイプ１０を押え枠９の内周に
設置したとすると、その内周は電子線照射領域内であ
り、そのため内周に設置されたパイプには電子線が照射
されるようになり、そのため電子線の損失が大きくな
り、またパイプも損傷されるようになる。
この点パイプ１０を押え枠９の外周に設置しておけば、
このような電子線の損失、パイプの損傷は全く回避でき
る。
このような電子線の損失、パイプの損傷は全く回避でき
る。
（考案の効果） 以上詳述したようにこの考案によれば、従来構成に比較
して照射窓近辺の加熱ガス置換を容易にするとともに、
電子線の損失、窒素ガス供給用のパイプの損傷をなんら
ともなわずに窓箔の冷却を確実に行なうことができると
いった効果を奏する。
して照射窓近辺の加熱ガス置換を容易にするとともに、
電子線の損失、窒素ガス供給用のパイプの損傷をなんら
ともなわずに窓箔の冷却を確実に行なうことができると
いった効果を奏する。
第１図はこの考案の実施例を示す要部の断面図、第２図
はこの考案の実施例を示す全体の断面図である。 １……真空チェンバ、３……照射チェンバ、４……被照
射物、６……照射窓部、８……窓箔、９……押え枠、１
０……パイプ、１２……貫通孔、
はこの考案の実施例を示す全体の断面図である。 １……真空チェンバ、３……照射チェンバ、４……被照
射物、６……照射窓部、８……窓箔、９……押え枠、１
０……パイプ、１２……貫通孔、
Claims (1)
- 【請求項１】電子線を放射する真空チェンバと、前記真
空チェンバからの電子線を被照射物に照射するための照
射チェンバとを備えた電子線照射装置において、前記真
空チェンバの照射窓部の窓箔の押え枠の外周に、内部に
窒素ガスが送られてくるパイプを設置し、前記パイプに
孔を設け、前記孔を、前記押え枠の内部を横切るように
貫通して設けられた貫通孔に連通せしめ、前記パイプの
孔からの窒素ガスが前記貫通孔を介して前記窓箔の下面
付近に向けて吹き付けられるように、前記貫通孔を前記
押え枠の内面において開口せしめてなる電子線照射装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987108700U JPH0629884Y2 (ja) | 1987-07-14 | 1987-07-14 | 電子線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987108700U JPH0629884Y2 (ja) | 1987-07-14 | 1987-07-14 | 電子線照射装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6413659U JPS6413659U (ja) | 1989-01-24 |
| JPH0629884Y2 true JPH0629884Y2 (ja) | 1994-08-10 |
Family
ID=31344280
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987108700U Expired - Lifetime JPH0629884Y2 (ja) | 1987-07-14 | 1987-07-14 | 電子線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0629884Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5115920Y2 (ja) * | 1971-11-04 | 1976-04-26 |
-
1987
- 1987-07-14 JP JP1987108700U patent/JPH0629884Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6413659U (ja) | 1989-01-24 |
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