JPH06327943A - 脱硝処理方法 - Google Patents
脱硝処理方法Info
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- JPH06327943A JPH06327943A JP5119491A JP11949193A JPH06327943A JP H06327943 A JPH06327943 A JP H06327943A JP 5119491 A JP5119491 A JP 5119491A JP 11949193 A JP11949193 A JP 11949193A JP H06327943 A JPH06327943 A JP H06327943A
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Landscapes
- Exhaust Gas Treatment By Means Of Catalyst (AREA)
- Catalysts (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 新規な脱硝処理方法の提供
【構成】 排ガス流入側に脱硝触媒層を設置し、排ガス
出口側にはアンモニア分解触媒層を有する脱硝反応器を
設置し、前段において窒素酸化物に対し反応等量以上の
アンモニアを添加して窒素酸化物を分解させ、後段にお
いて過剰のアンモニアを分解させる排ガスの脱硝処理方
法であって、前記アンモニア分解触媒が、脱水された状
態で（１．０±０．６）Ｒ2 Ｏ・〔ａＭ2 Ｏ3 ・ｂＡｌ
2 Ｏ3 〕・ｃＭｅＯ・ｙＳｉＯ2 の化学組成を有し、か
つ特定のＸ線回折パターンを有する結晶性シリケートに
銅、コバルト等の金属類を含有させてなる触媒である排
ガスの脱硝処理方法。 【効果】 未反応のＮＨ3 を大気中に放出することな
く、ＮＯｘを高効率で分解除去することができる。
出口側にはアンモニア分解触媒層を有する脱硝反応器を
設置し、前段において窒素酸化物に対し反応等量以上の
アンモニアを添加して窒素酸化物を分解させ、後段にお
いて過剰のアンモニアを分解させる排ガスの脱硝処理方
法であって、前記アンモニア分解触媒が、脱水された状
態で（１．０±０．６）Ｒ2 Ｏ・〔ａＭ2 Ｏ3 ・ｂＡｌ
2 Ｏ3 〕・ｃＭｅＯ・ｙＳｉＯ2 の化学組成を有し、か
つ特定のＸ線回折パターンを有する結晶性シリケートに
銅、コバルト等の金属類を含有させてなる触媒である排
ガスの脱硝処理方法。 【効果】 未反応のＮＨ3 を大気中に放出することな
く、ＮＯｘを高効率で分解除去することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は排ガス中の窒素酸化物
（以下、ＮＯｘと略称する）を高い効率にて除去するこ
とのできる脱硝処理方法に関する。
（以下、ＮＯｘと略称する）を高い効率にて除去するこ
とのできる脱硝処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】排ガス中の窒素酸化物（ＮＯｘ）を除去
する方法として、ＮＯｘとアンモニア（ＮＨ3 ）とを接
触的に反応させて窒素と水に分解する接触アンモニア還
元法が広く用いられている。この方法には、反応を促進
するための脱硝触媒が必要であり、これまで多くの面か
ら触媒開発の研究がなされてきた。
する方法として、ＮＯｘとアンモニア（ＮＨ3 ）とを接
触的に反応させて窒素と水に分解する接触アンモニア還
元法が広く用いられている。この方法には、反応を促進
するための脱硝触媒が必要であり、これまで多くの面か
ら触媒開発の研究がなされてきた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】最近、ＮＯｘ排出規制
が厳しくなっており、とりわけ、大都市部においては煙
突からのＮＯｘ排出濃度が大気相当の０．０６ｐｐｍ程
度まで低下させる要望が示されている。ＮＨ3 を用いた
接触還元による脱硝方法においては反応は次式に従って
進行し、ＮＯｘはＮ2 に分解される。 ４ＮＯ＋４ＮＨ3 ＋Ｏ2 → ４Ｎ2 ＋６Ｈ2 Ｏ 従来の方法では、上式のようにほゞ等量のＮＨ3 を添加
して脱硝を行っていた。しかし、ボイラー排ガスでは、
ＮＯとＮＨ3 の混合度合やＮＨ3 の分解等の影響のた
め、上記反応式通りの１００％脱硝はできず、反応率は
８０〜９０％程度であり、未反応のＮＯが数ｐｐｍ〜１
０数ｐｐｍそのまま排出されていた。一方、ＮＨ3 をＮ
Ｏの等量以上に添加し、ＮＯの分解率を向上させるのは
可能であるが、未反応のＮＨ3 が大気中に排出されてし
まう不具合が生じるため、好ましいＮＯｘ排出濃度低減
法は存在しなかった。
が厳しくなっており、とりわけ、大都市部においては煙
突からのＮＯｘ排出濃度が大気相当の０．０６ｐｐｍ程
度まで低下させる要望が示されている。ＮＨ3 を用いた
接触還元による脱硝方法においては反応は次式に従って
進行し、ＮＯｘはＮ2 に分解される。 ４ＮＯ＋４ＮＨ3 ＋Ｏ2 → ４Ｎ2 ＋６Ｈ2 Ｏ 従来の方法では、上式のようにほゞ等量のＮＨ3 を添加
して脱硝を行っていた。しかし、ボイラー排ガスでは、
ＮＯとＮＨ3 の混合度合やＮＨ3 の分解等の影響のた
め、上記反応式通りの１００％脱硝はできず、反応率は
８０〜９０％程度であり、未反応のＮＯが数ｐｐｍ〜１
０数ｐｐｍそのまま排出されていた。一方、ＮＨ3 をＮ
Ｏの等量以上に添加し、ＮＯの分解率を向上させるのは
可能であるが、未反応のＮＨ3 が大気中に排出されてし
まう不具合が生じるため、好ましいＮＯｘ排出濃度低減
法は存在しなかった。
【０００４】本発明は、前記従来技術の問題点を解決
し、未反応のＮＨ3 を大気中に放出することなく、高効
率でＮＯｘを分解することができる脱硝処理方法を提供
することを目的とする。
し、未反応のＮＨ3 を大気中に放出することなく、高効
率でＮＯｘを分解することができる脱硝処理方法を提供
することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、窒素酸化物含
有排ガスを、脱硝触媒を充填した脱硝反応器に導きアン
モニアの存在下に脱硝触媒と接触させて窒素酸化物を除
去する方法において、排ガス流入側に脱硝触媒層を設置
し、排ガス出口側にはアンモニア分解触媒層を有する脱
硝反応器を設置し、前段において窒素酸化物に対し反応
等量以上のアンモニアを添加して窒素酸化物を分解さ
せ、後段において過剰のアンモニアを分解させる排ガス
の脱硝処理方法であって、前記アンモニア分解触媒が、
脱水された状態で（１．０±０．６）Ｒ2 Ｏ・〔ａＭ2
Ｏ3 ・ｂＡｌ2 Ｏ3 〕・ｃＭｅＯ・ｙＳｉＯ2 （式中、
Ｒ：アルカリ金属イオン及び／又は水素イオン、Ｍ：周
期率表のVIII族元素、希土類元素、チタン、バナジウ
ム、クロム、ニオブ、アンチモン及びガリウムからなる
群から選ばれる１種以上の元素、Ｍｅ：アルカリ土類元
素、ａ＋ｂ＝１．０，ａ≧０，ｂ≧０，ｃ≧０，ｙ／ｃ
＞１２，ｙ＞１２）の化学組成を有し、かつ後述の表１
に示されるＸ線回折パターンを有する結晶性シリケート
に銅、コバルト、ニッケル、鉄、亜鉛、マンガン、クロ
ム、アルカリ土類元素及び希土類元素のうち少なくとも
１種以上を含有させてなる触媒である排ガスの脱硝処理
方法である。
有排ガスを、脱硝触媒を充填した脱硝反応器に導きアン
モニアの存在下に脱硝触媒と接触させて窒素酸化物を除
去する方法において、排ガス流入側に脱硝触媒層を設置
し、排ガス出口側にはアンモニア分解触媒層を有する脱
硝反応器を設置し、前段において窒素酸化物に対し反応
等量以上のアンモニアを添加して窒素酸化物を分解さ
せ、後段において過剰のアンモニアを分解させる排ガス
の脱硝処理方法であって、前記アンモニア分解触媒が、
脱水された状態で（１．０±０．６）Ｒ2 Ｏ・〔ａＭ2
Ｏ3 ・ｂＡｌ2 Ｏ3 〕・ｃＭｅＯ・ｙＳｉＯ2 （式中、
Ｒ：アルカリ金属イオン及び／又は水素イオン、Ｍ：周
期率表のVIII族元素、希土類元素、チタン、バナジウ
ム、クロム、ニオブ、アンチモン及びガリウムからなる
群から選ばれる１種以上の元素、Ｍｅ：アルカリ土類元
素、ａ＋ｂ＝１．０，ａ≧０，ｂ≧０，ｃ≧０，ｙ／ｃ
＞１２，ｙ＞１２）の化学組成を有し、かつ後述の表１
に示されるＸ線回折パターンを有する結晶性シリケート
に銅、コバルト、ニッケル、鉄、亜鉛、マンガン、クロ
ム、アルカリ土類元素及び希土類元素のうち少なくとも
１種以上を含有させてなる触媒である排ガスの脱硝処理
方法である。
【０００６】本発明の方法においては、脱硝反応器の排
ガス流入側にＮＨ3 の存在下でＮＯｘを分解する選択的
脱硝触媒を配置し、ＮＯｘと反応等量以上のＮＨ3 を添
加して十分にＮＯｘを分解させる。一方、排ガス出口側
にはＮＨ3 分解触媒を設置して、未反応のＮＨ3 を下式
により無害なＮ2 とＨ2 Ｏに分解する。 ２ＮＨ3 ＋ 3/2Ｏ2 → Ｎ2 ＋３Ｈ2 Ｏ 本発明の方法によれば、脱硝触媒とＮＨ3 分解触媒の後
流側にはＮＯｘやＮＨ 3 はほとんど排出されず、高い効
率にて脱硝を行うことが可能である。
ガス流入側にＮＨ3 の存在下でＮＯｘを分解する選択的
脱硝触媒を配置し、ＮＯｘと反応等量以上のＮＨ3 を添
加して十分にＮＯｘを分解させる。一方、排ガス出口側
にはＮＨ3 分解触媒を設置して、未反応のＮＨ3 を下式
により無害なＮ2 とＨ2 Ｏに分解する。 ２ＮＨ3 ＋ 3/2Ｏ2 → Ｎ2 ＋３Ｈ2 Ｏ 本発明の方法によれば、脱硝触媒とＮＨ3 分解触媒の後
流側にはＮＯｘやＮＨ 3 はほとんど排出されず、高い効
率にて脱硝を行うことが可能である。
【０００７】前段に用いる脱硝触媒としては、バナジウ
ム、タングステン等を担持させたチタニア触媒が好適で
あり、これをハニカム状に成型して設置するのが好まし
い。
ム、タングステン等を担持させたチタニア触媒が好適で
あり、これをハニカム状に成型して設置するのが好まし
い。
【０００８】後段に設置するＮＨ3 分解触媒は、脱水さ
れた状態で（１．０±０．６）Ｒ2Ｏ・〔ａＭ2 Ｏ3 ・
ｂＡｌ2 Ｏ3 〕・ｃＭｅＯ・ｙＳｉＯ2 （式中、Ｒ：ア
ルカリ金属イオン及び／又は水素イオン、Ｍ：周期率表
のVIII族元素、希土類元素、チタン、バナジウム、クロ
ム、ニオブ、アンチモン及びガリウムからなる群から選
ばれる１種以上の元素、Ｍｅ：アルカリ土類元素、ａ＋
ｂ＝１．０，ａ≧０，ｂ≧０，ｃ≧０，ｙ／ｃ＞１２，
ｙ＞１２）の化学組成を有し、かつ表１に示されるＸ線
回折パターンを有する結晶性シリケートに銅、コバル
ト、ニッケル、鉄、亜鉛、マンガン、クロム、アルカリ
土類元素及び希土類元素のうち少なくとも１種以上を含
有させてなる触媒である。
れた状態で（１．０±０．６）Ｒ2Ｏ・〔ａＭ2 Ｏ3 ・
ｂＡｌ2 Ｏ3 〕・ｃＭｅＯ・ｙＳｉＯ2 （式中、Ｒ：ア
ルカリ金属イオン及び／又は水素イオン、Ｍ：周期率表
のVIII族元素、希土類元素、チタン、バナジウム、クロ
ム、ニオブ、アンチモン及びガリウムからなる群から選
ばれる１種以上の元素、Ｍｅ：アルカリ土類元素、ａ＋
ｂ＝１．０，ａ≧０，ｂ≧０，ｃ≧０，ｙ／ｃ＞１２，
ｙ＞１２）の化学組成を有し、かつ表１に示されるＸ線
回折パターンを有する結晶性シリケートに銅、コバル
ト、ニッケル、鉄、亜鉛、マンガン、クロム、アルカリ
土類元素及び希土類元素のうち少なくとも１種以上を含
有させてなる触媒である。
【０００９】
【表１】 ＶＳ：非常に強い （Ｘ線源：Ｃｕ） Ｓ：強い Ｍ：中級 Ｗ：弱い
【００１０】この触媒は１００〜６００℃の温度範囲
で、長時間にわたって劣化することなく、ＮＨ3 をＮ2
に分解することができる。なお、この触媒はＮＨ3 分解
によるＮＯ，ＮＯ2 ，Ｎ2 Ｏ等の副生成物は全く生成せ
ず、選択的にＮ2 に変換できる特徴を有している。この
触媒はウォッシュコート法又はソリッド法にてハニカム
化して設置するのが好ましい。特に好ましい形態として
はハニカム状に成型されたコージェライト等の基材上に
コートした形で使用する。
で、長時間にわたって劣化することなく、ＮＨ3 をＮ2
に分解することができる。なお、この触媒はＮＨ3 分解
によるＮＯ，ＮＯ2 ，Ｎ2 Ｏ等の副生成物は全く生成せ
ず、選択的にＮ2 に変換できる特徴を有している。この
触媒はウォッシュコート法又はソリッド法にてハニカム
化して設置するのが好ましい。特に好ましい形態として
はハニカム状に成型されたコージェライト等の基材上に
コートした形で使用する。
【００１１】
【実施例】以下実施例により本発明の方法をさらに具体
的に説明する。 （触媒の調製）アンモニア還元脱硝触媒（脱硝触媒）は
チタニア（ＴｉＯ2 ）担体に五酸化バナジウム（Ｖ2 Ｏ
5 ）を２ｗｔ％，三酸化タングステン（ＷＯ3 ）を８ｗ
ｔ％担持させた粉末触媒を３ｍｍ□ピッチ，肉厚１ｍｍ
のハニカム形状に成型したものを用いた。このハニカム
触媒を触媒Ａとする。
的に説明する。 （触媒の調製）アンモニア還元脱硝触媒（脱硝触媒）は
チタニア（ＴｉＯ2 ）担体に五酸化バナジウム（Ｖ2 Ｏ
5 ）を２ｗｔ％，三酸化タングステン（ＷＯ3 ）を８ｗ
ｔ％担持させた粉末触媒を３ｍｍ□ピッチ，肉厚１ｍｍ
のハニカム形状に成型したものを用いた。このハニカム
触媒を触媒Ａとする。
【００１２】アンモニア分解触媒としては、酸化物のモ
ル比で表２に示す組成を有し、かつ表１に示したＸ線回
折パターンを有する結晶構造の、結晶性シリケート型触
媒を使用した。これらの触媒の粉末を、前記脱硝触媒と
同様の形状を有するコージェライトハニカム基材に８０
ｇ／ｍ2 基材の量となるようにウォッシュコート法によ
りコートした。これらのハニカム触媒を触媒Ｂ〜Ｎとし
た。
ル比で表２に示す組成を有し、かつ表１に示したＸ線回
折パターンを有する結晶構造の、結晶性シリケート型触
媒を使用した。これらの触媒の粉末を、前記脱硝触媒と
同様の形状を有するコージェライトハニカム基材に８０
ｇ／ｍ2 基材の量となるようにウォッシュコート法によ
りコートした。これらのハニカム触媒を触媒Ｂ〜Ｎとし
た。
【００１３】
【表２】
【００１４】（ＮＯｘ除去試験）図１に示すたて型の脱
硝反応試験装置１の排ガス流入側（前段）に脱硝触媒層
２（前記触媒Ａ）を、排ガス出口側（後段）にアンモニ
ア分解触媒層３（前記触媒Ｂ〜Ｎ）を、それぞれの容量
が２７ｍｌとなるように設置した。この試験装置に矢印
Ｘ，Ｘの方向に次の組成の試験ガスをＳＶ＝１６３００
ｈ-1（ガス量４４０ Ｎｌ／ｈ) の条件で通し、電気炉
４により加熱して脱硝触媒層及びアンモニア分解触媒層
の温度をそれぞれ３００〜４００℃及び２００〜４００
℃の間に保持して脱硝試験を行った。 ＜試験ガス組成＞ ＮＯ ５０ ｐｐｍ ＮＨ3 １００ ｐｐｍ ＣＯ2 ７ ％ Ｈ2 Ｏ ６ ％ Ｏ2 １４．７％ Ｎ2 残 前段の触媒層と後段の触媒層との間（ガスＡ）及び後段
の触媒層の後流側（ガスＢ）でガスをサンプリングし、
それぞれの位置でのＮＯｘ（ＮＯ＋ＮＯ2 ）及びＮＨ3
の含有率を調べた。脱硝触媒Ａとアンモニア分解触媒Ｂ
を使用し、それぞれの触媒層の温度を変化させて測定し
た結果を表３に示す。また、脱硝触媒層及びアンモニア
分解触媒層の温度をそれぞれ３５０℃及び３００℃と
し、アンモニア分解触媒として前記の触媒Ｃ〜Ｎを使用
して測定した結果を表４に示す。
硝反応試験装置１の排ガス流入側（前段）に脱硝触媒層
２（前記触媒Ａ）を、排ガス出口側（後段）にアンモニ
ア分解触媒層３（前記触媒Ｂ〜Ｎ）を、それぞれの容量
が２７ｍｌとなるように設置した。この試験装置に矢印
Ｘ，Ｘの方向に次の組成の試験ガスをＳＶ＝１６３００
ｈ-1（ガス量４４０ Ｎｌ／ｈ) の条件で通し、電気炉
４により加熱して脱硝触媒層及びアンモニア分解触媒層
の温度をそれぞれ３００〜４００℃及び２００〜４００
℃の間に保持して脱硝試験を行った。 ＜試験ガス組成＞ ＮＯ ５０ ｐｐｍ ＮＨ3 １００ ｐｐｍ ＣＯ2 ７ ％ Ｈ2 Ｏ ６ ％ Ｏ2 １４．７％ Ｎ2 残 前段の触媒層と後段の触媒層との間（ガスＡ）及び後段
の触媒層の後流側（ガスＢ）でガスをサンプリングし、
それぞれの位置でのＮＯｘ（ＮＯ＋ＮＯ2 ）及びＮＨ3
の含有率を調べた。脱硝触媒Ａとアンモニア分解触媒Ｂ
を使用し、それぞれの触媒層の温度を変化させて測定し
た結果を表３に示す。また、脱硝触媒層及びアンモニア
分解触媒層の温度をそれぞれ３５０℃及び３００℃と
し、アンモニア分解触媒として前記の触媒Ｃ〜Ｎを使用
して測定した結果を表４に示す。
【００１５】
【表３】
【００１６】
【表４】
【００１７】表３及び表４の結果から、本発明の方法に
より、前段の脱硝触媒層において約９９％という高い脱
硝率が得られ、ＮＯｘに対し２モル比のＮＨ3 を使用し
ても、過剰のＮＨ3 は後段のアンモニア分解触媒層にお
いてほとんど完全に分解され、さらに後段の触媒層にお
いてもさらに脱硝が進み、ＮＯｘ濃度はさらに低下して
いることがわかる。なお、ガスＡ、ＢについてＮＯｘ
（ＮＯ＋ＮＯ2 ）以外にＮ2 Ｏの分析も行ったがＮ2 Ｏ
はほとんど副生していないことが確認された。
より、前段の脱硝触媒層において約９９％という高い脱
硝率が得られ、ＮＯｘに対し２モル比のＮＨ3 を使用し
ても、過剰のＮＨ3 は後段のアンモニア分解触媒層にお
いてほとんど完全に分解され、さらに後段の触媒層にお
いてもさらに脱硝が進み、ＮＯｘ濃度はさらに低下して
いることがわかる。なお、ガスＡ、ＢについてＮＯｘ
（ＮＯ＋ＮＯ2 ）以外にＮ2 Ｏの分析も行ったがＮ2 Ｏ
はほとんど副生していないことが確認された。
【００１８】
【発明の効果】本発明の方法によれば、ＮＯｘを含有す
る排ガスからリークＮＨ3 の恐れがなく、高い効率でＮ
Ｏｘを分解除去することができる。
る排ガスからリークＮＨ3 の恐れがなく、高い効率でＮ
Ｏｘを分解除去することができる。
【図１】本発明の方法による脱硝処理方法の１実施態様
を示す概略図である。
を示す概略図である。
Claims (1)
- 【請求項１】 窒素酸化物含有排ガスを、脱硝触媒を充
填した脱硝反応器に導きアンモニアの存在下に脱硝触媒
と接触させて窒素酸化物を除去する方法において、排ガ
ス流入側に脱硝触媒層を設置し、排ガス出口側にはアン
モニア分解触媒層を有する脱硝反応器を設置し、前段に
おいて窒素酸化物に対し反応等量以上のアンモニアを添
加して窒素酸化物を分解させ、後段において過剰のアン
モニアを分解させる排ガスの脱硝処理方法であって、前
記アンモニア分解触媒が、脱水された状態で（１．０±
０．６）Ｒ2 Ｏ・〔ａＭ2 Ｏ3 ・ｂＡｌ2 Ｏ3 〕・ｃＭ
ｅＯ・ｙＳｉＯ2 （式中、Ｒ：アルカリ金属イオン及び
／又は水素イオン、Ｍ：周期率表のVIII族元素、希土類
元素、チタン、バナジウム、クロム、ニオブ、アンチモ
ン及びガリウムからなる群から選ばれる１種以上の元
素、Ｍｅ：アルカリ土類元素、ａ＋ｂ＝１．０，ａ≧
０，ｂ≧０，ｃ≧０，ｙ／ｃ＞１２，ｙ＞１２）の化学
組成を有し、かつ発明の詳細な説明の項に記載の表１に
示されるＸ線回折パターンを有する結晶性シリケートに
銅、コバルト、ニッケル、鉄、亜鉛、マンガン、クロ
ム、アルカリ土類元素及び希土類元素のうち少なくとも
１種以上を含有させてなる触媒である排ガスの脱硝処理
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11949193A JP3254040B2 (ja) | 1993-05-21 | 1993-05-21 | 脱硝処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11949193A JP3254040B2 (ja) | 1993-05-21 | 1993-05-21 | 脱硝処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06327943A true JPH06327943A (ja) | 1994-11-29 |
| JP3254040B2 JP3254040B2 (ja) | 2002-02-04 |
Family
ID=14762589
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11949193A Expired - Lifetime JP3254040B2 (ja) | 1993-05-21 | 1993-05-21 | 脱硝処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3254040B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5500301A (en) * | 1991-03-07 | 1996-03-19 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho | A1 alloy films and melting A1 alloy sputtering targets for depositing A1 alloy films |
| JP2020182898A (ja) * | 2019-05-07 | 2020-11-12 | 株式会社キャタラー | アンモニア酸化触媒装置 |
| WO2021024998A1 (ja) * | 2019-08-07 | 2021-02-11 | 日立造船株式会社 | 反応器 |
-
1993
- 1993-05-21 JP JP11949193A patent/JP3254040B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5500301A (en) * | 1991-03-07 | 1996-03-19 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho | A1 alloy films and melting A1 alloy sputtering targets for depositing A1 alloy films |
| JP2020182898A (ja) * | 2019-05-07 | 2020-11-12 | 株式会社キャタラー | アンモニア酸化触媒装置 |
| US12415178B2 (en) | 2019-05-07 | 2025-09-16 | Cataler Corporation | Ammonia oxidation catalyst device |
| WO2021024998A1 (ja) * | 2019-08-07 | 2021-02-11 | 日立造船株式会社 | 反応器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3254040B2 (ja) | 2002-02-04 |
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