JPH06313703A - Ｉｃソケットの位置検出方法 - Google Patents
Ｉｃソケットの位置検出方法Info
- Publication number
- JPH06313703A JPH06313703A JP12495393A JP12495393A JPH06313703A JP H06313703 A JPH06313703 A JP H06313703A JP 12495393 A JP12495393 A JP 12495393A JP 12495393 A JP12495393 A JP 12495393A JP H06313703 A JPH06313703 A JP H06313703A
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Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 画像処理を用いることなく、接触子２の配列
が異なるＩＣソケット１の位置を正確に算出するＩＣソ
ケットの位置検出方法を提供する。 【構成】 ＩＣソケット１の接触子２上方にカメラ３を
設置し、その映像をＴＶモニタ４で見ながら、モニタ上
のクロスライン４ａに接触子２を合わせるようにカメラ
３の載置されているＸ−Ｙステージ５を微調し、クロス
ライン４ａと接触子２の外形とが重なった時のＸ−Ｙス
テージ５の位置を登録する。この方法で指定された接触
子２の位置を順に登録し、これらのデータよりＩＣソケ
ット１の中心位置を算出する。
が異なるＩＣソケット１の位置を正確に算出するＩＣソ
ケットの位置検出方法を提供する。 【構成】 ＩＣソケット１の接触子２上方にカメラ３を
設置し、その映像をＴＶモニタ４で見ながら、モニタ上
のクロスライン４ａに接触子２を合わせるようにカメラ
３の載置されているＸ−Ｙステージ５を微調し、クロス
ライン４ａと接触子２の外形とが重なった時のＸ−Ｙス
テージ５の位置を登録する。この方法で指定された接触
子２の位置を順に登録し、これらのデータよりＩＣソケ
ット１の中心位置を算出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ＩＣハンドラにおい
て被測定デバイスをＩＣソケットに位置決めする際に、
ＩＣソケットの取付位置を検出するＩＣソケットの位置
検出方法に関する。
て被測定デバイスをＩＣソケットに位置決めする際に、
ＩＣソケットの取付位置を検出するＩＣソケットの位置
検出方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣソケットの位置検出方法としては従
来画像処理を用いた方法がよく知られている。
来画像処理を用いた方法がよく知られている。
【０００３】図５は従来の位置検出方法を説明するため
の構成図を示したものである。
の構成図を示したものである。
【０００４】接触子２を有するＩＣソケットの上方にカ
メラ３が設けられ、カメラ３からの画像情報は画像処理
ユニット１６に入力される。カメラ３は水平方向に移動
可能なＸ−Ｙステージ５に取付けられており、Ｘ−Ｙス
テージ５は画像処理ユニット１６からの制御情報に基づ
いて、機構動作制御部１７からの制御指令に応答して、
Ｘ・Ｙ方向に移動するように構成されている。一方、Ｉ
Ｃソケット１の接触子２に接触して測定される被測定Ｉ
Ｃ２２は、Ｘ−Ｙステージ５に取付けられた測定ハンド
６に保持されてＩＣソケット１上に移動し、接触子２と
接触して被測定ＩＣ２２を測定する。
メラ３が設けられ、カメラ３からの画像情報は画像処理
ユニット１６に入力される。カメラ３は水平方向に移動
可能なＸ−Ｙステージ５に取付けられており、Ｘ−Ｙス
テージ５は画像処理ユニット１６からの制御情報に基づ
いて、機構動作制御部１７からの制御指令に応答して、
Ｘ・Ｙ方向に移動するように構成されている。一方、Ｉ
Ｃソケット１の接触子２に接触して測定される被測定Ｉ
Ｃ２２は、Ｘ−Ｙステージ５に取付けられた測定ハンド
６に保持されてＩＣソケット１上に移動し、接触子２と
接触して被測定ＩＣ２２を測定する。
【０００５】図５では、カメラ３がＩＣソケット１上に
移動し、ＩＣソケット１の接触子２の映像を取り込んで
これを画像処理ユニット１６に送信し、ＩＣソケット１
の中心座標を算出している。中心座標の求め方について
はさまざまな方法が実用化されているが、その中の代表
的なものを図６により説明する。
移動し、ＩＣソケット１の接触子２の映像を取り込んで
これを画像処理ユニット１６に送信し、ＩＣソケット１
の中心座標を算出している。中心座標の求め方について
はさまざまな方法が実用化されているが、その中の代表
的なものを図６により説明する。
【０００６】図６では、ＩＣソケット１の接触子２の外
端を含む位置にウインドウ１８を設け、個々の接触子２
の外端を結ぶエッジライン１９の位置を求める。次に、
となり合うエッジライン１９同士を結んだ交点２０の座
標を求め、この４点の交点２０の対角位置同士を結んだ
交点の座標がＩＣソケット１の中心座標２１となる。
端を含む位置にウインドウ１８を設け、個々の接触子２
の外端を結ぶエッジライン１９の位置を求める。次に、
となり合うエッジライン１９同士を結んだ交点２０の座
標を求め、この４点の交点２０の対角位置同士を結んだ
交点の座標がＩＣソケット１の中心座標２１となる。
【０００７】算出されたＩＣソケット１の中心座標デー
タは、機構動作制御部１７に送られ、機構動作制御部１
７はＸ−Ｙテーブル５上に載置されたＩＣ測定ハンド６
が被測定ＩＣ２２をＩＣソケット１の中心座標上に搬送
する。
タは、機構動作制御部１７に送られ、機構動作制御部１
７はＸ−Ｙテーブル５上に載置されたＩＣ測定ハンド６
が被測定ＩＣ２２をＩＣソケット１の中心座標上に搬送
する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従来のＩＣソケットの
位置検出方法では、画像処理方式を採用しているため、
装置が高価になるという問題点があった。また、１つの
画像処理ユニットで処理できるＩＣソケットの接触子の
配列に制限があるため、接触子の配列が異なるＩＣソケ
ットには別の画像処理ユニットを用意しなければなら
ず、汎用性に欠けるという問題もある。しかも、画像処
理の精度をあげるためには照明を最適な環境に設定しな
ければならず、異なった種類のソケットに交換する際に
は、そのソケットの接触子の配列に応じて光源の位置や
光量を調整する必要があった。
位置検出方法では、画像処理方式を採用しているため、
装置が高価になるという問題点があった。また、１つの
画像処理ユニットで処理できるＩＣソケットの接触子の
配列に制限があるため、接触子の配列が異なるＩＣソケ
ットには別の画像処理ユニットを用意しなければなら
ず、汎用性に欠けるという問題もある。しかも、画像処
理の精度をあげるためには照明を最適な環境に設定しな
ければならず、異なった種類のソケットに交換する際に
は、そのソケットの接触子の配列に応じて光源の位置や
光量を調整する必要があった。
【０００９】この発明は上記問題点を解消するためにな
されたもので、数カ所の接触子の位置を、カメラで拡大
してＴＶモニタ上のクロスラインに合わせて登録し、Ｉ
Ｃソケットの中心位置を求めることにより、接触子の配
列によらないＩＣソケットの位置検出方法を安価に提供
することを目的とする。
されたもので、数カ所の接触子の位置を、カメラで拡大
してＴＶモニタ上のクロスラインに合わせて登録し、Ｉ
Ｃソケットの中心位置を求めることにより、接触子の配
列によらないＩＣソケットの位置検出方法を安価に提供
することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明では、ＩＣソケット１の接触子２の位置を
拡大して見るカメラ３と、そのカメラ３の映像を出力す
るＴＶモニタ４と、ＴＶモニタ４上に表示されるクロス
ライン４ａと、登載したカメラ３をＸ−Ｙ方向に自由に
移動させるＸ−Ｙステージ５とを備え、接触子２の映像
をＴＶモニタ４で見ながらモニタ上のクロスライン４ａ
に接触子２を合わせるようにＸ−Ｙステージ５を微動さ
せ、クロスライン４ａと接触子２の外形とが重なった位
置を登録する。さらに、この方法で、指定された接触子
２の位置を順に登録し、これらの位置データよりＩＣソ
ケット１の中心位置を算出する。
に、この発明では、ＩＣソケット１の接触子２の位置を
拡大して見るカメラ３と、そのカメラ３の映像を出力す
るＴＶモニタ４と、ＴＶモニタ４上に表示されるクロス
ライン４ａと、登載したカメラ３をＸ−Ｙ方向に自由に
移動させるＸ−Ｙステージ５とを備え、接触子２の映像
をＴＶモニタ４で見ながらモニタ上のクロスライン４ａ
に接触子２を合わせるようにＸ−Ｙステージ５を微動さ
せ、クロスライン４ａと接触子２の外形とが重なった位
置を登録する。さらに、この方法で、指定された接触子
２の位置を順に登録し、これらの位置データよりＩＣソ
ケット１の中心位置を算出する。
【００１１】
【作用】カメラ３は接触子２をＩＣソケット１上方から
拡大して写し、ＴＶモニタ４はその映像を出力する。モ
ニタ４上のクロスライン４ａはモニタ４上に映し出され
た接触子２を位置決めするための目安となる。Ｘ−Ｙス
テージ５はカメラ３を登載し、登載したカメラ３の位置
をＸ−Ｙ方向に微動させる。
拡大して写し、ＴＶモニタ４はその映像を出力する。モ
ニタ４上のクロスライン４ａはモニタ４上に映し出され
た接触子２を位置決めするための目安となる。Ｘ−Ｙス
テージ５はカメラ３を登載し、登載したカメラ３の位置
をＸ−Ｙ方向に微動させる。
【００１２】
【実施例】次に、この発明の実施例を図１〜図４を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【００１３】図１はこの発明の実施例の位置検出方法を
説明するための構成図、図２はこの発明で使用される代
表的なＩＣソケット１の平面図、図３と図４はこの発明
で使用されるオペレーションユニット９の正面図をそれ
ぞれ示したものである。
説明するための構成図、図２はこの発明で使用される代
表的なＩＣソケット１の平面図、図３と図４はこの発明
で使用されるオペレーションユニット９の正面図をそれ
ぞれ示したものである。
【００１４】カメラ３と測定ハンド６は同一Ｘ−Ｙステ
ージ５上に載置され、Ｘ−Ｙステージ５はＸ方向、Ｙ方
向にそれぞれモータ７ａ・７ｂとボールネジ８によって
駆動されている。カメラ３で捉えられた映像はオペレー
ションユニット９に組み込まれているＴＶモニタ４によ
って出力される。
ージ５上に載置され、Ｘ−Ｙステージ５はＸ方向、Ｙ方
向にそれぞれモータ７ａ・７ｂとボールネジ８によって
駆動されている。カメラ３で捉えられた映像はオペレー
ションユニット９に組み込まれているＴＶモニタ４によ
って出力される。
【００１５】オペレーションユニット９内にはメモリ１
３、演算部１４およびモータ制御部１５が内蔵されてお
り、モータ制御部１５からの制御指令によりモータ７ａ
・７ｂが動作してＸ−Ｙステージ５が移動する。
３、演算部１４およびモータ制御部１５が内蔵されてお
り、モータ制御部１５からの制御指令によりモータ７ａ
・７ｂが動作してＸ−Ｙステージ５が移動する。
【００１６】次に、この発明によるＩＣソケットの位置
登録手順を説明する。登録するＩＣソケット１は、代表
的なものとして、図２に示すものを使用する。
登録手順を説明する。登録するＩＣソケット１は、代表
的なものとして、図２に示すものを使用する。
【００１７】まず、ＩＣソケット１の中心座標を求める
ために必要な接触子２ａ〜２ｄを予め選定しておき、そ
の接触子２ａ〜２ｄの概略位置と登録する順番とを指定
しておく。登録がスタートするとカメラ３は第１番目の
接触子２ａの上方に移動する。このときＴＶモニタ４上
には、図３に示すようにクロスライン４ａが表示されて
おり、第１番目の接触子２ａの映像が表示されている。
ここで作業者は、ＴＶモニタ４の４角に設置されている
ＬＥＤ１０の点灯している象限に接触子２ａの映像がく
るように、オペレーションユニット９に設置されている
微調スイッチＳＷ１１を操作する。図４のようにクロス
ライン４ａと接触子２ａの外形とが一致したところで登
録スイッチＳＷ１２を押す。
ために必要な接触子２ａ〜２ｄを予め選定しておき、そ
の接触子２ａ〜２ｄの概略位置と登録する順番とを指定
しておく。登録がスタートするとカメラ３は第１番目の
接触子２ａの上方に移動する。このときＴＶモニタ４上
には、図３に示すようにクロスライン４ａが表示されて
おり、第１番目の接触子２ａの映像が表示されている。
ここで作業者は、ＴＶモニタ４の４角に設置されている
ＬＥＤ１０の点灯している象限に接触子２ａの映像がく
るように、オペレーションユニット９に設置されている
微調スイッチＳＷ１１を操作する。図４のようにクロス
ライン４ａと接触子２ａの外形とが一致したところで登
録スイッチＳＷ１２を押す。
【００１８】この要領で、指定した接触子２ａ〜２ｄを
指定した順に登録することにより、ＩＣソケット１の中
心座標を求めるのに必要なデータを収集する。ここで得
られたデータは、装置のメモリ１３に記憶され、演算部
１４に送られてＩＣソケット１の中心位置が算出され
る。このデータによりモータ制御部１５は測定ハンド６
をＩＣソケット１の中心上に移動させる。
指定した順に登録することにより、ＩＣソケット１の中
心座標を求めるのに必要なデータを収集する。ここで得
られたデータは、装置のメモリ１３に記憶され、演算部
１４に送られてＩＣソケット１の中心位置が算出され
る。このデータによりモータ制御部１５は測定ハンド６
をＩＣソケット１の中心上に移動させる。
【００１９】
【発明の効果】この発明によれば、ＩＣソケットの位置
を求めるのに画像処理を使わないため、装置が安価に構
成できる。また、ＩＣソケットの接触子の位置を直接登
録し、その位置を基にＩＣソケットの中心位置を算出す
るため、対象となるＩＣソケットの接触子の配列に制限
がない。
を求めるのに画像処理を使わないため、装置が安価に構
成できる。また、ＩＣソケットの接触子の位置を直接登
録し、その位置を基にＩＣソケットの中心位置を算出す
るため、対象となるＩＣソケットの接触子の配列に制限
がない。
【図１】この発明の実施例の位置検出方法を説明するた
めの構成図である。
めの構成図である。
【図２】この発明で使用される代表的なＩＣソケットの
平面図である。
平面図である。
【図３】この発明で使用されるオペレーションユニット
の正面図である。
の正面図である。
【図４】この発明で使用されるオペレーションユニット
の正面図である。
の正面図である。
【図５】従来のＩＣソケットの位置検出方法を説明する
ための構成図である。
ための構成図である。
【図６】従来の画像処理によるＩＣソケットの位置検出
方法を説明する説明図である。
方法を説明する説明図である。
１ ＩＣソケット ２ 接触子 ２ａ〜２ｄ 登録する接触子 ３ カメラ ４ ＴＶモニタ ５ Ｘ−Ｙステージ ６ 測定ハンド ９ オペレーションユニット １０ ＬＥＤ １１ 微調ＳＷ １２ 登録ＳＷ １３ メモリ １４ 演算部 １５ モータ制御部 １６ 画像処理ユニット １７ 機構動作制御部 １８ ウインドウ １９ エッジライン ２０ 交点 ２１ 中心座標 ２２ 被測定ＩＣ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｆ 8418−4Ｍ
Claims (1)
- 【請求項１】 ＩＣソケット(1) 上の接触子(2) の位置
をカメラ(3) により認識してＩＣソケット(1) の中心位
置を算出するＩＣソケットの位置検出方法において、 画面上に位置合せの目安となるクロスライン(4a)を備え
たＴＶモニタ(4) を用意し、カメラ(3) をＩＣソケット
(1) に対して平行移動することにより、接触子(2) の所
定箇所をＴＶモニタ(4) のクロスライン(4a)に合わせて
位置座標を記憶し、 これらの記憶された位置座標に基づいてＩＣソケット
(1) の中心位置を算出することを特徴とするＩＣソケッ
トの位置検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12495393A JPH06313703A (ja) | 1993-04-28 | 1993-04-28 | Ｉｃソケットの位置検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12495393A JPH06313703A (ja) | 1993-04-28 | 1993-04-28 | Ｉｃソケットの位置検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06313703A true JPH06313703A (ja) | 1994-11-08 |
Family
ID=14898303
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12495393A Pending JPH06313703A (ja) | 1993-04-28 | 1993-04-28 | Ｉｃソケットの位置検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06313703A (ja) |
-
1993
- 1993-04-28 JP JP12495393A patent/JPH06313703A/ja active Pending
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