JPH0631374Y2 - 感熱式流量センサ - Google Patents
感熱式流量センサInfo
- Publication number
- JPH0631374Y2 JPH0631374Y2 JP7810588U JP7810588U JPH0631374Y2 JP H0631374 Y2 JPH0631374 Y2 JP H0631374Y2 JP 7810588 U JP7810588 U JP 7810588U JP 7810588 U JP7810588 U JP 7810588U JP H0631374 Y2 JPH0631374 Y2 JP H0631374Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat
- sensitive
- sensitive resistor
- resistor
- flow rate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、感熱抵抗体を用いて流体の流量を検出する
感熱式流量センサに関するものである。
感熱式流量センサに関するものである。
〔従来の技術〕 従来、流体中に設けられた感熱抵抗体を有するブリッジ
回路の熱平衡状態から流体の流量を検出する流量センサ
として例えば実公昭61−108930号公報に開示されてい
る。第２図は従来の感熱式空気流量センサの回路図を示
すもので、空気の主通路となるハウジング１内に計測管
路２が設けられ、この管路２内に感熱抵抗体３と空気温
センサ４が配設されている。感熱抵抗体３はセラミック
基板上に白金薄膜抵抗体を形成した平板からなり、感熱
抵抗体３は空気温センサ４および抵抗Ｒ１，Ｒ２と共に
ブリッジ回路を構成している。一方、差動増幅器１０１
の両入力はブリッジ回路の接続点ｂ，ｆに接続され、差
動増幅器１０１の出力はトランジスタ１０２のベースに
接続されている。また、トランジスタ１０２のエミッタ
はブリッジ回路の接続点ａに接続され、コレクタは電源
１０３に接続されている。なお、矢印１０は空気の流れ
方向を示す。
回路の熱平衡状態から流体の流量を検出する流量センサ
として例えば実公昭61−108930号公報に開示されてい
る。第２図は従来の感熱式空気流量センサの回路図を示
すもので、空気の主通路となるハウジング１内に計測管
路２が設けられ、この管路２内に感熱抵抗体３と空気温
センサ４が配設されている。感熱抵抗体３はセラミック
基板上に白金薄膜抵抗体を形成した平板からなり、感熱
抵抗体３は空気温センサ４および抵抗Ｒ１，Ｒ２と共に
ブリッジ回路を構成している。一方、差動増幅器１０１
の両入力はブリッジ回路の接続点ｂ，ｆに接続され、差
動増幅器１０１の出力はトランジスタ１０２のベースに
接続されている。また、トランジスタ１０２のエミッタ
はブリッジ回路の接続点ａに接続され、コレクタは電源
１０３に接続されている。なお、矢印１０は空気の流れ
方向を示す。
第３図は感熱抵抗体３の支持構造を示し、計測管路２の
内周には電気的接続用リードを兼ねる導電性の一対の支
持部材５が立設され、この支持部材５に感熱抵抗体３の
両端が支持され、結合部６によって電気的接続が行なわ
れる。
内周には電気的接続用リードを兼ねる導電性の一対の支
持部材５が立設され、この支持部材５に感熱抵抗体３の
両端が支持され、結合部６によって電気的接続が行なわ
れる。
このように構成した従来の空気流量センサの動作の詳細
は省略するが、接続点ｂ，ｆの電圧が等しくなるとブリ
ッジ回路は平衡状態に達し、このとき感熱抵抗体３には
流量に対応した電流ＩＨが流れ、ｂ点の電圧ＶＨはＩＨ
・Ｒ１で表わされ、この電圧ＶＨが流量信号として用い
られる。
は省略するが、接続点ｂ，ｆの電圧が等しくなるとブリ
ッジ回路は平衡状態に達し、このとき感熱抵抗体３には
流量に対応した電流ＩＨが流れ、ｂ点の電圧ＶＨはＩＨ
・Ｒ１で表わされ、この電圧ＶＨが流量信号として用い
られる。
従来の感熱式流量センサは上記のように構成されてお
り、流量変化に対する応答性を良くするため感熱抵抗体
３としては熱容量の小さいチップ型のものを用いてい
る。しかし、支持部材５に電気的接続用リードを兼ねさ
せているため、支持部材５には熱容量の大きな金属が使
われており、また支持部材が感熱抵抗体３の両端と全面
的に接触するものであるので、感熱抵抗体３に比べて支
持部材５の熱容量が大きくなり、この結果、流量検出感
度の低下および検出応答性の低下をきたすという課題が
あった。
り、流量変化に対する応答性を良くするため感熱抵抗体
３としては熱容量の小さいチップ型のものを用いてい
る。しかし、支持部材５に電気的接続用リードを兼ねさ
せているため、支持部材５には熱容量の大きな金属が使
われており、また支持部材が感熱抵抗体３の両端と全面
的に接触するものであるので、感熱抵抗体３に比べて支
持部材５の熱容量が大きくなり、この結果、流量検出感
度の低下および検出応答性の低下をきたすという課題が
あった。
この考案は上記のような課題を解消するためになされた
もので、流量の検出感度および応答性を向上することの
できる感熱式流量センサを得ることを目的とする。
もので、流量の検出感度および応答性を向上することの
できる感熱式流量センサを得ることを目的とする。
この考案に係る感熱式流量センサは、流体の通路中に配
設され平板状の感熱抵抗体と他の抵抗とからなるブリッ
ジ回路と、感熱抵抗体への通電電流を制御しブリッジ回
路が所定の熱平衡状態を保つように制御する制御回路と
を備え、熱平衡状態から流量を検出する感熱式流量セン
サにおいて、計測管路に設けた一対の支持部材間に熱絶
縁性の薄膜を架設し、この薄膜上に感熱抵抗体を固着
し、感熱抵抗体と支持部材に設けたターミナルとをリー
ド線で接続したものである。
設され平板状の感熱抵抗体と他の抵抗とからなるブリッ
ジ回路と、感熱抵抗体への通電電流を制御しブリッジ回
路が所定の熱平衡状態を保つように制御する制御回路と
を備え、熱平衡状態から流量を検出する感熱式流量セン
サにおいて、計測管路に設けた一対の支持部材間に熱絶
縁性の薄膜を架設し、この薄膜上に感熱抵抗体を固着
し、感熱抵抗体と支持部材に設けたターミナルとをリー
ド線で接続したものである。
この考案においては、感熱抵抗体に接触する部分が熱容
量が小さく、また熱絶縁性を有する可塑性薄膜であるた
め、支持部材への熱伝達が極めて少なく、したがって、
感熱抵抗体は支持部材の熱容量の影響を受けることがな
い。
量が小さく、また熱絶縁性を有する可塑性薄膜であるた
め、支持部材への熱伝達が極めて少なく、したがって、
感熱抵抗体は支持部材の熱容量の影響を受けることがな
い。
以下、この考案の一実施例を図について説明する。第１
図はこの考案による感熱式流量センサにおける感熱抵抗
体の取付け状態の斜視図を示し、５は絶縁材からなる計
測管路２に立設されている導電性を有する一対の支持部
材、７はこの支持部材５に一体形成されたターミナル、
８は一対の支持部材５間に架設された熱絶縁性の可塑性
薄膜で、この薄膜８上に感熱抵抗体３が固着されてい
る。９は感熱抵抗体３とターミナル７間に接続したリー
ド線である。
図はこの考案による感熱式流量センサにおける感熱抵抗
体の取付け状態の斜視図を示し、５は絶縁材からなる計
測管路２に立設されている導電性を有する一対の支持部
材、７はこの支持部材５に一体形成されたターミナル、
８は一対の支持部材５間に架設された熱絶縁性の可塑性
薄膜で、この薄膜８上に感熱抵抗体３が固着されてい
る。９は感熱抵抗体３とターミナル７間に接続したリー
ド線である。
上記のように構成したことにより、感熱抵抗体３は熱容
量の大きい支持部材５とは直接には接触せず、熱伝達の
極めて少ない可塑性薄膜８とのみ接触しているため、感
熱抵抗体３から支持部材５への熱の伝導量が少なく、し
たがって、支持部材５による感熱抵抗体３の熱影響が解
消できる。また、薄膜８は空気の流れ方向１０に平行に
配設されているので感熱抵抗体３は流れ方向の所望の位
置に正確に保持できる。
量の大きい支持部材５とは直接には接触せず、熱伝達の
極めて少ない可塑性薄膜８とのみ接触しているため、感
熱抵抗体３から支持部材５への熱の伝導量が少なく、し
たがって、支持部材５による感熱抵抗体３の熱影響が解
消できる。また、薄膜８は空気の流れ方向１０に平行に
配設されているので感熱抵抗体３は流れ方向の所望の位
置に正確に保持できる。
以上のようにこの考案によれば、感熱抵抗体を熱絶縁性
の薄膜上に取付け、感熱抵抗体と支持部材とはリード線
によって接続するようにしたので、感熱抵抗体への熱影
響を少なくでき、ブリッジ回路の熱平衡状態を正確かつ
迅速に制御できる。これによって流量センサの検出感度
や応答性を向上できる。
の薄膜上に取付け、感熱抵抗体と支持部材とはリード線
によって接続するようにしたので、感熱抵抗体への熱影
響を少なくでき、ブリッジ回路の熱平衡状態を正確かつ
迅速に制御できる。これによって流量センサの検出感度
や応答性を向上できる。
第１図はこの考案の一実施例による感熱式流量センサに
おける感熱抵抗体の取付け状態の斜視図、第２図は感熱
式流量センサの回路図、第３図は従来の感熱抵抗体の取
付け状態の斜視図である。 ２……計測管路、３……感熱抵抗体、５……支持部材、
７……ターミナル、８……可塑性薄膜、９……リード
線。 なお、図中同一符号は同一又は相当部分を示す。
おける感熱抵抗体の取付け状態の斜視図、第２図は感熱
式流量センサの回路図、第３図は従来の感熱抵抗体の取
付け状態の斜視図である。 ２……計測管路、３……感熱抵抗体、５……支持部材、
７……ターミナル、８……可塑性薄膜、９……リード
線。 なお、図中同一符号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 【請求項１】流体の通路中に配設され平板状の感熱抵抗
体と他の抵抗とからなるブリッジ回路と、感熱抵抗体へ
の通電電流を制御しブリッジ回路が所定の熱平衡状態を
保つように制御する制御回路とを備え、この熱平衡状態
から流量を検出する感熱式流量センサにおいて、上記感
熱抵抗体を計測管路に設けた一対の支持部材間に架設し
た熱絶縁性の可塑性薄膜上に固着し、かつ感熱抵抗体と
支持部材に一体成形したターミナルとをリード線で接続
したことを特徴とする感熱式流量センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7810588U JPH0631374Y2 (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | 感熱式流量センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7810588U JPH0631374Y2 (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | 感熱式流量センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02628U JPH02628U (ja) | 1990-01-05 |
| JPH0631374Y2 true JPH0631374Y2 (ja) | 1994-08-22 |
Family
ID=31303054
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7810588U Expired - Lifetime JPH0631374Y2 (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | 感熱式流量センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0631374Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-06-13 JP JP7810588U patent/JPH0631374Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02628U (ja) | 1990-01-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0620974Y2 (ja) | 感熱式流量センサ | |
| JP4157034B2 (ja) | 熱式流量計測装置 | |
| KR100230079B1 (ko) | 습도 센서 | |
| JP2682349B2 (ja) | 空気流量計及び空気流量検出方法 | |
| US5465618A (en) | Thermal flow sensor and heat-sensitive resistor therefor | |
| JPH0690062B2 (ja) | 熱式流速検出装置 | |
| JPH08313318A (ja) | 感熱式流量検出装置 | |
| US4912974A (en) | Thermal flow sensor | |
| JPH0631374Y2 (ja) | 感熱式流量センサ | |
| US5148707A (en) | Heat-sensitive flow sensor | |
| JPH11118566A (ja) | 流量センサー | |
| JPH0620973Y2 (ja) | 感熱式流量センサ | |
| JPH11311559A (ja) | センサー回路系 | |
| JP4080581B2 (ja) | 流量センサー | |
| JPH0682286A (ja) | 熱式流量計 | |
| JPH0422268Y2 (ja) | ||
| JPH0742105Y2 (ja) | 熱線式流量センサ | |
| JP2690066B2 (ja) | 感熱式流量センサ | |
| US5361634A (en) | Heat-sensitive flow rate sensor | |
| JPH0428020Y2 (ja) | ||
| JPH071184B2 (ja) | 感熱式流量センサ | |
| JP2569733B2 (ja) | 熱式空気流量検出装置 | |
| JPH01150818A (ja) | 感熱式流量センサ | |
| JP2890287B2 (ja) | センサ回路 | |
| JP2890286B2 (ja) | センサ回路 |