JPH06316A - 圧力スイング式ガス製造装置 - Google Patents
圧力スイング式ガス製造装置Info
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- JPH06316A JPH06316A JP4166092A JP16609292A JPH06316A JP H06316 A JPH06316 A JP H06316A JP 4166092 A JP4166092 A JP 4166092A JP 16609292 A JP16609292 A JP 16609292A JP H06316 A JPH06316 A JP H06316A
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
- H01B3/00—Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties
- H01B3/18—Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties mainly consisting of organic substances
- H01B3/48—Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties mainly consisting of organic substances fibrous materials
- H01B3/52—Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties mainly consisting of organic substances fibrous materials wood; paper; press board
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 圧力スイング式（ＰＳＡ）ガス分離装置で分
離されたガスを脱湿して製品ガスとするＰＳＡガス製造
装置において、脱湿装置へ供給されるガスを脱湿装置か
ら出るガス流量に従って迅速、正確に調節することがで
きるようにする。 【構成】 ＰＳＡガス分離装置１で分離された特定の成
分ガスを脱湿装置７で脱湿して製品ガスとするＰＳＡガ
ス製造装置において、ＰＳＡガス分離装置１から特定の
成分ガスを受けるサージタンク４と脱湿装置７との間の
ガス流路２０にブロワ５と流量コントローラ１５を直列
に設け、この流量コントローラ１５の検出した流量信号
によってブロワ５をバイパスするバイパス流路２１に設
けられた流量制御弁１４の開度を調節するようにした。
離されたガスを脱湿して製品ガスとするＰＳＡガス製造
装置において、脱湿装置へ供給されるガスを脱湿装置か
ら出るガス流量に従って迅速、正確に調節することがで
きるようにする。 【構成】 ＰＳＡガス分離装置１で分離された特定の成
分ガスを脱湿装置７で脱湿して製品ガスとするＰＳＡガ
ス製造装置において、ＰＳＡガス分離装置１から特定の
成分ガスを受けるサージタンク４と脱湿装置７との間の
ガス流路２０にブロワ５と流量コントローラ１５を直列
に設け、この流量コントローラ１５の検出した流量信号
によってブロワ５をバイパスするバイパス流路２１に設
けられた流量制御弁１４の開度を調節するようにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、吸着剤を用いた圧力ス
イング式（以下ＰＳＡという）ガス製造装置の改良に関
する。
イング式（以下ＰＳＡという）ガス製造装置の改良に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来の原料空気より窒素（Ｎ2 ）ガスを
製造するＰＳＡ−Ｎ2 ガス製造装置を図２に示す。
製造するＰＳＡ−Ｎ2 ガス製造装置を図２に示す。
【０００３】１は原空ブロワ２より空気が下部に供給さ
れるＰＳＡ−Ｎ2 ガス分離装置であり、Ｎ2 吸着剤が充
填された図示しない複数の吸着塔が並列に配置されてい
て、各吸着塔では圧力下で原料ガス中のＮ2 ガスを吸着
剤に吸着する吸着工程と真空ポンプ３による減圧下で吸
着剤からＮ2 ガスを脱着する脱着（再生）工程が交互に
行われ、複数の吸着塔の前記両工程を位相を互いにずら
せて行うことによって、連続的にＮ2 ガスの製造が行わ
れる。吸着塔を流過した酸素（Ｏ2 ）ガス等は、矢印ａ
に示すように、ＰＳＡ−Ｎ2 ガス分離装置１の上部から
排出され、一方Ｎ2 ガスは真空ポンプ３を経てサージタ
ンク４へ送られる。
れるＰＳＡ−Ｎ2 ガス分離装置であり、Ｎ2 吸着剤が充
填された図示しない複数の吸着塔が並列に配置されてい
て、各吸着塔では圧力下で原料ガス中のＮ2 ガスを吸着
剤に吸着する吸着工程と真空ポンプ３による減圧下で吸
着剤からＮ2 ガスを脱着する脱着（再生）工程が交互に
行われ、複数の吸着塔の前記両工程を位相を互いにずら
せて行うことによって、連続的にＮ2 ガスの製造が行わ
れる。吸着塔を流過した酸素（Ｏ2 ）ガス等は、矢印ａ
に示すように、ＰＳＡ−Ｎ2 ガス分離装置１の上部から
排出され、一方Ｎ2 ガスは真空ポンプ３を経てサージタ
ンク４へ送られる。
【０００４】このサージタンク４からは、各吸着塔にお
ける吸着工程と脱着工程の間に吸着塔に残留する空気等
をパージするために、矢印ｂに示すように、Ｎ2 ガスが
パージガスとして各吸着塔へ送られるようになってい
る。
ける吸着工程と脱着工程の間に吸着塔に残留する空気等
をパージするために、矢印ｂに示すように、Ｎ2 ガスが
パージガスとして各吸着塔へ送られるようになってい
る。
【０００５】サージタンク４内のＮ2 ガスは、原空ブロ
ワ５（通常吐出量が一定のルーツ式ブロワが用いられ
る）によってＰＳＡ脱湿装置７へ送られ、ここでＮ2 ガ
ス中の水分が除去され、製品元弁１３を経て製品ガスと
してのＮ2 ガスが得られる。
ワ５（通常吐出量が一定のルーツ式ブロワが用いられ
る）によってＰＳＡ脱湿装置７へ送られ、ここでＮ2 ガ
ス中の水分が除去され、製品元弁１３を経て製品ガスと
してのＮ2 ガスが得られる。
【０００６】ＰＳＡ脱湿装置７は、図示しない脱湿剤
（アルミナゲル等）が充填された複数の吸着塔が配置さ
れていて、各吸着塔では０．３ｋｇ／ｃｍ2 ｇの圧力下
でＮ2ガス中の水分を脱湿剤に吸着した上Ｎ2 ガスを流
過させる吸着工程と、真空ポンプ６による−６８０ｍｍ
Ｈｇの減圧下で水分を脱湿剤から脱着する脱着（再生）
工程が交互に行われ、複数の吸着塔の前記両工程を互い
にずらせて行うことによって、脱湿されたＮ2 ガスを製
品ガスとして連続的に製品元弁１３を経て得ることがで
きるようになっている。
（アルミナゲル等）が充填された複数の吸着塔が配置さ
れていて、各吸着塔では０．３ｋｇ／ｃｍ2 ｇの圧力下
でＮ2ガス中の水分を脱湿剤に吸着した上Ｎ2 ガスを流
過させる吸着工程と、真空ポンプ６による−６８０ｍｍ
Ｈｇの減圧下で水分を脱湿剤から脱着する脱着（再生）
工程が交互に行われ、複数の吸着塔の前記両工程を互い
にずらせて行うことによって、脱湿されたＮ2 ガスを製
品ガスとして連続的に製品元弁１３を経て得ることがで
きるようになっている。
【０００７】吸湿材から脱着された水分は、真空ポンプ
６によって前記サージタンク４へ送られ、図示しないド
レンセパレータによって系外に排出されるようになって
いる。
６によって前記サージタンク４へ送られ、図示しないド
レンセパレータによって系外に排出されるようになって
いる。
【０００８】前記ＰＳＡ−Ｎ2 ガス分離装置１から出る
Ｎ2 ガス量と原空ブロワ５の容量のバランスをとるため
に、原空ブロワ５をもちサージタンク４とＰＳＡ脱湿装
置７を接続する流路２０には、次の装置が設けられてい
る。即ち原空ブロワ５をバイパスしバイパス弁８をもつ
バイパス流路２１が設けられており、また、流路２０の
原空ブロワ５とバイパス流路２１の上流側の位置に、高
用の圧力スイッチ９と低用の圧力スイッチ１０が設けら
れている。前記圧力スイッチ９，１０の信号によって、
バイパス弁８を開閉させることによって、流路２０を流
れるＮ2 ガス量の制御を行っている。
Ｎ2 ガス量と原空ブロワ５の容量のバランスをとるため
に、原空ブロワ５をもちサージタンク４とＰＳＡ脱湿装
置７を接続する流路２０には、次の装置が設けられてい
る。即ち原空ブロワ５をバイパスしバイパス弁８をもつ
バイパス流路２１が設けられており、また、流路２０の
原空ブロワ５とバイパス流路２１の上流側の位置に、高
用の圧力スイッチ９と低用の圧力スイッチ１０が設けら
れている。前記圧力スイッチ９，１０の信号によって、
バイパス弁８を開閉させることによって、流路２０を流
れるＮ2 ガス量の制御を行っている。
【０００９】また、ＰＳＡ脱湿装置７の出口の製品元弁
１３の開度による流量変化については、前記流路２０の
原空ブロワ５とパイパス流路の下流側に高用の圧力スイ
ッチ１１と低用のスイッチ低１２を設け、このスイッチ
１１，１２に信号によってバイパス弁８を開閉させるこ
とにより流路２０を流れるＮ2 ガス流量の制御を行って
いる。
１３の開度による流量変化については、前記流路２０の
原空ブロワ５とパイパス流路の下流側に高用の圧力スイ
ッチ１１と低用のスイッチ低１２を設け、このスイッチ
１１，１２に信号によってバイパス弁８を開閉させるこ
とにより流路２０を流れるＮ2 ガス流量の制御を行って
いる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】前記従来のＰＳＡ−Ｎ
2 ガス製造装置においては、ＰＳＡ−Ｎ2 ガス分離装置
とＰＳＡ脱湿装置間の流路に設けられた原空ブロワ出口
の流量制御を原空ブロワのバイパス流路のバイパス弁の
開，閉により行っていたため、流量の制御が困難で、ハ
ンチング（流量変動大）を生じ、かつ、性能（窒素濃
度）も安定していなかった。
2 ガス製造装置においては、ＰＳＡ−Ｎ2 ガス分離装置
とＰＳＡ脱湿装置間の流路に設けられた原空ブロワ出口
の流量制御を原空ブロワのバイパス流路のバイパス弁の
開，閉により行っていたため、流量の制御が困難で、ハ
ンチング（流量変動大）を生じ、かつ、性能（窒素濃
度）も安定していなかった。
【００１１】本発明は、以上の問題点を解決することが
できるＰＳＡガス製造装置を提供しようとするものであ
る。
できるＰＳＡガス製造装置を提供しようとするものであ
る。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の圧力スイング式
ガス製造装置は、吸着剤によって加圧下で原料ガス中の
特定の成分ガスを吸着し、減圧下で前記特定の成分ガス
を吸着剤より脱着する圧力スイング式ガス分離装置を備
え、前記吸着剤から脱着された特定の成分ガスをサージ
タンクを介して脱湿装置へ送って脱湿して製品ガスを得
る圧力スイング式ガス製造装置において、前記サージタ
ンクより脱湿装置への特定の成分ガスの流路にブロワと
流量の変動を検出する流量コントローラを直列に設ける
と共に、前記流量コントローラの検出した流量の変動に
基づいて開度が調節される流量制御弁を前記ブロワをパ
イパスする特定の成分ガスのバイパス流路に設けたこと
を特徴とする。
ガス製造装置は、吸着剤によって加圧下で原料ガス中の
特定の成分ガスを吸着し、減圧下で前記特定の成分ガス
を吸着剤より脱着する圧力スイング式ガス分離装置を備
え、前記吸着剤から脱着された特定の成分ガスをサージ
タンクを介して脱湿装置へ送って脱湿して製品ガスを得
る圧力スイング式ガス製造装置において、前記サージタ
ンクより脱湿装置への特定の成分ガスの流路にブロワと
流量の変動を検出する流量コントローラを直列に設ける
と共に、前記流量コントローラの検出した流量の変動に
基づいて開度が調節される流量制御弁を前記ブロワをパ
イパスする特定の成分ガスのバイパス流路に設けたこと
を特徴とする。
【００１３】
【作用】本発明では、脱湿装置を出る製品ガスの流量に
変動があり、これに伴ってサージタンクと脱湿装置との
間の流路の流量が変化する時には、流量コントローラが
これを検出し、その信号に基づいて前記ブロワをバイパ
スするバイパス流路の流量制御弁の開度が調節されてブ
ロワからバイパス流路へ吐出ガスの一部が流され、これ
によって、前記ブロワから脱湿装置への特定の成分ガス
の流量を調節して前記製品ガスの流量の変動に早く対応
することができ、また、ハンチングを防止して製品ガス
の流量の変動を小さくすることができる。
変動があり、これに伴ってサージタンクと脱湿装置との
間の流路の流量が変化する時には、流量コントローラが
これを検出し、その信号に基づいて前記ブロワをバイパ
スするバイパス流路の流量制御弁の開度が調節されてブ
ロワからバイパス流路へ吐出ガスの一部が流され、これ
によって、前記ブロワから脱湿装置への特定の成分ガス
の流量を調節して前記製品ガスの流量の変動に早く対応
することができ、また、ハンチングを防止して製品ガス
の流量の変動を小さくすることができる。
【００１４】
【実施例】本発明の一実施例を、図１によって説明す
る。本実施例は、図２に示す従来の装置と同様なＰＳＡ
−Ｎ2 ガス分離装置１，サージタンク４及びＰＳＡ脱湿
装置７等を用いたＰＳＡ−Ｎ2 ガス製造装置に係るもの
であり、図１において対応する部分には図２におけると
同様な符号を付してその説明を省略し、以下相違する部
分について説明する。
る。本実施例は、図２に示す従来の装置と同様なＰＳＡ
−Ｎ2 ガス分離装置１，サージタンク４及びＰＳＡ脱湿
装置７等を用いたＰＳＡ−Ｎ2 ガス製造装置に係るもの
であり、図１において対応する部分には図２におけると
同様な符号を付してその説明を省略し、以下相違する部
分について説明する。
【００１５】本実施例では、原空ブロワ５をもつサージ
タンク４とＰＳＡ脱湿装置７との間の流路２０に原空ブ
ロワ５をバイパスするバイパス流路２１を設け、このバ
イパス流路に流量制御弁１４が設けられている。また、
前記流路２０の原空ブロワ５とバイパス流路２１の下流
側の位置には、流路２０の流量の変動を検出する流量コ
ントローラ１５を設け、同流量コントローラ１５の電気
信号は変換器１６で空気信号に変換され、この空気信号
が流量制御弁１４へ導かれてその開度が調節されるよう
になっている。
タンク４とＰＳＡ脱湿装置７との間の流路２０に原空ブ
ロワ５をバイパスするバイパス流路２１を設け、このバ
イパス流路に流量制御弁１４が設けられている。また、
前記流路２０の原空ブロワ５とバイパス流路２１の下流
側の位置には、流路２０の流量の変動を検出する流量コ
ントローラ１５を設け、同流量コントローラ１５の電気
信号は変換器１６で空気信号に変換され、この空気信号
が流量制御弁１４へ導かれてその開度が調節されるよう
になっている。
【００１６】以上のように構成された本実施例では、Ｐ
ＳＡ脱湿装置７を出る製品Ｎ2 ガスの流量が変動し、こ
れに伴って流路２０を流れるＮ2 ガスの流量が変化する
時には、流量コントローラ１５がこのＮ2 ガスの流量の
変化を検出し、変換器１６を介して流量制御弁１４の開
度が調節される。従って、図１中矢印に示すように、原
空ブロワ５から吐出されるＮ2 ガスの一部をバイパス流
路２１へバイパスさせ、流量制御弁１４の開度によって
Ｎ2 ガスのバイパス量が増減される。
ＳＡ脱湿装置７を出る製品Ｎ2 ガスの流量が変動し、こ
れに伴って流路２０を流れるＮ2 ガスの流量が変化する
時には、流量コントローラ１５がこのＮ2 ガスの流量の
変化を検出し、変換器１６を介して流量制御弁１４の開
度が調節される。従って、図１中矢印に示すように、原
空ブロワ５から吐出されるＮ2 ガスの一部をバイパス流
路２１へバイパスさせ、流量制御弁１４の開度によって
Ｎ2 ガスのバイパス量が増減される。
【００１７】このようにして、本実施例では、ＰＳＡ脱
湿装置７を出る製品Ｎ2 ガスの使用量の変動に従って、
ＰＳＡ脱湿装置７へ供給されるＮ2 ガスの流量を迅速に
調節することができる。また、流量制御弁１４では、流
量コントローラ１５からの信号によってその開度を微少
に変化させてＮ2 ガスのバイパス流量の調節を行うこと
ができ、従って、ＰＳＡ脱湿装置７へ供給されるガスハ
ンチングを防いでその流量を正確に制御することが可能
である。
湿装置７を出る製品Ｎ2 ガスの使用量の変動に従って、
ＰＳＡ脱湿装置７へ供給されるＮ2 ガスの流量を迅速に
調節することができる。また、流量制御弁１４では、流
量コントローラ１５からの信号によってその開度を微少
に変化させてＮ2 ガスのバイパス流量の調節を行うこと
ができ、従って、ＰＳＡ脱湿装置７へ供給されるガスハ
ンチングを防いでその流量を正確に制御することが可能
である。
【００１８】なお、前記の実施例では、Ｎ2 ガスの脱湿
装置としてＰＳＡ式のものを用いているが、本発明で用
いられる脱湿装置はこれに限られるものではなく、冷凍
ドライヤ型式のもの、吸着剤を加熱再生する型式のもの
等を用いることができる。また、本発明で製造される製
品ガスは、前記実施例におけるようにＮ2 ガスに限られ
るものではなく、ＣＯ2 ，溶剤等を製品ガスとして回収
する場合にも本発明を適用することができる。
装置としてＰＳＡ式のものを用いているが、本発明で用
いられる脱湿装置はこれに限られるものではなく、冷凍
ドライヤ型式のもの、吸着剤を加熱再生する型式のもの
等を用いることができる。また、本発明で製造される製
品ガスは、前記実施例におけるようにＮ2 ガスに限られ
るものではなく、ＣＯ2 ，溶剤等を製品ガスとして回収
する場合にも本発明を適用することができる。
【００１９】
【発明の効果】本発明は、特許請求の範囲に記載された
構成を有することによって以上説明したように、脱湿装
置を出る製品ガス流量の変化に対応して、迅速正確に、
かつハンチングを起すことなくブロワをバイパスする特
定の成分ガスのバイパス流路の流量制御弁の開度を調節
して同バイパス流路を流れる特定の成分ガスのバイパス
流量を調節することができる。従って、脱湿装置を出る
使用例の製品ガス流量に応じて、迅速に、かつ、流量の
変動がなく正確に、ブロワから脱湿装置へ供給される特
定の成分ガスの流量を調節することができる。
構成を有することによって以上説明したように、脱湿装
置を出る製品ガス流量の変化に対応して、迅速正確に、
かつハンチングを起すことなくブロワをバイパスする特
定の成分ガスのバイパス流路の流量制御弁の開度を調節
して同バイパス流路を流れる特定の成分ガスのバイパス
流量を調節することができる。従って、脱湿装置を出る
使用例の製品ガス流量に応じて、迅速に、かつ、流量の
変動がなく正確に、ブロワから脱湿装置へ供給される特
定の成分ガスの流量を調節することができる。
【図１】本発明の一実施例の系統図である。
【図２】従来のＰＳＡ−Ｎ2 ガス製造装置の系統図であ
る。
る。
１ ＰＳＡ（圧力スイング式）−Ｎ2 ガス分離装置 ２ 原空ブロワ ３ 真空ポンプ ４ サージタング ５ 原空ブロワ ６ 真空ポンプ ７ ＰＳＡ（圧力スイング式）脱湿装置 １４ 流量制御弁 １５ 流路コントローラ １６ 変換器 ２０ 流路 ２１ バイパス流路
Claims (1)
- 【請求項１】 吸着剤によって加圧下で原料ガス中の特
定の成分ガスを吸着し、減圧下で前記特定の成分ガスを
吸着剤より脱着する圧力スイング式ガス分離装置を備
え、前記吸着剤から脱着された特定の成分ガスをサージ
タンクを介して脱湿装置へ送って脱湿して製品ガスを得
る圧力スイング式ガス製造装置において、前記サージタ
ンクより脱湿装置への特定の成分ガスの流路にブロワと
流量の変動を検出する流量コントローラを直列に設ける
と共に、前記流量コントローラの検出した流量の変動に
基づいて開度が調節される流量制御弁を前記ブロワをパ
イパスする特定の成分ガスのバイパス流路に設けたこと
を特徴とする圧力スイング式ガス製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4166092A JPH06316A (ja) | 1992-06-24 | 1992-06-24 | 圧力スイング式ガス製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4166092A JPH06316A (ja) | 1992-06-24 | 1992-06-24 | 圧力スイング式ガス製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06316A true JPH06316A (ja) | 1994-01-11 |
Family
ID=15824853
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4166092A Withdrawn JPH06316A (ja) | 1992-06-24 | 1992-06-24 | 圧力スイング式ガス製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06316A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011148670A (ja) * | 2010-01-25 | 2011-08-04 | Taiyo Nippon Sanso Corp | 高圧且つ高純度の窒素ガス供給装置及び供給方法 |
-
1992
- 1992-06-24 JP JP4166092A patent/JPH06316A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011148670A (ja) * | 2010-01-25 | 2011-08-04 | Taiyo Nippon Sanso Corp | 高圧且つ高純度の窒素ガス供給装置及び供給方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990831 |