JPH06325342A

JPH06325342A - 磁気記録媒体

Info

Publication number: JPH06325342A
Application number: JP10837793A
Authority: JP
Inventors: Kazuya Taki; 和也滝; Riki Matsuda; 理樹松田
Original assignee: Brother Industries Ltd
Current assignee: Brother Industries Ltd
Priority date: 1993-05-10
Filing date: 1993-05-10
Publication date: 1994-11-25

Abstract

(57)【要約】【目的】高記録密度を達成することができる磁気記録
媒体を提供する。【構成】磁気記録媒体１０は、基板１２と、テクスチ
ャーの設けられた下地層１３と、平滑層１４と、その上
に積層された中間層１６と、磁性層１７と、保護層１８
から成る。平滑層１４は、基板１２を回転させつつ液状
のＴｉ、Ｚｒ、Ｓｉ等の金属アルコキシド等を供給して
塗布し、これを高温ベークで固化させてＳｉＯ₂、Ｔｉ
０₂、ＺｒＯ₂等の金属酸化膜とすることにより形成す
る。この時に、平滑層１４は、固化する前は液状である
ため、下地層１３の深い凹部を埋め、下地層１３不規則
な凹凸は平滑層１４により平滑化される。磁性層１７は
平滑層１４によって生じる凹凸を模して形成され、その
表面は平滑であるため、磁気ヘッドの浮上量を非常に小
さくでき、その結果記録密度が増大する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体に関し、
さらに詳細には、高記録密度を達成することができる磁
気記録媒体に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、磁性薄膜を用いた磁気記録媒体１
００は、図５に示すように、アルミニウム合金あるいは
アルマイトもしくはガラス等の円板からなる基板１０２
と、その上に、めっき法、スパッタ法等で形成されたC
r、W、Mo、あるいはこれらを主成分とする合金膜から成
る非磁性の下地層１０３とから成る基体１０４と、その
上に、スパッタ法、イオンプレーティング法、真空蒸着
法等により形成されたCo、Fe、Ni等の強磁性金属あるい
はこれらを主成分とするCoNi、CoNiCr等の合金もしくは
酸化鉄(γ-Fe₂O₃)等から成る磁性層１０６と、その上
に、スパッタ法等で形成した炭素膜やSiO₂から成る保護
層１０８とから構成されている。さらに、保護層１０８
の上に、例えばフッ素系潤滑剤等から成る潤滑層１１０
が一般に形成されている。

【０００３】このような磁気記録媒体１００に対する記
録再生は、磁気ヘッドにより行われる。磁気ヘッドは、
スライダと呼ばれる摺動子と、スライダに取り付けられ
た記録再生用のコイルから成る。磁気記録媒体１００が
静止しているときには、磁気記録媒体１００と磁気ヘッ
ドとは接触状態にある。磁気記録媒体１００を高速回転
させると、表面に空気流が生じるため、磁気ヘッドスラ
イダは空気軸受けの原理で磁気記録媒体１００の表面よ
りサブミクロンのすきまを保って浮上し、この状態で記
録再生を行う。この方式は、コンタクト・スタート・ス
トップ方式(CSS方式)と呼ばれる。

【０００４】磁気記録装置の記録密度を向上させるに
は、記録再生時における磁気ヘッドの浮上量が小さいほ
ど良く、従って、磁気ヘッドの浮上安定性を確保するた
めには磁気記録媒体１００の表面はできる限り平坦であ
ることが望ましい。しかし、装置の起動時および停止時
には、磁気ヘッドと磁気記録媒体１００とが接触するた
め、両者の間に生じる摩擦力は、両者の摩耗を引き起こ
し、特性劣化の原因となる。さらに、磁気記録媒体１０
０が静止している状態で磁気ヘッドと磁気記録媒体１０
０との間に水分等が介在すると、両者が強固に吸着し、
この状態で起動すると、磁気ヘッドと磁気記録媒体１０
０との間に大きな力が生じ、磁気ヘッドや磁気記録媒体
１００の損傷を招く恐れがある。

【０００５】この吸着現象を回避するために、基体１０
４表面に多数の細かい同心円状の凹凸を施す処理すなわ
ちテクスチャー処理が行われる。これにより、磁気ヘッ
ドとの実効的な接触面積を小さくして摩擦係数を下げる
とともに、ディスク状の磁気記録媒体の円周方向に角形
性の良好な磁気特性を有する円周方向磁気異方性ディス
クを作製することができる。このテクスチャー処理は、
回転している基体１０４に研磨剤等を供給しながら、研
磨テープを押し付け、基体１０４の表面に円周方向の傷
をつけることにより行われる。このとき、磁性層１０６
もテクスチャー処理による凹凸に沿った薄い凹凸膜とな
り、磁性体の配向が行われるため、ディスクの円周方向
に角形性の良好な磁気特性を有する円周方向磁気異方性
も実現される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、基体１
０４の表面に研磨により円周方向の傷をつけるため、磁
気記録媒体１００の表面が完全には平滑にならず、磁気
ヘッドの浮上量を小さくした場合、磁気ヘッドと磁気記
録媒体１００表面の突起が衝突するいわゆるヘッドクラ
ッシュを起こし、磁気記録媒体１００が破壊される恐れ
があった。このため、磁気ヘッドの浮上量をあまり小さ
くできず、記録密度を増加させるのに限界があった。

【０００７】また、基体１０４の凹凸と同じような凹凸
が磁性膜１０６にもあるため、記録再生時に磁気ヘッド
と磁性層１０６との間の距離が変動して信号出力の変動
が大きくなり、S/Nの低下を招くという問題点があっ
た。

【０００８】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、その目的とするところは、テク
スチャーが形成されている基板上に平滑層を形成し、そ
の平滑層の表面の凹凸の平滑性をテクスチャーの凹凸よ
りも高めることにより、記録表面が平滑で磁気ヘッドの
浮上量を小さくでき、高記録密度を有する磁気記録媒体
を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の磁気記録媒体では、非磁性基体上に、磁性層
などを順次設けて成る磁気記録媒体であって、非磁性基
体が、表面に微細な凹凸が形成されている基板と、この
基板の上に形成された平滑層から成り、平滑層の表面の
凹凸の平滑性が基板よりも高くなっている。

【００１０】このとき、平滑層は回転塗布法で形成され
てもよい。

【００１１】

【作用】上記の構成を有する本発明の磁気記録媒体で
は、磁性層は平滑層によって生じる凹凸を模して形成さ
れ、その表面は基板に形成されているテクスチャーの凹
凸と比べて平滑性が高いため、磁気ヘッド浮上量を非常
に小さくでき、その結果記録密度が増大する。

【００１２】また、この平滑層を回転塗布法で形成する
ことにより、量産性が向上する。

【００１３】

【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図面を
参照して説明する。

【００１４】本発明を好適に適用した磁気記録媒体１０
は、図１に示すように、表面にCr、W、Moあるいはこれ
らを主成分とする合金膜から成る非磁性の下地層１３が
形成されたガラス等の基板１２と、例えば、回転塗布法
により形成されたＳｉＯ₂、ＺｒＯ₂、ＴｉＯ₂等から成
る平滑層１４と、その上に積層されたCr、W、Moあるい
はこれらを主成分とする合金膜から成る中間層１６と、
その上に積層されたCo、Fe、Ni等の強磁性金属あるいは
これらを主成分とするCoNi、CoNiCr等の合金もしくは酸
化鉄(γ-Fe₂O₃)等から成る磁性層１７と、更にその上に
積層された炭素膜やSiO₂等から成る保護層１８とから構
成されている。ここで、下地層１３が形成された基板１
２および平滑層１４とで、磁性層１７を形成するための
非磁性基体１５を構成している。なお、保護層１８の上
に、例えばフッ素系潤滑剤等から成る図示されない潤滑
層が形成されていてもよい。

【００１５】次に、本実施例の磁気記録媒体１０の製造
方法を図２を用いて説明する。最初に、同図（ａ）のよ
うに、表面が平滑なガラス等の基板１２の上に、Cr、
W、Moあるいはこれらを主成分とする合金膜から成る非
磁性の下地層１３をめっき法あるいはスパッタ法等で形
成する。次に、下地層１３が形成された基板１２を回転
させ、研磨剤等を供給しながら、研磨テープを押し付
け、同図（ｂ）のように下地層１３の表面に円周方向の
傷をつけることによりテクスチャー処理を施す。テクス
チャー処理後、回転塗布法すなわち、基板１２を回転さ
せつつ液状のＴｉ、Ｚｒ、Ｓｉ等の金属アルコキシド等
を供給して塗布し、これを高温ベークを用いて固化させ
ることにより同図（ｃ）のようにＳｉＯ₂、Ｔｉ０₂、Ｚ
ｒＯ₂等の金属酸化膜等からなる平滑層１４を形成す
る。これにより、磁気記録媒体１０用の基体１５が製造
される。この基体１５上に、中間層１６、磁性層１７お
よび、保護層１８をスパッタ法等のよく知られた薄膜形
成手段により形成することにより磁気記録媒体１０が製
造される。

【００１６】下地層１３にはテクスチャー処理が施され
ており、その表面には微細な凹凸が形成されている。こ
の凹部の深さは非常に不規則である。この下地層１３の
上に回転塗布により形成される平滑層１４は、高温ベー
クにより固化する前は液状であるため、下地層１３の深
い凹部を埋め、凹部の深さの均一性が向上する。また、
鋭い突起部のまわりにも液状の金属アルコキシドが付着
するため、図２（ｃ）のように、下地層１３不規則な凹
凸が平滑層１４により平滑化される。磁性層１７は平滑
層１４によって生じる凹凸を模して形成されており、そ
の表面は、従来の研磨加工でテクスチャーが形成された
下地層の上に直接形成された磁性層と比較して鋭い突起
物がなく、また、平滑であるため、磁気ヘッドの浮上量
を非常に小さくでき、その結果記録密度が増大する。

【００１７】以上、本発明の一実施例を図１および図２
に基づいて詳細に説明したが、本発明は以上詳述した実
施例に限定されるものではなく、その主旨を逸脱しない
範囲で種々の変更を加えることができる。すなわち、基
板１２の材料については、その表面が平滑であれば特に
限定しない。例えば、ガラス以外にアルミニウム合金等
の金属、アルミナ等のセラミック基板を用いてもよい。
さらに、下地層１３を設けず、図３のように基板３０に
直接テクスチャーが形成されていてもよい。

【００１８】また、中間層１６、磁性層１７、保護層１
８の材料についても特に限定されるものではない。

【００１９】また、中間層１６はなくてもよい。

【００２０】また、平滑層１４は単層である必要はな
く、図４のように２層の平滑層３２、３４を、あるいは
平滑層を２層以上設けてもよい。これにより、平滑層３
４の表面の平滑性がいっそう向上する。また、図４にお
いて、平滑層３４を金属アルコキシドの回転塗布法で作
製する代わりに、バイアススパッタ法により形成しても
よい。すなわち、スパッタ法により平滑層３４を作製す
る際、下地層１３が形成された基板１２にバイアス電圧
を印加することにより、表面が平滑となる。さらに、平
滑層３４をバイアススパッタ法で作製したクロム等で形
成することにより、中間層１６を設けなくてもよい。

【００２１】

【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明の磁気記録媒体では、テクスチャーが形成されて
いる基板上に平滑層を形成し、その平滑層の表面の凹凸
の平滑性がテクスチャーの凹凸よりも高い。このため、
磁性層は平滑層によって生じる凹凸を模して形成され、
その凸部表面は平滑であるため、磁気ヘッドの安定した
低浮上化を実現することができ、その結果、記録密度が
増大する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁気記録媒体の一実施例を示す要部断
面図である。

【図２】図２（ａ）〜図２（ｄ）は本発明の磁気記録媒
体の製造方法を説明する要部断面図である。

【図３】本発明の磁気記録媒体の他の実施例を示す要部
断面図である。

【図４】本発明の磁気記録媒体の他の実施例を示す要部
断面図である。

【図５】従来の磁気記録媒体を示す要部断面図である。

【符号の説明】

１０磁気記録媒体１２基板１４平滑層１５非磁性基体１６磁性層１７保護層

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】非磁性基体上に、磁性層などを順次設け
て成る磁気記録媒体において、前記非磁性基体が、表面に微細な凹凸が形成されている
基板と、前記基板の上に形成され、その表面の凹凸の平
滑性が前記基板よりも高い平滑層とから成ることを特徴
とする磁気記録媒体。
【請求項２】請求項１に記載の磁気記録媒体におい
て、前記平滑層が回転塗布法で形成されていることを特
徴とする磁気記録媒体。