JPH06310071A - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH06310071A JPH06310071A JP5094107A JP9410793A JPH06310071A JP H06310071 A JPH06310071 A JP H06310071A JP 5094107 A JP5094107 A JP 5094107A JP 9410793 A JP9410793 A JP 9410793A JP H06310071 A JPH06310071 A JP H06310071A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- camera
- ccd camera
- vacuum
- room
- control device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】電子顕微鏡にＣＣＤカメラを付加した場合、カ
メラ室の下部にＣＣＤカメラを取付ける。ＣＣＤカメラ
は冷却されており、冷却をＯＦＦにし、一定時間経過後
カメラ室とＣＣＤカメラ部を大気圧にすることで、ＣＣ
Ｄカメラの露結を防止すること。 【構成】真空排気制御装置１２へＣＣＤカメラ制御装置
１３からＣＣＤカメラ１１が冷却されているか，いない
かの信号を常に送り、フィルム５を大気中に取出すため
カメラ室２及び真空容器１０を大気中にする場合、真空
バルブ６，８とリークバルブ１４をＣＣＤカメラの露結
を防止するよう真空排気制御装置１２が制御するよう構
成した。 【効果】カメラ室２のリークによるＣＣＤカメラの露結
を防止する。
メラ室の下部にＣＣＤカメラを取付ける。ＣＣＤカメラ
は冷却されており、冷却をＯＦＦにし、一定時間経過後
カメラ室とＣＣＤカメラ部を大気圧にすることで、ＣＣ
Ｄカメラの露結を防止すること。 【構成】真空排気制御装置１２へＣＣＤカメラ制御装置
１３からＣＣＤカメラ１１が冷却されているか，いない
かの信号を常に送り、フィルム５を大気中に取出すため
カメラ室２及び真空容器１０を大気中にする場合、真空
バルブ６，８とリークバルブ１４をＣＣＤカメラの露結
を防止するよう真空排気制御装置１２が制御するよう構
成した。 【効果】カメラ室２のリークによるＣＣＤカメラの露結
を防止する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】電子顕微鏡の像観察及び記録手段
として用いられる装置で、カメラ室の下部に取付けら
れ、真空排気が必要でかつ冷却手段をもつ装置に関す
る。
として用いられる装置で、カメラ室の下部に取付けら
れ、真空排気が必要でかつ冷却手段をもつ装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＵＳＰ(5,065,029）にあるよう
に、カメラ室とＣＣＤカメラのある真空容器の間に真空
遮断用バルブを用い、カメラ室を真空リークする場合、
真空遮断用バルブを閉じ、冷却して使用しているＣＣＤ
カメラに露結するのを防止していた。
に、カメラ室とＣＣＤカメラのある真空容器の間に真空
遮断用バルブを用い、カメラ室を真空リークする場合、
真空遮断用バルブを閉じ、冷却して使用しているＣＣＤ
カメラに露結するのを防止していた。
【０００３】この方法は真空遮断用のバルブユニットを
追加しなければならず、経済的ではない。
追加しなければならず、経済的ではない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】カメラ室とＣＣＤカメ
ラのある真空容器の間に設けた真空遮断バルブを設ける
ことなく取り除いても、カメラ室とＣＣＤカメラのある
真空容器を大気圧にリークしても、冷却して使用してい
るＣＣＤカメラに露結しないようにすることにある。
ラのある真空容器の間に設けた真空遮断バルブを設ける
ことなく取り除いても、カメラ室とＣＣＤカメラのある
真空容器を大気圧にリークしても、冷却して使用してい
るＣＣＤカメラに露結しないようにすることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】電子顕微鏡のカメラ室を
大気圧にする場合、カメラ室下部に取付けられた真空容
器内のＣＣＤカメラの冷却がされているかをＣＣＤカメ
ラ制御装置を通し検出を行う真空排気制御装置を設け
る。
大気圧にする場合、カメラ室下部に取付けられた真空容
器内のＣＣＤカメラの冷却がされているかをＣＣＤカメ
ラ制御装置を通し検出を行う真空排気制御装置を設け
る。
【０００６】真空排気制御装置は、カメラ室とＣＣＤカ
メラの入った真空容器を、排気ポンプで排気している。
カメラ室とＣＣＤカメラの入った真空容器を大気圧にす
る場合、真空排気制御装置はＣＣＤカメラの冷却が動作
している時、ＣＣＤカメラ制御装置へＣＣＤカメラの冷
却をＯＦＦするよう制御すると同時に一定時間経過後、
カメラ室と観察室との間の真空バルブ及びカメラ室と排
気ポンプとの間の真空バルブを動作させ、カメラ室とＣ
ＣＤカメラの入った真空容器を大気圧にする。
メラの入った真空容器を、排気ポンプで排気している。
カメラ室とＣＣＤカメラの入った真空容器を大気圧にす
る場合、真空排気制御装置はＣＣＤカメラの冷却が動作
している時、ＣＣＤカメラ制御装置へＣＣＤカメラの冷
却をＯＦＦするよう制御すると同時に一定時間経過後、
カメラ室と観察室との間の真空バルブ及びカメラ室と排
気ポンプとの間の真空バルブを動作させ、カメラ室とＣ
ＣＤカメラの入った真空容器を大気圧にする。
【０００７】
【作用】真空排気制御装置が、ＣＣＤカメラの冷却の有
無を検出した後、一定時間経過後に真空バルブの操作及
びリークバルブの操作を制御して行う。
無を検出した後、一定時間経過後に真空バルブの操作及
びリークバルブの操作を制御して行う。
【０００８】このため、ＣＣＤカメラ部の露結を防止す
ることができる。
ることができる。
【０００９】
【実施例】本発明の一実施例を図１により以下説明す
る。
る。
【００１０】図１は、電子顕微鏡の像を観察する観察室
１及びカメラ室２部の概略図である。観察室１は、真空
バルブ７を通し排気ポンプ９で真空排気される。カメラ
室２は、真空バルブ８を通し排気ポンプ９で真空排気さ
れる。
１及びカメラ室２部の概略図である。観察室１は、真空
バルブ７を通し排気ポンプ９で真空排気される。カメラ
室２は、真空バルブ８を通し排気ポンプ９で真空排気さ
れる。
【００１１】電子顕微鏡像は、透過電子線３を蛍光板４
が受けて蛍光板４上で観察される。この電子顕微鏡像を
記録する手段としてカメラ室２内にフィルム５がある。
が受けて蛍光板４上で観察される。この電子顕微鏡像を
記録する手段としてカメラ室２内にフィルム５がある。
【００１２】通常、観察室１とカメラ室２の間にある真
空バルブ６は開かれている。
空バルブ６は開かれている。
【００１３】真空バルブ６，７，８とリークバルブは真
空排気制御装置１２で開閉を制御している。
空排気制御装置１２で開閉を制御している。
【００１４】また、カメラ室２から、フィルム５を取出
す為には、真空バルブ６と８を閉じた後、カメラ室２内
をリークバルブ１４を通し大気圧にする。
す為には、真空バルブ６と８を閉じた後、カメラ室２内
をリークバルブ１４を通し大気圧にする。
【００１５】そこで、電子顕微鏡像を記録する手段とし
てフィルム５以外の例えばＣＣＤカメラ１１を付けた場
合、ＣＣＤカメラ１１を真空容器１０に入れて、電子顕
微鏡のカメラ室２部に取付ける必要がある。真空バルブ
６，７，８およびリークバルブ１４と真空排気制御装置
はバルブ開閉信号線で接続されている。
てフィルム５以外の例えばＣＣＤカメラ１１を付けた場
合、ＣＣＤカメラ１１を真空容器１０に入れて、電子顕
微鏡のカメラ室２部に取付ける必要がある。真空バルブ
６，７，８およびリークバルブ１４と真空排気制御装置
はバルブ開閉信号線で接続されている。
【００１６】ＣＣＤカメラ１１が冷却されている場合、
カメラ室２内をリークバルブ１４を通し大気圧にすると
冷却されている部分に露結を起こす。
カメラ室２内をリークバルブ１４を通し大気圧にすると
冷却されている部分に露結を起こす。
【００１７】これを防ぐため、真空排気制御装置１２は
ＣＣＤカメラ制御装置１３と通信手段で接続され、カメ
ラ室２を大気圧にする場合、ＣＣＤカメラ１１の冷却が
されている場合、ＣＣＤカメラ制御装置１３からＣＣＤ
カメラ１１をＯＦＦにし、また冷却をＯＦＦにするよう
制御する。この後、一定時間通過後、真空バルブ６と８
を閉じ、リークバルブ１４からリークを行い、カメラ室
２と真空容器１０を大気圧にするように構成した。
ＣＣＤカメラ制御装置１３と通信手段で接続され、カメ
ラ室２を大気圧にする場合、ＣＣＤカメラ１１の冷却が
されている場合、ＣＣＤカメラ制御装置１３からＣＣＤ
カメラ１１をＯＦＦにし、また冷却をＯＦＦにするよう
制御する。この後、一定時間通過後、真空バルブ６と８
を閉じ、リークバルブ１４からリークを行い、カメラ室
２と真空容器１０を大気圧にするように構成した。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、ＣＣＤカメラの露結を
防止することが出来、カメラ室のリークによるＣＣＤカ
メラの性能低下を防止することが出来る。
防止することが出来、カメラ室のリークによるＣＣＤカ
メラの性能低下を防止することが出来る。
【図１】電子顕微鏡像の観察，記録を行う部分の概略図
である。
である。
１…観察室、２…カメラ室、３…透過電子線、４…螢光
板、５…フィルム、６，７，８…真空バルブ、９…排気
ポンプ、１０…真空容器、１１…ＣＣＤカメラ、１２…
真空排気制御装置、１３…ＣＣＤカメラ制御装置、１４
…リークバルブ、１５…バルブ開閉信号線。
板、５…フィルム、６，７，８…真空バルブ、９…排気
ポンプ、１０…真空容器、１１…ＣＣＤカメラ、１２…
真空排気制御装置、１３…ＣＣＤカメラ制御装置、１４
…リークバルブ、１５…バルブ開閉信号線。
Claims (1)
- 【請求項１】電子顕微鏡像を観察する蛍光板のある観察
室及び記録するフィルムのあるカメラ室と、観察室を真
空排気する手段と、カメラ室を真空排気する手段と、観
察室とカメラ室を真空遮断および接続する真空バルブ
と、カメラ室を大気圧にするリークバルブと、カメラ室
部に接続された真空容器と、真空容器内に設置されたＣ
ＣＤカメラを有する電子顕微鏡において、該ＣＣＤカメ
ラ制御装置と通信可能な前記真空バルブや真空排気手段
やリークバルブを制御する真空排気制御装置を備えたこ
とを特徴とする電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5094107A JPH06310071A (ja) | 1993-04-21 | 1993-04-21 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5094107A JPH06310071A (ja) | 1993-04-21 | 1993-04-21 | 電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06310071A true JPH06310071A (ja) | 1994-11-04 |
Family
ID=14101221
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5094107A Pending JPH06310071A (ja) | 1993-04-21 | 1993-04-21 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06310071A (ja) |
-
1993
- 1993-04-21 JP JP5094107A patent/JPH06310071A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2731950B2 (ja) | 露光方法 | |
| JPH10318877A (ja) | トレーサガス式漏れ検出器 | |
| JPH06310071A (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JP3149226B2 (ja) | 漏れ検出装置 | |
| JPS5990784A (ja) | 真空排気装置 | |
| JPS5812700B2 (ja) | 電子線装置 | |
| JPH03157585A (ja) | 真空装置およびその使用方法 | |
| JPH07103843A (ja) | 真空漏洩検出方法および同装置 | |
| JP3383861B2 (ja) | クライオポンプ及びその運転方法 | |
| JPS5917083Y2 (ja) | 電子顕微鏡等における排気装置 | |
| JPH06139984A (ja) | 電子顕微鏡の真空リーク機構 | |
| JPS61101686A (ja) | 真空排気装置 | |
| JPH05159733A (ja) | エネルギー分散型ｘ線検出器及びその真空排気方法 | |
| JPS6342459Y2 (ja) | ||
| JPS60214298A (ja) | ヘリウム漏洩検出器の汚染除去方法及び該方法実施装置 | |
| JP2003157786A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JP3192772B2 (ja) | 電子ビーム描画装置 | |
| JP2503234B2 (ja) | 高真空排気制御装置 | |
| JPS62110244A (ja) | 真空排気装置 | |
| JP2954142B2 (ja) | 半導体製造装置とその気体流量の制御方法 | |
| JPH08259266A (ja) | ドライエッチング装置 | |
| JP2647922B2 (ja) | 電子顕微鏡の排気系 | |
| JPH04242059A (ja) | Ｘ線分析装置 | |
| JPH08111200A (ja) | 走査形電子顕微鏡 | |
| JPS6111630Y2 (ja) |