JPH0620973Y2 - 感熱式流量センサ - Google Patents
感熱式流量センサInfo
- Publication number
- JPH0620973Y2 JPH0620973Y2 JP19781387U JP19781387U JPH0620973Y2 JP H0620973 Y2 JPH0620973 Y2 JP H0620973Y2 JP 19781387 U JP19781387 U JP 19781387U JP 19781387 U JP19781387 U JP 19781387U JP H0620973 Y2 JPH0620973 Y2 JP H0620973Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat
- sensitive resistor
- support member
- resistor
- flow rate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、感熱抵抗体を用いて流体の流量を検出する
感熱式流量センサに関するものである。
感熱式流量センサに関するものである。
流体中に配設された感熱抵抗体を含むブリッジ回路の熱
平衡状態から流量を検出する方式の流量センサが従来か
ら用いられている。
平衡状態から流量を検出する方式の流量センサが従来か
ら用いられている。
第2図は従来の感熱式空気流量センサの構成を示し、空
気の主通路となるハウジング1内に計測管路2が設けら
れ、計測管路2内には感熱抵抗体3及び空気温センサ4
が設置される。感熱抵抗体3はセラミック基板上に白金
薄膜抵抗体を形成した平板状となっており、感熱抵抗体
3は空気温センサ4及び抵抗R1,R2と共にブリッジ
回路を構成する。一方、差動増幅器101の両入力はブ
リッジ回路の接続点b,fに接続され、差動増幅器10
1の出力はトランジスタ102のベースに接続される。
又、トランジスタ102のエミッタはブリッジ回路の一
端aに接続され、トランジスタ102のコレクタは電源
103の正極に接続される。矢印10は空気の流れ方向
を示す。
気の主通路となるハウジング1内に計測管路2が設けら
れ、計測管路2内には感熱抵抗体3及び空気温センサ4
が設置される。感熱抵抗体3はセラミック基板上に白金
薄膜抵抗体を形成した平板状となっており、感熱抵抗体
3は空気温センサ4及び抵抗R1,R2と共にブリッジ
回路を構成する。一方、差動増幅器101の両入力はブ
リッジ回路の接続点b,fに接続され、差動増幅器10
1の出力はトランジスタ102のベースに接続される。
又、トランジスタ102のエミッタはブリッジ回路の一
端aに接続され、トランジスタ102のコレクタは電源
103の正極に接続される。矢印10は空気の流れ方向
を示す。
第3図は感熱抵抗体3の支持構造を示し、計測管路2の
内周には電気接続用リードを兼ねる導電性の一対の支持
部材5が立設され、感熱抵抗体3はこの一対の支持部材
5に両端を支持され、流れ方向10と平行に配設され、
係止部6で感熱抵抗体3と支持部材5との電気的接続が
行われる。
内周には電気接続用リードを兼ねる導電性の一対の支持
部材5が立設され、感熱抵抗体3はこの一対の支持部材
5に両端を支持され、流れ方向10と平行に配設され、
係止部6で感熱抵抗体3と支持部材5との電気的接続が
行われる。
上記構成の従来の空気流量センサの動作は公知であるの
で詳細な説明は省略するが、接続点b,fの電圧が等し
くなるとこの回路は平衡状態に達し、このとき感熱抵抗
体3には流量に対応した電流IHが流れ、b点の電圧V
HはIH・R1で表わされ、この電圧VHが流量信号と
して用いられる。
で詳細な説明は省略するが、接続点b,fの電圧が等し
くなるとこの回路は平衡状態に達し、このとき感熱抵抗
体3には流量に対応した電流IHが流れ、b点の電圧V
HはIH・R1で表わされ、この電圧VHが流量信号と
して用いられる。
従来の感熱式空気流量センサは上記のように構成され、
流量変化に対する応答性を良くするため感熱抵抗体3と
しては熱容量の小さいチップ型のものを用いている。し
かし、支持部材5が感熱抵抗体3の両端と全面的に接触
するものであるため、感熱抵抗体3に比べて支持部材5
の熱容量が大きくなり、流量検出感度の低下及び検出応
答性の悪化をもたらすという問題点があった。
流量変化に対する応答性を良くするため感熱抵抗体3と
しては熱容量の小さいチップ型のものを用いている。し
かし、支持部材5が感熱抵抗体3の両端と全面的に接触
するものであるため、感熱抵抗体3に比べて支持部材5
の熱容量が大きくなり、流量検出感度の低下及び検出応
答性の悪化をもたらすという問題点があった。
この考案は上記のような問題点を解決するために成され
たものであり、検出の感度及び応答性を向上することが
できる感熱式流量センサを得ることを目的とする。
たものであり、検出の感度及び応答性を向上することが
できる感熱式流量センサを得ることを目的とする。
この考案に係る感熱式流量センサは、感熱抵抗体を支持
する支持部材を感熱抵抗体の角部のみを支持する形状と
し、かつ感熱抵抗体への通電は別個に設けたリード線に
よって行うようにしたものである。
する支持部材を感熱抵抗体の角部のみを支持する形状と
し、かつ感熱抵抗体への通電は別個に設けたリード線に
よって行うようにしたものである。
この考案による感熱抵抗体の支持部材は感熱抵抗体の角
部のみ支持するため、その熱容量が小さくなり、機械的
強度も維持される。
部のみ支持するため、その熱容量が小さくなり、機械的
強度も維持される。
以下、この考案の実施例を図面とともに説明する。第1
図はこの実施例による感熱抵抗体の支持構造を示し、絶
縁材からなる計測管路2に一対のコ字状の支持部材8が
対向して立設され、さらにその外側には一対のターミナ
ル9が対向して立設される。各支持部材8の先端は感熱
抵抗体3の四角を挟持する。感熱抵抗体3は流れの方向
10と平行に支持される。又、感熱抵抗体3とターミナ
ル9との間は通電用リード線7によって接続する。感熱
式空気流量センサとしての全体的な構成は第2図に示し
た通りである。
図はこの実施例による感熱抵抗体の支持構造を示し、絶
縁材からなる計測管路2に一対のコ字状の支持部材8が
対向して立設され、さらにその外側には一対のターミナ
ル9が対向して立設される。各支持部材8の先端は感熱
抵抗体3の四角を挟持する。感熱抵抗体3は流れの方向
10と平行に支持される。又、感熱抵抗体3とターミナ
ル9との間は通電用リード線7によって接続する。感熱
式空気流量センサとしての全体的な構成は第2図に示し
た通りである。
上記構成において、支持部材8は感熱抵抗体3の角部の
み支持すれば良いので、両者の接触面積が小さく、支持
部材8の熱容量も小さくなり、感熱抵抗体3から支持部
材8への熱の移動量が小さくなる。このため、熱平衡状
態を正確に制御することができ、検出感度及び検出の応
答性を向上することができる。又、支持部材8はコ字状
にしても機械的強度が損われることがない。なお、支持
部材8は熱伝導率の小さい絶縁部材から形成することが
望ましいが、金属性のものであっても良い。
み支持すれば良いので、両者の接触面積が小さく、支持
部材8の熱容量も小さくなり、感熱抵抗体3から支持部
材8への熱の移動量が小さくなる。このため、熱平衡状
態を正確に制御することができ、検出感度及び検出の応
答性を向上することができる。又、支持部材8はコ字状
にしても機械的強度が損われることがない。なお、支持
部材8は熱伝導率の小さい絶縁部材から形成することが
望ましいが、金属性のものであっても良い。
以上のようにこの考案によれば、流体通路中に感熱抵抗
体を支持する支持部材が感熱抵抗体の角部のみ支持する
ようにしており、支持部材の熱容量を小さくすることが
でき、感熱抵抗体と支持部材の接触面積も小さくできる
ので、感熱抵抗体から支持部材への熱の移動量が小さく
なり、ブリッジ回路の熱平衡状態を正確にかつ迅速に制
御することができ、検出感度及び検出応答性を向上する
ことができる。又、支持部材は感熱抵抗体の角部を支持
するので、感熱抵抗体の支持強度が維持される。
体を支持する支持部材が感熱抵抗体の角部のみ支持する
ようにしており、支持部材の熱容量を小さくすることが
でき、感熱抵抗体と支持部材の接触面積も小さくできる
ので、感熱抵抗体から支持部材への熱の移動量が小さく
なり、ブリッジ回路の熱平衡状態を正確にかつ迅速に制
御することができ、検出感度及び検出応答性を向上する
ことができる。又、支持部材は感熱抵抗体の角部を支持
するので、感熱抵抗体の支持強度が維持される。
第1図はこの考案に係る感熱式空気流量センサの感熱抵
抗体の支持構造の斜視図、第2図は感熱式空気流量セン
サの構成図、第3図は従来の感熱式空気流量センサの支
持構造の斜視図である。 1……ハウジング、2……計測管路、3……感熱抵抗
体、4……空気温センサ、7……リード線、8……支持
部材、R1,R2……抵抗。 なお、図中同一符号は同一又は相当部分を示す。
抗体の支持構造の斜視図、第2図は感熱式空気流量セン
サの構成図、第3図は従来の感熱式空気流量センサの支
持構造の斜視図である。 1……ハウジング、2……計測管路、3……感熱抵抗
体、4……空気温センサ、7……リード線、8……支持
部材、R1,R2……抵抗。 なお、図中同一符号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 【請求項1】流体通路中に配設され、平板状に形成され
た感熱抵抗体と複数の抵抗とにより構成されたブリッジ
回路と、感熱抵抗体への通電々流を制御しブリッジ回路
が所定の熱平衡を保つように制御する制御回路を備え、
熱平衡状態から流量を検出する感熱式流量センサにおい
て、流体通路中に感熱抵抗体をその角部のみ支持する支
持部材によって支持し、かつ感熱抵抗体に通電用リード
線を接続したことを特徴とする感熱式流量センサ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19781387U JPH0620973Y2 (ja) | 1987-12-26 | 1987-12-26 | 感熱式流量センサ |
| KR1019880015744A KR890010539A (ko) | 1987-12-08 | 1988-11-29 | 감열식 유량센서 |
| DE3841057A DE3841057A1 (de) | 1987-12-08 | 1988-12-06 | Stroemungsmessgeraet |
| US07/280,921 US4912974A (en) | 1987-12-08 | 1988-12-07 | Thermal flow sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19781387U JPH0620973Y2 (ja) | 1987-12-26 | 1987-12-26 | 感熱式流量センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01102723U JPH01102723U (ja) | 1989-07-11 |
| JPH0620973Y2 true JPH0620973Y2 (ja) | 1994-06-01 |
Family
ID=31488347
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19781387U Expired - Lifetime JPH0620973Y2 (ja) | 1987-12-08 | 1987-12-26 | 感熱式流量センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0620973Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-12-26 JP JP19781387U patent/JPH0620973Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01102723U (ja) | 1989-07-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0620974Y2 (ja) | 感熱式流量センサ | |
| US4912974A (en) | Thermal flow sensor | |
| US4471655A (en) | Gas flow rate measuring apparatus | |
| JPH0625684B2 (ja) | 流体の流量検出センサー | |
| JPH08313318A (ja) | 感熱式流量検出装置 | |
| US5148707A (en) | Heat-sensitive flow sensor | |
| JPH0631374Y2 (ja) | 感熱式流量センサ | |
| JPH11118566A (ja) | 流量センサー | |
| JPH0612277B2 (ja) | 感熱式流量センサ | |
| JP3345695B2 (ja) | 加速度センサ | |
| JPH11153466A (ja) | 流量センサー | |
| JPH0743340B2 (ja) | 酸素濃度検出装置 | |
| JPH0682286A (ja) | 熱式流量計 | |
| JPH0742105Y2 (ja) | 熱線式流量センサ | |
| JPH0220681Y2 (ja) | ||
| JPS63210666A (ja) | 流速センサ及びそれを用いた流速測定装置 | |
| JPH034568A (ja) | 半導体圧力センサー | |
| JPH0422268Y2 (ja) | ||
| JPH0422266Y2 (ja) | ||
| JP2774100B2 (ja) | 酸素濃度検知装置 | |
| JPH02147916A (ja) | センサの発熱部構造 | |
| JPH06242048A (ja) | 熱伝導式絶対湿度センサ | |
| JP2646846B2 (ja) | 感温抵抗素子 | |
| JP3167549B2 (ja) | ガス検出装置 | |
| JPH032848Y2 (ja) |