JPH06306571A - 母材の強化層形成方法 - Google Patents
母材の強化層形成方法Info
- Publication number
- JPH06306571A JPH06306571A JP9309393A JP9309393A JPH06306571A JP H06306571 A JPH06306571 A JP H06306571A JP 9309393 A JP9309393 A JP 9309393A JP 9309393 A JP9309393 A JP 9309393A JP H06306571 A JPH06306571 A JP H06306571A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base material
- solution
- coating
- ceramics
- ceramic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 45
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 title description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 66
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 35
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 34
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims abstract description 14
- 239000012466 permeate Substances 0.000 claims description 7
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 abstract description 4
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 23
- ILRRQNADMUWWFW-UHFFFAOYSA-K aluminium phosphate Chemical compound O1[Al]2OP1(=O)O2 ILRRQNADMUWWFW-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 9
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 8
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 8
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 5
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 5
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 3
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 3
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 3
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 3
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000007750 plasma spraying Methods 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000975 Carbon steel Inorganic materials 0.000 description 1
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMZOGRDCAXLAAR-UHFFFAOYSA-N aluminium isopropoxide Chemical compound [Al+3].CC(C)[O-].CC(C)[O-].CC(C)[O-] SMZOGRDCAXLAAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010962 carbon steel Substances 0.000 description 1
- 239000003245 coal Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 230000008595 infiltration Effects 0.000 description 1
- 238000001764 infiltration Methods 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 耐摩耗性等に優れた特性を示す強化層を形成
することを可能とする。 【構成】 母材１の表面に強化層を形成するに際して、
上記母材１の表面に、セラミックスの溶射皮膜２を形成
し、これを、耐熱性を有するセラミックス溶液４に浸漬
すると共に、このセラミックス溶液４が入った容器６に
超音波を付加して皮膜２内にセラミックス溶液を浸透さ
せ、浸透後、母材１をセラミックス溶液４からとり出し
て焼成するものである。
することを可能とする。 【構成】 母材１の表面に強化層を形成するに際して、
上記母材１の表面に、セラミックスの溶射皮膜２を形成
し、これを、耐熱性を有するセラミックス溶液４に浸漬
すると共に、このセラミックス溶液４が入った容器６に
超音波を付加して皮膜２内にセラミックス溶液を浸透さ
せ、浸透後、母材１をセラミックス溶液４からとり出し
て焼成するものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は母材の強化層形成方法に
関するものである。
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、石炭の竪ミル分級器の羽根車な
どのボイラ用部品、エンジン部品等の母材の表面に、セ
ラミックスを溶射（プラズマ溶射、ガス溶射等）して、
耐摩耗性、耐熱性及び耐蝕性の優れた溶射皮膜を形成
し、母材の表面を補強することがすでに研究乃至実施さ
れている。
どのボイラ用部品、エンジン部品等の母材の表面に、セ
ラミックスを溶射（プラズマ溶射、ガス溶射等）して、
耐摩耗性、耐熱性及び耐蝕性の優れた溶射皮膜を形成
し、母材の表面を補強することがすでに研究乃至実施さ
れている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のセラ
ミックス溶射皮膜は、材料そのものは耐摩耗性、耐熱性
及び耐蝕性に優れるが、皮膜には割れや気孔などの欠陥
がかならず存在するため、皮膜としては耐摩耗性等が劣
ってしまう。このため、ケイ酸塩系封孔剤やゾル・ゲル
系封孔剤（アルミニウムイソプロポオキシド（Ａｌ2 Ｏ
3 生成）、テトラエトキシシラン（ＳｉＯ2 ガラス生
成））を溶射皮膜に塗布等して皮膜の割れや気孔の欠陥
をなくそうとすることが提案される。しかし、前者では
市販のケイ酸塩系封孔剤はＳｉＯ2 が主体でガラスであ
るため延性が乏しいので、厚く塗るとひび割れが生じて
好ましくない。また、後者では物質溶液を加水分解して
ゾル化し、これをゲル化して乾燥後、熱分解によって機
能材料とするため、処理時間が長く複雑であると共に、
完全な封孔には至らないのが現状である。
ミックス溶射皮膜は、材料そのものは耐摩耗性、耐熱性
及び耐蝕性に優れるが、皮膜には割れや気孔などの欠陥
がかならず存在するため、皮膜としては耐摩耗性等が劣
ってしまう。このため、ケイ酸塩系封孔剤やゾル・ゲル
系封孔剤（アルミニウムイソプロポオキシド（Ａｌ2 Ｏ
3 生成）、テトラエトキシシラン（ＳｉＯ2 ガラス生
成））を溶射皮膜に塗布等して皮膜の割れや気孔の欠陥
をなくそうとすることが提案される。しかし、前者では
市販のケイ酸塩系封孔剤はＳｉＯ2 が主体でガラスであ
るため延性が乏しいので、厚く塗るとひび割れが生じて
好ましくない。また、後者では物質溶液を加水分解して
ゾル化し、これをゲル化して乾燥後、熱分解によって機
能材料とするため、処理時間が長く複雑であると共に、
完全な封孔には至らないのが現状である。
【０００４】そこで、本発明は、このような事情を考慮
してなされたものであり、その目的は、耐摩耗性等に優
れた特性を示す強化層を形成することができる母材の強
化層形成方法を提供することにある。
してなされたものであり、その目的は、耐摩耗性等に優
れた特性を示す強化層を形成することができる母材の強
化層形成方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、母材の表面に強化層を形成するに際し
て、上記母材の表面に、セラミックスの溶射皮膜を形成
し、これを、耐熱性を有するセラミックス溶液に浸漬す
ると共に、このセラミックス溶液が入った容器に超音波
を付加して皮膜内にセラミックス溶液を浸透させ、浸透
後、母材をセラミックス溶液からとり出して焼成するも
のである。
成するために、母材の表面に強化層を形成するに際し
て、上記母材の表面に、セラミックスの溶射皮膜を形成
し、これを、耐熱性を有するセラミックス溶液に浸漬す
ると共に、このセラミックス溶液が入った容器に超音波
を付加して皮膜内にセラミックス溶液を浸透させ、浸透
後、母材をセラミックス溶液からとり出して焼成するも
のである。
【０００６】また、母材の表面に強化層を形成するに際
して、上記母材の表面に、セラミックスの溶射皮膜を形
成し、これを、耐熱性を有するセラミックス溶液に浸漬
すると共に、このセラミックス溶液が入った容器を減圧
して皮膜内にセラミックス溶液を浸透させ、浸透後、母
材をセラミックス溶液からとり出して焼成するものであ
る。
して、上記母材の表面に、セラミックスの溶射皮膜を形
成し、これを、耐熱性を有するセラミックス溶液に浸漬
すると共に、このセラミックス溶液が入った容器を減圧
して皮膜内にセラミックス溶液を浸透させ、浸透後、母
材をセラミックス溶液からとり出して焼成するものであ
る。
【０００７】
【作用】溶射皮膜上にセラミックス溶液を塗布等するだ
けでは皮膜に溶液が十分に浸透しないが、セラミックス
の溶射皮膜を形成した母材をセラミックス溶液に浸漬
し、この容器に超音波を付加又は容器を減圧すること
で、溶射皮膜内にセラミックス溶液が十分に浸透するの
で、皮膜内の割れや気孔などの欠陥に溶液が浸入する。
そして、その母材を焼成することで、皮膜内のセラミッ
クス溶液がアルモルファス相となり、セラミックス溶射
皮膜に多数存在する割れや気孔などの欠陥が封孔され
る。従って、母材上に耐摩耗性等に優れた特性を示す強
化層を形成することが可能となる。
けでは皮膜に溶液が十分に浸透しないが、セラミックス
の溶射皮膜を形成した母材をセラミックス溶液に浸漬
し、この容器に超音波を付加又は容器を減圧すること
で、溶射皮膜内にセラミックス溶液が十分に浸透するの
で、皮膜内の割れや気孔などの欠陥に溶液が浸入する。
そして、その母材を焼成することで、皮膜内のセラミッ
クス溶液がアルモルファス相となり、セラミックス溶射
皮膜に多数存在する割れや気孔などの欠陥が封孔され
る。従って、母材上に耐摩耗性等に優れた特性を示す強
化層を形成することが可能となる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて
説明する。
説明する。
【０００９】図１は母材上に本発明の強化層を形成する
一例を示す図で、その（ａ）は溶射皮膜を有する母材を
セラミックス溶液に浸漬した状態を示す断面図、（ｂ）
はセラミックス溶液を入れた容器に超音波を付加する一
例を示す断面図、（ｃ）はセラミックス溶液を浸透させ
た後の溶射皮膜を有する母材を示す断面図である。
一例を示す図で、その（ａ）は溶射皮膜を有する母材を
セラミックス溶液に浸漬した状態を示す断面図、（ｂ）
はセラミックス溶液を入れた容器に超音波を付加する一
例を示す断面図、（ｃ）はセラミックス溶液を浸透させ
た後の溶射皮膜を有する母材を示す断面図である。
【００１０】先ず、母材１の表面に、母材１を補強する
ための強化層である溶射皮膜２を形成する。溶射皮膜２
は、セラミックス（例えばＷＣ−12％Ｃｏ）をプラズマ
溶射、ガス溶射等により母材１表面に溶射して形成され
る。溶射皮膜２には気孔、割れなどの欠陥３が存在す
る。この溶射皮膜２を有する母材１を、（ａ）に示すよ
うに、第１リン酸アルミニウム [Ａｌ（Ｈ2 Ｐ
Ｏ4 ）3 ] などの耐熱性を有するセラミックス溶液４中
に浸漬する。
ための強化層である溶射皮膜２を形成する。溶射皮膜２
は、セラミックス（例えばＷＣ−12％Ｃｏ）をプラズマ
溶射、ガス溶射等により母材１表面に溶射して形成され
る。溶射皮膜２には気孔、割れなどの欠陥３が存在す
る。この溶射皮膜２を有する母材１を、（ａ）に示すよ
うに、第１リン酸アルミニウム [Ａｌ（Ｈ2 Ｐ
Ｏ4 ）3 ] などの耐熱性を有するセラミックス溶液４中
に浸漬する。
【００１１】そして、その浸漬を十分に行うために、浸
透処理を施す。浸透処理は、セラミックス溶液４を溶射
皮膜２内に十分に効果的に浸透させるもので、超音波発
振器と減圧装置を用いるものがある。超音波発振器を用
いるものは、（ｂ）に示すように、超音波発振器５から
の超音波をセラミックス溶液４を入れた容器６に付加さ
せるもので、これにより容器６が振動し、溶射皮膜２中
の気泡が皮膜２から出ると共にセラミックス溶液４が皮
膜２中に効果的に浸透し、皮膜２に多数存在する割れや
気孔などの欠陥３に溶液４が浸入する。減圧装置を用い
るものは、セラミックス溶液に母材を浸漬させた容器を
常温で減圧（例えば10torr以下）して、セラミックス溶
液を溶射皮膜に浸透させるものである。具体的には、容
器を減圧状態に維持して気泡の出る状態を観察し、気泡
が出なくなったら常圧に戻す。この操作を繰り返して行
うことにより、セラミックス溶液を溶射皮膜に十分に浸
透させる。
透処理を施す。浸透処理は、セラミックス溶液４を溶射
皮膜２内に十分に効果的に浸透させるもので、超音波発
振器と減圧装置を用いるものがある。超音波発振器を用
いるものは、（ｂ）に示すように、超音波発振器５から
の超音波をセラミックス溶液４を入れた容器６に付加さ
せるもので、これにより容器６が振動し、溶射皮膜２中
の気泡が皮膜２から出ると共にセラミックス溶液４が皮
膜２中に効果的に浸透し、皮膜２に多数存在する割れや
気孔などの欠陥３に溶液４が浸入する。減圧装置を用い
るものは、セラミックス溶液に母材を浸漬させた容器を
常温で減圧（例えば10torr以下）して、セラミックス溶
液を溶射皮膜に浸透させるものである。具体的には、容
器を減圧状態に維持して気泡の出る状態を観察し、気泡
が出なくなったら常圧に戻す。この操作を繰り返して行
うことにより、セラミックス溶液を溶射皮膜に十分に浸
透させる。
【００１２】セラミックス溶液４を浸透させた後、
（ｃ）に示すように、セラミックス溶液４から溶射皮膜
２を有する母材１をとり出し、これを約70〜100 ℃の温
度で十分に乾燥する。
（ｃ）に示すように、セラミックス溶液４から溶射皮膜
２を有する母材１をとり出し、これを約70〜100 ℃の温
度で十分に乾燥する。
【００１３】乾燥後、低温度（例えばセラミックス溶液
４に第１リン酸アルミニウムを用いた場合には約 200〜
250 ℃）で加熱焼成を行う。これによって、溶射皮膜２
に浸透したセラミックス溶液４がアモルファス相とな
り、セラミックス溶射皮膜２に多数存在する割れや気孔
などの欠陥３が封孔される。
４に第１リン酸アルミニウムを用いた場合には約 200〜
250 ℃）で加熱焼成を行う。これによって、溶射皮膜２
に浸透したセラミックス溶液４がアモルファス相とな
り、セラミックス溶射皮膜２に多数存在する割れや気孔
などの欠陥３が封孔される。
【００１４】例えば、カーボンスチールの母材１の表面
に、ＷＣ−12％Ｃｏをプラズマ溶射により溶射して溶射
皮膜２を形成し、これを第１リン酸アルミニウム [Ａｌ
（Ｈ2 ＰＯ4 ）3 ] のセラミックス溶液４中に浸漬す
る。この浸漬を行いながら、浸漬中の容器６に超音波を
付加させ、溶射皮膜２中にセラミックス溶液４を十分に
浸透させた。
に、ＷＣ−12％Ｃｏをプラズマ溶射により溶射して溶射
皮膜２を形成し、これを第１リン酸アルミニウム [Ａｌ
（Ｈ2 ＰＯ4 ）3 ] のセラミックス溶液４中に浸漬す
る。この浸漬を行いながら、浸漬中の容器６に超音波を
付加させ、溶射皮膜２中にセラミックス溶液４を十分に
浸透させた。
【００１５】そして、溶液４から溶射皮膜２を有する母
材１をとり出し、これを約70〜100℃の温度で十分に乾
燥する。乾燥後、約 200〜250 ℃の温度で加熱焼成を行
った。
材１をとり出し、これを約70〜100℃の温度で十分に乾
燥する。乾燥後、約 200〜250 ℃の温度で加熱焼成を行
った。
【００１６】このようにして得られたＷＣ系の溶射皮膜
の高温酸化特性と熱衝撃性について調べた。高温酸化特
性は、 750℃×50ｈの酸化試験により膜の残存状態で判
断した。熱衝撃性は、溶射皮膜に 700℃×１ｈ保持−10
分間強制空冷のくり返しを行って膜の割れ剥離の状態を
調べた。
の高温酸化特性と熱衝撃性について調べた。高温酸化特
性は、 750℃×50ｈの酸化試験により膜の残存状態で判
断した。熱衝撃性は、溶射皮膜に 700℃×１ｈ保持−10
分間強制空冷のくり返しを行って膜の割れ剥離の状態を
調べた。
【００１７】その結果、本発明の第１リン酸アルミニウ
ムによる皮膜処理を行ったＷＣ系の溶射皮膜は、 750℃
×50ｈの酸化試験では 100％残存し、また、 700℃×１
ｈ保持−10分間強制空冷のくり返しを10サイクル行って
も皮膜は割れも剥離もせず健全であった。これに対し
て、第１リン酸アルミニウムによる皮膜処理を行わなか
った溶射皮膜は、酸化試験ではほとんど消失した。ま
た、 700℃×１ｈ保持−10分間強制空冷のくり返しを行
う熱衝撃性については１回でほとんどの皮膜が割れや剥
離が生じた。
ムによる皮膜処理を行ったＷＣ系の溶射皮膜は、 750℃
×50ｈの酸化試験では 100％残存し、また、 700℃×１
ｈ保持−10分間強制空冷のくり返しを10サイクル行って
も皮膜は割れも剥離もせず健全であった。これに対し
て、第１リン酸アルミニウムによる皮膜処理を行わなか
った溶射皮膜は、酸化試験ではほとんど消失した。ま
た、 700℃×１ｈ保持−10分間強制空冷のくり返しを行
う熱衝撃性については１回でほとんどの皮膜が割れや剥
離が生じた。
【００１８】従って、母材１の表面にセラミックスの溶
射皮膜２を形成し、これをセラミックス溶液４に浸漬す
ると共に、超音波を付加あるいは減圧浸透を行って十分
液を皮膜２内に浸透させ、これを比較的低温（約 200〜
250 ℃）下で焼成することにより、溶射皮膜２に浸透し
たセラミックス溶液４がアモルファス相となり、セラミ
ックス溶射皮膜２に多数存在する欠陥（割れ、気孔な
ど）３が封孔されることになる。すなわち、セラミック
ス溶射皮膜２の封孔処理として、セラミックス溶液（第
１リン酸アルミニウム）４に浸漬し、超音波を付加ある
いは減圧浸透を行って十分液を皮膜２内に浸透させ、こ
れを、乾燥後比較的低温（約 200〜250 ℃）下で焼成
し、封孔処理を行うことによって、耐熱、耐蝕および耐
摩耗性等に優れた特性を示すと共に剥離しにくいセラミ
ックスの溶射皮膜２が得られることになる。また、皮膜
２の焼成を比較的低温（例えばセラミックス溶液に第１
リン酸アルミニウムを用いた場合約 200〜250 ℃）で行
えるので皮膜２の歪みなどの心配がいらない。
射皮膜２を形成し、これをセラミックス溶液４に浸漬す
ると共に、超音波を付加あるいは減圧浸透を行って十分
液を皮膜２内に浸透させ、これを比較的低温（約 200〜
250 ℃）下で焼成することにより、溶射皮膜２に浸透し
たセラミックス溶液４がアモルファス相となり、セラミ
ックス溶射皮膜２に多数存在する欠陥（割れ、気孔な
ど）３が封孔されることになる。すなわち、セラミック
ス溶射皮膜２の封孔処理として、セラミックス溶液（第
１リン酸アルミニウム）４に浸漬し、超音波を付加ある
いは減圧浸透を行って十分液を皮膜２内に浸透させ、こ
れを、乾燥後比較的低温（約 200〜250 ℃）下で焼成
し、封孔処理を行うことによって、耐熱、耐蝕および耐
摩耗性等に優れた特性を示すと共に剥離しにくいセラミ
ックスの溶射皮膜２が得られることになる。また、皮膜
２の焼成を比較的低温（例えばセラミックス溶液に第１
リン酸アルミニウムを用いた場合約 200〜250 ℃）で行
えるので皮膜２の歪みなどの心配がいらない。
【００１９】さらに、セラミックス溶液４として第１リ
ン酸アルミニウムを用いることにより、第１リン酸アル
ミニウムを約 200〜250 ℃の温度で加熱すると、Ｐ−Ｏ
−Ｍ（Ｍ：金属）の強固な高分子化合物を生成し、溶射
皮膜２の耐熱性が向上する。これにより、約1000℃まで
の温度に耐え得るセラミックスの溶射皮膜２が得られる
ことになる。
ン酸アルミニウムを用いることにより、第１リン酸アル
ミニウムを約 200〜250 ℃の温度で加熱すると、Ｐ−Ｏ
−Ｍ（Ｍ：金属）の強固な高分子化合物を生成し、溶射
皮膜２の耐熱性が向上する。これにより、約1000℃まで
の温度に耐え得るセラミックスの溶射皮膜２が得られる
ことになる。
【００２０】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、母材の表
面に、耐摩耗性等に優れた特性を示す強化層を形成する
ことができるという優れた効果を発揮する。
面に、耐摩耗性等に優れた特性を示す強化層を形成する
ことができるという優れた効果を発揮する。
【図１】本発明の一実施例を示す図で、その（ａ）は溶
射皮膜を有する母材をセラミックス溶液に浸漬した状態
を示す断面図、（ｂ）はセラミックス溶液を入れた容器
に超音波を付加する一例を示す断面図、（ｃ）はセラミ
ックス溶液を浸透させた後の溶射皮膜を有する母材を示
す断面図である。
射皮膜を有する母材をセラミックス溶液に浸漬した状態
を示す断面図、（ｂ）はセラミックス溶液を入れた容器
に超音波を付加する一例を示す断面図、（ｃ）はセラミ
ックス溶液を浸透させた後の溶射皮膜を有する母材を示
す断面図である。
１ 母材 ２ 溶射皮膜 ４ セラミックス溶液 ５ 超音波発振器 ６ 容器
Claims (2)
- 【請求項１】 母材の表面に強化層を形成するに際し
て、上記母材の表面に、セラミックスの溶射皮膜を形成
し、これを、耐熱性を有するセラミックス溶液に浸漬す
ると共に、該セラミックス溶液が入った容器に超音波を
付加して皮膜内にセラミックス溶液を浸透させ、浸透
後、母材をセラミックス溶液からとり出して焼成するこ
とを特徴とする母材の強化層形成方法。 - 【請求項２】 母材の表面に強化層を形成するに際し
て、上記母材の表面に、セラミックスの溶射皮膜を形成
し、これを、耐熱性を有するセラミックス溶液に浸漬す
ると共に、該セラミックス溶液が入った容器を減圧して
皮膜内にセラミックス溶液を浸透させ、浸透後、母材を
セラミックス溶液からとり出して焼成することを特徴と
する母材の強化層形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9309393A JPH06306571A (ja) | 1993-04-20 | 1993-04-20 | 母材の強化層形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9309393A JPH06306571A (ja) | 1993-04-20 | 1993-04-20 | 母材の強化層形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06306571A true JPH06306571A (ja) | 1994-11-01 |
Family
ID=14072913
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9309393A Pending JPH06306571A (ja) | 1993-04-20 | 1993-04-20 | 母材の強化層形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06306571A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08314156A (ja) * | 1995-05-19 | 1996-11-29 | Sanken Electric Co Ltd | レジストパタ−ンの形成方法 |
| JP2006206974A (ja) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Neos Co Ltd | 薄膜製造装置部材の表面処理方法及び薄膜製造装置部材 |
-
1993
- 1993-04-20 JP JP9309393A patent/JPH06306571A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08314156A (ja) * | 1995-05-19 | 1996-11-29 | Sanken Electric Co Ltd | レジストパタ−ンの形成方法 |
| JP2006206974A (ja) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Neos Co Ltd | 薄膜製造装置部材の表面処理方法及び薄膜製造装置部材 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105218156B (zh) | C/C复合材料表面ZrC‑SiC涂层制备方法 | |
| US7910172B2 (en) | Method for fabricating a component having an environmental barrier coating | |
| JPH02217381A (ja) | 炭素含有複合材料製品の耐酸化保護方法およびその製品 | |
| KR20010014736A (ko) | 실리콘 함유 서브스트레이트에 배리어 층을 적용하는 방법 | |
| CN107129320A (zh) | 环境阻挡涂层及其制备方法 | |
| Packham et al. | Mechanical factors in the adhesion of polyethylene to aluminium | |
| CN114315390A (zh) | 一种碳/碳复合材料表面宽温域长寿命抗氧化涂层及低温制备方法 | |
| JP2010047434A (ja) | 表面処理セラミックス部材、その製造方法および真空処理装置 | |
| CN113122833A (zh) | 一种铝合金钝化方法 | |
| JPH06306571A (ja) | 母材の強化層形成方法 | |
| US11827574B2 (en) | Method of pressure sintering an environmental barrier coating on a surface of a ceramic substrate | |
| JP2001214253A (ja) | 溶射層に代表される基材表面多孔質層の封孔処理方法 | |
| CN115819119B (zh) | 一种等静压石墨坩埚的涂层成型方法 | |
| JPH0570922A (ja) | 複合材の無機化合物による封孔処理法 | |
| KR101204013B1 (ko) | 저온 실리콘카바이드 코팅층 형성 방법 | |
| JP2812019B2 (ja) | 炭素繊維／炭素複合材 | |
| JP3228489B2 (ja) | Ｃ／ｃ材の表面処理方法 | |
| JP3262713B2 (ja) | セラミックスコーティング方法 | |
| JPH0725688A (ja) | 構造的製品における改良 | |
| JPH0610112A (ja) | 無機質皮膜の強化方法 | |
| JP4913934B2 (ja) | 炭素繊維強化炭素複合材料の耐酸化コーティング膜及びその補修方法 | |
| CN112323066A (zh) | 一种适用于大型构件的扩散阻挡层制备方法 | |
| CN113198710A (zh) | 一种提高钛合金表面硬化层的热处理方法 | |
| CN112174698B (zh) | 一种碳材料表面抗氧化防护涂层及其制备方法 | |
| JPH05171402A (ja) | 溶融金属に対して耐食性を有するロール |