JPH06320125A - 超音波洗浄装置 - Google Patents
超音波洗浄装置Info
- Publication number
- JPH06320125A JPH06320125A JP5130131A JP13013193A JPH06320125A JP H06320125 A JPH06320125 A JP H06320125A JP 5130131 A JP5130131 A JP 5130131A JP 13013193 A JP13013193 A JP 13013193A JP H06320125 A JPH06320125 A JP H06320125A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 媒体液を用いて薬液と分離させ、且つ気泡の
溜りを防止する。 【構成】 筺体を仕切板で媒体槽とノズル部とに分離
し、媒体液を充満させる媒体槽内に、圧電振動子を固定
した放射面を曲面で形成した輻射体を設け、ノズル部の
一端に薬液供給口を、先端に被洗浄物に薬液を放射する
放射口を開口し、輻射体の放射面の窪みから端部に向か
って気泡除去孔を設け、仕切板を超音波の進行を乱さな
い曲面を有する形状に形成し、仕切板の曲面内部に傾斜
した気泡排出溝を設けて、ノズル部に設けた気泡排出口
と連通せしめた超音波洗浄装置。
溜りを防止する。 【構成】 筺体を仕切板で媒体槽とノズル部とに分離
し、媒体液を充満させる媒体槽内に、圧電振動子を固定
した放射面を曲面で形成した輻射体を設け、ノズル部の
一端に薬液供給口を、先端に被洗浄物に薬液を放射する
放射口を開口し、輻射体の放射面の窪みから端部に向か
って気泡除去孔を設け、仕切板を超音波の進行を乱さな
い曲面を有する形状に形成し、仕切板の曲面内部に傾斜
した気泡排出溝を設けて、ノズル部に設けた気泡排出口
と連通せしめた超音波洗浄装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は超音波洗浄装置に関する
ものである。
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の此種装置は図６に示すように、ノ
ズル状をなした筺体１の一端にレンズ状輻射体２をパッ
キング３を介して固定し、レンズ状輻射体２に電圧振動
子４を固定し、放射面に耐薬液用コーテイング材５を貼
付けている。そして、薬液供給口６から薬液を導入し、
筺体１内に薬液を充満させ、薬液に超音波振動を付与
し、放射口７から薬液を放射する。
ズル状をなした筺体１の一端にレンズ状輻射体２をパッ
キング３を介して固定し、レンズ状輻射体２に電圧振動
子４を固定し、放射面に耐薬液用コーテイング材５を貼
付けている。そして、薬液供給口６から薬液を導入し、
筺体１内に薬液を充満させ、薬液に超音波振動を付与
し、放射口７から薬液を放射する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記従来の装置にあっ
ては一点又は直線状に超音波を集束させることができる
という効果を有するものであるが、圧電振動子の振動に
よりレンズ状輻射体が破損することがあり、薬液が流出
する欠点があった。又、輻射体の放射面近傍に気泡が溜
り、気泡によって超音波の透過率が低下するという欠点
があった。そこで、本発明においては、媒体液を用いて
薬液と分離させ、且気泡の溜りを防止しようとするもの
である。
ては一点又は直線状に超音波を集束させることができる
という効果を有するものであるが、圧電振動子の振動に
よりレンズ状輻射体が破損することがあり、薬液が流出
する欠点があった。又、輻射体の放射面近傍に気泡が溜
り、気泡によって超音波の透過率が低下するという欠点
があった。そこで、本発明においては、媒体液を用いて
薬液と分離させ、且気泡の溜りを防止しようとするもの
である。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は前記課題を解決
するために、筺体を仕切板で媒体槽とノズル部とに分離
し、媒体液を充満させる媒体槽内に、圧電振動子を固定
した放射面を曲面で形成した輻射体を設け、ノズル部の
一端に薬液供給口を、先端に被洗浄物に薬液を放射する
放射口を開口した超音波洗浄装置を構成する。
するために、筺体を仕切板で媒体槽とノズル部とに分離
し、媒体液を充満させる媒体槽内に、圧電振動子を固定
した放射面を曲面で形成した輻射体を設け、ノズル部の
一端に薬液供給口を、先端に被洗浄物に薬液を放射する
放射口を開口した超音波洗浄装置を構成する。
【０００５】更に、輻射体の放射面の窪みから端部に向
かって気泡除去孔を設けた、仕切板を超音波の進行を乱
さない曲面を有する形状に形成し、仕切板の曲面内部に
傾斜した気泡排出溝を設けて、ノズルに設けた気泡排出
口と連通せしめた超音波洗浄装置を構成する。
かって気泡除去孔を設けた、仕切板を超音波の進行を乱
さない曲面を有する形状に形成し、仕切板の曲面内部に
傾斜した気泡排出溝を設けて、ノズルに設けた気泡排出
口と連通せしめた超音波洗浄装置を構成する。
【０００６】
【作用】本発明は前記のように構成したもので、媒体槽
内の媒体液は輻射体の超音波振動を伝達して仕切板の曲
面を通してノズル部の薬液に振動を伝え、細い円形又は
ライン状に放射口から被洗浄物に超音波薬液を放射して
洗浄を行う。又、媒体槽内で発生した気泡は気泡除去孔
を通って外部に排出され、ノズル部内で発生した気泡は
気泡排出溝から気泡排出口を通って外部に排出される。
内の媒体液は輻射体の超音波振動を伝達して仕切板の曲
面を通してノズル部の薬液に振動を伝え、細い円形又は
ライン状に放射口から被洗浄物に超音波薬液を放射して
洗浄を行う。又、媒体槽内で発生した気泡は気泡除去孔
を通って外部に排出され、ノズル部内で発生した気泡は
気泡排出溝から気泡排出口を通って外部に排出される。
【０００７】
【実施例】本発明の実施例を図１，図２に基いて詳細に
説明する。筺体１を曲面を有する仕切板８でノズル部９
と媒体槽１０とに分離し、媒体槽１０内に円形したノズ
ル状輻射体２を位置させ、上端の鍔部１１を筺体１の上
面にパッキング３を介して複数本のボルト１２，１２，
…で固定し、レンズ状輻射体２の上面に円形の圧電振動
子４を固定している。
説明する。筺体１を曲面を有する仕切板８でノズル部９
と媒体槽１０とに分離し、媒体槽１０内に円形したノズ
ル状輻射体２を位置させ、上端の鍔部１１を筺体１の上
面にパッキング３を介して複数本のボルト１２，１２，
…で固定し、レンズ状輻射体２の上面に円形の圧電振動
子４を固定している。
【０００８】又、媒体槽１０の一方には市水である媒体
液を供給する媒体液供給管１３を設け、他方に媒体液排
出管１４を設けている。又、レンズ状輻射体２の放射面
の中央から媒体液排出管１４近傍の端面に亘って気泡除
去孔１５を設け、気泡を媒体液排出管１４から排出する
ようになっている。
液を供給する媒体液供給管１３を設け、他方に媒体液排
出管１４を設けている。又、レンズ状輻射体２の放射面
の中央から媒体液排出管１４近傍の端面に亘って気泡除
去孔１５を設け、気泡を媒体液排出管１４から排出する
ようになっている。
【０００９】又、前記ノズル部９には従来と同様に下端
に放射口７を開口し、上端の一方に薬液供給口６を設け
ている。そして、他方に気泡排出口１６を設け、仕切板
８の曲面に傾斜角Θで前記気泡排出口１５と連通する気
泡排出溝１７を設ける。尚、図１中１８は被洗浄物であ
る。尚、前記実施例における仕切板の曲面は超音波の集
束点からの曲率と同一の曲率を有するレンズ状に形成し
ている。
に放射口７を開口し、上端の一方に薬液供給口６を設け
ている。そして、他方に気泡排出口１６を設け、仕切板
８の曲面に傾斜角Θで前記気泡排出口１５と連通する気
泡排出溝１７を設ける。尚、図１中１８は被洗浄物であ
る。尚、前記実施例における仕切板の曲面は超音波の集
束点からの曲率と同一の曲率を有するレンズ状に形成し
ている。
【００１０】第１実施例は前記のように構成したもの
で、圧電振動子４の振動は媒体液を介して仕切板８に伝
達される。仕切板８においては図３で示すように、超音
波の一点に集中するように進行し、細い円形状に放射さ
れた超音波薬液が放射口から被洗浄物１８に放射され
る。
で、圧電振動子４の振動は媒体液を介して仕切板８に伝
達される。仕切板８においては図３で示すように、超音
波の一点に集中するように進行し、細い円形状に放射さ
れた超音波薬液が放射口から被洗浄物１８に放射され
る。
【００１１】尚、図４に示すように仕切板８が平面の場
合には超音波は収束されず、乱れた状態になり、有効な
超音波洗浄できにくい。
合には超音波は収束されず、乱れた状態になり、有効な
超音波洗浄できにくい。
【００１２】又、媒体液内に超音波キャビテーション等
により発生した気泡は気泡除去孔１５を通して媒体液吐
出管１４を通って外部に排出され、洗浄用の薬液中に発
生した気泡は気泡排出溝１７の傾斜面に沿って上昇し、
気泡排出口１６から薬液と共に排出される。
により発生した気泡は気泡除去孔１５を通して媒体液吐
出管１４を通って外部に排出され、洗浄用の薬液中に発
生した気泡は気泡排出溝１７の傾斜面に沿って上昇し、
気泡排出口１６から薬液と共に排出される。
【００１３】次に、第２実施例を図５に基いて説明す
る。本実施例は超音波を細いライン状に放射させるもの
で、輻射体２´を矩形状に形成し、これに応じて放射面
を球面状ではなく、曲面で形成する。他の部材例えば、
圧電振動子４´も矩形状に形成することにより放射口７
´を矩形に形成し、細いライン状に超音波薬液を放射す
るようになっている。他は全て第１実施例と同様なの
で、同一符号を付し、説明を省略する。
る。本実施例は超音波を細いライン状に放射させるもの
で、輻射体２´を矩形状に形成し、これに応じて放射面
を球面状ではなく、曲面で形成する。他の部材例えば、
圧電振動子４´も矩形状に形成することにより放射口７
´を矩形に形成し、細いライン状に超音波薬液を放射す
るようになっている。他は全て第１実施例と同様なの
で、同一符号を付し、説明を省略する。
【００１４】
【発明の効果】本発明は前記のような構成、作用を有す
るもので、筺体を仕切板で分離し、輻射体を媒体液を充
満させた媒体槽内に設けているので、輻射体が振動等に
より破損するようなことがあっても薬液が漏洩するよう
なことがない。
るもので、筺体を仕切板で分離し、輻射体を媒体液を充
満させた媒体槽内に設けているので、輻射体が振動等に
より破損するようなことがあっても薬液が漏洩するよう
なことがない。
【００１５】又、輻射体は薬液と直接接触しないので、
薬液による腐蝕が発生するようなことがない。又、仕切
板には曲面を設けているので、超音波の進行が乱れるよ
うなことがなく、集束させることができる。
薬液による腐蝕が発生するようなことがない。又、仕切
板には曲面を設けているので、超音波の進行が乱れるよ
うなことがなく、集束させることができる。
【００１６】又、媒体槽及びノズル部に発生した気泡は
外部に排出させるので、放射面に気泡が存在して超音波
の進行が妨げられるようなことがない。
外部に排出させるので、放射面に気泡が存在して超音波
の進行が妨げられるようなことがない。
【００１７】
【図１】本発明の第１実施例の断面図。
【図２】その平面図。
【図３】仕切板の作用を説明する断面図。
【図４】仕切板の他の例の断面図。
【図５】第２実施例の平面図。
【図６】従来例の平面図。
【符号の説明】 １ 筺体 １´ 筺体 ２ 輻射体（レンズ状） ２´ 輻射体 ３ パッキング ４ 圧電振動子 ４´ 圧電振動子 ５ 耐薬液用コーティング材 ６ 薬液供給口 ７ 放射口 ７´ 放射口 ８ 仕切板 ８´ 仕切板 ９ ノズル部 １０ 媒体槽 １１ 鍔部 １２ ボルト １３ 媒体液供給管 １４ 媒体液吐出管 １５ 気泡除去孔 １６ 気泡排出口 １７ 気泡排出溝 １８ 被洗浄物
Claims (4)
- 【請求項１】 筺体を仕切板で媒体槽とノズル部とに分
離し、媒体液を充満させる媒体槽内に、圧電振動子を固
定した放射面を曲面で形成した輻射体を設け、ノズル部
の一端に薬液供給口を、先端に被洗浄物に薬液を放射す
る放射口を開口したことを特徴とする超音波洗浄装置。 - 【請求項２】 輻射体の放射面の窪みから端部に向かっ
て気泡除去孔を設けたことを特徴とする請求項１記載の
超音波洗浄装置。 - 【請求項３】 仕切板を超音波の進行を乱さない曲面を
有する形状に形成したことを特徴とする請求項１，２記
載の超音波洗浄装置。 - 【請求項４】 仕切板の曲面内部に傾斜した気泡排出溝
を設けて、ノズルに設けた気泡排出口と連通せしめたこ
とを特徴とする超音波洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13013193A JP3258445B2 (ja) | 1993-05-07 | 1993-05-07 | 超音波洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13013193A JP3258445B2 (ja) | 1993-05-07 | 1993-05-07 | 超音波洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06320125A true JPH06320125A (ja) | 1994-11-22 |
| JP3258445B2 JP3258445B2 (ja) | 2002-02-18 |
Family
ID=15026698
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13013193A Expired - Lifetime JP3258445B2 (ja) | 1993-05-07 | 1993-05-07 | 超音波洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3258445B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008080293A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 洗浄装置 |
| KR101069457B1 (ko) * | 2005-05-26 | 2011-09-30 | 혼다덴시 가부시키가이샤 | 초음파 세정장치 |
| CZ303782B6 (cs) * | 2008-11-18 | 2013-05-02 | Univerzita Palackého | Zarízení pro ozarování vzorku ultrazvukem |
| TWI511796B (zh) * | 2012-10-16 | 2015-12-11 | Infina Technology Co Ltd | 簾幕式超音波噴塗系統及基板材料噴塗之方法 |
| JP2020000995A (ja) * | 2018-06-28 | 2020-01-09 | 株式会社ディスコ | 超音波水噴射装置 |
| CN111085942A (zh) * | 2019-12-31 | 2020-05-01 | 中国计量大学 | 一种基于相控空化效应的磨粒微射流抛光方法及抛光装置 |
| JP2024039366A (ja) * | 2022-09-09 | 2024-03-22 | 株式会社ディスコ | 超音波ノズル |
-
1993
- 1993-05-07 JP JP13013193A patent/JP3258445B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101069457B1 (ko) * | 2005-05-26 | 2011-09-30 | 혼다덴시 가부시키가이샤 | 초음파 세정장치 |
| JP2008080293A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 洗浄装置 |
| CZ303782B6 (cs) * | 2008-11-18 | 2013-05-02 | Univerzita Palackého | Zarízení pro ozarování vzorku ultrazvukem |
| TWI511796B (zh) * | 2012-10-16 | 2015-12-11 | Infina Technology Co Ltd | 簾幕式超音波噴塗系統及基板材料噴塗之方法 |
| JP2020000995A (ja) * | 2018-06-28 | 2020-01-09 | 株式会社ディスコ | 超音波水噴射装置 |
| CN111085942A (zh) * | 2019-12-31 | 2020-05-01 | 中国计量大学 | 一种基于相控空化效应的磨粒微射流抛光方法及抛光装置 |
| CN111085942B (zh) * | 2019-12-31 | 2021-10-15 | 中国计量大学 | 一种基于相控空化效应的磨粒微射流抛光方法及抛光装置 |
| JP2024039366A (ja) * | 2022-09-09 | 2024-03-22 | 株式会社ディスコ | 超音波ノズル |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3258445B2 (ja) | 2002-02-18 |
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