JPH0630754U - Ｘ線分析用の試料ホルダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 Ｘ線分析において、試料の分析すべき箇所を
Ｘ線が照射される位置に正確に位置決めできるようにし
て、分析の精度を向上させる。 【構成】 試料ホルダ１は、キャップ本体７に固定した
位置決板２と、試料台４との間に試料６をばね力により
挟持する。位置決板２は、Ｘ線通過孔２２が形成された
環状の中央板２３と、この中央板２３から径方向Ｒの外
方に向って延びる３枚の固定板２４とで構成されてお
り、各固定板２４の間には、試料６の表面６１を露出さ
せる切欠部２６が形成されている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、蛍光Ｘ線分析装置のようなＸ線分析装置において板状の小さな試 料を保持するための試料ホルダに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

蛍光Ｘ線分析装置は、試料に一次Ｘ線のような放射線を照射して、試料から発 生した蛍光Ｘ線を測定することにより、試料の元素分析を行う装置である。この 分析装置によって、鉄板やメッキ板のサンプルを分析する場合には、一次Ｘ線の 照射位置に試料を正しくセットするとともに、自動機による試料の搬入を可能に するために、試料ホルダを用いる。この種の試料ホルダとしては、試料を載置す るケースと、このケースに螺合するキャップとの間で試料を挟持するものがある 。この種の試料ホルダの一例を図６および図７に示す。

【０００３】 図６において、試料ホルダ１は、リング状の位置決板２と、この位置決板２か ら離間した位置に設けられたベース３との間に、試料台４を有している。試料台 ４は、下方から円錐ばね５により押されて、上記位置決板２との間で試料６を挟 んで保持する。位置決板２は、試料６の表面６１に裏面２１が当接しているとと もに、一次Ｘ線Ｂ１を通過させて試料に照射させるＸ線通過孔２２を有しており 、試料６の表面６１の中央部を露出させるものである。なお、位置決板２が固定 されているキャップ本体７は、ケース本体８にねじ９により螺合して固定されて いる。

【０００４】 上記位置決板２のＸ線通過孔２２は、図７のようにたとえばφ５〜φ１０mm程 度の小さな孔になっている。これは、図８（ａ）の試料６の特定の微小な分析箇 所６２を分析すべく、上記分析箇所６２を、図７のＸ線通過孔２２に対応させる ことで、分析箇所６２を位置決めするためである。

【０００５】 つぎに、試料６の装着方法について説明する。 試料６を図６の試料ホルダ１に装着するには、まず、位置決板２と一体のキャ ップ本体７を、ケース本体８から取り外す。ついで、試料６を試料台４の上に置 き、試料６の特定の分析箇所６２（図８）がＸ線通過孔２２に対応するように、 試料６の位置を決める。その後、キャップ本体７をケース本体８にねじ込んで固 定して、試料６を試料ホルダ１に装着する。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、上記従来技術では、分析箇所６２（図８）がＸ線通過孔２２の位置と 合致するであろう位置を予測して、試料６を試料ホルダ１に装着しているので、 図８（ｂ）のように、分析箇所６２がＸ線通過孔２２に合致しにくい。しかも、 装着時に、キャップ本体７（図６）を回転させてねじ込むので、分析箇所６２が Ｘ線通過孔２２の位置からずれる。したがって、分析箇所６２がＸ線通過孔２２ と対応しないから、分析される試料６の部位が設定部位に対して位置ずれする。 ここで、試料６は、その部位により元素濃度や組成などが異なるので、上記分析 箇所６２の位置ずれにより、分析値に誤差が生じる。その結果、分析精度が低下 する。

【０００７】 また、分析箇所６２をＸ線通過孔２２に合致させるべく、慎重に試料６の装着 を行うので、装着時間も長くなる。

【０００８】 この考案は、上記従来の問題に鑑みてなされたもので、その目的は、試料の分 析すべき箇所をＸ線が照射される位置に正確に位置決めできるようにして、分析 の精度を向上させるとともに、試料の装着時間も短くなるＸ線分析用の試料ホル ダを提供することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するために、この考案の試料ホルダは、Ｘ線通過孔が形成され た中央板から径方向に延び、位置決板を試料ホルダ本体に固定する複数の固定板 を位置決板に設けている。上記固定板と固定板との間には、試料の表面の外周部 を露出させる切欠部が形成されている。

【００１０】

【作用】

この考案によれば、試料を試料ホルダに装着した後に、試料の表面を露出させ る切欠部に指を挿入して、試料を若干移動させて、分析すべき箇所をＸ線通過孔 に対応させることができる。したがって、試料の分析箇所を正確かつ容易に位置 決めすることができる。

【００１１】

【実施例】

以下、この考案の実施例を図面にしたがって説明する。 図１〜図３は、この考案の第１実施例を示す。 試料ホルダ１の説明に先だって、まず、蛍光Ｘ線分析装置の概略について説明 する。

【００１２】 図３において、Ｘ線管（放射線源）１０は、一次Ｘ線（放射線）Ｂ１を出射し て、試料６に一次Ｘ線Ｂ１を照射する。上記試料６に照射された一次Ｘ線Ｂ１は 、試料６の原子を励起して、その元素固有の蛍光Ｘ線Ｂ２を発生させる。試料６ からの蛍光Ｘ線Ｂ２は、視野制限スリット１１および第１のソーラスリット１２ を通過し、分光結晶１３に入射角θで入射し、ブラッグの式を満足する所定の波 長の蛍光Ｘ線Ｂ２のみが、入射角θと同一の回折角θで回折される。回折された 蛍光Ｘ線Ｂ２は、第２のソーラスリット１４を通過した後、Ｘ線検出器１５に入 射して検出される。この検出値に基づいて試料６の元素分析がなされる。

【００１３】 つぎに、試料ホルダ１について説明する。 図１において、位置決板２は、Ｘ線通過孔２２が形成された環状の中央板２３ と、この中央板２３から径方向Ｒの外方に向って延びる複数の固定板２４とで構 成されている。上記固定板２４は、この実施例では３枚設けられており、ビス２ ５を介して、位置決板２をキャップ本体７の上面の周囲で固定している。固定板 ２４と固定板２４の間には、試料６の表面６１の外周部を露出させる切欠部２６ が形成されている。上記固定板２４の先端部２４ａは、図２の断面図のように、 キャップ本体７の外周よりも若干内方へ退避しており、二点鎖線で示す分析装置 の環状の位置決部１６に嵌合する。なお、キャップ本体７およびケース本体８に より、試料ホルダ本体１７が構成されている。

【００１４】 上記ケース本体８の下部には、Ｃリング３１が固定されている。Ｃリング３１ の上方には、周方向に回転するベアリング３２を介して、ベース板３３が固定さ れている。なお、その他の構成は、上記従来技術と同様であり、同一部分または 相当部分に同一符号を付して、その詳しい説明を省略する。

【００１５】 つぎに、試料６の装着方法について説明する。 試料６を試料ホルダ１に装着するには、まず、予め、試料６の分析箇所６２（ 図８（ａ））にマーキングを施した後、キャップ本体７をケース本体８から取り 外す。ついで、試料６を試料台４の上の適当な位置に置く。つづいて、キャップ 本体７をケース本体８にねじ込んで固定し、ばね力により試料６を位置決板２と 試料台４との間で挟む。その後、図１の切欠部２６から指Ｆを挿入して、指Ｆで 試料６を若干移動させ、分析すべき箇所をＸ線通過孔２２に対応させる。このよ うに、この試料ホルダ１は、試料６の分析箇所６２（図８）を正確かつ容易に位 置決めすることができる。したがって、分析箇所の位置精度が向上するので、微 小部分析における分析の精度が向上するとともに、試料６の装着時間も短くなる 。

【００１６】 なお、位置決板２に凹凸があるが、図３のように、視野制限スリット１１を設 けることで、位置決板２に照射された一次Ｘ線Ｂ１が、Ｘ線検出器１５に入射す るのを防止し得る。

【００１７】 ところで、上記第１実施例では、図２のキャップ本体７をケース本体８に螺合 させて、試料ホルダ本体１７を構成したが、試料ホルダ本体１７は他の構造であ ってもよい。この一例を図４および図５の第２実施例に示す。

【００１８】 図４において、ベース板３３Ａには、４本の支柱１８を介して、環状の上板７ Ａがベース板３３Ａから離間した位置に固定されている。試料台４は、上記支柱 １８に案内される溝４ａを有しており、上下に摺動自在になっている。この実施 例では、上記上板７Ａ、支柱１８およびベース板３３Ａにより、試料ホルダ本体 １７が構成されている。位置決板２の形状および構造などのその他の構成は、図 ５に示すように、第１実施例と同様であり、同一部分または相当部分に同一符号 を付して、その説明を省略する。

【００１９】 ところで、上記実施例では、位置決板２に固定板２４を３枚設けたが、この考 案では、固定板２４を複数枚設ければよく、たとえば、２枚または４枚以上であ ってもよい。また、上記実施例では蛍光Ｘ線分析装置に用いる試料ホルダについ て説明したが、この考案は、回折Ｘ線に基づいて試料の結晶構造を分析する回折 Ｘ線分析装置などの他のＸ線分析装置についても適用できる。

【００２０】

【考案の効果】

以上説明したように、この考案によれば、Ｘ線通過孔が形成された中央板から 複数の固定板を径方向の外方に突出させて、固定板と固定板との間に試料の表面 を露出させる切欠部を設けたので、試料を試料ホルダに装着した後に、切欠部に 指を挿入して試料を移動させることができる。そのため、試料の分析箇所をＸ線 通過孔に正確に位置決めすることができるから、微小部分析における分析精度が 向上するとともに、位置決めが容易になるので、装着時間も短くなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の第１実施例を示す試料ホルダの斜視
図である。

【図２】同縦断面図である。

【図３】この考案にかかる蛍光Ｘ線分析装置の概略構成
図である。

【図４】第２実施例を示す試料ホルダの側面図である。

【図５】同平面図である。

【図６】従来の試料ホルダを示す縦断面図である。

【図７】同斜視図である。

【図８】（ａ）は試料の平面図、（ｂ）は試料を従来の
試料ホルダに装着した状態を示す平面図である。

【符号の説明】

１…試料ホルダ、２…位置決板、４…試料台、５…ば
ね、６…試料、７…キャップ本体（試料ホルダ本体）、
７Ａ…上板（試料ホルダ本体）、２１…裏面、２２…Ｘ
線通過孔、２３…中央板、２４…固定板、２６…切欠
部、３３，３３Ａ…ベース、６１…表面、Ｒ…径方向。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 試料の表面に裏面が当接するとともに、
   Ｘ線を通過させて試料に照射させるＸ線通過孔を有する
   位置決板と、この位置決板から離間した位置に設けられ
   たベースと、上記位置決板とベースとの間に設けられ、
   ばねに押されて上記位置決板との間で試料を挟んで保持
   する試料台とを備えたＸ線分析用の試料ホルダであっ
   て、 上記位置決板は、上記Ｘ線通過孔が形成された中央板
   と、この中央板から径方向の外方に向って延び位置決板
   を試料ホルダ本体に固定する複数の固定板とを有し、こ
   れらの固定板と固定板との間に試料の表面の外周部を露
   出させる切欠部が形成されているＸ線分析用の試料ホル
   ダ。