JPH06316414A - ペロブスカイト型化合物粉末の製造方法 - Google Patents

ペロブスカイト型化合物粉末の製造方法

Info

Publication number
JPH06316414A
JPH06316414A JP5129937A JP12993793A JPH06316414A JP H06316414 A JPH06316414 A JP H06316414A JP 5129937 A JP5129937 A JP 5129937A JP 12993793 A JP12993793 A JP 12993793A JP H06316414 A JPH06316414 A JP H06316414A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
type compound
perovskite type
perovskite
hydrated oxide
component
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5129937A
Other languages
English (en)
Inventor
Masatake Maruo
正剛 丸尾
Mitsuru Watanabe
満 渡辺
Terukazu Moribe
輝和 森部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ishihara Sangyo Kaisha Ltd
Original Assignee
Ishihara Sangyo Kaisha Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ishihara Sangyo Kaisha Ltd filed Critical Ishihara Sangyo Kaisha Ltd
Priority to JP5129937A priority Critical patent/JPH06316414A/ja
Publication of JPH06316414A publication Critical patent/JPH06316414A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
  • Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【構成】Ba、Pb、Sr、MgおよびCaから選ばれ
る少なくとも一種の元素の水和酸化物と、比表面積が5
0m2 /g以上の、Ti、Zr、HfおよびSnをから
選ばれる少なくとも一種の元素の水和酸化物とからなる
水性懸濁液を水熱処理して得られたペロブスカイト型化
合物を圧密粉砕機で粉砕する。 【効果】不純物の含有量が少なく、バインダに対する分
散性のよい微粒子のペロブスカイト型化合物粉末が得ら
れる。このペロブスカイト型化合物粉末は低温焼結性に
優れ、焼結体としたときの充填率を高めることができ、
誘電性や圧電性などの特性を改善することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ペロブスカイト型化合
物粉末の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】ペロブスカイト型化合物とは、化学式R
MX3 で示される複酸化物に見られるペロブスカイト型
結晶構造を有する化合物のことであり、たとえば、チタ
ン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸鉛、
ジルコン酸鉛、チタン酸ジルコン酸鉛、スズ酸カルシウ
ムなどが挙げられる。ペロブスカイト型化合物を焼結さ
せて得られる焼結体は、優れた誘電性、圧電性さらには
半導性を有することから、コンデンサ、電波フィルタ
ー、着火素子、サーミスターなどの電気・電子工業用材
料として有用な物質である。
【0003】ペロブスカイト型化合物を製造するには、
各元素の酸化物や炭酸塩を混合し、焼成するいわゆる固
相合成法、各元素のシュウ酸塩を水系で合成したり、各
元素のシュウ酸塩を固相で混合したりした後、焼成する
いわゆるシュウ酸塩法、各元素の水溶液とアルカリ水溶
液とを混合し、水熱処理した後、濾過し、洗浄し、乾燥
するいわゆる水熱合成法などの方法がある。このように
して得られたペロブスカイト型化合物を、通常は、解砕
あるいは粉砕して粉末とし、該粉末をバインダと混合し
た後、シート成形法や印刷法などの方法を用いて基板上
に粉末層を形成させ、次いで、焼結させて焼結体として
いる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】近年の電気機器・電子
機器の小型化、軽量化、高性能化、多機能化に伴い、そ
れを構成する部品や原材料に対する性能要求はさらに厳
しくなっている。たとえば、コンピュータなどの集積回
路に用いられる積層コンデンサは、ペロブスカイト型化
合物の焼結体の薄層と内部電極が交互に多数積み重ねら
れ、電気的に並列接続された構造をとっている。この積
層コンデンサの小型化、高容量化などの要求に伴い、焼
結体の薄層化、高誘電率化が一段と望まれており、この
ため、焼結体の原材料であるペロブスカイト型化合物粉
末の微粒子化、均質化、高分散化などの傾向は益々顕著
になっている。また、部品や原材料に対する価格の値下
げ要請も強く、たとえば、前記の積層コンデンサの内部
電極には白金、パラジウム、銀などの貴金属材料が用い
られていたが、銅、ニッケルなどの廉価な卑金属材料へ
の転換が図られている。これに伴い、ペロブスカイト型
化合物粉末に対し、一層低温で焼結でき、さらに、低酸
素分圧の雰囲気下で焼結させても半導体化しない非還元
性を有するものが嘱望されている。
【0005】このような要求に対して、焼結体の原材料
であるペロブスカイト型化合物粉末の改良製法も提案さ
れている。たとえばチタン酸バリウム粉末を例に挙げる
と、バリウムの水和酸化物とチタンの水和酸化物とを原
料として使用し、両者を所定のBa/Tiモル比に混合
させた後、所定のアルカリ濃度下、常圧または加圧下で
水熱処理し、得られた生成物を濾過し、洗浄し、乾燥
し、解砕するいわゆる水熱法がよく知られている。この
ようにして得られたチタン酸バリウム粉末は前記従来技
術のものに比べ微粒子であり、均質な成分組成のもので
ある。しかながら、ペロブスカイト型化合物粉末を微粒
子にすると吸油量が高く、バインダに対する分散性が悪
くなるため、使用するバインダの量を増やす必要があ
る。この結果、得られる焼結体中のペロブスカイト型化
合物の充填率が低くなり、誘電性や圧電性などの特性が
低下してしまう。また、前記の水熱法などの水系で製造
したペロブスカイト型化合物粉末は特に、ペロブスカイ
ト型結晶構造内に多量の水分を含んでいるため、焼結体
としたときの誘電性や圧電性などの特性が充分でない。
如上のごとく、いずれの方法においても、所望のペロブ
スカイト型化合物粉末は得られ難いのが現状である。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記問題
を解決すべく種々検討した結果、(1)ペロブスカイト
型化合物を粉砕する際に、特定の粉砕機を用いることに
よりバインダに対する分散性を改善できること、(2)
このようにして得られたペロブスカイト型化合物粉末
は、焼結体としたときの誘電性や圧電性などの特性が優
れていること、(3)前記従来技術の水熱法において、
特定の比表面積を有する微細な水和酸化物を用いて得ら
れたペロブスカイト型化合物を、前記(1)の特定の粉
砕機を用いて粉砕することにより、分散性のよい微粒子
のペロブスカイト型化合物粉末が得られること、さら
に、(4)ペロブスカイト型化合物の粉砕の前または後
に、該ペロブスカイト型化合物を焼成すると、ペロブス
カイト型結晶構造内の水分を除去でき、焼結体としたと
きの誘電性や圧電性などの特性をより一層改善すること
ができることなどを見出し、本発明を完成した。
【0007】すなわち、本発明は特にバインダに対する
分散性の優れたペロブスカイト型化合物粉末を提供する
ことにある。
【0008】本発明は、ペロブスカイト型化合物を粉砕
する際に、粉砕機として圧密粉砕機を用いる方法であ
る。圧密粉砕機とは、圧縮作用と摩砕作用とを兼ね備え
た粉砕機のことであり、ペロブスカイト型化合物を該圧
密粉砕機に入れて粉砕すると、圧縮作用によりフレーク
状に圧密されると同時に、摩砕作用により細かく粉砕さ
れる。圧密粉砕機としては、たとえば、擂潰機、エッジ
ランナー、ローラーミル、フレットミルを用いることが
できる。
【0009】本発明において、ペロブスカイト型化合物
としては種々のものを用いることができるが、たとえ
ば、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、チタ
ン酸鉛、ジルコン酸鉛、チタン酸ジルコン酸鉛、スズ酸
カルシウムが用いられる。これらのペロブスカイト型化
合物は、一般に前記のいわゆる固相合成法、シュウ酸塩
法、水熱合成法、水熱法などの従来の方法で製造され
る。本発明においては、特に、水熱法において、原料と
して特定の比表面積を有する微細な水和酸化物を用いる
下記の方法で得られたペロブスカイト型化合物を用いる
のが好ましい。
【0010】次に、本発明において使用するペロブスカ
イト型化合物の好ましい製造方法について詳述する。い
わゆる水熱法においては、各種の水和酸化物からなる水
性懸濁液を水熱処理してペロブスカイト型化合物が得ら
れるが、本発明では、Ba、Pb、Sr、MgおよびC
aから選ばれる少なくとも一種の元素の水和酸化物と、
比表面積が50m2 /g以上、好ましくは80m2 /g
以上の、Ti、Zr、HfおよびSnから選ばれる少な
くとも一種の元素の水和酸化物とからなる水性懸濁液を
水熱処理する。
【0011】本発明において、水和酸化物はいわゆる水
和酸化物のほか、酸化物、含水酸化物、水酸化物を含
む。Ba、Pb、Sr、MgおよびCaから選ばれる少
なくとも一種の元素の水和酸化物は市販品を用いること
もできるが、たとえば、該元素の塩化物、硝酸塩、酢酸
塩などの水可溶性塩の水溶液にアルカリを添加し、中和
して得られるものを用いるのが好ましい。。他方の原料
である、比表面積が50m2 /g以上の、Ti、Zr、
HfおよびSnから選ばれる少なくとも一種の元素の水
和酸化物は、たとえば、該元素の塩化物、硝酸塩、酢酸
塩などの水可溶性塩の水溶液にアルカリを添加して中和
したり、該水可溶性塩を70℃以上の温度で加水分解し
て得られる。前記の水和酸化物の比表面積が50m2 /
gより小さい場合には、微粒子のペロブスカイト型化合
物が得られにくく、また、不純物が多く均質の成分組成
のものが得られにくくなるほか、反応速度が遅いため、
水熱処理の温度を高くしたり、処理時間を長くしたりす
る必要があるなど、工業的見地からも好ましくない。前
記の中和や加水分解で得られた水和酸化物は、不純物を
除去するために濾過し、洗浄するのが好ましい。
【0012】次いで、前記のBa、Pb、Sr、Mgお
よびCaから選ばれる少なくとも一種の元素の水和酸化
物と、Ti、Zr、HfおよびSnから選ばれる少なく
とも一種の元素の水和酸化物とを水に懸濁させて水性懸
濁液を調製する。Ba、Pb、Sr、MgおよびCaか
ら選ばれる少なくとも一種の元素の水和酸化物は、T
i、Zr、HfおよびSnから選ばれる少なくとも一種
の元素の水和酸化物に対してモル比で表して好ましくは
1以上、特に好ましくは1.1〜2.0となるように混
合する。前記のモル比が1より小さいと所望の組成のペ
ロブスカイト型化合物が得られなかったり、余剰の成分
がペロブスカイト型化合物中に残存しやすくなり、誘電
性や圧電性などの特性を損ないやすいため好ましくな
い。次いで、前記の水性懸濁液を好ましくは80℃以
上、特に好ましくは100〜250℃の温度で水熱処理
する。水熱処理の温度が80℃より低いと反応速度が遅
く、水熱処理に長時間を要したり、未反応物がペロブス
カイト型化合物中に残存しやすくなり好ましくない。水
熱処理時の圧力は通常飽和蒸気圧程度で行うのが好まし
いが、飽和蒸気圧以上に加圧したり、大気圧程度で行っ
てもよい。前記の水熱処理は、通常、工業的に用いられ
る耐熱耐圧装置で行なうことができる。
【0013】このようにして得られた生成物を通常の方
法により分別し、必要に応じて洗浄し、乾燥してペロブ
スカイト型化合物を得る。乾燥は任意の温度で行うこと
ができるが、80〜150℃の温度が適当である。この
ようにして得られたペロブスカイト型化合物を前記の圧
密粉砕機で粉砕して本発明のペロブスカイト型化合物粉
末とする。
【0014】本発明においては、ペロブスカイト型化合
物、特に水熱法などの水系で製造したペロブスカイト型
化合物を圧密粉砕機で粉砕する前または粉砕した後に、
該ペロブスカイト型化合物を100〜700℃の温度で
焼成するのが望ましい。
【0015】
【実施例】
実施例1 TiO2 に換算して2.5mol/lの四塩化チタン水
溶液1リットルとイオン交換水1リットルとを氷で冷や
しながら5リットルの四つ口フラスコに入れた。攪拌
下、この液のpHが7になるまで28%のアンモニア水
溶液を滴下した。得られた水和酸化チタンの沈殿を吸引
濾過器で濾過し、濾液の導電率が20μS/cmになる
まで洗浄して濾過ケーキを得た。この濾過ケーキの一部
を105℃の温度で乾燥して比表面積(BET法)を測
定したところ300m2 /gであった。次に、前記の濾
過ケーキからTiO2 に換算して100gの量を分取
し、この濾過ケーキとイオン交換水1リットルとをビー
カーに入れ、水性懸濁液とした。次いで、この水性懸濁
液と市販の水酸化バリウム(Ba(OH)2 ・8H
2 O)592g(Ba/Tiモル比=1.5)を3リッ
トルのオートクレーブに入れた後、加熱し、150℃の
温度で1時間保持して飽和水蒸気圧下で水熱処理を行っ
た。次いで、得られた生成物を吸引濾過器で濾過し、洗
浄し、105℃の温度で乾燥した。得られた乾燥物10
gを擂潰機で30分間粉砕して、本発明のチタン酸バリ
ウム粉末(試料A)を得た。
【0016】実施例2 実施例1で得た乾燥物10gを550℃の温度で1時間
焼成し、次いで、擂潰機で30分間粉砕して、本発明の
チタン酸バリウム粉末(試料B)を得た。
【0017】比較例1 実施例1で得た乾燥物10gを手粉砕して、比較試料C
とした。
【0018】前記実施例および比較例で得られた試料A
〜Cについて吸油量と1200℃の焼結体の比誘電率、
誘電損失を常法により測定した結果を表1に示す。比誘
電率、誘電損失は、室温において、LCRメーターを用
いて1KHzで計測した。比較試料Cを化学分析した結
果、Ba含有量は55.3重量%、Ti含有量は20.
3重量%、Na含有量は0.002重量%であり、Ba
/Tiのモル比は0.950であった。また、この比較
試料Cの比表面積(BET法)は11.0m2 /gであ
り、粒径は0.15μmであった。X線回折の結果、比
較試料Cは立方晶系のチタン酸バリウムであった。な
お、試料A、Bの比表面積(BET法)と粒径は、比較
試料Cのそれらの値と同程度であり、また、試料A、B
は比較試料Cと同じ立方晶系のチタン酸バリウムであっ
た。
【0019】
【表1】
【0020】実施例3 TiO2 に換算して2.5mol/lの四塩化チタン水
溶液20mlと1mol/lのオキシ塩化ジルコニウム
水溶液52mlとイオン交換水300mlとを5リット
ルの四つ口フラスコに入れた。この液のpHが7になる
まで、10Nの水酸化ナトリウム水溶液を滴下した。な
お、得られた沈殿物を一部採取し、吸引濾過器で濾過
し、洗浄し、105℃の温度で乾燥して比表面積(BE
T法)を測定したところ200m2 /gであった。次い
で、前記の沈殿生成液に攪拌下、1mol/lの硝酸鉛
水溶液105mlを添加し、該液のpHが7になるまで
10Nの水酸化ナトリウム水溶液を滴下した後、さら
に、10Nの水酸化ナトリウム水溶液25mlとイオン
交換水を滴下して全液量を1リットルとした水性懸濁液
を得た。Pb:Zr:Tiのモル比(添加量)は1.0
5:0.52:0.50であった。次いで、前記の水性
懸濁液を3リットルのオートクレーブに入れた後、加熱
し、200℃の温度で0.5時間保持して飽和水蒸気圧
下で水熱処理を行った。得られた生成物を吸引濾過器で
濾過し、洗浄し、105℃の温度で乾燥した。次いで、
得られた乾燥物10gを擂潰機で30分間粉砕して、本
発明のチタン酸ジルコン酸鉛粉末(試料D)を得た。
【0021】実施例4 実施例3で得た乾燥物10gを350℃の温度で1時間
焼成し、次いで、擂潰機で30分間粉砕して、本発明の
チタン酸ジルコン酸鉛粉末(試料E)を得た。
【0022】比較例2 実施例3で得た乾燥物10gを手粉砕して、比較試料F
とした。
【0023】比較試料Fを化学分析した結果、Pb含有
量は64.5重量%、Zr含有量は14.0重量%、T
i含有量は7.5重量%、Na含有量は0.008重量
%であり、Pb:Zr:Tiのモル比は1.00:0.
49:0.50であった。また、この比較試料Fの比表
面積は8.9m2 /gであり、粒径は0.5μmであっ
た。X線回折の結果、比較試料Fは立方晶系のチタン酸
ジルコン酸鉛であった。なお、試料D、Eの比表面積
(BET法)と粒径は、比較試料Fのそれらの値と同程
度であり、また、試料D、Eは比較試料Fと同じ立方晶
系のチタン酸ジルコン酸鉛であった。前記実施例および
比較例で得られた試料D〜Fの吸油量、試料D〜Fおよ
び市販品のチタン酸ジルコン酸鉛粉末の焼結温度とそれ
らの焼結温度での粒径を常法により測定した結果を表2
に示す。
【0024】
【表2】
【0025】
【発明の効果】本発明は、ペロブスカイト型化合物を粉
砕する際において、圧密粉砕機を用いて粉砕するペロブ
スカイト型化合物粉末の製造方法であって、バインダに
対する分散性を改善し、焼結体としたときの充填率を高
めることができ、誘電性や圧電性などの特性を簡便、か
つ、容易に改善することができるなど工業的に有用な方
法である。本発明の望ましい方法は、前記従来技術の水
熱法において、特定の比表面積を有する微細な水和酸化
物を用いて得られたペロブスカイト型化合物を、圧密粉
砕機を用いて粉砕する方法、あるいは、ペロブスカイト
型化合物の圧密粉砕の前または後に、ペロブスカイト型
化合物を100〜700℃の温度で焼成する方法であ
り、これらの方法により、不純物の含有量が少なく、バ
インダに対する分散性のよい微粒子のペロブスカイト型
化合物粉末が得られ、低温焼結性に優れ、焼結体とした
ときの誘電性や圧電性などの特性を改善することができ
る。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ペロブスカイト型化合物を圧密粉砕機で粉
    砕することを特徴とするペロブスカイト型化合物粉末の
    製造方法。
  2. 【請求項2】Ba、Pb、Sr、MgおよびCaから選
    ばれる少なくとも一種の元素の水和酸化物と、比表面積
    が50m2 /g以上の、Ti、Zr、HfおよびSnか
    ら選ばれる少なくとも一種の元素の水和酸化物とからな
    る水性懸濁液を水熱処理して得られたペロブスカイト型
    化合物を圧密粉砕機で粉砕することを特徴とするペロブ
    スカイト型化合物粉末の製造方法。
  3. 【請求項3】請求項1または2記載の粉砕の前または後
    に、ペロブスカイト型化合物を100〜700℃の温度
    で焼成することを特徴とするペロブスカイト型化合物粉
    末の製造方法。
JP5129937A 1993-05-06 1993-05-06 ペロブスカイト型化合物粉末の製造方法 Pending JPH06316414A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5129937A JPH06316414A (ja) 1993-05-06 1993-05-06 ペロブスカイト型化合物粉末の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5129937A JPH06316414A (ja) 1993-05-06 1993-05-06 ペロブスカイト型化合物粉末の製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06316414A true JPH06316414A (ja) 1994-11-15

Family

ID=15022126

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5129937A Pending JPH06316414A (ja) 1993-05-06 1993-05-06 ペロブスカイト型化合物粉末の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06316414A (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6893623B2 (en) * 1998-12-11 2005-05-17 Showa Denko Kabushiki Kaisha Perovskite titanium-type composite oxide particle and production process thereof
EP1637502A1 (de) * 2004-09-14 2006-03-22 Kerr-McGee Pigments GmbH Feinteilige Erdalkalititanate und Verfahren zu deren Herstellung unter Verwendung von Titanoxidhydratpartikeln
US7030165B2 (en) 1999-05-26 2006-04-18 Showa Denko Kabushiki Kaisha Perovskite titanium-type composite oxide particle and production process thereof
JP2008162817A (ja) * 2006-12-27 2008-07-17 Samsung Electro Mech Co Ltd 誘電体セラミックス材料及びその製造方法並びにセラミックコンデンサ
WO2010108988A1 (de) * 2009-03-25 2010-09-30 Tronox Pigments Gmbh Bleizirkonattitanate und verfahren zu deren herstellung
JP2012533512A (ja) * 2009-07-20 2012-12-27 カウンシィル オブ サイアンティフィック アンド インダストリアル リサーチ 遷移金属を含有するCeAlO3ペロフスカイト

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6893623B2 (en) * 1998-12-11 2005-05-17 Showa Denko Kabushiki Kaisha Perovskite titanium-type composite oxide particle and production process thereof
US7030165B2 (en) 1999-05-26 2006-04-18 Showa Denko Kabushiki Kaisha Perovskite titanium-type composite oxide particle and production process thereof
US7091154B2 (en) 1999-05-26 2006-08-15 Showa Denko Kabushiki Kaisha Perovskite titanium-type composite oxide particle and production process thereof
EP1637502A1 (de) * 2004-09-14 2006-03-22 Kerr-McGee Pigments GmbH Feinteilige Erdalkalititanate und Verfahren zu deren Herstellung unter Verwendung von Titanoxidhydratpartikeln
WO2006029834A3 (de) * 2004-09-14 2006-11-23 Tronox Pigments Gmbh Feinteilige erdalkalititanate und verfahren zu deren herstellung unter verwendung von titanoxidpartikeln
JP2008513324A (ja) * 2004-09-14 2008-05-01 トロノクス ピグメンツ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 微細粒のアルカリ土類金属チタン酸塩及び酸化チタン粒子の使用下でのその製造方法
JP2008162817A (ja) * 2006-12-27 2008-07-17 Samsung Electro Mech Co Ltd 誘電体セラミックス材料及びその製造方法並びにセラミックコンデンサ
WO2010108988A1 (de) * 2009-03-25 2010-09-30 Tronox Pigments Gmbh Bleizirkonattitanate und verfahren zu deren herstellung
JP2012533512A (ja) * 2009-07-20 2012-12-27 カウンシィル オブ サイアンティフィック アンド インダストリアル リサーチ 遷移金属を含有するCeAlO3ペロフスカイト

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5900223A (en) Process for the synthesis of crystalline powders of perovskite compounds
US20080145292A1 (en) Barium Titanate, Production Process Thereof and Capacitor
JP6573653B2 (ja) ペロブスカイト型チタン酸バリウム粉末の製造方法
RU2373154C2 (ru) Высокодисперсные щелочноземельные титанаты и способы их получения с использованием частиц окиси титана
US8715614B2 (en) High-gravity reactive precipitation process for the preparation of barium titanate powders
JP2008522946A (ja) 微粉末のチタン酸ジルコニウム酸鉛、ジルコンチタン水和物及びチタン酸ジルコニウム及びその製法
EP0439620B1 (en) Method of producing pulverized perovskite compound
JP5119008B2 (ja) ペロブスカイト型チタン酸バリウム粉末の製造方法
CN101128395B (zh) 组合物的制造方法
JPH0246531B2 (ja)
CN100575263C (zh) 钛酸钙钡、其制造方法及电容器
JPS61111957A (ja) セラミック誘電体の製造方法
JP3772354B2 (ja) セラミック粉体の製造方法
JP3838523B2 (ja) 組成物の製造方法
JPH0517150A (ja) セラミツク原料粉末の製造方法
JP3668985B2 (ja) セラミック粉体の製造方法
JPH0524089B2 (ja)
KR100647247B1 (ko) 용매열법에 의한 티탄산바륨 분말의 합성방법
JPH0676258B2 (ja) セラミック誘電体の製造方法
JPH06321630A (ja) セラミツク誘電体用組成物
JP3319795B2 (ja) ペロブスカイト型化合物微細粒子粉末
JP7767917B2 (ja) ジルコン酸化合物の製造方法並びにジルコン酸化合物及びその焼結体
JPH05116943A (ja) チタン酸バリウム粉末の製造方法
JPH05319894A (ja) 易焼結性マイクロ波誘電体用粉体
JPH04132614A (ja) ペロブスカイト型複合酸化物粉末の製造方法